JP2008069404A - 真空浸炭炉加熱室の前処理方法 - Google Patents
真空浸炭炉加熱室の前処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008069404A JP2008069404A JP2006248851A JP2006248851A JP2008069404A JP 2008069404 A JP2008069404 A JP 2008069404A JP 2006248851 A JP2006248851 A JP 2006248851A JP 2006248851 A JP2006248851 A JP 2006248851A JP 2008069404 A JP2008069404 A JP 2008069404A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating chamber
- oxygen
- furnace
- partial pressure
- oxygen partial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
【解決手段】真空浸炭炉1の加熱室6内にワークを搬入せずに、加熱室を閉塞密閉し、加熱・真空引きし、加熱室内の酸素分圧が所定値以下になるまで、炉内構造物の吸着酸素を排出する。加熱室を再起動後に加熱室内を加熱及び真空引きし、加熱室内の酸素分圧が所定値以下でない時、バーンアウト完了後、炉内構造物の交換後等の加熱室内構造物の吸着酸素が大になった場合に前処理を行う。加熱室を真空浸炭処理温度下とし、加熱室の酸素分圧の所定値を1×10-19.6atm以下とする。酸素分圧測定はジルコニア式酸素センサーを用いる。真空浸炭時には、ジルコニア式酸素センサーと加熱室の炭化水素系ガスとが接触反応しないようにする。
【選択図】 図1
Description
5 中間扉
6 加熱室
16 炉内構造物(断熱材、セラミックスヒータ、セラミックスレール)
30 ジルコニア式酸素センサー
Claims (5)
- 加熱室内に鉄系ワークを搬入し、炭化水素系ガスを減圧高温下で分解させ炭素を前記ワークの鉄表面で反応させ、前記ワーク表面の浸炭を行う真空浸炭炉において、前記加熱室内にワークを搬入することなく、前記加熱室の中間扉を閉塞密閉し、前記加熱室内を加熱及び真空引きし、前記加熱室内の酸素分圧が所定値以下になるまで、前記加熱室内の炉内構造物の吸着酸素を排出することを特徴とする真空浸炭炉加熱室の前処理方法。
- 前記加熱室の前処理方法は、前記加熱室の炉内構造物の吸着酸素が多くなった場合に行うことを特徴とする請求項1に記載の真空浸炭炉加熱室の前処理方法。
- 前記加熱室の加熱後の真空浸炭処理温度下で前記酸素分圧の所定値は1×10-19.6atm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の真空浸炭炉加熱室の前処理方法。
- 前記酸素分圧はジルコニア式酸素センサーを用いて測定することを特徴とする請求項1又は2又は3記載の真空浸炭炉加熱室の前処理方法。
- 少なくとも真空浸炭時には、前記ジルコニア式酸素センサーと前記加熱室の炭化水素系ガスとが接触反応しないようにすることを特徴とする請求項4記載の真空浸炭炉加熱室の前処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006248851A JP4605718B2 (ja) | 2006-09-14 | 2006-09-14 | 真空浸炭炉加熱室の前処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006248851A JP4605718B2 (ja) | 2006-09-14 | 2006-09-14 | 真空浸炭炉加熱室の前処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008069404A true JP2008069404A (ja) | 2008-03-27 |
JP4605718B2 JP4605718B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=39291249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006248851A Active JP4605718B2 (ja) | 2006-09-14 | 2006-09-14 | 真空浸炭炉加熱室の前処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4605718B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015162989A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | 株式会社Ihi | 浸炭装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9212416B2 (en) | 2009-08-07 | 2015-12-15 | Swagelok Company | Low temperature carburization under soft vacuum |
AU2013210034A1 (en) | 2012-01-20 | 2014-09-11 | Swagelok Company | Concurrent flow of activating gas in low temperature carburization |
JP5830586B1 (ja) | 2014-07-23 | 2015-12-09 | 株式会社Ihi | 浸炭装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62202071A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | アルミニウム材のイオン窒化方法 |
JPH02115357A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-27 | Honda Motor Co Ltd | バッチ浸炭炉の炉休処置方法 |
JPH06145781A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Nippon Techno:Kk | 雰囲気熱処理炉 |
JPH0778775A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-20 | Applied Materials Inc | 超真空に対する真空チャンバの真空引き及び掃気方法 |
JPH10219417A (ja) * | 1997-02-12 | 1998-08-18 | Mazda Motor Corp | 浸炭炉内ガス分析用採集管の自動清掃装置 |
JP2001257197A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 半導体デバイスの製造方法および製造装置 |
