JP2020105541A - 浸炭設備および浸炭設備のバーンアウト終了判定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 浸炭室
2a 炉壁
2b 炉壁
2c 扉(炉壁)
2d 炉壁
3 断熱材
4 ガス供給管
5 浸炭ガス供給源
6 空気供給源
7 排気用ポート
7a 排気用ポートの水平部
7b 排気用ポートの鉛直部
8 排気管
9 排気ポンプ
10 温度計
11 圧力計
12 水素濃度計
13 水素センサ
14 ポート
15 制御部
Claims (4)
- 浸炭処理が行われる浸炭室と、
前記浸炭室に接続されたガス供給管と、
前記ガス供給管に接続された空気供給源と、
前記浸炭室内の水素ガス圧力を測定する水素センサと、
前記水素センサで測定された水素ガス圧力に基づいてバーンアウトが終了したか否かの判定を行うように構成された制御部と、を備えた、浸炭設備。 - 前記水素センサは、前記浸炭室の排気用ポートに位置している、請求項1に記載の浸炭設備。
- 浸炭処理が行われた浸炭室に空気を供給してバーンアウトを実施する際に、前記浸炭室内の水素ガス圧力を測定し、
測定された水素ガス圧力に基づいて前記バーンアウトが終了したか否かの判定を行う、浸炭設備のバーンアウトの終了判定方法。 - 前記浸炭室の排気用ポートに位置する水素センサで前記水素ガス圧力を測定する、請求項3に記載の浸炭設備のバーンアウトの終了判定方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02115357A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-27 | Honda Motor Co Ltd | バッチ浸炭炉の炉休処置方法 |
JPH04317309A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-09 | Tdk Corp | 積層コンデンサの製造方法 |
JP2002212702A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-07-31 | Oriental Engineering Co Ltd | 浸炭方法及び浸炭装置 |
JP2007131936A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Nachi Fujikoshi Corp | 真空浸炭炉のバーンアウト方法 |
JP2011026627A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Oriental Engineering Co Ltd | 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法 |
JP2013256687A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Toyota Gakuen | ガス浸炭方法 |
-
2018
- 2018-12-26 JP JP2018242343A patent/JP7240172B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02115357A (ja) * | 1988-10-24 | 1990-04-27 | Honda Motor Co Ltd | バッチ浸炭炉の炉休処置方法 |
JPH04317309A (ja) * | 1991-04-16 | 1992-11-09 | Tdk Corp | 積層コンデンサの製造方法 |
JP2002212702A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-07-31 | Oriental Engineering Co Ltd | 浸炭方法及び浸炭装置 |
JP2007131936A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Nachi Fujikoshi Corp | 真空浸炭炉のバーンアウト方法 |
JP2011026627A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Oriental Engineering Co Ltd | 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法 |
JP2013256687A (ja) * | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Toyota Gakuen | ガス浸炭方法 |
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