JP2004052628A - 真空吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の吸着パッドが個別の開閉弁を介して共通に接続されるバキュームタンクに、逆止弁を介して真空ポンプが接続される真空吸着装置において、低コストかつ簡単な構成で、真空ポンプのオン・オフ作動制御を可能とする。
【解決手段】逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラムを有するとともに前記圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるダイヤフラム型圧力スイッチ16Aが、真空ポンプ13を駆動する電動モータ14の作動・停止を制御するようにして電動モータ14に接続される。
【選択図】 図1
【解決手段】逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラムを有するとともに前記圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるダイヤフラム型圧力スイッチ16Aが、真空ポンプ13を駆動する電動モータ14の作動・停止を制御するようにして電動モータ14に接続される。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の吸着パッドが個別の開閉弁を介して共通に接続されるバキュームタンクに、逆止弁を介して真空ポンプが接続される真空吸着装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、このような真空吸着装置において、小規模のものでは真空ポンプを常時作動し続けるようにするのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに上述のように真空ポンプを作動し続けるのは、省エネルギー化の観点からは望ましくなく、必要なときだけ真空ポンプを作動せしめるようにすることが望まれるが、そのような真空ポンプのオン・オフ制御を行なう上でバキュームタンクの圧力を検出する圧力センサを用いた制御システムを用いると、真空ポンプの価格に対して割に合わないような高コストになってしまう。
【0004】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、低コストかつ簡単な構成で、真空ポンプのオン・オフ作動制御を可能とした真空吸着装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、複数の吸着パッドが個別の開閉弁を介して共通に接続されるバキュームタンクに、逆止弁を介して真空ポンプが接続される真空吸着装置において、前記逆止弁およびバキュームタンク間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラムを有するとともに前記圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるダイヤフラム型圧力スイッチが、前記真空ポンプを駆動する電動モータの作動・停止を制御するようにして前記電動モータに接続されることを特徴とする。
【0006】
このような構成によれば、ダイヤフラム型圧力スイッチが、バキュームタンクの圧力に応じて導通・遮断し、それにより真空ポンプを駆動する電動モータの作動・停止が切換えられ、真空ポンプを必要なときだけ作動せしめるようにして省エネルギー化を図るとともに電動モータおよび真空ポンプの寿命向上を図ることができる。しかもダイヤフラム型圧力スイッチは、圧力センサを用いた制御システムに比べると低コストであり、ダイヤフラム型圧力スイッチにより真空ポンプの作動・停止を切換えるだけなので、構成も簡単である。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、添付の図面に示した本発明の実施例に基づいて説明する。
【0008】
図1〜図3は本発明の第1実施例を示すものであり、図1は真空吸着装置の全体構成を示す系統図、図2はダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図、図3はバキュームタンク内の圧力変化を示す図である。
【0009】
先ず図1において、複数の吸着パッド10,10…が、各吸着パッド10,10…に個別に対応した開閉弁たとえば常閉型電磁弁11,11…を介して共通に接続されるバキュームタンク12には、真空ポンプ13が逆止弁15を介して接続される。しかも真空ポンプ13を駆動する電動モータ14は電源17に接続されるとともに、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aを介して接地されており、電動モータ14の作動・停止は、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aのオン・オフ作動により切換えられる。
【0010】
図2を併せて参照して、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aは、逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラム18Aを有するものであり、逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるように構成される。
【0011】
ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aのケーシング19は、ダイヤフラムケース20と、ケーシング主体21と、それら20,21の間に挟まれる絶縁板22とが締結されて成るものである。
【0012】
ダイヤフラムケース20は、皿状に形成される金属製の第1ケース半体23と、第1ケース半体23に嵌合される金属製円盤状の第2ケース半体24とから成るものであり、第1ケース半体23との間にOリング25およびダイヤフラム18Aの周縁部を相互に重ねて挟むようにして第1ケース半体23に嵌合される第2ケース半体24に、第1ケース半体23がかしめ結合される。
【0013】
第1ケース半体23の中央部には、接続筒部23aが一体に形成されており、この接続筒部23aが、バキュームタンク12および逆止弁15間の管路26(図1参照)に接続される。しかも第1ケース半体23およびダイヤフラム18A間には、ダイヤフラム18Aの一面を臨ませる圧力室27が形成されており、この圧力室27は、前記接続筒部23aを介して前記管路26に通じることになる。すなわち圧力室27には、バキュームタンク12内の負圧が作用することになる。
【0014】
ケーシング主体21は、合成樹脂により形成されるものであり、ケーシング主体21およびダイヤフラムケース20間に挟まれる絶縁板22およびケーシング主体21間に作動室28が形成される。また圧力室27とは反対側でダイヤフラム18Aの中央部には、セラミックスやフェノール樹脂等の絶縁材料から成る作動軸29の一端が連結されており、該作動軸29は、ダイヤフラムケース20の第2ケース半体24を摺動自在に貫通して作動室28側に突出する。
【0015】
作動室28内には、前記作動軸29の他端を中間部に当接させた導電金属製の可動板30が配置されており、この可動板30の一端は、導電金属から成るリベット31でケーシング主体21に固定される。しかもケーシング主体21の外面側に配置される第1端子32にリベット31が電気的に接続される。
【0016】
また可動板30の他端には可動接点34が固着されており、この可動接点34に導通可能な固定接点35が、ケーシング主体21の外面側に配置される第2端子33に電気的に連なってケーシング主体21内に固定配置される。而して固定接点35は、作動軸29で押された可動板30が図2で示すようにダイヤフラムケース20とは反対側に撓むことで可動接点34に接触導通するようにして、ケーシング主体21内に固定配置される。
【0017】
第1および第2端子32,33の一方は、電源17に接続された電動モータ14に電気的に接続され、第1および第2端子32,33の他方は接地される。
【0018】
前記可動板30の中央部には、前記作動軸29の軸線と同軸に配置されるコイル状のばね36の一端が作動軸29とは反対側から当接しており、このばね36の他端は、前記作動軸29の軸線に沿う方向での進退位置を調整可能としてケーシング主体21に螺合される調整ねじ37で受けられる。このばね36は、可動接点34を固定接点35から離反させる側に可動板30を撓ませるように該可動板30を付勢するばね力を発揮する。
【0019】
ところで、ダイヤフラム18Aは、図2で示すように圧力室27の容積を増大させる側に撓んだ状態すなわち作動室28側に凸の状態と、圧力室27の容積を減少させる側に撓んだ状態すなわち作動室28とは反対側に凸の状態とを、圧力室27の負圧変化によって急峻に切換えるスナップアクション作動をするものであり、圧力室27の圧力が第1設定圧以下すなわち第1設定圧よりも高真空状態になるのに応じて作動室28とは反対側に凸の状態となって固定接点35から可動接点34を離反させ、また圧力室27の圧力が第1設定圧よりも高く設定された第2設定圧以上すなわち第2設定圧よりも低真空状態になるのに応じて作動室28側に凸の状態となって固定接点35に可動接点34を接触させる。
【0020】
すなわちダイヤフラム型圧力スイッチ16Aは、逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるように作動するものであり、真空ポンプ13を駆動する電動モータ14は、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aの導通に応じた作動状態と、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aの遮断に応じた停止状態とを切換えることになる。
【0021】
このような電動モータ14および真空ポンプ13の作動・停止の切換えにより、バキュームタンク12内の圧力は図3で示すように変化することになり、第2設定圧を、各吸着パッド10,10…で必要とされる真空圧よりもわずかに高い真空圧に設定することにより、各吸着パッド10,10…で必要とされる真空圧をバキュームタンク12で常時確保することができる。また第1および第2設定圧は、調整ねじ37を回転操作することによるばね36のばね荷重調整により変更可能である。
【0022】
この第1実施例によれば、真空ポンプ13およびバキュームタンク12間に介設される逆止弁15と、バキュームタンク12との間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラム18Aを有するとともに前記圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるダイヤフラム型圧力スイッチ16Aが、真空ポンプ13を駆動する電動モータ14の作動・停止を制御するようにして電動モータ14に接続される。
【0023】
したがってダイヤフラム型圧力スイッチ16Aがバキュームタンク12の圧力に応じて導通・遮断し、それにより電動モータ14の作動・停止が切換えられ、電動モータ14および真空ポンプ13を必要なときだけ作動せしめるようにして省エネルギー化を図るとともに電動モータ14および真空ポンプ13の寿命向上を図ることができる。しかもダイヤフラム型圧力スイッチ16Aは、圧力センサを用いた制御システムに比べると低コストであり、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aにより真空ポンプ13の作動・停止を切換えるだけなので、構成も簡単である。
【0024】
図4および図5は本発明の第2実施例のダイヤフラム型圧力スイッチを示すものであり、図4はダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図、図5は図4の5−5線断面図である。
【0025】
Oリング25とともに外周部がダイヤフラムケース20に挟持されるダイヤフラム18Bは、たとえばステンレス鋼の薄板円板を加工して同心形状の波形に形成されて成り、このダイヤフラム18Bの一面を臨ませる圧力室27が、ダイヤフラムケース20の第1ケース半体23とダイヤフラム18Bとの間に形成される。
【0026】
ダイヤフラム18Bの中央部には、絶縁材料から成る作動軸39の一端が連結されており、該作動軸39は、前記圧力室27とは反対側に延びて第2ケース半体24を摺動自在に貫通し、作動室28側に突出する。
【0027】
作動室28には、前記ダイヤフラム18Bの変位に伴なう作動軸39の軸方向移動量が軸方向いずれの側からでも設定移動量以上となるのに応じてスナップ作動するスナップアクション機構40が収容される。
【0028】
スナップアクション機構40は、一端がケーシング主体21の内面に固定される単一の引張りばね41と、ケーシング主体21に支持される受け部材43に一端が支持される一対の圧縮ばね42,42とを備える。
【0029】
引張りばね41および両圧縮ばね42,42は、引張りばね41の両側に圧縮ばね42,42が配置されるようにして単一の薄板ばね材を加工して形成されるものであり、引張りばね41および両圧縮ばね42,42の他端は共通に連結される。
【0030】
受け部材43は、ケーシング主体21の内面に前記引張りばね41の一端とともにリベット31によって固定される平板状の被取付け部43aと、引張りばね41の両側に配置されるようにして被取付け部43aから延出される一対の腕部43b,43bと、両腕部43b,43bの先端に一端部がほぼ直角に連設されてダイヤフラムケース20とは反対側に延びる支持部43c,43cと、両支持部43c,43cの他端を共通に連結する平板状の受圧部43dとを一体に有して、薄い金属板により形成される。
【0031】
受け部材43の支持部43c,43cは、それらの支持部43c,43cの中間部を引張りばね41の一端側に凹ませて略V字状に形成されており、圧縮ばね42,42の一端は、支持部43c,43cの中間部に当接、支持される。
【0032】
ダイヤフラム18Bに一端が連結されている作動軸39の他端部は、引張りばね41の中間部に連接される。
【0033】
また引張りばね41および両圧縮ばね42,42の他端部には可動接点34が設けられ、ケーシング主体21には、可動接点34に接触可能な固定接点35が第2端子33に電気的に連なるようにして固定配置される。また前記固定接点35とは反対側でケーシング主体21内には、可動接点34が固定接点35から離反する側に変位したときに引張りばね41および両圧縮ばね42,42の他端部に当接するストッパ44が固定配置される。
【0034】
このようなスナップアクション機構40によれば、圧力室27の圧力が第2設定圧以上であるときには、引張りばね41および圧縮ばね42…は、可動接点34を固定接点35に接触させた状態にあり、圧力室27の圧力が第1設定圧以下になると、圧縮ばね42…のばね力および引張りばね41のばね力が次第に小さくなり、作動軸39の軸方向移動量が設定移動量に達して引張りばね41の変位量が思案点となったときには、圧縮ばね42…のばね力および引張りばね41のばね力が平衡し、さらに圧力室27の圧力がさらに減圧して作動軸39が軸方向に移動し、引張りばね41が思案点を通過して変位したときには、引張りばね41および圧縮ばね42…の他端部が可動接点34を固定接点35から離反させる方向に鋭く作動する。
【0035】
スナップアクション機構40をスナップ作動せしめるための作動軸39の設定作動量、引張りばね41の思案点は、ケーシング19の外部からねじ軸45の進退位置を変化させることにより調節可能であり、ねじ軸45は、受け部材43の受圧部43dに内端を当接させるとともに軸方向の進退位置を変化させ得るようにしてケーシング主体21に螺合される。
【0036】
この第2実施例のダイヤフラム型圧力スイッチ16Bを用いても上述の第1実施例と同様の効果を奏することができる。
【0037】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明を逸脱することなく種々の設計変更を行うことが可能である。
【0038】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、真空ポンプを必要なときだけ作動せしめるようにして省エネルギー化を図るとともに電動モータおよび真空ポンプの寿命向上を図ることができ、しかもダイヤフラム型圧力スイッチは、圧力センサを用いた制御システムに比べると低コストであり、ダイヤフラム型圧力スイッチにより真空ポンプの作動・停止を切換えるだけなので、構成も簡単である。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の真空吸着装置の全体構成を示す系統図である。
【図2】ダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図である。
【図3】バキュームタンク内の圧力変化を示す図である。
【図4】第2実施例のダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図である。
【図5】図4の5−5線断面図である。
【符号の説明】
10・・・吸着パッド
11・・・開閉弁としての常閉型電磁弁
12・・・バキュームタンク
13・・・真空ポンプ
14・・・電動モータ
15・・・逆止弁
16A,16B・・・ダイヤフラム型圧力スイッチ
18A,18B・・・ダイヤフラム
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の吸着パッドが個別の開閉弁を介して共通に接続されるバキュームタンクに、逆止弁を介して真空ポンプが接続される真空吸着装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、このような真空吸着装置において、小規模のものでは真空ポンプを常時作動し続けるようにするのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに上述のように真空ポンプを作動し続けるのは、省エネルギー化の観点からは望ましくなく、必要なときだけ真空ポンプを作動せしめるようにすることが望まれるが、そのような真空ポンプのオン・オフ制御を行なう上でバキュームタンクの圧力を検出する圧力センサを用いた制御システムを用いると、真空ポンプの価格に対して割に合わないような高コストになってしまう。
【0004】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、低コストかつ簡単な構成で、真空ポンプのオン・オフ作動制御を可能とした真空吸着装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、複数の吸着パッドが個別の開閉弁を介して共通に接続されるバキュームタンクに、逆止弁を介して真空ポンプが接続される真空吸着装置において、前記逆止弁およびバキュームタンク間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラムを有するとともに前記圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるダイヤフラム型圧力スイッチが、前記真空ポンプを駆動する電動モータの作動・停止を制御するようにして前記電動モータに接続されることを特徴とする。
【0006】
このような構成によれば、ダイヤフラム型圧力スイッチが、バキュームタンクの圧力に応じて導通・遮断し、それにより真空ポンプを駆動する電動モータの作動・停止が切換えられ、真空ポンプを必要なときだけ作動せしめるようにして省エネルギー化を図るとともに電動モータおよび真空ポンプの寿命向上を図ることができる。しかもダイヤフラム型圧力スイッチは、圧力センサを用いた制御システムに比べると低コストであり、ダイヤフラム型圧力スイッチにより真空ポンプの作動・停止を切換えるだけなので、構成も簡単である。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、添付の図面に示した本発明の実施例に基づいて説明する。
【0008】
図1〜図3は本発明の第1実施例を示すものであり、図1は真空吸着装置の全体構成を示す系統図、図2はダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図、図3はバキュームタンク内の圧力変化を示す図である。
【0009】
先ず図1において、複数の吸着パッド10,10…が、各吸着パッド10,10…に個別に対応した開閉弁たとえば常閉型電磁弁11,11…を介して共通に接続されるバキュームタンク12には、真空ポンプ13が逆止弁15を介して接続される。しかも真空ポンプ13を駆動する電動モータ14は電源17に接続されるとともに、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aを介して接地されており、電動モータ14の作動・停止は、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aのオン・オフ作動により切換えられる。
【0010】
図2を併せて参照して、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aは、逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラム18Aを有するものであり、逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるように構成される。
【0011】
ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aのケーシング19は、ダイヤフラムケース20と、ケーシング主体21と、それら20,21の間に挟まれる絶縁板22とが締結されて成るものである。
【0012】
ダイヤフラムケース20は、皿状に形成される金属製の第1ケース半体23と、第1ケース半体23に嵌合される金属製円盤状の第2ケース半体24とから成るものであり、第1ケース半体23との間にOリング25およびダイヤフラム18Aの周縁部を相互に重ねて挟むようにして第1ケース半体23に嵌合される第2ケース半体24に、第1ケース半体23がかしめ結合される。
【0013】
第1ケース半体23の中央部には、接続筒部23aが一体に形成されており、この接続筒部23aが、バキュームタンク12および逆止弁15間の管路26(図1参照)に接続される。しかも第1ケース半体23およびダイヤフラム18A間には、ダイヤフラム18Aの一面を臨ませる圧力室27が形成されており、この圧力室27は、前記接続筒部23aを介して前記管路26に通じることになる。すなわち圧力室27には、バキュームタンク12内の負圧が作用することになる。
【0014】
ケーシング主体21は、合成樹脂により形成されるものであり、ケーシング主体21およびダイヤフラムケース20間に挟まれる絶縁板22およびケーシング主体21間に作動室28が形成される。また圧力室27とは反対側でダイヤフラム18Aの中央部には、セラミックスやフェノール樹脂等の絶縁材料から成る作動軸29の一端が連結されており、該作動軸29は、ダイヤフラムケース20の第2ケース半体24を摺動自在に貫通して作動室28側に突出する。
【0015】
作動室28内には、前記作動軸29の他端を中間部に当接させた導電金属製の可動板30が配置されており、この可動板30の一端は、導電金属から成るリベット31でケーシング主体21に固定される。しかもケーシング主体21の外面側に配置される第1端子32にリベット31が電気的に接続される。
【0016】
また可動板30の他端には可動接点34が固着されており、この可動接点34に導通可能な固定接点35が、ケーシング主体21の外面側に配置される第2端子33に電気的に連なってケーシング主体21内に固定配置される。而して固定接点35は、作動軸29で押された可動板30が図2で示すようにダイヤフラムケース20とは反対側に撓むことで可動接点34に接触導通するようにして、ケーシング主体21内に固定配置される。
【0017】
第1および第2端子32,33の一方は、電源17に接続された電動モータ14に電気的に接続され、第1および第2端子32,33の他方は接地される。
【0018】
前記可動板30の中央部には、前記作動軸29の軸線と同軸に配置されるコイル状のばね36の一端が作動軸29とは反対側から当接しており、このばね36の他端は、前記作動軸29の軸線に沿う方向での進退位置を調整可能としてケーシング主体21に螺合される調整ねじ37で受けられる。このばね36は、可動接点34を固定接点35から離反させる側に可動板30を撓ませるように該可動板30を付勢するばね力を発揮する。
【0019】
ところで、ダイヤフラム18Aは、図2で示すように圧力室27の容積を増大させる側に撓んだ状態すなわち作動室28側に凸の状態と、圧力室27の容積を減少させる側に撓んだ状態すなわち作動室28とは反対側に凸の状態とを、圧力室27の負圧変化によって急峻に切換えるスナップアクション作動をするものであり、圧力室27の圧力が第1設定圧以下すなわち第1設定圧よりも高真空状態になるのに応じて作動室28とは反対側に凸の状態となって固定接点35から可動接点34を離反させ、また圧力室27の圧力が第1設定圧よりも高く設定された第2設定圧以上すなわち第2設定圧よりも低真空状態になるのに応じて作動室28側に凸の状態となって固定接点35に可動接点34を接触させる。
【0020】
すなわちダイヤフラム型圧力スイッチ16Aは、逆止弁15およびバキュームタンク12間の圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるように作動するものであり、真空ポンプ13を駆動する電動モータ14は、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aの導通に応じた作動状態と、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aの遮断に応じた停止状態とを切換えることになる。
【0021】
このような電動モータ14および真空ポンプ13の作動・停止の切換えにより、バキュームタンク12内の圧力は図3で示すように変化することになり、第2設定圧を、各吸着パッド10,10…で必要とされる真空圧よりもわずかに高い真空圧に設定することにより、各吸着パッド10,10…で必要とされる真空圧をバキュームタンク12で常時確保することができる。また第1および第2設定圧は、調整ねじ37を回転操作することによるばね36のばね荷重調整により変更可能である。
【0022】
この第1実施例によれば、真空ポンプ13およびバキュームタンク12間に介設される逆止弁15と、バキュームタンク12との間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラム18Aを有するとともに前記圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるダイヤフラム型圧力スイッチ16Aが、真空ポンプ13を駆動する電動モータ14の作動・停止を制御するようにして電動モータ14に接続される。
【0023】
したがってダイヤフラム型圧力スイッチ16Aがバキュームタンク12の圧力に応じて導通・遮断し、それにより電動モータ14の作動・停止が切換えられ、電動モータ14および真空ポンプ13を必要なときだけ作動せしめるようにして省エネルギー化を図るとともに電動モータ14および真空ポンプ13の寿命向上を図ることができる。しかもダイヤフラム型圧力スイッチ16Aは、圧力センサを用いた制御システムに比べると低コストであり、ダイヤフラム型圧力スイッチ16Aにより真空ポンプ13の作動・停止を切換えるだけなので、構成も簡単である。
【0024】
図4および図5は本発明の第2実施例のダイヤフラム型圧力スイッチを示すものであり、図4はダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図、図5は図4の5−5線断面図である。
【0025】
Oリング25とともに外周部がダイヤフラムケース20に挟持されるダイヤフラム18Bは、たとえばステンレス鋼の薄板円板を加工して同心形状の波形に形成されて成り、このダイヤフラム18Bの一面を臨ませる圧力室27が、ダイヤフラムケース20の第1ケース半体23とダイヤフラム18Bとの間に形成される。
【0026】
ダイヤフラム18Bの中央部には、絶縁材料から成る作動軸39の一端が連結されており、該作動軸39は、前記圧力室27とは反対側に延びて第2ケース半体24を摺動自在に貫通し、作動室28側に突出する。
【0027】
作動室28には、前記ダイヤフラム18Bの変位に伴なう作動軸39の軸方向移動量が軸方向いずれの側からでも設定移動量以上となるのに応じてスナップ作動するスナップアクション機構40が収容される。
【0028】
スナップアクション機構40は、一端がケーシング主体21の内面に固定される単一の引張りばね41と、ケーシング主体21に支持される受け部材43に一端が支持される一対の圧縮ばね42,42とを備える。
【0029】
引張りばね41および両圧縮ばね42,42は、引張りばね41の両側に圧縮ばね42,42が配置されるようにして単一の薄板ばね材を加工して形成されるものであり、引張りばね41および両圧縮ばね42,42の他端は共通に連結される。
【0030】
受け部材43は、ケーシング主体21の内面に前記引張りばね41の一端とともにリベット31によって固定される平板状の被取付け部43aと、引張りばね41の両側に配置されるようにして被取付け部43aから延出される一対の腕部43b,43bと、両腕部43b,43bの先端に一端部がほぼ直角に連設されてダイヤフラムケース20とは反対側に延びる支持部43c,43cと、両支持部43c,43cの他端を共通に連結する平板状の受圧部43dとを一体に有して、薄い金属板により形成される。
【0031】
受け部材43の支持部43c,43cは、それらの支持部43c,43cの中間部を引張りばね41の一端側に凹ませて略V字状に形成されており、圧縮ばね42,42の一端は、支持部43c,43cの中間部に当接、支持される。
【0032】
ダイヤフラム18Bに一端が連結されている作動軸39の他端部は、引張りばね41の中間部に連接される。
【0033】
また引張りばね41および両圧縮ばね42,42の他端部には可動接点34が設けられ、ケーシング主体21には、可動接点34に接触可能な固定接点35が第2端子33に電気的に連なるようにして固定配置される。また前記固定接点35とは反対側でケーシング主体21内には、可動接点34が固定接点35から離反する側に変位したときに引張りばね41および両圧縮ばね42,42の他端部に当接するストッパ44が固定配置される。
【0034】
このようなスナップアクション機構40によれば、圧力室27の圧力が第2設定圧以上であるときには、引張りばね41および圧縮ばね42…は、可動接点34を固定接点35に接触させた状態にあり、圧力室27の圧力が第1設定圧以下になると、圧縮ばね42…のばね力および引張りばね41のばね力が次第に小さくなり、作動軸39の軸方向移動量が設定移動量に達して引張りばね41の変位量が思案点となったときには、圧縮ばね42…のばね力および引張りばね41のばね力が平衡し、さらに圧力室27の圧力がさらに減圧して作動軸39が軸方向に移動し、引張りばね41が思案点を通過して変位したときには、引張りばね41および圧縮ばね42…の他端部が可動接点34を固定接点35から離反させる方向に鋭く作動する。
【0035】
スナップアクション機構40をスナップ作動せしめるための作動軸39の設定作動量、引張りばね41の思案点は、ケーシング19の外部からねじ軸45の進退位置を変化させることにより調節可能であり、ねじ軸45は、受け部材43の受圧部43dに内端を当接させるとともに軸方向の進退位置を変化させ得るようにしてケーシング主体21に螺合される。
【0036】
この第2実施例のダイヤフラム型圧力スイッチ16Bを用いても上述の第1実施例と同様の効果を奏することができる。
【0037】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明を逸脱することなく種々の設計変更を行うことが可能である。
【0038】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、真空ポンプを必要なときだけ作動せしめるようにして省エネルギー化を図るとともに電動モータおよび真空ポンプの寿命向上を図ることができ、しかもダイヤフラム型圧力スイッチは、圧力センサを用いた制御システムに比べると低コストであり、ダイヤフラム型圧力スイッチにより真空ポンプの作動・停止を切換えるだけなので、構成も簡単である。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の真空吸着装置の全体構成を示す系統図である。
【図2】ダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図である。
【図3】バキュームタンク内の圧力変化を示す図である。
【図4】第2実施例のダイヤフラム型圧力スイッチの縦断面図である。
【図5】図4の5−5線断面図である。
【符号の説明】
10・・・吸着パッド
11・・・開閉弁としての常閉型電磁弁
12・・・バキュームタンク
13・・・真空ポンプ
14・・・電動モータ
15・・・逆止弁
16A,16B・・・ダイヤフラム型圧力スイッチ
18A,18B・・・ダイヤフラム
Claims (1)
- 複数の吸着パッド(10)が個別の開閉弁(11)を介して共通に接続されるバキュームタンク(12)に、逆止弁(15)を介して真空ポンプ(13)が接続される真空吸着装置において、前記逆止弁(15)およびバキュームタンク(12)間の圧力を一面に臨ませるダイヤフラム(18A,18B)を有するとともに前記圧力が第1設定圧以下になるのに応じた遮断状態ならびに前記圧力が第1設定圧よりも高い第2設定圧以上となるのに応じた導通状態を切換えるダイヤフラム型圧力スイッチ(16A,16B)が、前記真空ポンプ(13)を駆動する電動モータ(14)の作動・停止を制御するようにして前記電動モータ(14)に接続されることを特徴とする真空吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002209673A JP2004052628A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 真空吸着装置 |
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JP2002209673A JP2004052628A (ja) | 2002-07-18 | 2002-07-18 | 真空吸着装置 |
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ID=31933461
Family Applications (1)
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Country | Link |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008064211A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | I & T:Kk | 弁装置及びダイヤフラム式真空ポンプ |
CN108626104A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-10-09 | 佛山科学技术学院 | 一种防抽空装置 |
-
2002
- 2002-07-18 JP JP2002209673A patent/JP2004052628A/ja active Pending
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