JP2008051751A - 静電容量検出型回転センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電容量検出型センサは、導電体部2aおよび誘電体部2bが設けられたセンサロータ2と、センサロータ2の誘電体部2bが設けられた面に対向するように、1対の固定電極3,4を動径方向(r方向)に沿って配設する。そして、固定電極3および導電体部2a間の静電容量と、固定電極4および導電体部2a間の静電容量との合成静電容量をCV変換回路5により検出する。誘電体部2bの厚さは、回転時における静電容量が周期的に変化するように構成されている。
【選択図】図1
Description
C=εA/d …(1)
d=εA/(C1+C2sinθ) …(2)
d=εA/(C1+C2sin4θ) …(3)
C=C1+C2(sinθ+sin4θ)/2 …(4)
d=εA/{C1+C2(sinθ+sin4θ)/2} …(5)
上述した実施形態では、センサロータ2の誘電体部2bの厚さを円周方向に周期的に変化させることで、周期的に変化する静電容量信号を得た。しかし、誘電体部2bの厚さを一定とし(または、導電体部2aだけでセンサロータ2を構成し)、センサロータ2が回転したときに、固定電極3,4に対向する部分の面積が周期的に変化するように、導電体部2aの幅を変化させるようにしても良い。その結果、誘電体部2bの厚さを変化させた場合と同様の静電容量信号を得ることができ、上述した実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図13〜16に示した導電体部2aのパターン形状は、固定電極3,4で同一のパターンとなっている。一方、図17に示す導電体部2aでは、固定電極3,4で異なる導電体パターンが検出される。すなわち、固定電極3に対向する円L1〜L2間の領域と、固定電極4に対向する円L2内部の領域とでは、導電体部2aの幅の変化パターンが異なっている。
上述した実施形態では、一対の固定電極3,4により静電容量を検出するようにしたが、変形例3では、図18に示すように複数対の固定電極を設けるようにしても良い。図18に示す例では、4対の固定電極(3A,4A),(3B,4B),(3C,4C),(3D,4D)が90deg間隔で設けられている。これら4対の固定電極は、図1に示した固定電極3,4と同一形状を有している。センサロータ2の構造は図1のものと同一であり、導電体部2aおよび誘電体部2bを備えている。
Claims (9)
- 回転電極と、
前記回転電極の一方の面に対向するように、前記回転電極の動径方向に沿って配設される1対の固定電極と、
前記一方の固定電極および前記回転電極間の静電容量と、前記他方の固定電極および前記回転電極間の静電容量との合成静電容量を検出する検出部とを備え、
前記回転電極は、回転時における前記固定電極との間の静電容量が周期的に変化するように構成されていることを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記回転電極は、その回転軸を中心とする円周方向に沿って動径方向寸法が周期的に変化するように形成されていることを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記回転電極は、前記固定電極と対向する面に、前記回転電極の回転軸を中心とする円周方向に沿って厚さが周期的に変化する誘電体層を有することを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記回転電極の回転時における前記固定電極との間の静電容量が、正弦波パターンで変化することを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記回転電極の回転時における前記固定電極との間の静電容量が、ノコギリ波パターンで変化することを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記回転電極の回転時における前記固定電極との間の静電容量が、正弦波パターンと階段状パターンとを合成したパターンで変化することを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記回転電極の回転時における、前記一対の固定電極の一方および前記回転電極間の静電容量の変化パターンと、前記一対の固定電極の他方および前記回転電極間の静電容量の変化パターンとが異なることを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記検出部は、前記一対の固定電極の一方および前記回転電極間の静電容量と、前記一対の固定電極の他方および前記回転電極間の静電容量とを並列接続して成る合成静電容量を検出することを特徴とする静電容量検出型センサ。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の静電容量検出型センサにおいて、
前記1対の固定電極を周方向に沿って複数配設し、
動径方向に配設された回転中心側の固定電極同士を接続するとともに、外周側の固定電極同士を接続し、その合成静電容量を前記検出部で検出することを特徴とする静電容量検出型センサ。
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