JP2009062870A - エアーポンプ - Google Patents

エアーポンプ Download PDF

Info

Publication number
JP2009062870A
JP2009062870A JP2007231159A JP2007231159A JP2009062870A JP 2009062870 A JP2009062870 A JP 2009062870A JP 2007231159 A JP2007231159 A JP 2007231159A JP 2007231159 A JP2007231159 A JP 2007231159A JP 2009062870 A JP2009062870 A JP 2009062870A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
piston
piston chamber
check valve
storage tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007231159A
Other languages
English (en)
Inventor
Kikunori Arima
▲きく▼徳 有馬
Daisuke Emura
大助 惠村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
I & T Kk
Original Assignee
I & T Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by I & T Kk filed Critical I & T Kk
Priority to JP2007231159A priority Critical patent/JP2009062870A/ja
Publication of JP2009062870A publication Critical patent/JP2009062870A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

【課題】エアー貯留槽を備えた小型軽量のエアーポンプを提供する。
【解決手段】進退駆動されるピストン27によってピストン室25の容積の拡張と縮小とを繰り返させ、このピストン室25の容積の拡張に伴って生じる第一逆止弁53の開放駆動及び第二逆止弁60の閉鎖駆動によって外気を吸引させる一方、ピストン室25の容積の縮小に伴って生じる第一逆止弁53の閉鎖駆動及び第二逆止弁60の開放駆動によってエアーを圧搾するとともに、その圧搾エアーをエアー貯留槽12に順次送り込むようにした。ここで、エアー貯留槽12に送り込まれる圧搾エアーを順次に外気に放出すれば、エアーポンプ1を真空ポンプとすることができる一方、エアー貯留槽12内に圧搾エアーを貯留すればエアー圧縮ポンプとなる。
【選択図】図1

Description

本発明は、圧搾エアーを貯留するエアー貯留槽を備えた小型軽量のエアーポンプに関する。
一般に、例えば自動車製造工場内の生産ラインにおいては、自動車の窓ガラス等の平滑面を備えたワークを工場内で移送する手段として、真空ポンプと吸着パッドとを用いたワーク吸着移送システムが採用されている。これは、図13に示すように、工場内にある大型の真空ポンプbから延出されたメイン導管gを複数の分岐導管iに分岐して各生産ラインまで行き渡らせ、各分岐導管iの先端を弁ユニットfの排気用電磁弁dを介して吸着パッドhに夫々接続するとともに、各吸着パッドhに弁ユニットfの真空破壊用電磁弁eから延出された給気導管jを夫々接続する一方、電源aに接続されたコントロールユニットcによって、前記排気用電磁弁d及び真空破壊用電磁弁eの切換作動を制御するように構成されている。
そして、ワークwの移送に際しては、吸着パッドhの吸着面をワークwの平滑面に宛がう一方、真空破壊用電磁弁e内の給気通路を遮断状態とし、かつ排気用電磁弁d内の吸引通路を連通状態として、真空ポンプbで吸着パッドh内の空気を吸引して真空状態にすることにより、吸着パッドhにワークwを真空吸着させて移送し、移送後には排気用電磁弁d内の吸引通路を遮断状態とし、かつ真空破壊用電磁弁e内の給気通路を連通状態として、吸着パッドh内に大気を供給することにより、吸着パッドh内の真空を破壊してワークwを解放するものである。これにより、ワークwの表面を傷付けることなく、迅速にワークwを保持して、所望箇所へ移送できるようになっている。
一方、小型軽量のエアーポンプとしてはダイヤフラムを用いてエアーを吸排気するものが知られている(例えば、特許文献1,2参照)。これは、図14に示すように、ポンプ筐体k内がダイヤフラムmによってポンプ室nとダイヤフラム作動室oとに区画されるとともに、ポンプ室nには隔壁pによって吸気室qと排気室rとが区画形成され、さらに吸気室qと排気室rは隔壁sによって区画されている。また、吸気室qには外気と連通する吸気管tが設けられ、排気室rには外気と連通する排気管uが設けられている。前記ダイヤフラム作動室oには、ピストンvが進退可能に配設されており、該ピストンvの進出側の端部にダイヤフラムmの中央部が固定されている。また、ポンプ室nと吸気室qとを区画する隔壁p部分には、吸気孔xと該吸気孔xを開閉して吸気室qからポンプ室nへのエアーの流れのみを許容する第一逆止弁yが設けられており、ポンプ室nと排気室rとを区画する隔壁p部分には、排気孔zと該排気孔zを開閉してポンプ室nから排気室rへのエアーの流れのみを許容する第二逆止弁yが設けられている。
かかるダイヤフラム式のエアーポンプにあっては、適宜の駆動手段によって進退駆動されるピストンvが、その後退によってダイヤフラムmの中央部をダイヤフラム作動室o側に移動させると、ポンプ室nの容積が拡張して外気に比して低圧となり、その差圧による第一逆止弁yの開放作動によって吸気孔xが開放され、エアーが吸気管t及び吸気室qを経てポンプ室nに流入し、次いで、ピストンvが後退してダイヤフラムmの中央部をポンプ室n側に移動させると、ポンプ室nの容積が縮小して外気に比して高圧となり、その差圧による第一逆止弁yの閉鎖作動によって吸気孔xが閉鎖されるとともに、ポンプ室nが排気室rに比して高圧となり、その差圧による第二逆止弁yの開放作動によって排気孔zが開放され、ポンプ室n内のエアーが排気室r及び排気管uを経て機外に排出されるようになっている。
特開2003−278658号公報 特開2006−283718号公報
ところで、上記のような構成のワーク吸着移送システムにあっては、ワークwの移送後に吸着パッドh内の真空破壊を行うに際して、吸着パッドh内に大気を供給しているため、ワーク解放のタクトタイムが遅く、迅速な解放動作が得られないという問題点があった。また、吸着パッドhによるワーク解放動作の迅速化を図るために、各吸着パッドh内に圧搾エアーを供給し得るようにした構成も知られているが、この場合には、圧搾エアーの生成源としてのコンプレッサや、各吸着パッドhに供給する大量の圧搾エアーを貯留可能な大型のサージタンク、及び該サージタンクから各吸着パッドhに圧搾エアーを供給するための給気配管等の大掛かりな設備を別途必要とする。このため、設備投資が高額となる上、大型のサージタンク及びコンプレッサの設置スペースや、圧搾エアーの供給用導管の配設スペースが必要であり、さらに該供給用導管の維持メンテナンスに費用や手間が掛かるといった問題点があった。
一方、本願出願人は、個々の吸着パッドhに直接取り付けて真空吸引し得る小型軽量の真空ポンプを先に提案している(特願2006-243734号参照)。かかる真空ポンプを用いれば、従来のワーク吸着移送システムにおける大型の真空ポンプbやメイン導管g及び複数の分岐導管i等を不要とし得る利点があるが、上記のような大型のサージタンクから各吸着パッドhに圧搾エアーを供給する場合における上述した問題点を回避するために、吸着パッドh内の真空破壊は、従来と同様に、吸着パッドh内に大気を供給することにより行っている。このため、ワーク解放のタクトタイムが遅く、迅速な解放動作が得られないという点において解決すべき課題が残されていた。
また、本願出願人が先に提案した真空ポンプは、先行技術(特許文献1,2)と同様に、ダイヤフラムを用いてエアーを吸排気するものであるが、このダイヤフラムを用いるポンプにあっては、ダイヤフラムの変形許容量の制約上、ピストンの進退ストロークを短く設定する必要があり、ポンプ室nの拡張時と縮小時との容積比率が小さいため、エアーの吸引量及び吐出量が充分ではなく、1.5Kg/cm程度の吐出圧が得られるものに過ぎなかった。
本発明は、かかる実状に鑑みてなされたものであって、個々の吸着パッドに直接取り付けて真空吸引し得るとともに、吸引したエアーを圧搾エアーとして貯留しておき、該圧搾エアーを吸着パッドに供給することにより、吸着パッドによるワーク解放動作の迅速化を達成し得る一方、真空ポンプまたはエアー圧縮ポンプとして使用可能で、その真空度または加圧度に優れた小型軽量のエアーポンプを提供することを目的とするものである。
本発明は、ピストン室と、外気に通じる吸気路と、ピストン室のエアーを排出する排気路とを備えたポンプ筐体と、前記ピストン室内に進退可能に嵌挿されたピストンと、該ピストンを進退駆動するピストン駆動手段と、前記ピストンの進出側に位置するピストン室の室端と、前記吸気路とを連通する吸気孔を備えた第一隔壁部と、該第一隔壁部に配設され、前記吸気孔を開閉して吸気路からピストン室へのエアーの流れのみを許容する第一逆止弁と、ポンプ筐体の側傍に連設されたエアー貯留槽と、前記ピストンの進出側に位置するピストン室の室端と、前記エアー貯留槽に通じる前記排気路とを連通する排気孔を備えた第二隔壁部と、該第二隔壁部に配設され、前記排気孔を開閉してピストン室から排気路へのエアーの流れのみを許容する第二逆止弁と、前記エアー貯留槽に付設されて、少なくとも該エアー貯留槽内に貯留された圧搾エアーを吐出状態と非吐出状態とに選択的に切り換える電磁弁とを備えてなり、ピストン駆動手段がピストンを後退させて、ピストン室の容積を拡張させると、ピストン室が外気に比して低圧となり、その差圧による第一逆止弁の開放作動によって吸気孔が開放され、外気としてのエアーがピストン室に流入し、次いで、ピストン駆動手段がピストンを進出させて、ピストン室の容積を縮小させると、ピストン室が外気に比して高圧となり、その差圧による第一逆止弁の閉鎖駆動によって吸気孔が閉鎖されて吸気路へのエアーの逆流が遮断され、該エアーがピストン室で圧搾されるとともに、排気路がピストン室に比して低圧である場合に、その差圧による第二逆止弁の開放作動によって排気孔が開放され、ピストン室の圧搾エアーが排気路に流入し、該排気路と連通したエアー貯留槽に圧搾エアーが送り込まれることを特徴とするエアーポンプである。
ここで、ピストンはピストン室に略密嵌状に嵌挿される。また、ピストン駆動手段は、電動モータと、該電動モータによって回転駆動されるクランク部材と、該クランク部材の回転運動をピストンの往復直線運動に変換する連接リンク部材とによって構成され得る。また、第一逆止弁及び第二逆止弁には、スプリング付勢により弁座に座着される公知のボール弁タイプ、円錐ポペットタイプ、ポペットタイプの逆止弁や、圧力差により弁座に座着される公知のスィングタイプの逆止弁等が適用可能であるが、これらのものに代えて、アンブレラバルブまたはYパッキン型バルブが好適に用いられ得る。
前記エアーポンプにあって、電磁弁が、エアー貯留槽内を外気と連通させる外気連通状態と、エアー貯留槽内に圧搾エアーを貯留する非吐出状態と、エアー貯留槽内に貯留された圧搾エアーを吐出させる吐出状態とに選択的に切り換えられるものである構成が提案される。
また、前記エアーポンプにあって、第一逆止弁及び第二逆止弁が、アンブレラバルブまたはYパッキン形バルブである構成が提案される。
本発明は、ピストン駆動手段によってピストンが連続的に進退駆動されると、ピストン室の容積の拡張と縮小とが繰り返され、このピストン室の容積の拡張に伴って生じる第一逆止弁の開放駆動及び第二逆止弁の閉鎖駆動によって外気吸引作用が得られる一方、ピストン室の容積の縮小に伴って生じる第一逆止弁の閉鎖駆動及び第二逆止弁の開放駆動によってエアーの圧搾作用及び圧搾エアーの押出し作用が得られ、この圧搾エアーの押出し作用によってエアー貯留槽に圧搾エアーを順次送り込むことができる。そして、電磁弁の非吐出状態への切り換えにより、該圧搾エアーをエアー貯留槽に貯留しておき、必要に応じて電磁弁を吐出状態に切り換えて、エアー貯留槽の圧搾エアーを吸着パッドに供給して真空破壊を行うことにより、大気を供給する場合に比して、ワーク解放のタクトタイムが速くなり、ワーク解放動作を迅速化することができる。
そして、本発明にかかるエアーポンプを各吸着パッドに夫々取り付けて真空吸引及び真空破壊に用いることにより、従来のようなコンプレッサや、各吸着パッドに供給する大量の圧搾エアーを貯留可能な大型のサージタンク、及び該サージタンクから各吸着パッドに圧搾エアーを供給するための給気配管等の大掛かりな設備が不要となる。これにより、設備投資が少額で済むとともに、大型のサージタンク及びコンプレッサの設置スペースや、圧搾エアーの供給用導管の配設スペースが不要となり、さらに該供給用導管の維持メンテナンスに掛かる費用や手間も不要とすることができる。
特に、本発明にあっては、ダイヤフラムを用いることなく、ピストンの進退駆動によってピストン室の容積の拡張及び縮小を直接行うようにしたことにより、ダイヤフラムを用いるエアーポンプに比してピストンの進退ストロークを長く設定でき、ピストン室の拡張時と縮小時との容積比率を大きくすることが可能であるため、エアーの吸引量及び吐出量を増加させることができる。これにより、真空ポンプとして用いれば、真空度を上げることができる一方、エアー圧縮ポンプとして用いれば加圧度を上げることができる。
また、上記のようにダイヤフラムを除去したことにより、従来構成のエアーポンプに比して構造が簡単となり、さらに小型軽量化することができるとともに、製作費も安価となる。
また、前記電磁弁を、エアー貯留槽内を外気と連通させる外気連通状態と、エアー貯留槽内に圧搾エアーを貯留する非吐出状態と、エアー貯留槽内に貯留された圧搾エアーを吐出させる吐出状態とに選択的に切り換えられるものとした構成にあっては、非吐出状態でエアー貯留槽内に圧搾エアーを貯留すればエアー圧縮ポンプとして使用することができる一方、エアー貯留槽内を外気と連通させる外気連通状態に切り換えることにより、上記のようにエアー貯留槽に送り込まれる圧搾エアーを順次外気に放出することができるので、エアーポンプを真空ポンプとして使用することが可能となる。
また、前記第一逆止弁及び第二逆止弁が、アンブレラバルブまたはYパッキン形バルブである構成にあっては、スプリング付勢により弁体を弁座に座着する従来公知の逆止弁に比して、構造を簡略化することができるとともに、微弱な力で開閉制御することができるため、圧力変動に対する応答性が向上する。特に、Yパッキン形バルブにあっては、アンブレラバルブで生じやすい傘状部分のビビリによる笛吹現象を防止することができる。
以下に、本発明にかかるエアーポンプの第一実施例を、図1〜図9に基づいて説明する。尚、説明の便宜上、図示した位置関係でエアーポンプの水平方向及び上下方向を定めているが、エアーポンプは様々な向きで使用可能であり、必ずしも水平方向及び上下方向が下記に限定されるものではない。
エアーポンプ1は、図1に示すように、上部に電動モータ3を備えている。該電動モータ3は支持板4によって水平に取り付けられており、該支持板4がポンプ筐体2の上部に水平状に配設された支持基板5の端部によって支持されている。また、該電動モータ3の回転軸7には、後述するクランク部材6の駆動軸部9がカップリング8を介して直列状に連結されている。ここで、該カップリング8は、ゴムやコイルバネを用いた弾性軸継手であって、回転軸7と駆動軸部9間の衝撃トルクの緩衝作用やねじり振動の減衰作用を生じるものとなっている。
前記支持基板5の上面には、図1,図2に示すように、クランク部材6が配設されている。該クランク部材6は、偏心軸部19の両端を先端側で支持する相互に平行な所定長さの連結杆部20,20と、該連結杆部20,20の基端側から外側方に向けて夫々突設された駆動軸部9と従動軸部21とを備えており、その全体形状がクランク形に形成されている。ここで、駆動軸部9と従動軸部21は同一軸線上に配設されており、偏心軸部19は駆動軸部9及び従動軸部21の軸線から外方に偏倚する位置に平行に配設されている。この駆動軸部9及び従動軸部21の軸線に対する偏心軸部19の軸線の偏倚量を2倍した距離が、後述するピストン27の進退ストロークとなる。
一方、前記支持基板5の下面には、シリンダ筒部10が上下方向に沿って配設され、さらに該シリンダ筒部10の下部に角筒状のポンプボディ11が連設されている。そして、該シリンダ筒部10とポンプボディ11とにより、本発明におけるポンプ筐体2が構成されている。また、ポンプボディ11の側傍にはエアー貯留槽12がパッキン13(図4参照)を介して連設されており、さらに該エアー貯留槽12には連通導管67を介して電磁弁14が付設されている。尚、図示省略されているが、シリンダ筒部10とポンプボディ11、ポンプボディ11とエアー貯留槽12は、夫々ボルトを用いた緊締手段によって相互に連結することにより一体化されている。
前記支持基板5は、複数のボルト15(図2参照)によってシリンダ筒部10の上端に固定されている。該支持基板5には上下方向に開口した円形の貫通孔16が形成されており、該貫通孔16の両脇位置で支持基板5の上面には、左右一対の軸受17,17が配設されている。そして、該軸受17,17内のベアリング18,18によって前記クランク部材6の駆動軸部9と従動軸部21を軸支することにより、クランク部材6が貫通孔16の上部を横断する状態で回転可能に横架されている。
クランク部材6の偏心軸部19には、連接リンク部材22の上端が回転可能に軸支されており、該連接リンク部材22の下半部が前記貫通孔16からシリンダ筒部10内に挿通されている。そして、クランク部材6が回転すると、偏心軸部19の偏心回転作用を介して連接リンク部材22に上下方向の揺動が生じるようになっている。また、該連接リンク部材22の下端には、前記偏心軸部19と平行な後述するピストンピン23が回動可能に連結されている。
前記シリンダ筒部10は、縦長円筒形に形成され、その周壁26に囲繞されたピストン室25が前記支持基板5の貫通孔16と連通している。また、該ピストン室25内には、ピストン27が上下方向に進退可能に配設されている。ここで、該ピストン室25の内周面には、無給油ブッシュ28が周設されており、該無給油ブッシュ28内に前記ピストン27が摺動可能に内嵌されている。該ピストン27の外周面に形成された二条の凹溝35,35(図3参照)にはV形環状パッキン36が夫々収納されており、該V形パッキン36によってピストン27の進出側に位置するピストン室25の室端側の気密が確保されている。
前記ピストン27は、図3に示すように、本体部材27aと該本体部材27a内に収納されたピン受け部材27bとからなり、該ピン受け部材27bの下部中央に形成された雄螺子部29を本体部材27aの下部中央に形成された雌螺子孔30に螺着することによって両部材27a,27bが一体化されている。また、前記雌螺子孔30の上端には、Oリング収納溝40が周成されており、該Oリング収納溝40内に収納されたOリング41によって、本体部材27aとピン受け部材27b間の気密が確保されている。ピン受け部材27bの上端部には、前記連接リンク部材22の下部を上方から挿入可能な凹溝34が形成されており、該凹溝34を横断するようにピストンピン23が横架されている。そして、該ピストンピン23に、上述したように連接リンク部材22の下端が回転可能に連結されている。
これまでに述べた構成にあって、電動モータ3(図1参照)が駆動して回転軸7が回転すると、該回転軸7に連結された駆動軸部9によってクランク部材6が回転する。そして、クランク部材6が回転すると、偏心軸部19の偏心回転作用を介して連接リンク部材22に上下方向の揺動が生じ、該連接リンク部材22の下部に連結されたピストン27をピストン室25内で上下方向に進退駆動させることができる。そして、この電動モータ3と、該電動モータ3によって回転駆動されるクランク部材6と、該クランク部材6の回転運動をピストン27の往復直線運動に変換する連接リンク部材22とによって、ピストン27を進退駆動するピストン駆動手段が構成されている。
次に、ポンプボディ11の内部構成を説明する。
図1,図4に示すように、ポンプボディ11の上端面には、Oリング収納溝31が周成されており、該Oリング収納溝31内に収納されたOリング32によって、シリンダ筒部10とポンプボディ11間の気密が確保されている。
ポンプボディ11内には、外気に通じる吸気路42と、前記ピストン室25のエアーを排出する排気路43とが相互に隔絶させて形成されている。吸気路42はポンプボディ11の一側面に開口する吸気口44によって外気と連通されており、排気路43はポンプボディ11の他側面に開口する排気口45によってエアー貯留槽12と連通されている。また、ポンプボディ11内には、ピストン室25と、吸気路42及び排気路43とを区画する円盤状の隔壁部材46が配設されており、該隔壁部材46は上部に配設された略環状の押さえ部材47によって所定位置に保持されている。隔壁部材46の外周面にはOリング収納溝48(図4参照)が周成されており、該Oリング収納溝48内に収納されたOリング49によって、隔壁部材46の外周部におけるエアーの流通が遮断されている。そして、該隔壁部材46と前記ピストン27の進出側端部とに挟まれる空間部分が、ピストン27の進退駆動によって拡張と縮小とを生じるピストン室25の可変容積85となっている。
前記隔壁部材46にあって、吸気路42の路端に対応する部分が第一隔壁部50となっている。該第一隔壁部50には、上下方向に開口した円形の弁保持孔51(図5参照)が形成されており、さらに該弁保持孔51の周囲に複数の吸気孔52が形成されている。そして、該吸気孔52によって前記ピストン27の進出側に位置するピストン室25の室端と、吸気路42とが連通されている。また、第一隔壁部50には、吸気孔52を開閉して吸気路42からピストン室25へのエアーの流れのみを許容する第一逆止弁53が配設されている。該第一逆止弁53は、図5(A)に示すように、取付け軸部54と該取付け軸部54の一端に連成された傘状の弁膜部55とを備えたアンブレラバルブからなり、弾性合成樹脂(プラスチックゴム)により一体成形されている。この第一逆止弁53は、取付け軸部54を弁保持孔51に上方から強制嵌入することにより、傘状の弁膜部55が第一隔壁部50の上面に圧接する状態で第一隔壁部50に座定されている。また、第一隔壁部50には前記第一逆止弁53を収納可能な円形凹陥部56が形成されており、該円形凹陥部56に第一逆止弁53を収納させることにより、該第一逆止弁53がピストン室25内に突出しないようにしている。これにより、ピストン27を隔壁部材46の直上位置まで進出可能とし、ポンプ筐体2の高さ寸法を可及的に短くしてエアーポンプ1の小型化が図られている。
また、前記隔壁部材46にあって、排気路43の路端に対応する部分が第二隔壁部57となっている。該第二隔壁部57には、上下方向に開口した円形の弁保持孔58(図5参照)が形成されており、さらに該弁保持孔58の周囲に複数の排気孔59が形成されている。そして、該排気孔59によって前記ピストン27の進出側に位置するピストン室25の室端と、排気路43とが連通されている。また、第二隔壁部57には、排気孔59を開閉してピストン室25から排気路43へのエアーの流れのみを許容する第二逆止弁60が配設されている。該第二逆止弁60は、第一逆止弁53と同様に、取付け軸部54と該取付け軸部54の一端に連成された傘状の弁膜部55とを備えたアンブレラバルブからなり、弾性合成樹脂(プラスチックゴム)により一体成形されている。この第二逆止弁60は、取付け軸部54を弁保持孔58に下方から強制嵌入することにより、傘状の弁膜部55が第二隔壁部57の下面に圧接する状態で第二隔壁部57に座定されている。
また、図1に示すように、連通導管67を介して電磁弁14が取付けられるエアー貯留槽12の側壁部61には、電磁弁14内の給気ポート64(図6参照)に連通する給気孔62が形成されている。さらに、電磁弁14には、内部の第一排気ポート65(図6参照)に連通する供給導管63が接続されている。
ここで、電磁弁14は、図6に示すように、給気ポート64,第一排気ポート65,第二排気ポート66を内部に備えたライン選択用の3位置3ポート切換弁が適用可能であり、ノーマル位置で、給気ポート64と第一排気ポート65及び第二排気ポート66とが遮断されてエアー貯留槽12内に圧搾エアーを貯留する非吐出状態と、第一オフセット位置(図中右側位置)で、給気ポート64と第一排気ポート65とが連通状態となり、エアー貯留槽12内に貯留された圧搾エアーを供給導管63に吐出させる吐出状態と、第二オフセット位置(図中左側位置)で、給気ポート64と第二排気ポート66とが連通状態となり、エアー貯留槽12内を外気と連通させる外気連通状態とに選択的に切り換えられるようになっている。その他、図面において符号68(図1参照)は電磁弁14に接続された電線を示す。
尚、上述したエアーポンプ1は、横幅180mm,高さ115mm,奥行き47mm程度の外形寸法で製作可能であり、一般的なエアーポンプに比して極めて小型かつ軽量なものとなっている。
かかる構成にあって、ピストン駆動手段によってピストン27が連続的に進退駆動されると、ピストン27の進出側に位置するピストン室25の下部の可変容積85の拡張と縮小とが繰り返される。ここで、図7に示すように、ピストン27が後退してピストン室25の可変容積85が拡張されると、該ピストン室25の可変容積85内が外気に比して低圧となり、その差圧によって吸気路42内のエアーが第一逆止弁53の弁膜部55を下方から押圧する。この押圧力により弁膜部55が上方に弾性変形する第一逆止弁53の開放作動が生じ、吸気孔52が開放されて、外気としてのエアーが吸気路42及び吸気孔52を介してピストン室25の可変容積85内に流入する。尚、この時、第二逆止弁60は、排気路43に比して低圧となるピストン室25の可変容積85内との差圧によって閉鎖状態が維持される。
次いで、図8に示すように、ピストン27が進出してピストン室25の可変容積85が縮小されると、ピストン室25が外気に比して高圧となるとともに、それまで上方に弾性変形していた第一逆止弁53の弁膜部55が、その弾性復元力を介して旧位に復帰する第一逆止弁53の閉鎖駆動によって吸気孔52が閉鎖され、吸気路42へのエアーの逆流が遮断されて該エアーが圧搾される。そして、このようにエアーが圧搾されることにより、ピストン室25の可変容積85内に比して排気路43が低圧となると、その差圧によってピストン室25の可変容積85内のエアーが第二逆止弁60の弁膜部55を上方から押圧する。この押圧力により弁膜部55が下方に弾性変形する第二逆止弁60の開放作動が生じ、排気孔59が開放されて、ピストン室25の可変容積85内の圧搾エアーが排気孔59を介して排気路43に流入し、さらにその圧搾エアーが排気路43と連通したエアー貯留槽12に送り込まれる。
このように、ピストン27の進退駆動によって、ピストン室25の可変容積85の拡張と縮小とが繰り返されることにより、ポンプ筐体2内に外気を吸引して圧搾し、その圧搾エアーをエアー貯留槽12に順次送り込むことができる。ここで、エアー貯留槽12に付設されている電磁弁14を、上述した非吐出状態にしておくことにより、送り込まれた圧搾エアーをエアー貯留槽12に順次貯留することができる。尚、エアー貯留槽12内のエアー圧を、図示しない圧力センサーによって検知するようにすれば、該圧力センサーの検知信号に基づく電動モータ3の駆動制御よって、エアー貯留槽12内に常時所定圧の圧搾エアーを貯留することができる。
また、ポンプボディ11の一側面に開口された吸気口44に、吸着パッド69(図9参照)を連結しておくことにより、該吸着パッド69内のエアーを吸引することができる。
次に、本発明にかかるエアーポンプ1の使用態様の一例を説明する。
図9は、一般的な工場内に設けられるワーク吸着移送システムを示し、エアーポンプ1は、吸着パッド69内のエアー吸引と真空破壊とに用いられている。このワーク吸着移送システムにおいて、個々の吸着パッド69には、吸気導管73を介してエアーポンプ1が夫々接続されている。ここで、工場内に配置される電源70には複数のコントロールユニット71が夫々接続され、各コントロールユニット71にエアーポンプ1と圧力スイッチ72が夫々接続されている。具体的には、コントロールユニット71には上述したピストン駆動手段を構成する電動モータ3(図1参照)と、電磁弁14が接続され、コントロールユニット71に内蔵されたプログラムにより、電動モータ3と電磁弁14とを所要態様で駆動制御するようにしている。また、エアーポンプ1から延出された圧搾エアーの供給導管63が吸着パッド69に接続されている。また、前記圧力スイッチ72は、吸着パッド69内の真空度を検知するセンサー機能を備え、該吸着パッド69内の真空度が適正となると、リレー等がONとなって次工程への進行を可能とするものである。そして、電磁弁14を非吐出状態にして、電動モータ3が駆動されると、エアーポンプ1によって吸着パッド69内のエアーが吸引されるとともに、その吸引されたエアーがエアー貯留槽12(図1参照)内に貯留される。そして、このようにエアーポンプ1で吸着パッド69内の空気を吸引して真空状態にすることにより、吸着パッド69にワークwを真空吸着させて移送することができ、移送後には電磁弁14を吐出状態に切り換えてエアー貯留槽12内の圧搾エアーを供給導管63に吐出させ、該圧搾エアーを吸着パッド69内に供給することにより、吸着パッド69内の真空を破壊してワークwを解放することができるようになっている。
また、エアーポンプ1は、上記のような吸着パッド69を用いるワーク吸着移送システムでの使用だけでなく、吸着パッド69を用いることなくエアーポンプ1のみで、電磁弁14を非吐出状態に切り換えて、エアー貯留槽12内に圧搾エアーを貯留すればエアー圧縮ポンプとして使用することができる一方、電磁弁14を外気連通状態に切り換えて、エアー貯留槽12内を外気と連通させることにより、エアー貯留槽12に送り込まれる圧搾エアーを順次外気に放出することができるので、真空ポンプとして使用することができる。従って、本発明にかかるエアーポンプ1は、小型軽量のエアー圧縮ポンプまたは真空ポンプとして種々の用途が期待される。
上述したように、本発明によれば、ピストン駆動手段によってピストン27が連続的に進退駆動されると、ピストン室25の可変容積85の拡張と縮小とが繰り返され、このピストン室25の可変容積85の拡張に伴って生じる第一逆止弁53の開放駆動及び第二逆止弁60の閉鎖駆動によって外気吸引作用が得られる一方、ピストン室25の可変容積85の縮小に伴って生じる第一逆止弁53の閉鎖駆動及び第二逆止弁60の開放駆動によってエアーの圧搾作用及び圧搾エアーの押出し作用が得られ、この圧搾エアーの押出し作用によってエアー貯留槽12に圧搾エアーを順次送り込むことができる。そして、電磁弁14の非吐出状態への切り換えにより、該圧搾エアーをエアー貯留槽12に貯留しておき、必要に応じて電磁弁14を吐出状態に切り換えて、エアー貯留槽12の圧搾エアーを吸着パッド69に供給して真空破壊を行うことにより、大気を供給する場合に比して、ワーク解放のタクトタイムが速くなり、ワーク解放動作を迅速化することができる。
そして、本発明にかかるエアーポンプ1を各吸着パッド69に夫々取り付けて真空吸引及び真空破壊に用いることにより、従来のようなコンプレッサや、各吸着パッド69に供給する大量の圧搾エアーを貯留可能な大型のサージタンク、及び該サージタンクから各吸着パッド69に圧搾エアーを供給するための給気配管等の大掛かりな設備が不要となる。これにより、設備投資が少額で済むとともに、大型のサージタンク及びコンプレッサの設置スペースや、圧搾エアーの供給用導管の配設スペースが不要となり、さらに該供給用導管の維持メンテナンスに掛かる費用や手間も不要とすることができる。
特に、本発明にあっては、ダイヤフラムを用いることなく、ピストン27の進退駆動によってピストン室25の可変容積85の拡張及び縮小を直接行うようにしたことにより、ダイヤフラムを用いる従来構成のエアーポンプに比してピストン27の進退ストロークを長く設定でき、ピストン室25の可変容積85の拡張時と縮小時との容積比率を大きくすることが可能であるため、エアーの吸引量及び吐出量を増加させることができ、7Kg/cm程度の吐出圧が得られる。これにより、真空ポンプとして用いれば、真空度を上げることができる一方、エアー圧縮ポンプとして用いれば加圧度を上げることができる。
また、上記のようにダイヤフラムを除去したことにより、ダイヤフラムを用いる従来構成のエアーポンプに比して構造が簡単となり、さらに小型軽量化することができるとともに、製作費も安価となる。
また、電磁弁14を、エアー貯留槽12内を外気と連通させる外気連通状態と、エアー貯留槽12内に圧搾エアーを貯留する非吐出状態と、エアー貯留槽12内に貯留された圧搾エアーを吐出させる吐出状態とに選択的に切り換えられるものとすることにより、非吐出状態でエアー貯留槽12内に圧搾エアーを貯留すればエアー圧縮ポンプとして使用することができる一方、エアー貯留槽12内を外気と連通させる外気連通状態に切り換えることにより、上記のようにエアー貯留槽12に送り込まれる圧搾エアーを順次外気に放出することができるので、エアーポンプ1を真空ポンプとして使用することが可能となる。
尚、第一逆止弁53及び第二逆止弁60は、スプリング付勢により弁座に座着される公知のボール弁タイプ、円錐ポペットタイプ、ポペットタイプの逆止弁や、圧力差により弁座に座着される公知のスィングタイプの逆止弁等が適用可能であるが、これらのものに代えて、第一逆止弁53及び第二逆止弁60を、アンブレラバルブにすることにより、従来公知の逆止弁に比して、構造を簡略化することができるとともに、微弱な力で開閉制御することができるため、圧力変動に対する応答性を向上させることができる。
図10〜図12は第二実施例を示し、この第二実施例では、第一逆止弁53及び第二逆止弁60がYパッキン形バルブによって構成されている。このYパッキン形バルブは、弾性合成樹脂からなる断面Y字形(またはV字形)の環状パッキンであって、一端に二股状に分岐するリップ部83,83を備えている。
この第二実施例にあって、隔壁部材46には、図11,図12に示すように、第一隔壁部50に対応する位置に第一逆止弁53及びホルダー74を収納可能な円形凹陥部76が形成されており、第二隔壁部57に対応する位置に第二逆止弁60及びホルダー75を収納可能な円形凹陥部77が夫々形成されている。一方の円形凹陥部76の内底部には、その中央に挿通孔78が形成され、さらに該挿通孔78の周囲に複数の吸気孔52が形成されている。また、他方の円形凹陥部77の内底部には、その中央に挿通孔79が形成され、さらに該挿通孔79の周囲に複数の排気孔59が形成されている。前記ホルダー74,75は、図11(B)に示すように、夫々一端に抜け止め鍔部80が周成された円柱状の主体部81と、該主体部81の他端中央部から軸線に沿って突出する螺子軸部82とからなり、主体部81の外径は、円形凹陥部76,77に収納した状態において該円形凹陥部76,77の内周面との間に無変形のYパッキン形バルブを略密嵌状に装入し得る円形間隙が生じる寸法に設定されている。そして、ホルダー74,75は、図11(A)に示すように、各主体部81に第一逆止弁53または第二逆止弁60としてのYパッキン形バルブを外嵌させた状態で円形凹陥部76,77に収納されるとともに、各螺子軸部82が前記挿通孔78,79に夫々挿通され、その突出端に螺着されるナット84,84の緊締作用を介して隔壁部材46に固定されている。
ここで、図10に示すように、吸気孔52を開閉して吸気路42からピストン室25へのエアーの流れのみを許容する第一逆止弁53としてのYパッキン形バルブは、二股状に分岐したリップ部83,83(図11(B)参照)がピストン室25側に位置するようにして配設されている。また、排気孔59を開閉してピストン室25から排気路43へのエアーの流れのみを許容する第二逆止弁60としてのYパッキン形バルブは、二股状に分岐したリップ部83,83が排気路43側に位置するようにして配設されている。これにより、ピストン27の後退によりピストン室25が外気に比して低圧となると、その差圧によって第一逆止弁53のリップ部83,83が相互に近接する方向に弾性変形して開放作動が生じることにより吸気孔52が開放され、逆に、ピストン27の進出によりピストン室25が外気に比して高圧となると、その圧力によって第一逆止弁53のリップ部83,83が相互に離間する方向に弾性変形して閉鎖作動が生じることにより吸気孔52が閉鎖されるようになっている。また、第二逆止弁60にあっても、ピストン室25と排気路43との圧力差によって、リップ部83,83が近接または離間する弾性変形作用により、ピストン室25から排気路43へのエアーの流れのみを許容する開閉作動が生じるようになっている。
このように、第一逆止弁53及び第二逆止弁60を、Yパッキン形バルブにすることにより、従来公知の逆止弁に比して、構造を簡略化することができるとともに、微弱な力で開閉制御することができるため、圧力変動に対する応答性を向上させることができる。また、特にYパッキン形バルブにあっては、アンブレラバルブで生じやすい傘状部分のビビリによる笛吹現象を防止することができる。
第一実施例にかかるエアーポンプ1の縦断正面図である。 エアーポンプ1の平面図である。 ピストン27と連接リンク部材22の下部の構成を示す部分拡大縦断面図である。 ポンプ筐体2とエアー貯留槽12の内部構成を示す部分拡大縦断面図である。 (A)は隔壁部材46と第一逆止弁53及び第二逆止弁60とを分離させた状態の縦断面図、(B)は隔壁部材46の平面図である。 電磁弁14の内部構成を示す概略図である。 ピストン室25の可変容積85の拡張時における作用説明図である。 ピストン室25の可変容積85の縮小時における作用説明図である。 エアーポンプ1を用いたワーク吸着移送システムの概略図である。 第二実施例にかかるポンプ筐体2とエアー貯留槽12の内部構成を示す部分拡大縦断面図である。 (A)は第二実施例にかかる第一逆止弁53及び第二逆止弁60を備えた隔壁部材46の縦断面図、(B)は隔壁部材46と第一逆止弁53及び第二逆止弁60とを分離させた状態の縦断面図である。 隔壁部材46の平面図である。 吸着パッドh内に大気を供給する従来構成のワーク吸着移送システムの概略図である。 従来構成のエアーポンプの縦断正面図である。
符号の説明
1 エアーポンプ
2 ポンプ筐体
3 電動モータ(ピストン駆動手段)
6 クランク部材(ピストン駆動手段)
12 エアー貯留槽
14 電磁弁
22 連接リンク部材(ピストン駆動手段)
25 ピストン室
27 ピストン
42 吸気路
43 排気路
50 第一隔壁部
52 吸気孔
53 第一逆止弁
57 第二隔壁部
59 排気孔
60 第二逆止弁

Claims (3)

  1. ピストン室と、外気に通じる吸気路と、ピストン室のエアーを排出する排気路とを備えたポンプ筐体と、
    前記ピストン室内に進退可能に嵌挿されたピストンと、
    該ピストンを進退駆動するピストン駆動手段と、
    前記ピストンの進出側に位置するピストン室の室端と、前記吸気路とを連通する吸気孔を備えた第一隔壁部と、
    該第一隔壁部に配設され、前記吸気孔を開閉して吸気路からピストン室へのエアーの流れのみを許容する第一逆止弁と、
    ポンプ筐体の側傍に連設されたエアー貯留槽と、
    前記ピストンの進出側に位置するピストン室の室端と、前記エアー貯留槽に通じる前記排気路とを連通する排気孔を備えた第二隔壁部と、
    該第二隔壁部に配設され、前記排気孔を開閉してピストン室から排気路へのエアーの流れのみを許容する第二逆止弁と、
    前記エアー貯留槽に付設されて、少なくとも該エアー貯留槽内に貯留された圧搾エアーを吐出状態と非吐出状態とに選択的に切り換える電磁弁と
    を備えてなり、
    ピストン駆動手段がピストンを後退させて、ピストン室の容積を拡張させると、ピストン室が外気に比して低圧となり、その差圧による第一逆止弁の開放作動によって吸気孔が開放され、外気としてのエアーがピストン室に流入し、
    次いで、ピストン駆動手段がピストンを進出させて、ピストン室の容積を縮小させると、ピストン室が外気に比して高圧となり、その差圧による第一逆止弁の閉鎖駆動によって吸気孔が閉鎖されて吸気路へのエアーの逆流が遮断され、該エアーがピストン室で圧搾されるとともに、排気路がピストン室に比して低圧である場合に、その差圧による第二逆止弁の開放作動によって排気孔が開放され、ピストン室の圧搾エアーが排気路に流入し、該排気路と連通したエアー貯留槽に圧搾エアーが送り込まれることを特徴とするエアーポンプ。
  2. 電磁弁が、エアー貯留槽内を外気と連通させる外気連通状態と、エアー貯留槽内に圧搾エアーを貯留する非吐出状態と、エアー貯留槽内に貯留された圧搾エアーを吐出させる吐出状態とに選択的に切り換えられるものであることを特徴とする請求項1記載のエアーポンプ。
  3. 第一逆止弁及び第二逆止弁が、アンブレラバルブまたはYパッキン形バルブであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のエアーポンプ。
JP2007231159A 2007-09-06 2007-09-06 エアーポンプ Pending JP2009062870A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007231159A JP2009062870A (ja) 2007-09-06 2007-09-06 エアーポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007231159A JP2009062870A (ja) 2007-09-06 2007-09-06 エアーポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009062870A true JP2009062870A (ja) 2009-03-26

