JP2008060592A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、高周波回路領域107と低周波回路領域501とを有する。高周波回路領域107は、半導体基板の中央領域に配置され、低周波回路領域501は、半導体基板の周辺領域に配置されている。高周波回路領域107の半導体基板101には主に高周波回路が配置され、低周波回路領域501の半導体基板101には主に低周波回路が配置されている。高周波回路領域107に形成される高周波回路に関連する外部電極201は、再配線105bによるFun-Out構造によって低周波回路領域501に配置される。高周波回路の真上(上方)には外部電極201が配置されないため、高周波特性の変動を抑制することができる。
【選択図】図8
Description
図1は封止樹脂によって封止される前の従来のWCSPを示す平面図であり、図2は封止樹脂によって封止された後の従来のWCSPを示す平面図である。図3は図1及び図2の3−3についての概略断面図である。
再配線105のパッド部111上には例えば銅で構成された柱状電極305が形成されている。
柱状電極305の上部表面上には、例えば半田からなる外部端子201が形成されている。図2に示されているように、複数の外部端子201は、半導体基板101上方に間隔Aで規則的に配置されている。図2に示されたWCSPでは、外部端子201が2列に配置されている。
高周波回路は、比較的高い周波数の信号を処理する回路もしくは比較的高い周波数の信号を発生させる回路である。高周波回路の一例としては、図4に示されているような、インダクタ素子(コイル)401,403及びキャパシタ素子405,407を有する電圧制御発振回路(VCO:Voltage Controlled Oscillator)がある。インダクタ素子やキャパシタ素子は、電圧制御発振回路の発振周波数を決定する重要な素子であり、例えばこのインダクタ素子のインダクタンス値Lが変動した場合、電圧制御発振回路の発振周波数を変動させてしまう。
従って、高周波特性の変動を抑制することが可能な半導体装置が望まれていた。
すなわち、高周波回路素子が形成された第1領域と、この第1領域の周辺に位置し低周波回路素子が形成された第2領域とを有する半導体基板と、この主表面上を覆う封止樹脂とを有する半導体装置である。この半導体装置はさらに、第2領域上方に形成され、封止樹脂の表面から突出しており、高周波回路素子と電気的に接続された複数の第1外部端子と、第2領域上方に形成され、封止樹脂の表面から突出しており、低周波回路素子と電気的に接続された複数の第2外部端子とを備えていることを特徴としている。
すなわち、本発明の半導体装置によれば、高周波回路素子を第1領域(高周波回路領域)に配置し、低周波回路素子をこの第1領域の周辺の第2領域(低周波回路領域)に配置し、高周波回路素子に関連する外部端子を第2領域上に配置したものである。
低周波回路は、比較的低い周波数の信号を処理する回路もしくは比較的低い周波数の信号を発生させる回路である
絶縁層301上にはポリイミド等からなる保護膜303が形成されている。この構造により、電極パッド103aの一部及び電極パッド103bの一部が絶縁層301及び保護膜303によって規定された開口部によって露出されている。
電極パッド103bには絶縁層301の開口部を介して配線層105bの一端が接続されている。配線層105bは電極パッド103bから柱状電極305の下部に至るまで保護膜303上に延在している。配線層105bの他端は柱状電極305及び外部端子201の下部に配置されるパット部111bである。このパッド部111bは、電極パッド103bよりも半導体基板101のエッジに近い位置に配置されている。すなわち、このパッド部111bは、低周波回路領域501の上方に配置されている。この配線層105bは、先に説明した再配線であり、以下、再配線105bと称す。
柱状電極305上部表面上には、例えば半田からなる外部端子201が形成されている。図6に示されているように、外部端子201は、半導体基板101上方に間隔Aで規則的に配置されている。図6における構造においては、外部端子201は2列に配置されている。
柱状電極305の上部表面を除く半導体基板101上には、エポキシ系樹脂からなる封止樹脂203が形成されている。
一方、高周波回路に関する外部端子201は、高周波回路領域107の外側に配置された低周波回路領域501の上方に配置されている。つまり高周波回路に関しては、電極パッド103bと外部端子201との間を結ぶ再配線105bは、いわゆるFun-Out構造になっている。
図8及び図9は本発明の実施例2の半導体装置を示す平面図である。図8は、封止樹脂によって封止される前の状態を示す平面図であり、図9は封止樹脂によって封止された後の状態を示す平面図である。図10は図8及び図9の10−10についての概略断面図である。
高周波回路領域107には高周波回路が配置され、低周波回路領域501には低周波回路が配置されている。外部端子配置領域801には、低周波回路が配置されている場合もあるが、本実施の形態では、外部端子配置領域801は、その上方に柱状電極305及び外部端子201を配置するための領域であるとして説明する。
絶縁層301上にはポリイミド等からなる保護膜303が形成されている。この構造により、電極パッド103aの一部及び電極パッド103bの一部が絶縁層301及び保護膜303によって規定された開口部によって露出されている。
電極パッド103bには絶縁層301の開口部を介して再配線105bの一端が接続されている。再配線105bは電極パッド103bから柱状電極305の下部に至るまで保護膜303上に延在している。再配線105bの他端は柱状電極305及び外部端子201の下部に配置されるパット部111bである。
柱状電極305上部表面上には、例えば半田からなる外部端子201が形成されている。
柱状電極305の上部表面を除く半導体基板101上には、エポキシ系樹脂からなる封止樹脂203が形成されている。
一方、高周波回路に関する外部端子201は、高周波回路領域107の外側に配置された低周波回路領域501上方及び外部端子配置領域801上方に配置されている。つまり高周波回路に関しては、電極パッド103bと外部端子201との間を結ぶ再配線105bは、いわゆるFun-Out構造になっている。
なお、本実施例2においても、低周波回路に関する再配線105aがFun-In構造として説明されているが、再配線105aはFun-Out構造であっても良い。すなわち、本実施の形態では、高周波回路領域107a、107bに形成された高周波回路真上(上方)に、再配線105b、柱状電極305及び外部端子201が配置されない構造であれば良い。
図11及び図12は本発明の実施例3の半導体装置を示す平面図である。図11は、封止樹脂によって封止される前の状態を示す平面図であり、図12は封止樹脂によって封止された後の状態を示す平面図である。図13は図11及び図12の13−13についての概略断面図である。
まず、本実施例4の構造を採用する理由を以下に説明する。
本実施の形態において、"インダクタ素子1101真上(上方)に外部端子201が配置されない"とは、平面的に見て外部端子201がインダクタ素子1101と重ならないということを意味する。言い換えると、半導体装置の上部から見て、外部端子201がインダクタ素子1101と重ならないということである。
パッド1903aは、配線1905aを介してスルーホール部1907と接続されており、パッド1903aは、配線1905bを介してスルーホール部1907と接続されている。
半導体基板101とインターポーザー1901との間の空間には、樹脂2001が注入される。
103a・・・低周波回路用電極パッド
103b・・・高周波回路用電極パッド
105a・・・再配線
105b・・・再配線
107・・・高周波回路領域
111a・・・パッド部
111b・・・パッド部
201・・・外部電極
501・・・低周波回路領域
Claims (17)
- 高周波回路素子が形成された第1及び第2領域と、前記第1及び第2領域の周辺に位置し低周波回路素子が形成された第3領域とを含む主表面を有する半導体基板と、前記主表面上を覆う封止樹脂と、前記第3領域上方に形成され、前記封止樹脂の表面から突出している、前記高周波回路素子と電気的に接続された複数の第1外部端子と、前記第3領域上方に形成され、前記封止樹脂の表面から突出している、前記低周波回路素子と電気的に接続された複数の第2外部端子とを備えたことを特徴とする半導体装置。
- 前記第1及び第2領域に形成され、前記高周波回路素子と電気的に接続された第1電極パッドと、前記第3領域に形成され、前記低周波回路素子と電気的に接続された第2電極パッドと、前記第1電極パッドの表面の一部及び前記第2電極パッドの表面の一部を露出するよう前記主表面上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、前記第1電極パッドと前記第1外部端子との間を電気的に接続する第1配線と、前記絶縁膜上に形成され、前記第2電極パッドと前記第2外部端子との間を電気的に接続する第2配線とを備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1電極パッドは、前記第1及び第2領域の周辺領域に形成されていることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記第3領域は、前記半導体基板の周辺領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の領域に位置していることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