JP2004059959A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Oriental Engineering Co Ltd | 真空浸炭方法及び真空浸炭装置 |
-
2006
- 2006-09-14 JP JP2006248851A patent/JP4605718B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62202071A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | アルミニウム材のイオン窒化方法 |
JPH02115357A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-27 | Honda Motor Co Ltd | バッチ浸炭炉の炉休処置方法 |
JPH06145781A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Nippon Techno:Kk | 雰囲気熱処理炉 |
JPH0778775A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-03-20 | Applied Materials Inc | 超真空に対する真空チャンバの真空引き及び掃気方法 |
JPH10219417A (ja) * | 1997-02-12 | 1998-08-18 | Mazda Motor Corp | 浸炭炉内ガス分析用採集管の自動清掃装置 |
JP2001257197A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Hitachi Ltd | 半導体デバイスの製造方法および製造装置 |
JP2004059959A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Oriental Engineering Co Ltd | 真空浸炭方法及び真空浸炭装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015162989A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | 株式会社Ihi | 浸炭装置 |
CN106103786A (zh) * | 2014-04-23 | 2016-11-09 | 株式会社Ihi | 渗碳装置 |
JPWO2015162989A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2017-04-13 | 株式会社Ihi | 浸炭装置 |
US9926621B2 (en) | 2014-04-23 | 2018-03-27 | Ihi Corporation | Carburizing device |
CN106103786B (zh) * | 2014-04-23 | 2019-01-11 | 株式会社Ihi | 渗碳装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4605718B2 (ja) | 2011-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3531736B2 (ja) | 浸炭方法及び浸炭装置 | |
KR101035635B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP4605718B2 (ja) | 真空浸炭炉加熱室の前処理方法 | |
JP5883727B2 (ja) | ガス窒化及びガス軟窒化方法 | |
KR100591723B1 (ko) | 산화처리방법 및 산화처리장치 | |
EP1271636A1 (en) | Thermal oxidation process control by controlling oxidation agent partial pressure | |
US20080073002A1 (en) | Carburization treatment method and carburization treatment apparatus | |
JP6552209B2 (ja) | 金属製ばねの製造方法及び製造装置 | |
JP2007131936A (ja) | 真空浸炭炉のバーンアウト方法 | |
JP2004059959A (ja) | 真空浸炭方法及び真空浸炭装置 | |
JPH06172960A (ja) | 真空浸炭方法 | |
EP0859068B1 (en) | Method for controlling the atmosphere in a heat treatment furnace | |
US9109277B2 (en) | Method and apparatus for heat treating a metal | |
JP4614359B2 (ja) | 加熱室の酸素分圧検出方法 | |
US7276204B2 (en) | Carburization treatment method and carburization treatment apparatus | |
EP0859067B1 (en) | Method and apparatus for controlling the atmosphere in a heat treatment furnace | |
JP2020105541A (ja) | 浸炭設備および浸炭設備のバーンアウト終了判定方法 | |
JP4255815B2 (ja) | ガス浸炭方法 | |
JP2013049898A (ja) | 真空加熱炉の絶縁抵抗改善方法 | |
JP6031313B2 (ja) | 浸炭処理方法 | |
US20230296322A1 (en) | Apparatus and process for predicting metal heat treatment system failures | |
JP2005220390A (ja) | 真空浸炭方法および装置 | |
JP2022015386A (ja) | 浸炭装置および浸炭方法 | |
JPS63759Y2 (ja) | ||
JP2024061385A (ja) | バーンアウト実施タイミングの判定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100629 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100921 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4605718 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131015 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |