CN107735572B

CN107735572B - 使用电动促动器的气泵装置及气泵系统

Info

Publication number: CN107735572B
Application number: CN201680035369.3A
Authority: CN
Inventors: 小泽浩司; 永塚正树; 岩田宗大; 田川爱子; 飞田干; 内藤隆
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 2015-06-23
Filing date: 2016-06-22
Publication date: 2019-02-26
Anticipated expiration: 2036-06-22
Also published as: CN107735572A; WO2016208604A1; JP2017008827A; DE112016002864T5; JP6117281B2; US20180185999A1; US10391629B2; DE112016002864B4

Abstract

本发明提供能够通过电动使吸附垫、气动卡盘等气压设备动作的使用电动促动器的气泵装置。本发明的气泵装置(1)具备：内置有活塞(22)的气缸(6)；使用电动马达(M4)作为驱动源而使活塞(22)相对于气缸(6)相对地进行直线运动的电动促动器(A4)。利用电动促动器(A4)使气缸(6)的活塞(22)进行直线运动而产生的负压及/或正压的空气来使气压设备(4、5)动作。

Description

使用电动促动器的气泵装置及气泵系统

技术领域

本发明涉及利用气体的负压及/或正压使气压设备动作的使用电动促动器的气泵装置以及气泵系统。

背景技术

吸附垫、气动卡盘等气压设备将压缩空气作为能量源而进行动作。压缩空气通过压缩器对大气进行压缩而作成之后通过配管向所需要的气压设备供给。

在工厂等的生产设备中，吸附垫、气动卡盘等气压设备有时与使这些设备沿X、Y、Z轴方向移动的3轴机器人组合使用。近年来，为了节省能源，将3轴机器人从使用气缸或液压缸置换为使用电动马达的电动促动器(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-213437号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，即使用电动促动器置换3轴机器人，吸附垫、气动卡盘等气压设备也需要压缩空气。在不能使用空气的环境下(例如检查室等)，存在需要新设置压缩器、压缩空气的配管等的大型设备的课题。

本发明是为了解决上述的课题而做成的，其目的在于提供能够通过电动使气动卡盘、吸附垫等气压设备动作的使用电动促动器的气泵装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的一方案是一种使用电动促动器的气泵装置，其具备：内置有活塞的气缸；使用电动马达作为驱动源而使所述活塞相对于所述气缸相对地进行直线运动的电动促动器，利用所述电动促动器使所述活塞进行直线运动而产生的负压及/或正压的空气，来使气压设备动作。

发明效果

根据本发明，通过利用电动促动器使气缸动作，能够产生空气的负压及/或正压，通过电动使吸附垫、气动卡盘等气压设备动作。

附图说明

图1是本发明的实施方式的气泵系统的立体图。

图2是本发明的实施方式的气泵装置的立体图。

图3是本实施方式的气泵装置的侧视图。

图4是本实施方式的气泵装置的电动促动器的侧视图。

图5是本实施方式的气泵装置的气缸的剖视图。

图6是与本实施方式的气泵装置连接的气压设备的立体图(图6(a)是吸附垫的立体图，图6(b)是气动卡盘的立体图)。

图7是表示本发明的实施方式的气泵系统的控制系统的构成的图。

图8是图7所示的控制系统的控制装置的功能框图。

图9是表示由图7所示的控制系统进行的促动器的控制的流程的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明本发明的使用电动促动器的气泵装置及气泵系统的实施方式。但是，本发明的使用电动促动器的气泵装置及气泵系统能够以各种方式具体化，并不限定于本说明书所记载的实施方式。本实施方式是为了通过使说明书的公开充分而使本领域技术人员能够充分理解发明的范围而提供的。

图1是本发明的实施方式的气泵系统的立体图。本实施方式的气泵系统具备气泵装置1以及3轴机器人2。3轴机器人2使经由软管3与气泵装置1连接的吸附垫4或气动卡盘5(参照图6(a)、(b))沿X、Y、Z轴这3轴方向移动。需要说明的是，以下，为了方便说明，使用图1所示的X、Y、Z轴方向(气泵装置1的电动促动器A4进行动作的方向为Z轴方向)说明气泵系统的构成。

