JP2008071914A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】組成バラツキや接合リークが発生しにくいFUSI電極構造を有する半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板300に、HDP-NSG301を形成し、ゲート絶縁膜302とポリシリコン膜303とハードマスク膜とを形成し電極形状にパターニングし、イオン注入し、ポリシリコン膜303とハードマスク膜の側面にサイドウォール(306,307)を形成し、シリコン基板300にさらにイオン注入し、ハードマスク膜304を除去し、ポリシリコン膜303の上面の端部に当該ポリシリコン膜303の形状を規整するためのストッパ312を形成する(図中の(a)までの工程)。その後に、ポリシリコン膜303上にニッケル金属膜314を形成し、熱処理を施すことにより、シリサイド化されたゲート電極315を形成する(図中の(b)〜(d)の工程)。シリサイド化反応の際の膨張がストッパ312によって抑制されるので、接合リークの発生を防止することが可能となる。
【選択図】図5
【解決手段】シリコン基板300に、HDP-NSG301を形成し、ゲート絶縁膜302とポリシリコン膜303とハードマスク膜とを形成し電極形状にパターニングし、イオン注入し、ポリシリコン膜303とハードマスク膜の側面にサイドウォール(306,307)を形成し、シリコン基板300にさらにイオン注入し、ハードマスク膜304を除去し、ポリシリコン膜303の上面の端部に当該ポリシリコン膜303の形状を規整するためのストッパ312を形成する(図中の(a)までの工程)。その後に、ポリシリコン膜303上にニッケル金属膜314を形成し、熱処理を施すことにより、シリサイド化されたゲート電極315を形成する(図中の(b)〜(d)の工程)。シリサイド化反応の際の膨張がストッパ312によって抑制されるので、接合リークの発生を防止することが可能となる。
【選択図】図5
Description
本発明は、LSIなどの半導体装置及びその製造方法に関するものである。
近年、次世代半導体プロセスとしてフルシリサイド(Fully Silicided;FUSI)電極構造を形成するプロセスが注目されている。
FUSI電極構造を形成する従来の方法について説明する。まず、図6(a)に示すように、(100)主面のシリコン基板100に、図示しない絶縁分離領域を形成し、不純物を注入した後、絶縁酸化膜101を形成し、ポリシリコン膜102、ハードマスク酸化膜103を堆積成長させ、ゲート写真製版技術によりアッシングを行って電極形状とし、洗浄し、不純物を注入してソース,ドレイン領域104を形成する。
FUSI電極構造を形成する従来の方法について説明する。まず、図6(a)に示すように、(100)主面のシリコン基板100に、図示しない絶縁分離領域を形成し、不純物を注入した後、絶縁酸化膜101を形成し、ポリシリコン膜102、ハードマスク酸化膜103を堆積成長させ、ゲート写真製版技術によりアッシングを行って電極形状とし、洗浄し、不純物を注入してソース,ドレイン領域104を形成する。
次に、図6(b)に示すように、サイドウォール酸化膜及びサイドウォール窒化膜を堆積成長させ、エッチバックすることにより、サイドウォール105を形成する。
次に、図6(c)に示すように、ライナー窒化膜106及びNSG膜107を堆積成長させ、図7(a)に示すように、NSG膜107をエッチバックして電極部分のライナー窒化膜106を露出させ、この電極部分のライナー窒化膜106を除去して、ハードマスク酸化膜103を露出させる。
次に、図6(c)に示すように、ライナー窒化膜106及びNSG膜107を堆積成長させ、図7(a)に示すように、NSG膜107をエッチバックして電極部分のライナー窒化膜106を露出させ、この電極部分のライナー窒化膜106を除去して、ハードマスク酸化膜103を露出させる。
次に、図7(b)に示すように、ハードマスク酸化膜103を除去し、ニッケル金属膜108をスパッタリングによって蒸着させ、図7(c)に示すように、熱処理によってシリサイド化された電極109を形成し、未反応のニッケル金属膜108を選択除去して、FUSI電極構造を形成する。
しかしこのようなFUSI電極構造および方法では、シリサイド化熱処理の際に、図7(c)に示すように、幅狭パターンの電極109aでは元のポリシリコン膜102が完全にシリサイド化されてフルシリサイド電極となるが、幅広パターンの電極109bではポリシリコン膜102aの中心底部までシリサイド化反応が到達せず、未反応ポリシリコン102が残る。
これは、シリサイド化反応でニッケルがポリシリコン膜102内に拡散する際に、狭幅パターンの電極109aでは、その電極サイズに比して電極上およびその周辺のニッケルの量が十分であるため内部に拡散が行き届くのに対し、幅広パターンの電極109bでは、その電極サイズに比して電極上およびその周辺のニッケルの量が不十分であり、中心底部へは拡散が行き届かないためと思われる。非特許文献1では、FUSIゲート電極の組成バラツキの線幅依存性が指摘されており、ゲート幅が100nmを超える電極のニッケルシリサイド組成のバラツキが報告されている。
一方、シリサイド化反応で体積膨張が起こって接合リーク等が発生する恐れもある。非特許文献2では、シリサイド化した電極がトランジスタ領域外まではみ出し、接合リークが発生することが指摘されている。かかる現象はデバイスとして致命的な欠陥となる。
キットル等(Kittl et. al.), Microelectronic Engineering,82,441〜448 (2005) ロウワーズ等(Lauwers et al.), IEDM Tech.Dig. 27. 7 (2005)
キットル等(Kittl et. al.), Microelectronic Engineering,82,441〜448 (2005) ロウワーズ等(Lauwers et al.), IEDM Tech.Dig. 27. 7 (2005)
上述したように、従来のFUSIゲート電極構造では、線幅に依存する組成バラツキが発生したり、体積膨張による接合リークが発生する恐れがある。
本発明は上記問題に鑑み、組成バラツキや接合リークが発生しにくい電極構造を有する半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明は上記問題に鑑み、組成バラツキや接合リークが発生しにくい電極構造を有する半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板に絶縁性素子分離領域を形成する工程と、前記半導体基板上にゲート絶縁膜とポリシリコン膜とハードマスク膜とを形成し、これらの膜を電極形状にパターニングする工程と、前記半導体基板にイオン注入する工程と、前記ポリシリコン膜および前記ハードマスク膜の側面にサイドウォールを形成する工程と、前記半導体基板にさらにイオン注入する工程と、前記ハードマスク膜を除去し、前記ポリシリコン膜の上面の端部に当該ポリシリコン膜の形状を規整するためのストッパを形成する工程と、前記ストッパが形成されたポリシリコン膜上に金属膜を形成し、熱処理を施すことにより、シリサイド化された電極を形成する工程とを含むことを特徴とする。これにより、ストッパが熱処理によってシリサイド化反応を起こすときの膨張を抑制し、接合リークの発生を防止することが可能となる。
前記ストッパを形成する工程では、前記ハードマスク膜を除去した後の前記ポリシリコン膜の上面に再びハードマスク膜を形成し、このハードマスク膜をエッチバックしてその一部を前記ストッパとして残すことを特徴とする。ハードマスク膜を一度完全に除去し、その後に再度同種のハードマスク膜を形成しエッチバックを行うと、そのハードマスク酸化膜が前記ポリシリコン膜の端部にサイドウォール状に残り、ストッパを形成することができる。前記ストッパは、高さ40−80nm、幅10−20nmとなるように形成することができる。
前記電極を形成する工程では、線幅の大きい前記ポリシリコン膜の中央部をエッチバックし、その後に前記金属膜を形成することができる。ポリシリコン膜の厚みを小さくすることで未反応部分が残るのを防止することが可能となり、組成バラツキの発生を防止できる。前記ポリシリコン膜のエッチバック後の膜厚を40−60nmとし、前記金属膜としてニッケル膜を膜厚5−15nmにて形成することができる。
前記電極を形成する工程では、前記熱処理を、反応温度を400−600℃とする急速加熱プロセスを2ステップ以上に分けて行うことができる。
本発明の半導体装置は、半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成された電極が、シリサイド化されてなり、電極形状を規整するストッパを内部側方に有していることを特徴とする。
本発明の半導体装置は、半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成された電極が、シリサイド化されてなり、電極形状を規整するストッパを内部側方に有していることを特徴とする。
前記電極の両側面にサイドウォールを有していることを特徴とする。前記サイドウォールはシリコン酸化膜とシリコン窒化膜とからなることを特徴とする。
前記ゲート絶縁膜の膜厚は2−5nmであり、前記電極の厚さは150−200nmであることを特徴とする。前記ストッパは、幅10−40nm、高さ40−80nmであって、他面にファセットを有することを特徴とする。前記電極はフルシリサイド化されていることを特徴とする。
前記ゲート絶縁膜の膜厚は2−5nmであり、前記電極の厚さは150−200nmであることを特徴とする。前記ストッパは、幅10−40nm、高さ40−80nmであって、他面にファセットを有することを特徴とする。前記電極はフルシリサイド化されていることを特徴とする。
以上のように本発明によれば、ゲート電極となるポリシリコン膜上のハードマスク酸化膜を一度完全に除去し、その後に同種のハードマスク酸化膜を再度堆積し再度エッチバックしたときに、そのハードマスク酸化膜がゲート電極上の端部にサイドウォール状に残る構造をストッパとして利用して、シリサイド化反応を起こすときの膨張を規整するようにしたので、接合リークの発生を防止することが可能となる。線幅の大きいポリシリコン膜については、エッチバックしてから金属膜を形成しシリサイド化させることで、未反応部分が残るのを防止することができ、組成バラツキの発生を防止できる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る半導体装置の電極部分の構造を示す断面図である。図中の300は(100)主面のシリコン基板、302はシリコン基板300上に形成されたゲート絶縁膜、301はシリコン基板300に形成されたHDP−NSG(High-density-plasma-non-dope-silicate-glass)(絶縁性素子分離領域)、306はサイドウォール酸化膜、307はサイドウォール窒化膜、308はソースドレイン領域、309はライナー窒化膜、310はSA−NSG(Self-align-silicided-non-dope-silicate-glass)膜、312はハードマスク酸化膜、315はフルシリサイド化したゲート電極である。
図1は本発明の一実施形態に係る半導体装置の電極部分の構造を示す断面図である。図中の300は(100)主面のシリコン基板、302はシリコン基板300上に形成されたゲート絶縁膜、301はシリコン基板300に形成されたHDP−NSG(High-density-plasma-non-dope-silicate-glass)(絶縁性素子分離領域)、306はサイドウォール酸化膜、307はサイドウォール窒化膜、308はソースドレイン領域、309はライナー窒化膜、310はSA−NSG(Self-align-silicided-non-dope-silicate-glass)膜、312はハードマスク酸化膜、315はフルシリサイド化したゲート電極である。
上記の半導体装置の製造方法を図2〜図5に基づいて説明する。
まず、図2(a)に示すように、(100)主面のシリコン基板300に、素子分離となるHDP−NSG301を埋め込み形成する。
次に、図2(b)に示す工程において、図示を省略するが、Nウェル形成箇所以外をマスクし、Nchウェル形成用のリン注入をエネルギー250〜600keV注入量1〜5×1013cm-2、及びヒ素注入をエネルギー50〜100keV、注入量1〜5×1011cm-2にて行う。そして、Pウェル形成箇所以外をマスクし、Pchウェル形成用のボロン注入をエネルギー10〜300keV、注入量1×1011cm-2〜1×1014cm-2にて行い、注入後アニール(温度700〜900℃)を行う。
まず、図2(a)に示すように、(100)主面のシリコン基板300に、素子分離となるHDP−NSG301を埋め込み形成する。
次に、図2(b)に示す工程において、図示を省略するが、Nウェル形成箇所以外をマスクし、Nchウェル形成用のリン注入をエネルギー250〜600keV注入量1〜5×1013cm-2、及びヒ素注入をエネルギー50〜100keV、注入量1〜5×1011cm-2にて行う。そして、Pウェル形成箇所以外をマスクし、Pchウェル形成用のボロン注入をエネルギー10〜300keV、注入量1×1011cm-2〜1×1014cm-2にて行い、注入後アニール(温度700〜900℃)を行う。
