JP2008064211A - 弁装置及びダイヤフラム式真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】簡易構造の弁装置及びダイヤフラム式真空ポンプを提供する。
【解決手段】弁装置５０を、弁部材５５と弁シート８０とからなる第一逆止弁体５４を備えたものとした。弁部材５５は、合成樹脂製（プラスチックゴム）で可撓性があり、傾斜撓み部５５ｂを具備している。そして、該第一逆止弁体５４が第一弁座８１に載置され、傾斜撓み部５５ｂが撓むことによって当該第一逆止弁体５４を弾縮させて第一連通路４６ａを開通するようにした。また、ダイヤフラム式真空ポンプ１は、第一逆止弁体５４を第一弁座８１に、第二逆止弁体７５を第二弁座８５に載置し、ピストン３３を繰り返し進退させることにより、吸引空部７８を真空状態とするようにした。
【選択図】図４

Description

本発明は、流動体の流動方向を一方向に限定する逆止弁体を備えた弁装置、及び該逆止弁体を備えたダイヤフラム式真空ポンプに関するものである。

従来、真空ポンプとしては様々な構成が提案されている。例えば、油回転ポンプ、ルーツポンプ、又はダイヤフラム式ポンプ等がある（例えば、特許文献１参照）。また、真空ポンプ内には、逆止弁（いわゆるチェック弁）が用いられていることが一般的であり、この逆止弁についても各種提案されている。例えば、ボール弁体タイプ、円錐ポペットタイプ、ポペットタイプ、ノズルフラッパータイプ、スィングタイプ、アンブレラータイプ等が既に提案されている。これら従来の逆止弁は、流動体が通過する流動路を適宜開通又は遮蔽して流動方向を一方向に限定するものであり、公知のバネが取り付けられて流動路内で開通位置と遮蔽位置とに繰返し位置変換される。

また、例えば自動車製造工場内の生産ラインにあって、自動車の窓ガラス等のワークを工場内で移送する構成として、前記真空ポンプと吸着パッドとを組み合わせた吸着システムが採用されている場合があることは良く知られている。具体的には、弾性材料からなる切頭円錐形の吸着パッドの先端をワークに圧着し、かつ真空ポンプで吸着パッド内を真空状態とすることにより、吸着パッド先端でワークを保持するものである。かかる構成とすることにより、表面を傷つけることなくかつ迅速にワークを所望箇所に移送することができる。このような吸着システムとしては、例えば図１８に示されるように、工場内にある大型の真空ポンプから枝分かれ状に複数の空気配管を配設して各生産ラインまで行き渡らせ、各空気配管の先端にそれぞれ吸着パッドを取り付けて各生産ラインで作業を可能とする構成が提案されている。このように、空気配管を工場内に多数配設することにより、工場内の複数の生産ライン上でワークの移送作業が可能となる。また、別の例として、図１９に示されるように、工場内にある大型のエアーコンプレッサーから枝分かれ状に多数の空気配管を配設し、各空気配管の先端にエアーバルブと真空エジェクタ等で構成される真空エジェクタユニットを形成する構成もある。かかる構成にあっても、複数の生産ライン上で吸着パッドを使用して、適宜ワークを移送することが可能となる。

特開２００６−１１２３７８号公報

しかしながら、上記構成の逆止弁を有する真空ポンプにあっては、スプリング力に抗して逆止弁を開弁させる際に負荷が大きく、これにより逆止弁を開弁させるための構造が大型化してしまう問題があった。また、特にコイルバネを用いた場合は、スプリング力が安定しない問題があった。また、上記構成の吸着システムにあっては、工場内に多数の空気配管が配設されるため、当該空気配管の設置に係る手間やコストが問題となっていた。また、工場内に多数設けられた空気配管の維持メンテナンスが面倒であると共に、工場内、或いは吸着パッド周囲の作業スペースが煩雑となり、また無駄なスペースが生じやすいという問題があった。さらに、空気配管の全長が長くなると、吸着パッド先端でのエネルギー損失が無視できなくなり、エネルギー効率の問題が懸念されていた。

そこで、本発明者は、上記問題を解決することができる構成を見出した。本発明は、上記問題を解決することができる弁装置、及びダイヤフラム式ポンプを提供することを目的とする。

本発明は、
第一空部と第二空部とを区画する隔壁に設けられて両空部を連通する連通路の、第一空部側開口端に形成された弁座に座着することにより第一空部側で該連通路を被覆し、第一空部と第二空部とを流通する流動体の流動方向を一方向に限定する逆止弁体を備えた弁装置であって、
前記逆止弁体は、
有底容器形状をなし、前記連通路を遮蔽する遮蔽板部、該遮蔽板部の周縁から上方へ連成されて縮径した薄肉筒状の傾斜撓み部、及び該傾斜撓み部の上端に連成され、内部と連通する連通孔部を内方に具備した連通頂部により構成されてなると共に、
前記逆止弁体の連通頂部を保持して当該逆止弁体の遮蔽板部を前記弁座上に座定する逆止弁体保持手段を備え、
第一空部が第二空部に比して高圧となると、差圧によって逆止弁体の遮蔽板部が弁座に付勢されて連通路が遮蔽され、
第一空部が第二空部に比して低圧となると、差圧によって第二空部の流動体が、逆止弁体の遮蔽板部を押圧し、傾斜撓み部が撓むことにより当該遮蔽板部と弁座とが離間して開通した連通路を介して第一空部に流入するものであることを特徴とする弁装置である。

かかる構成にあって、逆止弁体は上述のように連通孔部を介してその内空部と外部とが連通した形状をしている。したがって、当該逆止弁体が配置される第一空部が第二空部に比して高圧となると、これに伴い該逆止弁体の内圧も高圧となる。そうすると、当該逆止弁体の遮蔽板部が内側から外方向へ押圧されて弁座に付勢されることとなり、遮蔽板部と弁座とが強く密着する。これにより、連通路が遮蔽状態となって流動体が当該連通路を通過不能となり、第一空部と第二空部との間で流動体の移動が阻止されることとなる。一方、第一空部が第二空部に比して低圧となると、その差圧により第二空部にある流動体が第一空部へ流動しようとする。ここで、第二空部にある流動体は、連通路を被覆する遮蔽板部を外側から押圧する。そうすると、その流動圧に起因して当該逆止弁体の傾斜撓み部が撓んで当該逆止弁体が弾縮し、遮蔽板部が弁座から離間することとなる。そして、これにより生じた遮蔽板部と弁座との隙間から、第二空部にある流動体が第一空部へ流入することとなる。このようにして逆止弁体の遮蔽板部が弁座に付勢される遮蔽位置、又は弁座から離間する開通位置とに位置変換されることにより、流動体の流動方向が一方向に限定されることとなる。なお、本発明に係る第一空部及び第二空部は、共に所定の室内空間に形成される構成であっても良いし、一方の空部が外界であっても良い。また、遮蔽板部と弁座とが離間するとは、物理的に完全に離間している必要はなく、流動体が連通路を流動することができる程度に離間していれば良い。