Family

ID=40557677

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007231159A Pending JP2009062870A (ja) 2007-09-06 2007-09-06 エアーポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009062870A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103629077A (zh) * 2013-12-18 2014-03-12 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机变向主轴装置的变向主轴机构
CN103671850A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机变向主轴机构的缓冲器
CN103671010A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机增速装置的增速齿轮传动机构
CN103671753A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机的正反变向装置
CN103696935A (zh) * 2013-12-18 2014-04-02 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机
WO2016208604A1 (ja) * 2015-06-23 2016-12-29 Thk株式会社 電動アクチュエータを用いたエアポンプ装置及びエアポンプシステム
CN109469601A (zh) * 2019-01-24 2019-03-15 厦门科际精密器材有限公司 带电磁阀安装座的气泵及其活塞
CN114483525A (zh) * 2022-01-30 2022-05-13 嵊州市玖和机电有限公司 一种带储气功能的微型气泵
CN114483520A (zh) * 2022-01-30 2022-05-13 嵊州市玖和机电有限公司 一种带吹滤功能的气泵

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6155385A (ja) * 1984-08-25 1986-03-19 Aisin Seiki Co Ltd ダイアフラム式バキユ−ムポンプ
JPH0632585A (ja) * 1992-07-15 1994-02-08 Murata Mach Ltd 天井走行運搬車
JPH09184487A (ja) * 1995-12-28 1997-07-15 Aisan Ind Co Ltd 正圧・負圧兼用ポンプ
JP2000055007A (ja) * 1998-08-11 2000-02-22 Smc Corp 供給停止弁
JP2001073953A (ja) * 1999-09-03 2001-03-21 Oken Seiko Kk ポンプ
JP2004009253A (ja) * 2002-06-10 2004-01-15 Myotoku Ltd 真空システム
JP2004522890A (ja) * 2001-01-02 2004-07-29 メデラ・アーゲー ダイアフラムポンプ

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6155385A (ja) * 1984-08-25 1986-03-19 Aisin Seiki Co Ltd ダイアフラム式バキユ−ムポンプ
JPH0632585A (ja) * 1992-07-15 1994-02-08 Murata Mach Ltd 天井走行運搬車
JPH09184487A (ja) * 1995-12-28 1997-07-15 Aisan Ind Co Ltd 正圧・負圧兼用ポンプ
JP2000055007A (ja) * 1998-08-11 2000-02-22 Smc Corp 供給停止弁
JP2001073953A (ja) * 1999-09-03 2001-03-21 Oken Seiko Kk ポンプ
JP2004522890A (ja) * 2001-01-02 2004-07-29 メデラ・アーゲー ダイアフラムポンプ
JP2004009253A (ja) * 2002-06-10 2004-01-15 Myotoku Ltd 真空システム

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103629077A (zh) * 2013-12-18 2014-03-12 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机变向主轴装置的变向主轴机构
CN103671850A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机变向主轴机构的缓冲器
CN103671010A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机增速装置的增速齿轮传动机构
CN103671753A (zh) * 2013-12-18 2014-03-26 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机的正反变向装置
CN103696935A (zh) * 2013-12-18 2014-04-02 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机
CN103671010B (zh) * 2013-12-18 2016-08-17 大连精功机械设备有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机增速装置的增速齿轮传动机构
CN103696935B (zh) * 2013-12-18 2016-12-07 大连泰帝恒机械制造有限公司 循环式正反变向变速真空压缩机
CN103629077B (zh) * 2013-12-18 2017-03-01 大连泰帝恒机械制造有限公司 循环式真空压缩机变向主轴装置的变向主轴机构
JP2017008827A (ja) * 2015-06-23 2017-01-12 Thk株式会社 電動アクチュエータを用いたエアポンプ装置及びエアポンプシステム
WO2016208604A1 (ja) * 2015-06-23 2016-12-29 Thk株式会社 電動アクチュエータを用いたエアポンプ装置及びエアポンプシステム
CN107735572A (zh) * 2015-06-23 2018-02-23 Thk株式会社 使用电动促动器的气泵装置及气泵系统
CN107735572B (zh) * 2015-06-23 2019-02-26 Thk株式会社 使用电动促动器的气泵装置及气泵系统
US10391629B2 (en) 2015-06-23 2019-08-27 Thk Co., Ltd. Air pump apparatus using electric actuator and air pump system
DE112016002864B4 (de) 2015-06-23 2019-12-19 Thk Co., Ltd. Luftpumpenvorrichtung unter Verwendung eines elektrischen Aktuators und Luftpumpensystem
CN109469601A (zh) * 2019-01-24 2019-03-15 厦门科际精密器材有限公司 带电磁阀安装座的气泵及其活塞
CN114483525A (zh) * 2022-01-30 2022-05-13 嵊州市玖和机电有限公司 一种带储气功能的微型气泵
CN114483520A (zh) * 2022-01-30 2022-05-13 嵊州市玖和机电有限公司 一种带吹滤功能的气泵
CN114483520B (zh) * 2022-01-30 2024-05-28 嵊州市玖和机电有限公司 一种带吹滤功能的气泵

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009062870A (ja) エアーポンプ
KR101835898B1 (ko) 팽창식 물품을 수리하고 팽창시키기 위한 키트
EP2529113B1 (en) Air motor having ceramic valves
US8317493B2 (en) Precision pump having multiple heads and using an actuation fluid to pump one or more different process fluids
CN102325954A (zh) 家具铰链
CN101037162B (zh) 真空面抓取装置
JP5085733B2 (ja) マルチヘッドを備えた精密ポンプ
CN210709605U (zh) 吸取装置
EP2693092B1 (en) Two-stage air control valve
US20160279660A1 (en) Discharge System
JP5086771B2 (ja) ワーク吸着移送システムにおける給排気制御装置
CN101451522B (zh) 可变排量压电泵
JP6788395B2 (ja) シリンダ駆動装置
US9115728B2 (en) Directional control valve device
JP5820672B2 (ja) 真空チャック装置
JP5074807B2 (ja) エアーポンプ
KR101289670B1 (ko) 진공타입의 듀얼 밸브를 적용한 피스톤 타입의 브레이크 액추에이터
WO2000025023A1 (fr) Dispositif d'amortissement de pulsation de pompe
CN101881264B (zh) 一种线性压缩机用吸排气一体化吸排气装置
CN2509383Y (zh) 往复自换向密封活塞装置
CN201106692Y (zh) 流体控制阀
JP2007307541A (ja) 表面に負圧吸着して移動可能な装置
JP4801540B2 (ja) 弁装置及びダイヤフラム式真空ポンプ
CN201053517Y (zh) 一种真空截止阀
KR200395398Y1 (ko) 이중유공압(二重油空壓)실린더

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100902

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111101

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120413

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120425

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120622

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121225

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130507