次に、酸素ラジカル酸化炉等でゲート酸化処理(温度1000〜1100℃)することでゲート酸化膜302を2〜5nm形成し、次にポリシリコン膜303の堆積成長(温度600〜800℃)を100〜150nm行い、次にTEOSなどのハードマスク酸化膜304の堆積成長(温度600〜700℃)を30〜80nm行う。そして、ハードマスク酸化膜304及びポリシリコン膜303を電極形状にパターニングするドライエッチング(温度200〜400℃)を好ましくは走査顕微鏡等で形状確認しつつ行う。
次に、図2(c)に示すようにLDD注入領域以外をマスクし、Pch LDD領域に、Pch浅接合形成用のヒ素注入をエネルギー3〜10keV、注入量1〜3×1014cm-2、及びボロン注入をエネルギー10〜15keV、注入量1×1012cm-2〜1×1013cm-2等にて行い、注入後アニール(温度800〜1000℃)行い、浅接合用不純物注入領域305を形成する。
次に、図3(a)に示すように、サイドウォール酸化膜306及びサイドウォール窒化膜307の成長(ともに温度500〜700℃)をそれぞれの膜厚が5〜15nm及び40〜60nmとなるように行い、サイドウォールエッチング(温度200〜400℃)をサイドウォール幅が40〜60nmとなるように行う。
次に、Pソースドレイン形成箇所以外をマスクし、Pchソースドレイン形成用のボロン注入をエネルギー2〜20keV、注入量5×1012cm-2〜1×1015cm-2等にて行う。そして、Nソースドレイン形成箇所以外をマスクし、Nchソースドレイン形成用のヒ素注入をエネルギー1×1014cm-2〜1×10-16cm-2、及びリン注入を1×1012cm-2〜1×1014cm-2等にて行い、ソースドレイン領域308を形成する。
次に、図3(b)に示す工程において、ウエハ全面にニッケルを用いて狙い成長膜厚8〜15nmとした金属スパッタを行い、熱処理(温度200〜500℃)することにより、シリコンとニッケルとの接触部分でシリサイド化反応を起こし、形成されたシリサイドに選択的なウェットエッチングを行う。このエッチングはたとえば、バッチ式ウェットエッチング装置にてHPM及びAPM系洗浄液で処理するもので、シリサイド化された部分を選択的に残し、未反応ニッケル金属を除去することができる。ウェットエッチング終了後に、ライナー窒化膜309の成長(温度550〜650℃)を膜厚5〜25nmとなるように行う。
図3(c)に示す工程において、層間膜SA−NSG310を300〜400nm成長(温度400〜600℃)させ、次にCF系ガスにてドライエッチングすることにより、層間膜SA−NSG310がソースドレイン領域上のライナー窒化膜309の上に70〜100nm残留し、かつこの層間膜SA−NSG310からゲート上部が高さ40〜60nm露出する状態とする。その後に、ゲート上部のライナー窒化膜309をCF系ガスでドライエッチングして、図示したように、ハードマスク酸化膜304を露出させる。
次に、図4(a)に示すように、ゲート上部のハードマスク酸化膜304をエッチング(温度200〜500℃)し、図4(b)に示すように、再びハードマスク酸化膜311をウエハ全面に30〜60nm堆積(温度300〜600℃)し、図4(c)に示すように、堆積したハードマスク酸化膜311を再びエッチング(温度200〜500℃)して、ハードマスク酸化膜311の一部を幅10〜20nm、高さ40〜80nm程度残留させてストッパ312を形成する。
ここが本発明の大きな特徴である。ソースドレイン部のシリサイド化のために使用したハードマスク酸化膜304を一旦除去した後、同種のハードマスク酸化膜311を再び堆積し、除去すると、図示したように、ハードマスク酸化膜311の一部がゲート上部であってサイドウォール側に、サイドウォール状に残り、ストッパ312を形成する。このストッパ312は斜面を有している。
次に、図5(a)に示すように、ゲート反転マスク(図示せず)を用いてレジスト313を形成し、ゲート幅が100nm未満のパターンは全面マスクする一方で、ゲート幅が100nm以上のパターンはパターン両端の50nmずつをマスクするように、つまりストッパ312を覆うように形成する。
次に、図5(b)に示すように、レジスト313の開口より露出したポリシリコン膜303をCF系ガスを用いて40〜60nmだけエッチバック(温度200〜500℃)する。この際のエッチバック量は、次工程で金属(ニッケル)スパッタ膜を膜厚5〜15nmにて形成したときに完全にシリサイド化できるように、つまり未反応ポリシリコンが電極中心底部に残留しないように、調整しておく。
次に、図5(c)に示すように、ウエハ全面にニッケル金属膜314を8〜12nm(温度は常温)厚にて形成する。そして、図5(d)に示す工程で、シリサイド化熱処理を行う。このときには、熱処理温度を400〜600℃とするRTP(Rapid Thermal Process)を2ステップ以上に分けたプロセスを採用することにより、ポリシリコン膜302を完全にシリサイド化させる。この際にシリサイド化物が体積膨張するのであるが、上記のようにゲート部上にサイドウォール状に残っているストッパ312が機能するため、幅狭・幅広の各ゲート部とも膨張が抑制される。また幅広のゲート部は上記のように予めエッチバックされているので、中心底部に未反応部分が残留することはない。熱処理の終了後に未反応のニッケル金属膜314を選択除去する。最後に、このフルシリサイド化したゲート電極315を化学的機械研磨により平坦化させる。
以上、本発明の製造方法では、ゲート電極315となるポリシリコン膜303上のハードマスク酸化膜304を一度完全に除去し、その後に同種のハードマスク酸化膜311を再度堆積し再度エッチバックし、そのときにハードマスク酸化膜311が前記ポリシリコン膜303上の端部にサイドウォール状に残る構造をストッパ312として利用して、シリサイド化反応を起こすときの膨張を規整するようにしたので、ゲート堆積膨張に起因するゲートリークの発生を防止することが可能となる。
線幅が大きいポリシリコン膜303については、中央部をエッチバックして厚みを小さくしてから、ニッケル金属膜314を形成し、シリサイド化させるようにしたので、未反応部分が残るのを防止することが可能となり、組成バラツキの発生を防止できる。なお線幅効果(ここで言うポリシリコン膜303の中央部におけるシリサイド未反応部分)が出始めるのは100 nm付近以上であるため、上記のように幅100 nm以上を目安としてこの方法を適用することができる。ポリシリコン膜303のエッチバック後の膜厚40−60nm、および金属膜としてニッケル膜の膜厚5−15nmは、組成バラツキのないシリサイド電極を形成するために最適なポリシリコンと金属膜の割合である。
シリサイド化のための熱処理は、反応温度400−600℃にての急速加熱プロセスを2ステップ以上に分けて行うようにしたので、ポリシリコンを完全にシリサイド化することができる。このようにゲート電極315をフルシリサイド化することにより、素子の動作速度を早くすることができる。ゲート絶縁膜302の膜厚を2−5nmに、ゲート電極315の完成後の厚さを150−200nmにすることも、素子の動作速度を早くする。
ストッパ312は、高さ40−80nm、幅10−40nmとなるように形成すれば(上記の実施形態では幅10−20nmとしている)、またファセット(斜面)を有するように形成すれば、シリサイド化を妨げることなく、ストッパとしての効果を発揮することができる。
ポリシリコン膜303およびハードマスク膜304の側面のサイドウォールは、シリコン酸化膜306とシリコン窒化膜307とにより構成しているので、半導体装置の信頼性が向上する。
本発明に係る製造方法によれば、FUSIゲートトランジスタのゲート電極を形成する際のゲート堆積膨張を抑制し、ゲート堆積膨張に起因するゲートリーク等のデバイスとして致命的な問題の解決が可能であるとともに、ゲート幅が100 nm以上となるパターンでの電極の組成変化を抑制し、抵抗バラツキを抑制してのデバイス製造が可能となる。かかる製造方法、FUSI構造は、トランジスタを備えた半導体デバイス全般(メモリでもロジックでも)に適用することができ、低抵抗化し、動作速度を速めることができるため有用である。
300 シリコン基板
301 HDP−NSG
302 ゲート絶縁膜
303 ポリシリコン膜
304 ハードマスク酸化膜
305 浅接合用不純物注入領域
306 サイドウォール酸化膜
307 サイドウォール窒化膜
308 ソースドレイン領域
309 ライナー窒化膜
310 SA−NSG膜
311 ハードマスク酸化膜
312 ストッパ
313 レジスト
314 ニッケル金属膜
315 ゲート電極
301 HDP−NSG
302 ゲート絶縁膜
303 ポリシリコン膜
304 ハードマスク酸化膜
305 浅接合用不純物注入領域
306 サイドウォール酸化膜
307 サイドウォール窒化膜
308 ソースドレイン領域
