JP2004009253A - 真空システム - Google Patents
真空システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004009253A JP2004009253A JP2002168831A JP2002168831A JP2004009253A JP 2004009253 A JP2004009253 A JP 2004009253A JP 2002168831 A JP2002168831 A JP 2002168831A JP 2002168831 A JP2002168831 A JP 2002168831A JP 2004009253 A JP2004009253 A JP 2004009253A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- negative pressure
- positive pressure
- pressure side
- vacuum pump
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/917—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers control arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
- B25B11/007—Vacuum work holders portable, e.g. handheld
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
【課題】真空吸引と空気供給との両者を効率良く行うことができるコンパクトな真空システムを提供することを課題とする。
【解決手段】真空システム10には、汎用の真空ポンプ12が設けられ、真空ポンプ12の排気側には、正圧側タンク22、正圧側電磁弁24、正圧側接続配管部26が順次接続されている。真空ポンプ12の負圧側には、負圧側タンク32、負圧側電磁弁34、負圧側接続配管部36が順次接続されている。更に、真空システム10は、空気吸引力によりワークを吸着して保持する吸着パッド44を備えており、吸着パッド44が接続された接続配管部46と、正圧側接続配管部26と、負圧側接続配管部36と、が三方接続部50で互いに連通している。1台の真空ポンプ12で、正圧、負圧の何れをも切換自在で吸着パッド44に供給することができる。
【選択図】 図1
【解決手段】真空システム10には、汎用の真空ポンプ12が設けられ、真空ポンプ12の排気側には、正圧側タンク22、正圧側電磁弁24、正圧側接続配管部26が順次接続されている。真空ポンプ12の負圧側には、負圧側タンク32、負圧側電磁弁34、負圧側接続配管部36が順次接続されている。更に、真空システム10は、空気吸引力によりワークを吸着して保持する吸着パッド44を備えており、吸着パッド44が接続された接続配管部46と、正圧側接続配管部26と、負圧側接続配管部36と、が三方接続部50で互いに連通している。1台の真空ポンプ12で、正圧、負圧の何れをも切換自在で吸着パッド44に供給することができる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク等を空気吸引により吸着でき、更に、空気供給により離すことができる真空システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
ワークを運搬等するために、真空源からの空気吸引によりワークを吸着部(例えば吸着パッド)で吸着、保持することが広く行われている。この場合、吸着したワークを吸着部から離すことができるように、吸着部へ空気を送給する空気供給源を更に設けている。
【0003】
しかし、真空源での排気力や空気供給源での吸引力は有効利用されておらず、これらを有効利用して装置のランニングコストを低減することが望まれていた。また、真空源と空気供給源との2台の装置を設けており、設置スペースの縮小化、及び、装置コストの低減化も望まれていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事実を考慮して、真空吸引と空気供給との両者を効率良く行うことができるコンパクトな真空システムを提供することを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明では、真空ポンプと、前記真空ポンプの排気側に接続された正圧用タンクと、前記正圧用タンクからの正圧の供給、停止を切り換える正圧用開閉弁と、を有することを特徴とする。
【0006】
正圧用タンクの容量は、真空ポンプの排気能力、真空ポンプの使用頻度などに合わせて設定する。
【0007】
請求項1に記載の発明により、真空吸引のために真空ポンプを駆動させた際、排気された空気を正圧用タンクに送給できるので、正圧のエネルギーを無駄にせずに蓄えておくことができる。
【0008】
請求項2に記載の発明では、前記真空ポンプの吸引側に接続された負圧用タンクと、前記負圧用タンクからの負圧の供給、停止を切り換える負圧用開閉弁と、
を有することを特徴とする。
【0009】
これにより、真空ポンプを駆動させることにより、負圧用タンクの減圧と加圧用タンクの加圧との両者が行われ、正圧のエネルギー及び減圧のエネルギーの両者を同時に蓄えることができる。
【0010】
請求項3に記載の発明では、前記正圧用開閉弁と、前記負圧用開閉弁と、ワークを吸着する吸着部と、に連通する接続配管を有することを特徴とする。
【0011】
これにより、正圧用開閉弁を閉にした状態で負圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吸引されてワークを吸着、保持でき、また、負圧用開閉弁を閉にした状態で正圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吹き出されてワークが吸着部から離れる。
【0012】
請求項4に記載の発明では、前記正圧用タンクにリリーフバルブを設けたことを特徴とする。
【0013】
これにより、正圧用タンクが加圧されすぎることを簡易な手段で容易に防止できる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。図1に示すように、本発明の一実施形態に係る真空システム10には、汎用の真空ポンプ12と、真空ポンプ12の排気側に接続された正圧ライン16と、真空ポンプ12の負圧側に接続された負圧ライン18と、を有する。
【0015】
正圧ライン16には、逆止弁20、正圧側タンク22、正圧側電磁弁24、正圧側接続配管部26が順次設けられており、正圧側タンク22には、リリーフバルブ23が設けられている。
【0016】
負圧ライン18には、フィルタ29、負圧側タンク32、逆止弁32、負圧側電磁弁34、負圧側接続配管部36が順次設けられている。また、逆止弁32と負圧側電磁弁34との間には分岐管38が設けられ、この分岐管38には、負圧値に基づいて種々の指令を行うコントロールパネル40と、真空度調整の絞りとして機能するスピードコントローラ42と、が取付けられている。
【0017】
更に、真空システム10は、空気吸引力によりワークを吸着して保持する吸着パッド44を備えており、吸着パッド44が接続された接続配管部46と、正圧側接続配管部26と、負圧側接続配管部36と、が三方接続部50で互いに連通している。
【0018】
以下、真空システム10の作用について説明する。
【0019】
真空システム10を使用する際には、正圧側電磁弁24及び負圧側電磁弁34を閉にした状態で真空ポンプ12を駆動させ、この駆動状態を維持する。この結果、負圧側タンク32は常に減圧され、正圧側タンク22は常に加圧される。
【0020】
吸着パッド44でワークを吸着するには、負圧側電磁弁34を開にする。この結果、吸着パッド44には空気吸引力が生じ、吸着パッド44でワークを吸着することができる。
【0021】
吸着パッド44で吸着したワークを吸着パッド44から離すには、負圧側電磁弁34を閉にし、更に、正圧側電磁弁24を開にする。この結果、吸着パッド44から空気が噴き出し、ワークが吸着パッド44から離される。
【0022】
このように、上記実施形態では、真空ポンプ12の駆動によって負圧側タンク32が減圧されると共に正圧側タンク22が加圧される。従って、負圧供給用の真空ポンプと正圧供給用の圧縮ポンプとの2台のポンプを設けなくても、1台の真空ポンプ12で負圧と正圧との両者を供給することができ、イニシャルコストを低減化できると共に、真空ポンプ12の排気力が有効に利用された低ランニングコストの真空システム10が実現される。
【0023】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、上記実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲が上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【0024】
【発明の効果】
本発明は上記構成としたので、以下の効果を奏することができる。
【0025】
請求項1に記載の発明によれば、真空吸引のために真空ポンプを駆動させた際、排気された空気を正圧用タンクに送給できるので、正圧のエネルギーを無駄にせずに蓄えておくことができる。
【0026】
請求項2に記載の発明によれば、真空ポンプを駆動させることにより、負圧用タンクの減圧と加圧用タンクの加圧との両者が行われ、正圧のエネルギー及び減圧のエネルギーの両者を同時に蓄えることができる。
【0027】
請求項3に記載の発明によれば、正圧用開閉弁を閉にした状態で負圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吸引されてワークを吸着、保持でき、また、負圧用開閉弁を閉にした状態で正圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吹き出されてワークが吸着部から離れる。
【0028】
請求項4に記載の発明によれば、正圧用タンクが加圧されすぎることを簡易な手段で容易に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る真空システムの構成図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る真空システムで、吸着パッドへ正圧、負圧の何れも供給できることを示す構成図である。
【符号の説明】
10 真空システム
12 真空ポンプ
22 正圧側タンク(正圧用タンク)
23 リリーフバルブ
24 正圧側電磁弁(正圧用開閉弁)
32 負圧側タンク(負圧用タンク)
34 負圧側電磁弁(負圧用開閉弁)
44 吸着パッド(吸着部)
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク等を空気吸引により吸着でき、更に、空気供給により離すことができる真空システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
ワークを運搬等するために、真空源からの空気吸引によりワークを吸着部(例えば吸着パッド)で吸着、保持することが広く行われている。この場合、吸着したワークを吸着部から離すことができるように、吸着部へ空気を送給する空気供給源を更に設けている。
【0003】
しかし、真空源での排気力や空気供給源での吸引力は有効利用されておらず、これらを有効利用して装置のランニングコストを低減することが望まれていた。また、真空源と空気供給源との2台の装置を設けており、設置スペースの縮小化、及び、装置コストの低減化も望まれていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事実を考慮して、真空吸引と空気供給との両者を効率良く行うことができるコンパクトな真空システムを提供することを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明では、真空ポンプと、前記真空ポンプの排気側に接続された正圧用タンクと、前記正圧用タンクからの正圧の供給、停止を切り換える正圧用開閉弁と、を有することを特徴とする。
【0006】
正圧用タンクの容量は、真空ポンプの排気能力、真空ポンプの使用頻度などに合わせて設定する。
【0007】
請求項1に記載の発明により、真空吸引のために真空ポンプを駆動させた際、排気された空気を正圧用タンクに送給できるので、正圧のエネルギーを無駄にせずに蓄えておくことができる。
【0008】
請求項2に記載の発明では、前記真空ポンプの吸引側に接続された負圧用タンクと、前記負圧用タンクからの負圧の供給、停止を切り換える負圧用開閉弁と、
を有することを特徴とする。
【0009】
これにより、真空ポンプを駆動させることにより、負圧用タンクの減圧と加圧用タンクの加圧との両者が行われ、正圧のエネルギー及び減圧のエネルギーの両者を同時に蓄えることができる。
【0010】
請求項3に記載の発明では、前記正圧用開閉弁と、前記負圧用開閉弁と、ワークを吸着する吸着部と、に連通する接続配管を有することを特徴とする。
【0011】
これにより、正圧用開閉弁を閉にした状態で負圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吸引されてワークを吸着、保持でき、また、負圧用開閉弁を閉にした状態で正圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吹き出されてワークが吸着部から離れる。
【0012】
請求項4に記載の発明では、前記正圧用タンクにリリーフバルブを設けたことを特徴とする。
【0013】
これにより、正圧用タンクが加圧されすぎることを簡易な手段で容易に防止できる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。図1に示すように、本発明の一実施形態に係る真空システム10には、汎用の真空ポンプ12と、真空ポンプ12の排気側に接続された正圧ライン16と、真空ポンプ12の負圧側に接続された負圧ライン18と、を有する。
【0015】
正圧ライン16には、逆止弁20、正圧側タンク22、正圧側電磁弁24、正圧側接続配管部26が順次設けられており、正圧側タンク22には、リリーフバルブ23が設けられている。
【0016】
負圧ライン18には、フィルタ29、負圧側タンク32、逆止弁32、負圧側電磁弁34、負圧側接続配管部36が順次設けられている。また、逆止弁32と負圧側電磁弁34との間には分岐管38が設けられ、この分岐管38には、負圧値に基づいて種々の指令を行うコントロールパネル40と、真空度調整の絞りとして機能するスピードコントローラ42と、が取付けられている。
【0017】
更に、真空システム10は、空気吸引力によりワークを吸着して保持する吸着パッド44を備えており、吸着パッド44が接続された接続配管部46と、正圧側接続配管部26と、負圧側接続配管部36と、が三方接続部50で互いに連通している。
【0018】
以下、真空システム10の作用について説明する。
【0019】
真空システム10を使用する際には、正圧側電磁弁24及び負圧側電磁弁34を閉にした状態で真空ポンプ12を駆動させ、この駆動状態を維持する。この結果、負圧側タンク32は常に減圧され、正圧側タンク22は常に加圧される。
【0020】
吸着パッド44でワークを吸着するには、負圧側電磁弁34を開にする。この結果、吸着パッド44には空気吸引力が生じ、吸着パッド44でワークを吸着することができる。
【0021】
吸着パッド44で吸着したワークを吸着パッド44から離すには、負圧側電磁弁34を閉にし、更に、正圧側電磁弁24を開にする。この結果、吸着パッド44から空気が噴き出し、ワークが吸着パッド44から離される。
【0022】
このように、上記実施形態では、真空ポンプ12の駆動によって負圧側タンク32が減圧されると共に正圧側タンク22が加圧される。従って、負圧供給用の真空ポンプと正圧供給用の圧縮ポンプとの2台のポンプを設けなくても、1台の真空ポンプ12で負圧と正圧との両者を供給することができ、イニシャルコストを低減化できると共に、真空ポンプ12の排気力が有効に利用された低ランニングコストの真空システム10が実現される。
【0023】
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、上記実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲が上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。
【0024】
【発明の効果】
本発明は上記構成としたので、以下の効果を奏することができる。
【0025】
請求項1に記載の発明によれば、真空吸引のために真空ポンプを駆動させた際、排気された空気を正圧用タンクに送給できるので、正圧のエネルギーを無駄にせずに蓄えておくことができる。
【0026】
請求項2に記載の発明によれば、真空ポンプを駆動させることにより、負圧用タンクの減圧と加圧用タンクの加圧との両者が行われ、正圧のエネルギー及び減圧のエネルギーの両者を同時に蓄えることができる。
【0027】
請求項3に記載の発明によれば、正圧用開閉弁を閉にした状態で負圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吸引されてワークを吸着、保持でき、また、負圧用開閉弁を閉にした状態で正圧用開閉弁を開にすることにより、吸着部で空気が吹き出されてワークが吸着部から離れる。
【0028】
請求項4に記載の発明によれば、正圧用タンクが加圧されすぎることを簡易な手段で容易に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る真空システムの構成図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る真空システムで、吸着パッドへ正圧、負圧の何れも供給できることを示す構成図である。
【符号の説明】
10 真空システム
12 真空ポンプ
22 正圧側タンク(正圧用タンク)
23 リリーフバルブ
24 正圧側電磁弁(正圧用開閉弁)
32 負圧側タンク(負圧用タンク)
34 負圧側電磁弁(負圧用開閉弁)
44 吸着パッド(吸着部)
Claims (4)
- 真空ポンプと、
前記真空ポンプの排気側に接続された正圧用タンクと、
前記正圧用タンクからの正圧の供給、停止を切り換える正圧用開閉弁と、
を有することを特徴とする真空システム。 - 前記真空ポンプの吸引側に接続された負圧用タンクと、
前記負圧用タンクからの負圧の供給、停止を切り換える負圧用開閉弁と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の真空システム。 - 前記正圧用開閉弁と、前記負圧用開閉弁と、ワークを吸着する吸着部と、に連通する接続配管を有することを特徴とする請求項2に記載の真空システム。
- 前記正圧用タンクにリリーフバルブを設けたことを特徴とする請求項1〜請求項3のうち何れか1項に記載の真空システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002168831A JP2004009253A (ja) | 2002-06-10 | 2002-06-10 | 真空システム |
AU2003242071A AU2003242071A1 (en) | 2002-06-10 | 2003-06-09 | Vacuum system |
PCT/JP2003/007280 WO2003103904A1 (ja) | 2002-06-10 | 2003-06-09 | 真空システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002168831A JP2004009253A (ja) | 2002-06-10 | 2002-06-10 | 真空システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004009253A true JP2004009253A (ja) | 2004-01-15 |
Family
ID=29727700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002168831A Pending JP2004009253A (ja) | 2002-06-10 | 2002-06-10 | 真空システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004009253A (ja) |
AU (1) | AU2003242071A1 (ja) |
WO (1) | WO2003103904A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009062870A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | I & T:Kk | エアーポンプ |
JP2009101467A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | I & T:Kk | ワーク吸着移送システムにおける給排気制御装置 |
CN105965421A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-09-28 | 丘斯波 | 一种真空装夹系统 |
KR20160121355A (ko) * | 2015-04-10 | 2016-10-19 | 한화테크윈 주식회사 | 부품 지지 헤드 |
WO2023042538A1 (ja) * | 2021-09-16 | 2023-03-23 | Smc株式会社 | 正負圧力切替回路 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103662833A (zh) * | 2012-08-31 | 2014-03-26 | 昆山冠益玻璃有限公司 | 一种玻璃阪东机用真空吸片装置 |
CN110456837B (zh) * | 2019-07-29 | 2021-03-19 | 清华大学 | 正负压一体流体压力调节装置、系统及方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0511986Y2 (ja) * | 1987-08-31 | 1993-03-25 |
-
2002
- 2002-06-10 JP JP2002168831A patent/JP2004009253A/ja active Pending
-
2003
- 2003-06-09 WO PCT/JP2003/007280 patent/WO2003103904A1/ja active Application Filing
- 2003-06-09 AU AU2003242071A patent/AU2003242071A1/en not_active Abandoned
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009062870A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | I & T:Kk | エアーポンプ |
JP2009101467A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | I & T:Kk | ワーク吸着移送システムにおける給排気制御装置 |
KR20160121355A (ko) * | 2015-04-10 | 2016-10-19 | 한화테크윈 주식회사 | 부품 지지 헤드 |
CN106061227A (zh) * | 2015-04-10 | 2016-10-26 | 韩华泰科株式会社 | 部件支撑头及利用此的部件拾取贴装方法 |
JP2016198858A (ja) * | 2015-04-10 | 2016-12-01 | ハンファテクウィン株式会社Hanwha Techwin Co.,Ltd. | 部品保持ヘッド |
CN106061227B (zh) * | 2015-04-10 | 2020-08-14 | 韩华精密机械株式会社 | 部件支撑头及利用此的部件拾取贴装方法 |
KR102405426B1 (ko) * | 2015-04-10 | 2022-06-07 | 한화정밀기계 주식회사 | 부품 지지 헤드 |
CN105965421A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-09-28 | 丘斯波 | 一种真空装夹系统 |
WO2023042538A1 (ja) * | 2021-09-16 | 2023-03-23 | Smc株式会社 | 正負圧力切替回路 |
TWI825939B (zh) * | 2021-09-16 | 2023-12-11 | 日商Smc股份有限公司 | 正負壓切換迴路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2003242071A1 (en) | 2003-12-22 |
WO2003103904A1 (ja) | 2003-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11433730B2 (en) | Air suspension apparatus | |
JP2004009253A (ja) | 真空システム | |
JP2006232632A (ja) | 酸素濃縮装置 | |
US20100283194A1 (en) | Energy-saving vacuum adsorption apparatus | |
JP4799454B2 (ja) | 圧力スイング吸着型酸素濃縮器 | |
CN215471155U (zh) | 一种真空吸附系统 | |
CN107035732B (zh) | 真空发生器装置 | |
JP3676669B2 (ja) | 空気圧装置 | |
JP2007089684A (ja) | 酸素濃縮装置 | |
TWI825939B (zh) | 正負壓切換迴路 | |
JP2009119069A (ja) | 酸素濃縮装置 | |
JP2009083017A (ja) | ワーク吸着保持装置 | |
JPH08309684A (ja) | 排気流量調整機構付き真空吸着装置 | |
US8932387B2 (en) | Enrichment system for combustible gas | |
CN207792077U (zh) | 光伏层压件搬运系统 | |
JP4673440B1 (ja) | 目的ガスの分離回収方法 | |
JP2012012943A (ja) | 真空発生システム | |
JP2004169677A (ja) | 正圧負圧供給装置 | |
KR100528656B1 (ko) | 급속탈착기능을 갖춘 유리 흡착장치 | |
JP2013066528A (ja) | 酸素供給装置 | |
EP1734804A3 (de) | Vorrichtung zum Handhaben von Bauteilen und zugehöriges Steuerverfahren | |
JP2020168088A (ja) | 酸素濃縮装置 | |
KR20120129151A (ko) | 부가 기능을 갖는 차량용 공기스프링의 공압회로 시스템 | |
JP2006141896A (ja) | 酸素濃縮器 | |
JPH0824553A (ja) | ガス組成制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061003 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070612 |