なお、逆止弁体の形状としては、次のような構成が提案される。
すなわち、逆止弁体が、有底容器形状をなし、連通路を遮蔽する遮蔽板部、該遮蔽板部の周縁から起立してなる筒状の起立胴部、該起立胴部の上端から連成されて縮径した薄肉筒状の傾斜撓み部、及び該傾斜撓み部から上方へ連成され、内部と連通する連通孔部を内方に具備した環状頂部により構成されるものである。

また、逆止弁体は、その内部の遮蔽板部上に、当該遮蔽板部より硬質の受圧部材を接触状に配設した構成が提案される。

かかる構成にあって、逆止弁体の内圧が高くなり、その内部に配置された受圧部材がその表面でかかる内圧を受圧すると、当該受圧部材が遮蔽板部に面接触した状態で当該遮蔽板部を外方に押圧し、弁座に押し付けることとなる。ここで、受圧部材は、遮蔽板部より硬い材質で構成されるため、遮蔽板部が弁座に付勢される際に、逆止弁体の座屈及び遮蔽板部の撓み等が防止されて当該遮蔽板部が弁座に均一に圧着されることとなり、連通路の遮蔽の精度が向上することとなる。

また、弁座上に、逆止弁体の遮蔽板部と線接触状に当接する環状隆部が連通路の開口端を囲繞するように周成されてなる構成が提案される。

このように遮蔽板部と弁座とを線接触状に当接させて、遮蔽板部と弁座とが面接触する構成に比して相互の接触面積を減少させることにより、相互の接触圧を高め、遮蔽板部と弁座とを一層強く密着させることが可能となる。したがって、連通路の遮蔽の精度を向上させることができる。

また、本発明は、
内部を気体が流通する筒形状のポンプ筐体と、
ポンプ筐体内に配設され、当該ポンプ筐体内を第一ポンプ室と第二ポンプ室とに区画する薄膜状のダイヤフラムと、
第一ポンプ室内に進退可能に配設され、かつ内空部が前記ダイヤフラムを縦断する中央連通路を介して第二ポンプ室内と連通する、一端が前記ダイヤフラムに連結されてなる内筒体と、
内筒体を第一ポンプ室内で当該筒方向に進退させてダイヤフラムを撓ませる内筒体進退手段と、
内筒体の内空部で、外気と連通する外気連通空部と、中央連通路が配される中間空部とに区画する隔壁に設けられて両空部を連通する第一連通路と、
第一連通路の外気連通空部側開口端に形成された第一弁座に座着する第一逆止弁体と、
第一逆止弁体を保持して当該第一逆止弁体を第一弁座上に座定する第一逆止弁体保持手段と、
第二ポンプ室内を中間空部と吸引空部とに区画する隔壁に設けられて両空部を連通する第二連通路と、
第二連通路の中間空部側開口端に形成された第二弁座に座着する第二逆止弁体と、
第二逆止弁体を保持して当該第二逆止弁体を第二弁座上に座定する第二逆止弁体保持手段と
を備え、
第一逆止弁体及び／又は第二逆止弁体は、
有底容器形状をなし、各弁座にある連通路開口端を遮蔽する遮蔽板部、該遮蔽板部の周縁から上方へ連成されて縮径した薄肉筒状の傾斜撓み部、及び該傾斜撓み部の上端に連成され、内部と連通する連通孔部を内方に具備した連通頂部により構成されてなると共に、
内筒体進退手段が内筒体を退避させて、中間空部が吸引空部に比して低圧となると、差圧によって吸引空部の気体が、第二連通路を介して中間空部に流入し、
内筒体進退手段が内筒体を進出させて、中間空部が外気に比して高圧となると、第二連通路が遮蔽されると共に、差圧によって中間空部の気体が、第一連通路を介して外気連通空部に流入するものであることを特徴とするダイヤフラム式真空ポンプである。

かかる構成にあって、例えば第一逆止弁体が上記有底容器形状の本発明に係る構成である場合、内筒体がポンプ筐体内で退避すると、中間空部の容積が拡大して、中間空部が吸引空部に比して低圧となる。そうすると、中間空部と吸引空部との間に生じた差圧によって吸引空部にある気体が中間空部に流動する（吸引される）こととなる。これと共に、中間空部と外気連通空部との間に生じた差圧によって外気連通空部にある気体が、第一連通路を介して中間空部へ流動しようとする。ここで、第一弁座にある第一逆止弁体は連通孔部を介して内外が連通している形状であるため、中間空部方向の流動圧によって第一逆止弁体の内圧が高まって、当該遮蔽板部を内側から外方向に押圧することとなる。そうすると、遮蔽板部が第一弁座に付勢されて第一連通路が遮蔽され、気体の通過が不能となる。したがって、かかる場合には、外気が中間空部内に流入することがなく、確実に吸引空部の気体が吸引されることとなる。一方、内筒体がポンプ筐体内で進出すると、中間空部の容積が減少して、中間空部が外気連通空部に比して高圧となり、中間空部にある気体が外気連通空部に流動しようとする。ここで、中間空部から外気連通空部に流動しようとする気体は、第一逆止弁体の遮蔽板部を外側から押圧する。そうすると、この流動圧により傾斜撓み部が撓んで当該第一逆止弁体が弾縮し、遮蔽板部と第一弁座とが離間することとなる。そして、この隙間により第一連通路が開通して該第一連通路を介して中間空部の気体が外界に排気されることとなる。ここで、第二逆止弁体は、第二連通路を適宜開通又は遮蔽する公知の逆止弁体が好適に採用されうる。