气泵装置1的构成如下所述。图2表示气泵装置1的立体图，图3表示气泵装置1的侧视图。如图2所示，气泵装置1具备电动促动器A4(以下仅称为促动器A4)以及经由作为连结构件的连结板7与促动器A4的端部连结的气缸6。促动器A4具备：电动马达M4；供电动马达M4安装的促动器主体8；能沿Z轴方向进行直线运动地支承于促动器主体8的滑块9；将电动马达M4的输出轴的旋转转换为滑块9的直线运动的作为运动转换机构的丝杠装置14。当使电动马达M4旋转时，滑块9相对于促动器主体8沿Z轴方向进行直线运动。

图4表示拆下了盖的状态的促动器A4的侧视图。在促动器主体8配置有引导滑块9进行直线运动的直线引导件11。直线引导件11具备：安装于促动器主体8的轨道构件13；以及沿轨道构件13进行直线运动的滑动台12。在轨道构件13与滑动台12之间夹设有能够进行滚动运动的多个滚动体。在滑动台12设有使多个滚动体循环的循环路。伴随着滑动台12相对于轨道构件13的移动，多个滚动体在循环路中循环。在滑动台12，经由丝杠装置14安装有滑块9。滑块9的直线运动经由丝杠装置14被直线引导件11引导。

在滑块9固定有丝杠装置14的螺母15。丝杠装置14的丝杠轴16螺合于螺母15。在丝杠轴16的螺纹槽与螺母15的螺纹槽之间，也可以夹设能够进行滚动运动的多个滚珠。丝杠轴16与电动马达M4的输出轴连结。当电动马达M4使丝杠轴16旋转时，固定于螺母15的滑块9进行直线运动。

在电动马达M4搭载有用于检测电动马达M4的旋转位置的回转式编码器17。回转式编码器17检测电动马达M4的旋转位置，进而检测滑块9的Z轴方向的位置。如后所述，在滑块9连结有气缸6的活塞22(参照图5)，因此，通过检测滑块9的位置，能够检测活塞22的位置。另外，在电动马达M4安装有用于控制电动马达M4的控制装置D4。控制装置D4具有向电动马达M4供给电力的驱动器R4、向该驱动器R4发送指令的控制部C4(参照图7)。控制装置D4基于来自回转式编码器17的信号控制电动马达M4，以使滑块9的位置与控制部C4的指令一致。需要说明的是，也可以代替回转式编码器17而设置检测滑块9的位置的线性编码器。

如图3所示，在促动器A4的Z轴方向的端部，经由板状的连结板7而安装有气缸6。促动器主体8的一端部固定于连结板7的Z轴方向的一方的面，气缸6的一端部悬臂支承于连结板7的Z轴方向的另一方的面。

图5表示沿着Z轴方向的气缸6的剖视图。气缸6具备：内部具有圆筒形的活塞收容空间的主体20；在主体20的内部往复的活塞22；固定于活塞22的活塞杆21；封闭主体20的一端部的盖23；以使活塞杆21能够滑动的方式封闭主体20的另一端部的缸端盖24。气缸6的内部被活塞22划分为第一室S1与第二室S2。在第一室S1及第二室S2设有吸排气口25、26。在第一室S1的吸排气口25，经由挠性的软管3(参照图1)连接有吸附垫4或气动卡盘5。

如图3所示，活塞杆21与促动器A4的滑块9的移动方向平行。从侧方观察气缸6及促动器A4时，气缸6与促动器A4在X轴方向上偏置(换言之，气缸6的上下方向的中心线CL1与促动器A4的上下方向的中心线CL2在X轴方向上错开)，活塞杆21与促动器A4在Z轴方向上重叠长度L。需要说明的是，图3中示出活塞杆21收缩了的位置。当活塞杆21位于伸长的位置时，长度L变得更长。如图2所示，在连结板7开设有供气缸6的活塞杆21通过的孔7a。活塞杆21的前端经由L字形的托架18与滑块9连结，当滑块9进行直线运动时，活塞22进行直线运动。

图6(a)、(b)表示使气泵装置1动作的气压设备。气压设备能够使用例如图6(a)所示的吸附垫4、图6(b)所示的气动卡盘5。吸附垫4一方面使内部产生真空而吸附工件，另一方面破坏内部的真空而使工件离开。通过测定与吸附垫4连接的软管3的内部压力，能够检测吸附垫4是否吸附工件。气动卡盘5例如将压缩空气作为驱动源而使内部的活塞往复，将活塞的往复转换为一对钩爪5a、5b的开闭。通过测定在一对钩爪5a、5b产生的压力，能够检测一对钩爪5a、5b是否抓住工件。

如图5所示，当促动器A4使活塞22向一方向朝向缸端盖24移动时，第一室S1成为负压，第二室S2成为正压。在第一室S1的负压的作用下，吸附垫4产生真空，吸附垫4能够使托盘19上的工件W(参照图1)吸附。此时，从第二室S2的吸排气口26排出压缩空气。与此相反，当促动器A4使活塞22向另一方向朝向盖23移动时，第一室S1成为正压，第二室S2成为负压。在第一室S1的正压的作用下，吸附垫4的真空被破坏，吸附垫4能够使工件W离开托盘19上。此时，从吸排气口26向第二室S2内吸入大气。需要说明的是，在该实施方式中，仅在第一室S1的吸排气口25连接吸附垫4或气动卡盘5，但也可以在第一室S1及第二室S2这两方的吸排气口25、26连接吸附垫4或气动卡盘5。

如图1所示，3轴机器人2将吸附垫4或气动卡盘5输送至规定的位置。3轴机器人2的构成如下所述。3轴机器人2具备：固定于支柱31的X轴促动器A1；固定于X轴促动器A1的滑块32的Y轴促动器A2；固定于Y轴促动器A2的滑块33的Z轴促动器A3。各轴的促动器A1～A3具备：在一轴方向上细长的促动器主体35、36、37；安装于促动器主体35、36、37的电动马达M1、M2、M3；能沿一轴方向进行直线运动地支承于促动器主体35、36、37的滑块32、33、34；将电动马达M1、M2、M3的输出轴的旋转转换为滑块32、33、34的直线运动的运动转换机构。运动转换机构例如由带及滑轮、丝杠轴及螺母、齿条及小齿轮等构成。

在Z轴促动器A3的滑块34安装有吸附垫4或气动卡盘5。气泵装置1为了减轻Z轴促动器A3的负担而安装于X轴促动器A1的滑块32。为了取得力矩的平衡，在X轴促动器A1的滑块32，在从X轴方向观察为一侧安装有Y轴促动器A2，在另一侧安装有气泵装置1。

控制气泵装置1的控制装置D4、控制3轴机器人2的各轴的促动器A1～A3的控制装置D1～D3的构成如下所述。如图7所示，控制装置D4具备向电动马达M4供给电力的驱动器R4以及向该驱动器R4发送指令的控制部C4。控制装置D1～D3也分别具备向电动马达M1～M3供给电力的驱动器R1～R3以及向该驱动器R1～R3发送指令的控制部C1～C3。控制装置D1～D4的控制部C1～C4由处理器及在此执行的程序等构成。

控制装置D1～D4通过串级链41串联地连接，在控制装置D1～D4之间能够进行CAN(Controller Area Network)通信。在控制装置D1～D4分别设定有用于识别控制装置D1～D4的ID1～ID4，在控制部C1～C3收纳有相应的ID。在控制装置D1～D4的驱动器R1～R4连接有用于向驱动器R1～R4供给电力的电源线。

在以往的一般的控制系统中，在一台主控制装置连接多个驱动器，从一台主控制装置向多个驱动器发送指令。相对于此，在本实施方式的控制系统中，不存在担负系统整体的控制的主控制装置，系统整体的控制分散地分配给各控制装置D1～D4。并且，控制装置D1～D4的控制部C1～C4既能向自身的控制装置D1～D4的驱动器R1～R4发送指令，也能向其他的控制装置D1～D4的驱动器R1～R4发送指令。

在控制装置D1～D4，能经由CAN通信连接对脚本(用于控制促动器A1～A4的程序)进行改写的PC等的脚本改写装置42。当然，在不需要脚本的改写时，不需要将脚本改写装置42与控制装置D1～D4连接。

图8表示将在代表控制装置D1～D4的控制装置D4的控制部C4实现的功能图像化了的功能框图。该功能通过控制部C4的处理器、输入输出端口、存储器等的硬件、在控制部C4的处理器执行的程序来实现。

在控制装置D4的控制部C4形成有输入部51、输出部52、ID保持部53、坐标数据保持部54、脚本保持部55、脚本改写接受部56、程序执行部57。在输入部51，经由控制装置D4的输入端口而输入有控制装置D4所直接对应的促动器A4的驱动控制所需要的数据。如后述那样，从控制装置D4以外的控制装置(即控制装置D1～D3)向输入部51也输入促动器A4用的指令。与输入部51相反，输出部52经由控制装置D4的输出端口将用于驱动除了控制装置D4之外的控制装置(即控制装置D1～D3)所直接关联的促动器A1～A3的指令向各控制装置D1～D3的控制部C1～C3输出。因此，从控制装置D4的控制部C4的输出部52输出的指令向其他的控制装置D1～D3的控制部C1～C3的输入部51输入。如上所述，ID保持部53保持针对各控制装置D1～D4而设定的识别用的ID。在控制装置D4上的存储器保持有该识别用ID(控制装置D4的情况下为ID4)。坐标数据保持部54存储与促动器A4的驱动相关且该促动器A4能获取的坐标数据。在后述的脚本保持部55内的程序中准备用于直接指定促动器A4的移动目的地的坐标的命令，作为该命令的自变量而利用保持于坐标数据保持部54的坐标数据。需要说明的是，在本实施方式，坐标数据保持部54保持例如最多255个坐标数据。

脚本保持部55将包含与控制装置D4所直接关联的促动器A4的驱动控制有关的程序或与自身的控制装置D4以外的控制装置D1～D3所直接关联的促动器A1～A3的驱动控制有关的程序的脚本保持于控制装置D4内的存储器。关于脚本的详细内容见后述，但本实施方式中应特别说明的是，控制装置D4也能够相对于自身的控制装置D4以外的控制装置D1～D3所直接关联的促动器A1～A3发送指令。脚本改写接受部56在从控制系统的外部由脚本改写装置42进行脚本的改写时接受其改写指示。程序执行部57执行脚本保持部55所保持的驱动控制用的程序(脚本)，实际上进行促动器A4的驱动控制。就该程序而言，能够通过控制装置D1～D4的识别用ID指定成为驱动对象的促动器A1～A4，由此，利用程序执行部57，成为驱动控制的对象的促动器成为串级链连接着的所有的促动器A1～A4。

需要说明的是，图8表示关于控制装置D4的功能块，但其他的控制装置D1～D3实质上也具有同样的功能块。因此，作为控制系统整体，经由各个控制装置D1～D4的控制部C1～C4的输入部51与输出部52，不仅能向自身的控制装置D1～D4所直接关联的促动器A1～A4发送指令，还能向除了自身的控制装置D1～D4之外的其他的控制装置D1～D4的全部或一部分发送指令。

基于图9说明促动器A1、A2、A4的驱动控制。需要说明的是，为了便于说明，在图9中，说明促动器A1、A2、A4的驱动控制。图9是将控制装置D1、D2各自的控制部C1、C2所具有的脚本以及控制装置D2、D3各自的控制部C2、C3所具有的点表图式化的图。需要说明的是，在图9中，关于控制装置D1未示出点表，关于控制装置D4未示出脚本，但这是为了便于本实施方式的说明，各控制装置D1、D2、D4可以根据需要分别具备脚本、点表。脚本是在多行记载用于驱动促动器A1、A2、A4的控制程序的程序群，在一个控制装置D1、D2、D4的控制部C1、C2、C4最多存储8个脚本，各脚本最多包含例如255行的控制程序。另外，点表是由使促动器A1、A2、A4驱动时的移动位置和其移动所需要的移动时间的组合构成的表。在本申请发明的实施方式中，点表能够包含例如最多255个移动位置和移动时间的组合。该脚本由上述脚本保持部55保持，该点表由上述坐标数据保持部54保持。

图9所示的控制装置D1的控制部C1所执行的脚本Scl是由S11～S17这7行的控制程序构成的脚本，控制装置D2的控制部C2所执行的脚本Sc2是由S21～S25这5行的控制程序构成的脚本。当执行脚本Scl时，首先，在步骤S11中，进行励磁处理。该励磁处理是仅相对于与进行处理的控制装置D1直接关联的促动器A1进行的处理。因此，在励磁处理中，指定与成为处理的对象的促动器A1直接关联的控制装置D1的ID信息。因此，通过步骤S11，促动器A1被励磁起动。接着，在步骤S12中，进行时间·相对位置移动的处理。在此所说的相对位置移动是指以当前时刻的位置为基准进行的相对的移动。该处理也与上述励磁处理同样地，仅相对于与控制装置D1直接关联的促动器A1进行。因此，该处理的自变量设置有与相对位置移动相关的时间和移动距离(脉冲数)。在图9的步骤S12中，相对于促动器A1进行以200ms的时间进行1000p(脉冲)的相对移动的处理。

接下来，在步骤S13中，进行脚本执行处理。该处理是用于不仅使自身的控制装置(在本实施例的情况下为控制装置D1)还使其他的控制装置D2的控制部C2也执行脚本的处理。因此，作为该处理的自变量，设定保持被执行的脚本的控制装置D2的ID2以及由该ID2指定的控制装置D2所执行的脚本的编号。在图9所示的实施方式中，在步骤S13中，执行由ID2特定的控制装置D2的控制部C2的脚本Sc2。需要说明的是，接下来的步骤S14是进行动作完成等待的处理的步骤。该动作完成等待处理是一直到在那之前进行的处理(在该情况下是步骤S13的处理)完成不进行接下来的步骤而待机的处理。因此，通过步骤S13，执行脚本Sc2，一直到步骤S13完成，不进行步骤S15以后的处理。

在此，简单说明脚本Sc2。如图9的右侧所示，脚本Sc2是由S21～S25这5行的控制程序构成的脚本。在步骤S21中，进行与控制装置D2直接关联的促动器A2的励磁起动处理。然后，在步骤S22中，同样地进行促动器A2的时间·相对位置移动处理(以1000ms的时间进行5000p的相对移动)。接下来，在步骤S23中，进行被称为“点执行(Point Go)”的处理。该“点执行”处理是指在与具有指定的ID的控制装置D4关联的促动器A4按照所指定的点表进行该促动器A4的移动处理。在该处理中，能够通过ID指定自身的控制装置D2以外的控制装置D4，因此，关于与自身的控制装置D2以外的控制装置D4直接关联的促动器A4，也能进行按照点表的驱动处理。该点表针对各控制装置D1～D4而设定，因此，使用者容易掌握与该控制装置D1～D4直接关联的促动器A1～A4的驱动状况，该促动器A1～A4的驱动控制容易。在步骤S23中，作为“点执行”处理的自变量，设定控制装置D4的ID即ID4以及指定控制装置D4所具有的点表的PT1。由此，从控制装置D2侧，按照所指定的点表PT1对与控制装置D4直接关联的促动器A4进行驱动控制。点表PT1是在表格中表示促动器A4的绝对位置和到达时间，最多能记录到255点。

接下来，在步骤S24中，进行直到步骤S23的“点执行”处理完成的待机处理，当该“点执行”处理完成时，向步骤S25转移，进行促动器A2的励磁隔断处理。通过以上的一连串的处理，由脚本Sc2特定的促动器A2的驱动控制完成。如上所述，该Sc2的执行是通过控制装置D1侧的脚本Scl所包含的步骤S13起动的，因此，当上述脚本Sc2的一连串的处理完成时，步骤S14中的动作完成确认之后进行步骤S15的处理。

在步骤S15中，进行称为上述的“点执行”的处理。在此，作为“点执行”处理的自变量，设定控制装置D2的ID即ID2以及指定控制装置D2所具有的点表的PT2。由此，从控制装置D1侧，按照点表PT2对与控制装置D2直接关联的促动器A2进行驱动控制。

接着步骤S15，在步骤S16中进行动作完成等待的处理。因此，直到步骤S15中的“点执行”处理完成不进行S17以后的处理。当从控制装置D2向控制装置D1传达促动器A2的“点执行”处理已完成时，在步骤S16中进行动作完成的判断，进行步骤S17的处理。在步骤S17中，进行促动器A1的励磁隔断处理。

这样，在本实施方式的促动器的驱动控制中，控制装置D1不仅能进行与自身的控制装置D1直接关联的促动器A1的驱动控制，还能如步骤S13、步骤S15的处理所示那样，经由通过串级链连接的控制装置D2对促动器A2的驱动进行控制。另一方面，在控制装置D2中，不仅能进行与自身的控制装置D2直接关联的促动器A2的驱动控制，还能如步骤S23的处理所示那样，经由通过串级链连接的控制装置D4对促动器A4的驱动进行控制。即，能够相对于除了自身的控制装置D2之外的其他的控制装置D4发送用于进行促动器A4的驱动控制的指令。由此，控制系统所包含的控制装置D1～D4分别系统构筑为能够相对于所有的促动器A1～A4进行其驱动控制。

以上，详细地说明了本发明的气泵系统的构成。根据本实施方式的气泵系统，起到以下的效果。

通过利用电动促动器A4使气缸6动作，能够产生空气的负压及/或正压，能够通过电动使吸附垫4或气动卡盘5动作。不需要用于使吸附垫4或气动卡盘5动作的大型的压缩器，能够做成紧凑的气泵装置1。

由于在电动促动器A4搭载编码器17来对气缸6的活塞22的位置进行控制，因此，能够调节气缸6产生的负压及/或正压的大小。因此，能够与工件相应地调节吸附垫4的吸附的强度或气动卡盘5的把持的强度。

在从侧方观察气缸6及电动促动器A4时，气缸6的活塞杆21与电动促动器A4以偏置的方式经由连结板7连结，且活塞杆21与促动器主体8重叠，因此，能够使气泵装置1在Z轴方向上紧凑。

电动促动器A4由电动马达M4、促动器主体8、能进行直线运动地支承于促动器主体8的滑块9、将电动马达M4的输出轴的旋转转换为滑块9的直线运动的丝杠装置14构成，因此，能够使电动促动器A4的功能与气缸6的功能分离。因此，电动促动器A4及气缸6的种类及尺寸的变更容易，也容易改变排出空气量。另外，作为运动转换机构，使用丝杠装置14，因此，能够使克服在气缸6产生的负压及正压地使活塞22移动。

通过将气泵装置1与至少一轴的促动器A1～A3组合，从而能够与控制至少一轴的促动器A1～A3同样地控制吸附垫4或气动卡盘5。由于不需要用于控制气压设备的专用的控制装置，因此，能够简单且高效地构筑控制系统。

控制气泵装置1的控制装置D4的控制部C4既能向自身的控制装置D4的驱动器R4发送指令，也能向其他的控制装置D1～D3的驱动器R1～R3发送指令，而且，控制至少一轴的促动器A1～A3的控制装置D1～D3的控制部C1～C3既能向自身的驱动器R1～R3发送指令，也能向其他的控制装置D4的驱动器R4发送指令，因此，能够更简单且高效地构筑控制系统。

需要说明的是，本发明并不限于具体化为上述实施方式，能够在不改变本发明的主旨的范围内具体化为各种各样的实施方式。例如，在上述实施方式的气泵系统中，将气泵装置与3轴机器人组合，但也可以与1轴或2轴机器人组合，还可以与3轴以上的机器人组合。另外，还可以设置多个气泵装置，而利用多个吸附垫或气动卡盘抓住工件。

在上述实施方式中，使用吸附垫或气动卡盘作为气压设备，但气压设备的用途并不限定于抓住工件，例如也可以使用气缸或空气旋转促动器作为气压设备。

本说明书基于2015年6月23日申请的日本特愿2015-125573。该内容全部包含于此。

符号说明

1…气泵装置、2…3轴机器人(至少一轴的促动器)、4…吸附垫(气压设备)、5…气动卡盘(气压设备)、6…气缸、7…连结板(连结构件)、9…滑块(移动体)、14…丝杠装置(运动转换机构)、17…回转式编码器(编码器)、21…活塞杆、22…活塞、A1…X轴促动器、A2…Y轴促动器、A3…Z轴促动器、A4…电动促动器、D1～D4…控制装置、C1～C4…控制部、R1～R4...驱动器、M1～M4…电动马达、W…工件。

Claims

1.一种使用电动促动器的气泵装置，其具备：

内置有活塞，且在由所述活塞划分的第一室和第二室设有用于吸气和排气的吸排气口的气缸；

使用电动马达作为驱动源而使所述活塞相对于所述气缸相对地进行直线运动的电动促动器，

利用所述电动促动器使所述活塞进行直线运动而产生的负压及正压的空气来使与所述吸排气口连接的气压设备动作。

2.根据权利要求1所述的使用电动促动器的气泵装置，其特征在于，

在所述电动促动器搭载有用于控制所述活塞的位置的编码器。

3.根据权利要求1或2所述的使用电动促动器的气泵装置，其特征在于，

在从侧方观察所述气缸及所述电动促动器时，

所述气缸与所述电动促动器以偏置的方式经由连结构件连结，

所述气缸的固定有所述活塞的活塞杆与所述电动促动器重叠。

4.根据权利要求1或2所述的使用电动促动器的气泵装置，其特征在于，

所述电动促动器具备：供所述电动马达安装的促动器主体；能进行直线运动地支承于所述促动器主体的移动体；以及将所述电动马达的输出轴的旋转转换为所述移动体的直线运动的丝杠装置。

5.根据权利要求3所述的使用电动促动器的气泵装置，其特征在于，

6.一种气泵系统，其特征在于，

所述气泵系统具备：

权利要求1～5中任一项所述的气泵装置；

使用电动马达作为驱动源而使所述气压设备沿至少一轴方向移动的至少一轴的促动器。

7.一种气泵系统，其特征在于，

所述气泵系统具备：

气泵装置，所述气泵装置具备：内置有活塞的气缸；以及使用电动马达作为驱动源而使所述活塞相对于所述气缸相对地进行直线运动的电动促动器，利用所述电动促动器使所述活塞进行直线运动而产生的负压及/或正压的空气来使气压设备动作；

使用电动马达作为驱动源而使所述气压设备沿至少一轴方向移动的至少一轴的促动器；

控制所述气泵装置的控制装置；以及

控制所述至少一轴的促动器的控制装置，

控制所述气泵装置的所述控制装置具有向所述气泵装置的所述电动马达供给电力的驱动器以及向该驱动器发送指令的控制部，

控制所述至少一轴的促动器的所述控制装置具有向所述至少一轴的促动器的所述电动马达供给电力的驱动器以及向该驱动器发送指令的控制部，

控制所述气泵装置的所述控制装置的所述控制部也能向控制所述至少一轴的促动器的所述控制装置的所述驱动器发送指令，

控制所述至少一轴的促动器的所述控制装置的所述控制部也能向控制所述气泵装置的所述控制装置的所述驱动器发送指令。