- 前記第1外部端子が、前記第3領域の上方に配置されていることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 前記第1外部端子及び前記第2外部端子は、所定の間隔で実質的に規則的に配置されていることを特徴とする請求項1乃至5記載の半導体装置。
- 前記高周波回路素子は、インダクタ素子を含むことを特徴とする請求項1乃至6記載の半導体装置。
- 前記第1外部端子及び前記第2外部端子は、前記第3領域上方にのみ形成されていることを特徴とする請求項2乃至7記載の半導体装置。
- 前記高周波回路素子に与えられる周波数もしくは前記高周波回路素子が処理する周波数は無線周波数であることを特徴とする請求項1乃至8記載の半導体装置。
- 高周波回路素子が形成された第1及び第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、前記第1、第2及び第3領域の周辺に位置し低周波回路素子が形成された第4領域とを含む主表面を有する半導体基板と、前記主表面上を覆う封止樹脂と、前記第4領域上方に形成され、前記封止樹脂の表面から突出している、前記高周波回路素子と電気的に接続された複数の第1外部端子と、前記第4領域上方に形成され、前記封止樹脂の表面から突出している、前記低周波回路素子と電気的に接続された複数の第2外部端子と、前記第1及び第2領域に形成され、前記高周波回路素子と電気的に接続された第1電極パッドと、前記第4領域に形成され、前記低周波回路素子と電気的に接続された第2電極パッドと、前記第1電極パッドの表面の一部及び前記第2電極パッドの表面の一部を露出するよう前記主表面上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、前記第1電極パッドと前記第1外部端子との間を電気的に接続する第1配線と、前記絶縁膜上に形成され、前記第2電極パッドと前記第2外部端子との間を電気的に接続する第2配線と、前記第3領域上方の前記絶縁膜上に形成され、前記第1領域の前記第1電極パッドと前記第2領域の前記第1電極パッドとの間に接続されたインダクタ素子とを備えたことを特徴とする半導体装置。
- 前記インダクタ素子は、前記第1配線と同一の層で形成されていることを特徴とする請求項10記載の半導体装置。
- 前記第1外部端子及び前記第2外部端子は、前記第4領域上方にのみ形成されていることを特徴とする請求項10乃至11記載の半導体装置。
- 前記高周波回路素子に与えられる周波数もしくは前記高周波回路素子が処理する周波数は無線周波数であることを特徴とする請求項10乃至12記載の半導体装置。
- 高周波回路素子が形成された第1領域と、前記第1領域の周辺に位置し低周波回路素子が形成された第2領域とを含む主表面を有する半導体基板と、前記第1領域に形成され、前記高周波回路素子と電気的に接続された複数の第1電極パッドと、前記第2領域に形成され、前記低周波回路素子と電気的に接続された複数の第2電極パッドと、前記半導体基板の主表面に対面する第1の主表面と、前記第1の主表面に対向する第2の主表面とを有する配線基板と、前記半導体基板の前記第2領域上方に位置する前記配線基板の前記第2の主表面上に形成され、前記高周波回路素子と電気的に接続された複数の第1外部端子と、前記半導体基板の前記第2領域上方に位置する前記配線基板の前記第2の主表面上に形成され、前記低周波回路素子と電気的に接続された複数の第2外部端子と、前記配線基板に形成され、前記第1電極パッドと前記第1外部端子との間を電気的に接続する第1配線と、前記配線基板に形成され、前記第2電極パッドと前記第2外部端子との間を電気的に接続する第2配線とを備えたことを特徴とする半導体装置。
- 前記半導体基板の前記主表面と前記配線基板の前記第1の主表面との間に形成された封止樹脂と、前記第1電極パッドと前記第1配線との間に設けられた第1のバンプ電極と、前記第2電極パッドと前記第2配線との間に設けられた第2のバンプ電極とを備えたことを特徴とする請求項14記載の半導体装置。
- 前記第1外部端子及び前記第2外部端子は、前記半導体基板の第2領域上方に位置する前記配線基板の前記第2の主表面上にのみ形成されていることを特徴とする請求項14乃至16記載の半導体装置。
- 前記高周波回路素子に与えられる周波数もしくは前記高周波回路素子が処理する周波数は無線周波数であることを特徴とする請求項14乃至16記載の半導体装置。
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