また、例えば第二逆止弁体が本発明に係る構成である場合、内筒体がポンプ筐体内で退避すると、中間空部と吸引空部との間に生じた差圧によって吸引空部にある気体が、第二連通路上にある第二逆止弁体の遮蔽板部を外側から押圧することとなる。ここで、遮蔽板部が外側から押圧されると、第二弁座に座定されている当該第二逆止弁体の傾斜撓み部が撓むこととなり、当該第二逆止弁体が弾縮して当該遮蔽板部と第二弁座とが離間することとなる。すなわち、第二連通路が開通することとなって、吸引対象である吸引空部にある気体が第二連通路を介して中間空部に流動する（吸引される）こととなる。一方、内筒体がポンプ筐体内で進出すると、中間空部から吸引空部に流動しようとする気体は、第二逆止弁体の内圧を高めて遮蔽板部を第二弁座に付勢する。したがって、第二連通路が遮蔽され、結局中間空部から吸引空部への空気流出は阻止されることとなる。ここで、第一逆止弁体は、第一連通路を適宜開通又は遮蔽する公知の逆止弁体が好適に採用されうる。

さらに、第一逆止弁体及び第二逆止弁体が本発明に係る構成である場合は、内筒体がポンプ筐体内で退避すると、中間空部の容積が拡大して、中間空部が吸引空部に比して低圧となる。そうすると、中間空部と吸引空部との間に生じた差圧によって吸引空部にある気体が、第二連通路を介して中間空部側に流動しようとし、第二連通路上にある第二逆止弁体の遮蔽板部を外側から押圧することとなる。ここで、遮蔽板部が外側から押圧されると、第二弁座に座定されている当該第二逆止弁体の傾斜撓み部が撓むこととなり、当該第二逆止弁体が弾縮して当該遮蔽板部と第二弁座とが離間することとなる。すなわち、第二連通路が開通することとなって、吸引対象である吸引空部にある気体が第二連通路を介して中間空部に流動する（吸引される）こととなる。これと共に、中間空部と外気連通空部との間に生じた差圧によって外気連通空部にある気体が、第一連通路を介して中間空部へ流動しようとする。ここで、第一弁座にある第一逆止弁体は連通孔部を介して内外が連通している形状であるため、中間空部方向の流動圧によって第一逆止弁体の内圧が高まって、当該遮蔽板部を内側から外方向に押圧することとなる。そうすると、遮蔽板部が第一弁座に付勢されて第一連通路が遮蔽され、気体の通過が不能となる。したがって、かかる場合には、外気が中間空部内に流入することがなく、確実に吸引空部の気体が吸引されることとなる。一方、内筒体がポンプ筐体内で進出すると、中間空部の容積が減少して、中間空部が他の空部に比して高圧となり、中間空部にある気体が他の空部に流動しようとする。ここで、中間空部から吸引空部に流動しようとする気体は、第二逆止弁体の内圧を高めて遮蔽板部を第二弁座に付勢する。したがって、第二連通路が遮蔽され、結局中間空部から吸引空部への空気流出は阻止されることとなる。また、中間空部から外気連通空部に流動しようとする気体は、第一逆止弁体の遮蔽板部を外側から押圧して該遮蔽板部と第一弁座とを離間させ、開通した第一連通路を介して外界に排気されることとなる。

以上より、内筒体がポンプ筐体内で繰返し進退すると、吸引空部への空気流入は阻止されながら当該吸引空部の空気は順次外界へ排気されることとなるため、吸引空部が真空状態に到達することとなる。

また、ポンプ筐体の一端に、ワーク表面に接触して当該ワークを移送可能に保持する切頭円錐形の吸着パッドが配設された構成にあって、
前記吸着パッドは、その内空と吸引空部とが連通するように配設され、内筒体進退手段が内筒体を進退させて吸引空部にある気体が吸引されることにより、吸着パッドがワークを保持するようにしても良い。

かかる構成とすることにより、内筒体が繰返し進退して吸引空部が真空状態となるに伴い、吸着パッド内も真空状態となって、好適に吸着パッドがワークを保持することが可能となる。

また、内筒体進退手段は、内筒体を進退させる駆動源を備え、該駆動源が電源である構成が提案される。

かかる構成とすることにより、電源を用いて内筒体をポンプ筐体内で進退させ、吸引空部を真空状態とすることが可能となる。換言すれば、吸引空部を真空状態とするために、大型の真空ポンプに接続された空気配管を、別途、該吸引空部に接続する必要が無くなる。

本発明は、簡易構造の成形体からなる逆止弁体を具備した弁装置としたため、逆止弁体が一体化できると共に、装置全体の設計が従来に比して容易となる効果がある。また、可撓性の傾斜撓み部が撓むことによってスプリング力が発生するため、一定のスプリング力が安定して生ずる効果がある。また、従来に比して微弱な外力で連通路を開閉制御することができる利点もある。

また、上記構成にあって、遮蔽板部上に受圧部材を配設した構成とした場合は、逆止弁体の内圧が高くなって受圧部材がその表面で受圧した際に、逆止弁体の座屈又は遮蔽板部の撓みを防止して遮蔽板部を弁座に均一に圧着することができる。したがって、連通路の遮蔽の精度を向上させる効果がある。

また、弁座上に環状隆部を配設して遮蔽板部と環状隆部とを線接触する構成とした場合は、遮蔽板部と弁座とを面接触する構成に比して相互の接触面積を減少させて接触圧を高めることができ、連通路の遮蔽の精度を向上させることができる効果を奏する。

また、本発明は、簡易構造の成形体からなる逆止弁体を少なくとも備えたダイヤフラム式ポンプとしたため、全体構成が従来に比して簡易構造となる利点がある。また、前記逆止弁体は、従来に比して微弱な外力で連通路を開閉制御することができるため、ポンプ内における圧力変動に対して応答性が向上し、内筒体の進退ストローク長を従来に比して短くすることができる効果がある。また、これにより、ポンプ全体が小型化されることとなる。

また、上記構成にあって、吸着パッドを備えた構成とした場合は、吸着パッド内を好適に真空状態とすることが可能となり、吸着パッドを用いた円滑な作業が実現できる。

また、駆動源を電源とした場合は、真空状態を生成するために別途空気配管を配設する必要がなくなるため、空気配管を設ける手間又は維持メンテナンスが省けると共に、真空ポンプ周りの作業スペースが有効利用できる利点がある。さらに、空気配管がないため、吸引空部が真空状態となる過程でエネルギー損失を考慮する必要が無い利点もある。

本発明に係るダイヤフラム式真空ポンプ１（以下、真空ポンプ１という。）の実施例を添付図面に従って説明する。なお、かかる真空ポンプ１は、一般的な工場内で使用されるものであり、その内部には空気（流動体）が流動することとなる。

まず、真空ポンプ１の外観構成を説明する。なお、下記に示す真空ポンプ１の説明のなかでは、便宜的に上下方向を規定している。しかし、真空ポンプ１自体は様々な方向又は態様で使用されることが当然予測されるものであり、本発明は、上下方向につき下記の例に限定されるものではない。

図１に示されるように、真空ポンプ１は最上部に駆動装置７を備えている。この駆動装置７は、駆動源を電源とした公知の回転モーター８により構成されている。また、この回転モーター８の前面には、金属製の補助支持板９が取り付けられており、この補助支持板９の下端と、金属製板材のモータープレート６の端部とが六角穴付きボルト１２を介してＬ字状に固結されている。なお、回転モーター８の前面には、回転軸１５が突出状に設けられており、該回転軸１５がモータープレート６の上面に臨ませてある。

さらに、モータープレート６の上面には、図１、図２又は図４に示されるように、回転モーター８の回転軸１５に連結されるリンク部２が配設されている。これに対して、モータープレート６の下面には、円筒状のガイドケース３が配設されていると共に、該ガイドケース３の下方に、角筒状のポンプボディ４が配設されている。これらガイドケース３とポンプボディ４とにより、真空ポンプ１の主な外形が構成される。ここで、ガイドケース３とポンプボディ４とにより、本発明に係るポンプ筐体が構成される。

また、ポンプボディ４の下端には、図１、図３又は図４に示されるように、円筒状の突状連結部１８が突設されている。そして、このポンプボディ４の突状連結部１８には、公知の吸着パッド１００が装着される。具体的には、この吸着パッド１００は、弾性材料からなるほぼ切頭円錐形のパッド本体１０２を具備し、連結具１０１により突状連結部１８に気密固定されている。そして、真空ポンプ１が駆動することにより吸着パッド１００内が真空状態となってパッド本体１０２の先端にガラス板等のワークＷが吸着し、表面を傷つけることなく当該ワークＷを移送することが可能となる。

次に、リンク部２及びガイドケース３等の内部構造について詳述する。
図２又は図４に示されるように、モータープレート６には上下に貫通した円形の貫通孔１０が設けられており、この貫通孔１０の周囲に、リンク部２及びガイドケース３がそれぞれ接続されている。

リンク部２は、単一の進退部材３０（図５参照）を備え、該進退部材３０を前記貫通孔１０内で上下方向に繰返し進退（昇降）させる機能を有している。さらに詳述すると、図４に示されるように、上述した回転モーター８の回転軸１５で径大となった太軸部１５ａには、円筒形のスペーサー２８が該太軸部１５ａと軸心方向が一致するように取り付けられており、回転軸１５と直交する止めネジ３８により、該スペーサー２８が太軸部１５ａに固定されている。ここで、スペーサー２８と太軸部１５ａとの関係にあっては、図５に示されるように、太軸部１５ａがスペーサー２８の軸心から一側（上方）へ偏位した位置に設けられており、回転軸１５が偏心軸となるように設計されている。さらに、このスペーサー２８の外周には、前記の進退部材３０が取り付けられている。具体的には、縦長形状の進退部材３０の上部に形成された左右方向に貫通する挿通孔３２に、ベアリング３１を介して前記スペーサー２８が挿通されている。

なお、前記回転軸１５の太軸部１５ａは、図２又は図４に示されるように、モータープレート６の上面であって貫通孔１０の両脇に配設された二つのベアリングホルダー２１により回転可能に支持されている。なお、各ベアリングホルダー２１は、その内部に回転軸１５（太軸部１５ａ）を回転可能に支持するベアリング２６を具備している。また、回転軸１５の、回転モーター８とリンク部２との間には、バネ性を有した筒状のカップリング１４が装着されている。本実施例では、回転軸１５がほぼ中腹で左右に分断されており、該分断された部位にカップリング１４が装着されて相互を連結させている。かかる構成とすることにより、回転軸１５の撓みやねじれ等を緩和させることができる。

また、進退部材３０の下部には、前記挿通孔３２と平行な挿通孔３４が形成されており、この挿通孔３４に後述する連結軸３５が挿通されている。なお、この連結軸３５と挿通孔３４との間にはベアリング３６が介装されており、進退部材３０が連結軸３５に対して回転可能となっている。

次に、ガイドケース３について説明する。
図４に示されるように、縦長円筒形のガイドケース３は、上端及び下端が開放されており、その上端縁がモータープレート６の下面に六角穴付ボルト１７を介して固着されている。そして、この固定状態で、ガイドケース３の内空１３とモータープレート６の貫通孔１０とが連通して、前記の進退部材３０の下半部が、当該ガイドケース３の内空１３に配されている。

また、ガイドケース３の下端とポンプボディ４の上端との間には、薄膜状で可撓性のダイヤフラム５が介装されている。ここで、ポンプボディ４の上端面には、Ｏリング収納溝５２が周成されており、このＯリング収納溝５２内に単一のＯリング５１が収納されて、ダイヤフラム５とポンプボディ４との間で気密が確保されている。なお、真空ポンプ１にあって、ダイヤフラム５を基準にして上方の内空部を第一ポンプ室９２とし、下方の内空部を第二ポンプ室９３としている。

また、ガイドケース３の内周面には、無給油ブッシュ３７がその周面に沿って周設されており、さらにこの無給油ブッシュ３７に、筒形状のピストン３３が上下方向へ昇降可能に配設されている。

このピストン３３の上端には、径方向で貫通状に軸穴４８が設けられており、この軸穴４８に丸棒状の連結軸３５が挿通され、かつ下向きに取り付けられる六角穴付止めネジ３９により軸穴４８内で固定されている。さらに、この連結軸３５は、上述のように、進退部材３０の下端とベアリング３６を介して連結されている。なお、ピストン３３内には上下方向の内空部４０が形成されており、この内空部４０に、上方から前記進退部材３０の下端が挿入されている。

また、ピストン３３の下端には、ダイヤフラム５の直上に配置されたほぼ円筒形のセカンドボディ４５が下方から内嵌されている。このセカンドボディ４５には、上下方向に貫通する内空部４６が形成されており、特に内空部４６の下部内周面には、後述の円筒突部６６が螺合する雌ねじが形成されている。

さらに、セカンドボディ４５の下端には、ダイヤフラム５の直下に配置された縦断面ほぼ逆Ｔ字形のフランジ押え部材６５が接続されている。このフランジ押え部材６５は、その中心に上下方向の中央連通路６７を備えると共に、周面に雄ねじが形成された円筒突部６６がその上面から上方へ突設されている。そして、この円筒突部６６は、ダイヤフラム５の中心に形成された貫通孔１１に下方から挿通されて前記セカンドボディ４５の内空部４６に螺着される。なお、ダイヤフラム５の直下であって、該ダイヤフラム５とフランジ押え部材６５との間には、薄板環形の下フランジ６１が介装され、安定的にセカンドボディ４５とダイヤフラム５とが連結可能となっている。そして、かかる連結状態にあっては、ダイヤフラム５を縦断するようにして、第二ポンプ室９３、フランジ押え部材６５の中央連通路６７、セカンドボディ４５の内空部４６、及びガイドケース３の内空部４０とがそれぞれ上下で連通している。

これまでに述べた構成にあって、回転モーター８が駆動して回転軸１５が回転すると、該回転軸１５（太軸部１５ａ）と一体的にスペーサー２８が回転する。ここで、上述のように回転軸１５は、スペーサー２８に対して偏心軸とされていると共に、該スペーサー２８に外嵌された進退部材３０の下端には、連結軸３５を介してピストン３３が連結されているため、回転軸１５の回転に伴い貫通孔１０内で進退部材３０が繰返し昇降し、さらに、この進退部材３０の上下動に伴ってピストン３３がガイドケース３内で反復移動することとなる。さらにまた、このピストン３３に固定されたセカンドボディ４５の下端には、上述のようにダイヤフラム５が接続されているため、結局、回転モーター８の駆動に起因して薄膜状のダイヤフラム５が繰返し上下に撓むこととなる。なお、前記ピストン３３及びセカンドボディ４５により、本発明に係る内筒体が構成される。また、ピストン３３及びセカンドボディ４５を昇降させる上述の駆動装置７及びリンク部２により、本発明に係る内筒体進退手段が構成される。

次に、ピストン３３及びセカンドボディ４５内部を説明する。
図４、図６又は図１３に示されるように、ほぼ円筒状のセカンドボディ４５の上端面には、平面視円環状で水平な第一弁座８１が形成されている。さらに詳述すると、セカンドボディ４５の上端部には内向きの隔壁４５ａが設けられ、セカンドボディ４５の内空部４６に径小で上下方向の第一連通路４６ａを形成している。そして、この第一連通路４６ａの外気連通空部４０ａ，４０ｂ側開口端に、ピストン３３の筒方向（上下方向）に対して直交する部位を前記第一弁座８１としている。さらに、第一弁座８１上には、有底容器形状の第一逆止弁体５４が配置されている。これにより、第一逆止弁体５４が第一連通路４６ａを上方から被覆している。このように、ピストン３３の内空部４０では、隔壁４５ａにより、第一弁座８１直上方に配される外気連通空部４０ａ，４０ｂと、第一弁座８１の下方に配され、かつ中央連通路６７を包含する中間空部４７とに区画されることとなる。ここで、図６に示されるように、第一外気連通空部４０ａは、第一逆止弁体５４の直上に位置し、第二外気連通空部４０ｂは、第一逆止弁体５４の側周に位置する。

また、図７に示されるように、ピストン３３の上半部には、上下方向の排気空路４４が設けられている。さらに詳述すると、二つの排気空路４４が、中央に配された前記の内空部４０の両脇に設けられており、その下端は、第一逆止弁体５４の側周に位置する第二外気連通空部４０ｂと連通し、一方上端は、進退部材３０の直下で上方開口して真空ポンプ１が属する外界と連通している。

なお、後述するように、この第一逆止弁体５４は、中間空部４７から外気連通空部４０ａ，４０ｂにのみ空気の流動を可能とする弁装置５０を構成するものである。また、後で詳述するように、第一逆止弁体５４は、全体として上方開口した有底容器形状となるが（図６，図１０，図１１参照）、具体的には弁部材５５、及び弁シート８０で構成されている。

次に、ポンプボディ４内部を説明する。
図４又は図８に示されるように、ポンプボディ４の内部である第二ポンプ室９３のほぼ中腹には、内向きの隔壁８４が形成されている。この隔壁８４は、第二ポンプ室９３で、上側の中間空部４７と、下側の吸引空部７８とに区画するものである。また、隔壁８４には、上下方向の第二連通路８７が形成され、該第二連通路８７により中間空部４７と吸引空部７８とが連通している。また、第二連通路８７の中間空部４７側開口端には、第一弁座８１と同形の第二弁座８５が形成されている。そして、第二弁座８５上には、第一逆止弁体５４と同形の第二逆止弁体７５が配置されている。この第二逆止弁体７５により、第二連通路８７が遮蔽されることとなる。

また、第二逆止弁体７５の直上には、ほぼ幅広円柱形状の弁サポート７０（図９参照）がポンプボディ４の内壁に支持されて取り付けられている。かかる構成にあって、本真空ポンプ１は、ポンプボディ４内にも、弁装置６０が配設されていることとなる。また、前記第二逆止弁体７５も、弁部材７６と弁シート８６とで構成されている。

さらに、図４に示されるように、ポンプボディ４の下端に形成された突状連結部１８の先端には、Ｏリング収納溝２２が周成され、このＯリング収納溝２２内にＯリング１９が配設されている。そして、かかるＯリング１９により、突状連結部１８とこれに連結される吸着パッド１００の連結具１０１との気密が確保されている。なお、この連結状態にあっては、吸着パッド１００の内空と前記吸引空部７８とが連通することとなる。

次に、本発明の要部に係る逆止弁体５４，７５の構成について説明する。
図６に示されるように、第一逆止弁体５４は、伏椀形の弁部材５５と、薄膜状の弁シート８０とで構成されている。ここで、弁シート８０は、弁部材５５の下縁に接着されて第一弁座８１上に乗載される。さらに詳述すると、図１３に示されるように、弁シート８０は、ほぼ薄膜円形で合成ゴム材料からなり、その周縁に半円形の切欠部８８が複数設けられている。そして、この弁シート８０は、その最外周縁が第一弁座８１を囲繞する起立壁に密接するようにして第一弁座８１上に配置されている。

一方、図６、図１０又は図１１に示されるように、弁部材５５は、合成樹脂製（プラスチックゴム）で可撓性があり、接着された弁シート８０上のほぼ周縁から垂直上に起立してなる筒状の起立胴部５５ｃと、該起立胴部５５ｃの上端から縮径状に連成された薄肉筒状の傾斜撓み部５５ｂと、該傾斜撓み部５５ｂから垂直状に上方へ連成された連通頂部５５ａとで構成されている。なお、連通頂部５５ａの内方には、当該弁部材５５の内部と外部とを連通する連通孔部５５ｆが設けられている。

また、上方傾斜した傾斜撓み部５５ｂの一部及び連通頂部５５ａの各外周面は、ピストン３３の内面に設けられたテーパー部を有する押え面部３３ａによって囲繞されており、かかる押え面部３３ａが斜め上方及び側方から傾斜撓み部５５ｂの一部及び連通頂部５５ａを支持することにより、第一逆止弁体５４が第一弁座８１上に位置決めされて座定される。なお、前記弁シート８０により、本発明に係る遮蔽板部５５ｄが構成される。また、ピストン３３内面の押え面部３３ａにより、本発明に係る第一逆止弁体保持手段が構成される。

また、弁部材５５の内部であって、弁シート８０の上面には、図６又は図１２に示される円柱形で金属製の受圧部材９５が接着状に配設されている。この受圧部材９５の外形は、起立胴部５５ｃの内径と同一となるように設定されている。なお、受圧部材９５は、弁シート８０を構成する可撓性の合成樹脂材料より硬質の金属材料を採用している。

また、図１４に示されるように、第一弁座８１には、上方に盛り上がる環状隆部８２が第一連通路４６ａの開口端を囲繞するように二重に周成されている。そして、弁シート８０が第一弁座８１に配置されることにより、かかる環状隆部８２の環状頂部が弁シート８０と線接触するようにしている。

また、図４又は図８に示されるように、第二逆止弁体７５は、上記弁部材５５と同一形状の弁部材７６と、上記弁シート８０と同一形状の弁シート８６とで構成されている。さらに詳述すると、弁部材７６と弁シート８６は、接着されて一体化され、弁シート８６は第二弁座８５上に乗載されている。また、弁部材７６は、該弁シート８６（遮蔽板部７６ｄ）のほぼ周縁から起立する起立胴部７６ｃと、傾斜撓み部７６ｂと、連通孔部７６ｆを内方に具備した連通頂部７６ａとで構成されている。さらに、第二逆止弁体７５にあっては、上述のように、連通頂部７６ａの外周を囲繞して保持する単一の弁サポート７０（図９参照）が配設されている。この弁サポート７０は、連通頂部７６ａが挿通される中央孔７４と、上下に貫通した連通孔７３とが形成されている。そして、中央孔７４に下方から挿入された連通頂部７６ａを側方から支持すると共に、傾斜撓み部７６ｂの上端を位置固定することにより、当該第二逆止弁体７５が第二弁座８５上に座定される。なお、弁部材７６の内部にも、上記受圧部材９５が配設されている。

次に、図１５に従って、弁装置５０について説明する。
図１５は、弁装置５０を模式的に図示したものである。かかる弁装置５０にあっては、第一弁座８１上に、弁シート８０及び弁部材５５とで構成される第一逆止弁体５４が配設されている。そして、第一弁座８１より上側に外気連通空部４０ａ，４０ｂが配され、これに対して下側に、第一連通路４６ａが配されている。

かかる構成にあって、第一連通路４６ａ（すなわち、中間空部４７）が外気連通空部４０ａ，４０ｂに比して低圧（すなわち、相対的に外気連通空部４０ａ，４０ｂが中間空部４７に比して高圧）となると、連通頂部５５ａにある連通孔部５５ｆを介して弁部材５５の内圧も高くなる。すなわち、受圧部材９５の上面がその内圧を受けることにより、弁シート８０が強く下方の第一弁座８１に付勢されることとなる。そうすると、弁シート８０と第一弁座８１（又は環状隆部８２）とが密接し、該弁シート８０が気密状に第一連通路４６ａを遮蔽することとなる。これにより、外気連通空部４０ａ，４０ｂと第一連通路４６ａ（すなわち中間空部４７）との間で空気の流動が遮断されることとなる。したがって、第一連通路４６ａ（すなわち、中間空部４７）が外気連通空部４０ａ，４０ｂに比して低圧となっても、外気連通空部４０ａ，４０ｂから中間空部４７へ空気が流動することがない。なお、第一弁座８１上に環状隆部８２を二重に周成しているため、一方の環状隆部８２に粉塵等が付着して気密確保が不充分となっても、他方の環状隆部８２によってバックアップ的に空気の流動を遮断できるようにしている。

一方、第一連通路４６ａ（すなわち、中間空部４７）が外気連通空部４０ａ，４０ｂに比して高圧（すなわち、相対的に外気連通空部４０ａ，４０ｂが中間空部４７に比して低圧）となると、その差圧によって第一連通路４６ａ（中間空部４７）にある空気が弁シート８０を下方から上方に向けて外側から押圧する。そうすると、弁部材５５の傾斜撓み部５５ｂがその押圧に起因して外方に屈曲し、弁部材５５が縦方向でわずかに弾縮することとなる。これにより、弁シート８０と第一弁座８１との間に隙間が生じて気密が解放され、空気が流動可能に開通することとなる。すなわち、第一連通路４６ａ（中間空部４７）にある空気が、弁シート８０の切欠部８８を上方に向けて通過して第二外気連通空部４０ｂに流入し、排気空路４４を介して外界に排気される。

このように、弁装置５０は、外気連通空部４０ａ，４０ｂと第一連通路４６ａ（中間空部４７）との間の流動方向を一方向に限定する逆止弁機能を有するものである。なお、前記外気連通空部４０ａ，４０ｂにより、本発明に係る第一空部が構成され、前記中間空部４７により、本発明に係る第二空部が構成される。ところで、同様の構成で同様の作用効果を有する弁装置６０については、説明を省略する。

次に、図４に従って、真空ポンプ１の駆動態様を説明する。
回転軸１５が回転してピストン３３が上昇すると、中間空部４７の容積が拡大し、中間空部４７の内圧が吸引空部７８に比して低圧となる。そうすると、その差圧によって吸引空部７８にある空気が、中間空部４７に流動しようとする。そして、この差圧により生ずる流動圧が第二逆止弁体７５の弁シート８６を下方から押圧する。弁シート８６が下方から押圧されると、該弁シート８６上の弁部材７６に係る傾斜撓み部７６ｂが外方に屈曲することにより第二逆止弁体７５が縦方向に弾縮し、弁シート８６と第二弁座８５との間にわずかな隙間が生じる。そうすると、吸引空部７８にある空気がかかる隙間を通過し、さらに弁サポート７０の連通孔７３を通過して中間空部４７に流入する。これと共に、中間空部４７は外気連通空部４０ａ，４０ｂに対しても低圧となる。そうすると、その差圧によって外気連通空部４０ａ，４０ｂにある空気（外気）が、中間空部４７に流入しようとする。このとき、外気連通空部４０ａ，４０ｂと中間空部４７との間で発生した流動圧により第一逆止弁体５４の内圧が高まり、当該弁シート８０が第一弁座８１に付勢されて第一連通路４６ａが遮蔽され、外気連通空部４０ａ，４０ｂから中間空部４７への空気流入が阻止される。

一方、ピストン３３が下降すると、中間空部４７の容積が減少し、中間空部４７が吸引空部７８に比して高圧となる。そうすると、内圧が高まった第二逆止弁体７５の弁シート８６が第二弁座８５に付勢され、第二連通路８７が遮蔽される。このため、中間空部４７から吸引空部７８への空気流入が阻止される。これと共に、中間空部４７は、外気連通空部４０ａ，４０ｂに対しても高圧となる。そうすると、中間空部４７にある空気が第一逆止弁体５４の弁シート８０を下方から押圧する。そして、弁部材５５の傾斜撓み部５５ｂが外方に屈曲して第一逆止弁体５４が弾縮し、弁シート８０と第一弁座８１と間に生じた隙間から中間空部４７の空気が第二外気連通空部４０ｂに流入し、排気空路４４を介して外界に排気される。

このようにして、ピストン３３が繰返し高速で昇降することにより（回転モーター８：毎分１８００回転）、吸引空部７８にある空気が順次吸引され、該吸引空部７８に接続された吸着パッド１００内が最終的に真空状態となって、その負圧により適正にワークＷを保持することが可能となる。

なお、本実施例のように、第一逆止弁体５４及び第二逆止弁体７５を本発明に係る傾斜撓み部５５ｂ，７５ｂを備えた構成とすることにより、従来に比して微弱なスプリング力で連通路４６ａ，８７を開閉制御することができるため、ポンプ内における圧力変動に対して応答性が向上し、ポンプ内の容積変化量を低減することができる。これにより、ピストン３３の進退ストローク長を従来に比して短くすることができ、全体構造が小型化されることとなる。

具体的には、本真空ポンプ１は、スプリング力をほぼ０．１Ｎ〜０．５Ｎの範囲に設定することができる。仮にオリフィス径（連通路の径）を４ｍｍ、スプリング力を０．１Ｎとすると、
ΔＰ＝Ｗ／（π・ｄ^２／４）
ΔＰ：スプリングによる増圧分（ｋＰａ）、Ｗ：スプリング力、ｄ：オリフィス径
の関係式からスプリングによる増圧分は、８．０ｋＰａとなる。そして、係る値と次式から吸引空部７８の到達真空圧を算出すると、
Ｐ_０＝Ｐ_２’（Ｖmin／Ｖmax）
Ｐ_０：到達真空圧、Ｐ_２’：逆止弁体開圧、Ｖmin：中間空部最小容積（本実施例では１．４ｃｃ）、Ｖmax：中間空部最大容積（本実施例では２．７ｃｃ）
到達真空圧Ｐ_０は、５６．７ｋＰａとなる。これを大気圧基準のゲージ圧で求めると、−４４．６ｋＰａとなる。

一方、従来公知のコイルバネで前記スプリング力を実現しようとすると、コイルバネについて精密加工が必要となって高価となってしまう問題がある。

次に、上記した吸着パッド１００付きの真空ポンプ１の使用態様の一例を説明する。
図１６に示される吸着システム１０３は、一般的な工場内に設けられるシステムで、上記した吸着パッド１００付き真空ポンプ１を複数備えたものである。さらに詳述すると、工場内に配置される電源１０８に、複数のコントロールユニット１０９をそれぞれ接続すると共に、各コントロールユニット１０９に上記した吸着パッド１００付き真空ポンプ１を接続する。具体的には、コントロールユニット１０９と駆動装置７の回転モーター８とを接続し、コントロールユニット１０９に内蔵されたプログラムにより、回転モーター８を所要態様で駆動制御するようにしている。また、各コントロールユニット１０９には、真空破壊バルブ１０６と、圧力スイッチ１０５とが接続されている。ここで、真空破壊バルブ１０６は、公知のものが好適に用いられ、吸着パッド１００内の真空を解除して、当該吸着パッド１００内を大気圧とするものである。また、圧力スイッチ１０５は、吸着パッド１００内の真空度を確認するセンサー機能を有すると共に、当該吸着パッド１００内の真空度が適正であることを確認すると、リレー等がＯＮとなって次工程への進行を可能とするものである。

このように、工場内に設けられた吸着システム１０３に、本発明に係る真空ポンプ１を採用すると、従来必要であった空気配管が不要となる。すなわち、吸着パッド１００を使用するための空気配管が工場内に設ける必要がなくなり、システムを構築する際の手間やコストが低減される効果がある。また、空気配管が不要となることにより、工場内の省スペース化を図ることが可能となる。

なお、これまでに述べた第一逆止弁体５４は、次のような構成としても良い。
図１７は、変形例の受圧部材９６を示している。この受圧部材９６は、金属製（アルミ製）で低背のほぼ円柱形状であり、その下端に、側方に延出された鍔部９７が周成されてなる。そして、この鍔部９７の上面に弁部材５５の下端が当接するように構成されるものである。ここで、この鍔部９７は、弁部材５５で生じたスプリング力を受ける働きをする。これにより、当該受圧部材９６が弁シート８０を均一に押圧することが可能となる。ここで、かかる構成は、弁部材５５と鍔部９７とを接着する必要が無い。したがって、簡便な構成となる。なお、上述の受圧部材９６は、第二逆止弁体７５に採用しても勿論良い。

なお、真空ポンプ１は、吸着パッド１００を装着する態様の他に別の態様で使用しても勿論良い。また、これまでに述べた構成は、第一逆止弁体５４と第二逆止弁体７５が共に本発明に係る構成であるが、いずれか一方のみが本発明に係る構成であっても良い。そのときは、他方の逆止弁体は従来構成が好適に適用される。

また、ピストン３３を上下に進退するための機構は、様々な公知技術が好適に採用される。

また、弁装置５０，６０は、空気（気体）の流動方向を一方向に限定する機能を有するものであり、真空ポンプ以外の構成について採用することができる。なお、弁装置５０，６０は、空気以外の流動体（例えば、液体）にも適用可能である。