309 ライナー窒化膜
310 SA−NSG膜
311 ハードマスク酸化膜
312 ストッパ
313 レジスト
314 ニッケル金属膜
315 ゲート電極
Claims (12)
- 半導体基板に絶縁性素子分離領域を形成する工程と、
前記半導体基板上にゲート絶縁膜とポリシリコン膜とハードマスク膜とを形成し、これらの膜を電極形状にパターニングする工程と、
前記半導体基板にイオン注入する工程と、
前記ポリシリコン膜および前記ハードマスク膜の側面にサイドウォールを形成する工程と、
前記半導体基板にさらにイオン注入する工程と、
前記ハードマスク膜を除去し、前記ポリシリコン膜の上面の端部に当該ポリシリコン膜の形状を規整するためのストッパを形成する工程と、
前記ストッパが形成されたポリシリコン膜上に金属膜を形成し、熱処理を施すことにより、シリサイド化された電極を形成する工程とを含む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ストッパを形成する工程では、前記ハードマスク膜を除去した後の前記ポリシリコン膜の上面に再びハードマスク膜を形成し、このハードマスク膜をエッチバックしてその一部を前記ストッパとして残すことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ストッパは、高さ40−80nm、幅10−20nmとなるように形成することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記電極を形成する工程では、線幅の大きい前記ポリシリコン膜の中央部をエッチバックし、その後に前記金属膜を形成することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ポリシリコン膜のエッチバック後の膜厚を40−60nmとし、前記金属膜としてニッケル膜を膜厚5−15nmにて形成することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記電極を形成する工程では、前記熱処理を、反応温度を400−600℃とする急速加熱プロセスを2ステップ以上に分けて行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成された電極が、シリサイド化されてなり、電極形状を規整するストッパを内部側方に有していることを特徴とする半導体装置。
- 前記電極の両側面にサイドウォールを有していることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記サイドウォールはシリコン酸化膜とシリコン窒化膜とからなることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記ゲート絶縁膜の膜厚は2−5nmであり、前記電極の厚さは150−200nmである
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 前記ストッパは、幅10−40nm、高さ40−80nmであって、他面にファセットを有することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記電極はフルシリサイド化されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
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2006
- 2006-09-14 JP JP2006248814A patent/JP2008071914A/ja active Pending
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JP2013239706A (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Renesas Electronics Corp | 置換金属ゲートトランジスタおよびその製造方法 |
JP2018026578A (ja) * | 2012-05-16 | 2018-02-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 置換金属ゲートトランジスタおよびその製造方法 |
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