真空ポンプ１の側面図である。 真空ポンプ１の部分平面図である。 真空ポンプ１の部分下面図である。 真空ポンプ１の部分縦断面図である。 図４のＡ−Ａ線断面図である。 第一逆止弁体５４を示す拡大縦断面図である。 図４のＢ−Ｂ線断面図である。 第二逆止弁体７５を示す拡大縦断面図である。 弁サポート７０の平面図である。 弁部材５５，７６の平面図である。 弁部材５５，７６の側面図である。 受圧部材９５の平面図である。 弁シート８０，８６の配置態様を示す説明図である。 第一弁座８１（第二弁座８５）の平面図である。 弁装置５０の説明図であり、（ａ）は第一連通路４６ａを遮蔽する遮蔽状態を示し、（ｂ）は第一連通路４６ａを開通する開通状態を示している。 吸着システム１０３を示すブロック図である。 別形態の受圧部材９６を示す縦断面図である。 従来構成の吸着システムを示すブロック図である。 別形態の従来構成の吸着システムを示すブロック図である。

符号の説明

１ ダイヤフラム式真空ポンプ
２ リンク部（内筒体進退手段）
３ ガイドケース（ポンプ筐体）
４ ポンプボディ（ポンプ筐体）
５ ダイヤフラム
７ 駆動装置（内筒体進退手段）
３３ ピストン（内筒体）
３３ａ 押え面部（第一逆止弁体保持手段）
４０ａ，４０ｂ 外気連通空部（第一空部）
４５ セカンドボディ（内筒体）
４５ａ，８４ 隔壁
４６ａ 第一連通路
４７ 中間空部（第二空部）
５０，６０ 弁装置
５４ 第一逆止弁体
５５ａ，７６ａ 連通頂部
５５ｂ，７６ｂ 傾斜撓み部
５５ｃ，７６ｃ 起立胴部
５５ｄ，７６ｄ 遮蔽板部
５５ｆ，７６ｆ 連通孔部
６７ 中央連通路
７０ 弁サポート（第二逆止弁体保持手段）
７５ 第二逆止弁体
７８ 吸引空部
８０，８６ 弁シート
８１ 第一弁座
８２ 環状隆部
８５ 第二弁座
８７ 第二連通路
９２ 第一ポンプ室
９３ 第二ポンプ室
９５，９６受圧部材
１００ 吸着パッド
Ｗ ワーク

Claims (6)

1. 第一空部と第二空部とを区画する隔壁に設けられて両空部を連通する連通路の、第一空部側開口端に形成された弁座に座着することにより第一空部側で該連通路を被覆し、第一空部と第二空部とを流通する流動体の流動方向を一方向に限定する逆止弁体を備えた弁装置であって、
   前記逆止弁体は、
   有底容器形状をなし、前記連通路を遮蔽する遮蔽板部、該遮蔽板部の周縁から上方へ連成されて縮径した薄肉筒状の傾斜撓み部、及び該傾斜撓み部の上端に連成され、内部と連通する連通孔部を内方に具備した連通頂部により構成されてなると共に、
   前記逆止弁体の連通頂部を保持して当該逆止弁体の遮蔽板部を前記弁座上に座定する逆止弁体保持手段を備え、
   第一空部が第二空部に比して高圧となると、差圧によって逆止弁体の遮蔽板部が弁座に付勢されて連通路が遮蔽され、
   第一空部が第二空部に比して低圧となると、差圧によって第二空部の流動体が、逆止弁体の遮蔽板部を押圧し、傾斜撓み部が撓むことにより当該遮蔽板部と弁座とが離間して開通した連通路を介して第一空部に流入するものであることを特徴とする弁装置。
2. 逆止弁体は、その内部の遮蔽板部上に、当該遮蔽板部より硬質の受圧部材を接触状に配設したものであることを特徴とする請求項１記載の弁装置。
3. 弁座上に、逆止弁体の遮蔽板部と線接触状に当接する環状隆部が連通路の開口端を囲繞するように周成されてなることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の弁装置。
4. 内部を気体が流通する筒形状のポンプ筐体と、
   ポンプ筐体内に配設され、当該ポンプ筐体内を第一ポンプ室と第二ポンプ室とに区画する薄膜状のダイヤフラムと、
   第一ポンプ室内に進退可能に配設され、かつ内空部が前記ダイヤフラムを縦断する中央連通路を介して第二ポンプ室内と連通する、一端が前記ダイヤフラムに連結されてなる内筒体と、
   内筒体を第一ポンプ室内で当該筒方向に進退させてダイヤフラムを撓ませる内筒体進退手段と、
   内筒体の内空部で、外気と連通する外気連通空部と、中央連通路が配される中間空部とに区画する隔壁に設けられて両空部を連通する第一連通路と、
   第一連通路の外気連通空部側開口端に形成された第一弁座に座着する第一逆止弁体と、
   第一逆止弁体を保持して当該第一逆止弁体を第一弁座上に座定する第一逆止弁体保持手段と、
   第二ポンプ室内を中間空部と吸引空部とに区画する隔壁に設けられて両空部を連通する第二連通路と、
   第二連通路の中間空部側開口端に形成された第二弁座に座着する第二逆止弁体と、
   第二逆止弁体を保持して当該第二逆止弁体を第二弁座上に座定する第二逆止弁体保持手段と
   を備え、
   第一逆止弁体及び／又は第二逆止弁体は、
   有底容器形状をなし、各弁座にある連通路開口端を遮蔽する遮蔽板部、該遮蔽板部の周縁から上方へ連成されて縮径した薄肉筒状の傾斜撓み部、及び該傾斜撓み部の上端に連成され、内部と連通する連通孔部を内方に具備した連通頂部により構成されてなると共に、
   内筒体進退手段が内筒体を退避させて、中間空部が吸引空部に比して低圧となると、差圧によって吸引空部の気体が、第二連通路を介して中間空部に流入し、
   内筒体進退手段が内筒体を進出させて、中間空部が外気に比して高圧となると、第二連通路が遮蔽されると共に、差圧によって中間空部の気体が、第一連通路を介して外気連通空部に流入するものであることを特徴とするダイヤフラム式真空ポンプ。
5. ポンプ筐体の一端に、ワーク表面に接触して当該ワークを移送可能に保持する切頭円錐形の吸着パッドが配設された構成にあって、
   前記吸着パッドは、その内空と吸引空部とが連通するように配設され、内筒体進退手段が内筒体を進退させて吸引空部にある気体が吸引されることにより、吸着パッドがワークを保持するものであることを特徴とする請求項４記載のダイヤフラム式真空ポンプ。
6. 内筒体進退手段は、内筒体を進退させる駆動源を備え、該駆動源が電源であることを特徴とする請求項４又は請求項５記載のダイヤフラム式真空ポンプ。

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