JPH11271092A - 静電容量型エンコーダ - Google Patents
静電容量型エンコーダInfo
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- JPH11271092A JPH11271092A JP9854898A JP9854898A JPH11271092A JP H11271092 A JPH11271092 A JP H11271092A JP 9854898 A JP9854898 A JP 9854898A JP 9854898 A JP9854898 A JP 9854898A JP H11271092 A JPH11271092 A JP H11271092A
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- rotor
- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】静電容量の変化が大きく、高分解能の静電容量
型エンコーダを得る。 【解決手段】回転軸10と、中心角９０度の扇型形状を２
つ組み合わせた回転子14と、回転子14と空隙を介して軸
方向に配置され、絶縁体の外縁部表面に円周方向に４分
割された電極を設けた第１の固定子120 と、回転子14を
間に挟んで第１の固定子120 の反対側に空隙を介して配
置され、絶縁体の表面に電極を設けた第２の固定子13と
を備えた静電容量型エンコーダにおいて、第１の固定子
120 の外縁部の電極を第１の電極121a〜121dとし、第１
の電極121a〜121dの内周側には、その中心部に向かって
同心円状に配列されると共にそれぞれ円周方向に４分割
された第2 の電極122a〜122dおよび第3 の電極123a〜12
3dと、さらに内周側に同心円状に配列され、円周方向に
２分割された第4 の電極124aと124bが設けられ、第1〜
第３の電極はそれぞれ円周方向に沿って30度ずらして配
置される。
型エンコーダを得る。 【解決手段】回転軸10と、中心角９０度の扇型形状を２
つ組み合わせた回転子14と、回転子14と空隙を介して軸
方向に配置され、絶縁体の外縁部表面に円周方向に４分
割された電極を設けた第１の固定子120 と、回転子14を
間に挟んで第１の固定子120 の反対側に空隙を介して配
置され、絶縁体の表面に電極を設けた第２の固定子13と
を備えた静電容量型エンコーダにおいて、第１の固定子
120 の外縁部の電極を第１の電極121a〜121dとし、第１
の電極121a〜121dの内周側には、その中心部に向かって
同心円状に配列されると共にそれぞれ円周方向に４分割
された第2 の電極122a〜122dおよび第3 の電極123a〜12
3dと、さらに内周側に同心円状に配列され、円周方向に
２分割された第4 の電極124aと124bが設けられ、第1〜
第３の電極はそれぞれ円周方向に沿って30度ずらして配
置される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、対向する電極の靜
電容量変化を利用した、回転体の回転位置を検出する静
電容量型エンコーダに関する。
電容量変化を利用した、回転体の回転位置を検出する静
電容量型エンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図４に示すように例えばモータ等
の回転体の回転位置を検出する静電容量型エンコーダ
は、円周方向に４分割した電極１２ａ、１２ｂ、１２
ｃ、１２ｄからなる第１の固定子１２と、中心角９０度
の扇型形状の部材１４ａ、１４ｂを中心を点対称として
組み合わせた回転子１４と、第２の固定子１３と、から
構成されている。回転子１４は回転軸１０と互いに固定
されており、図示しないモータ等の回転体と同一的に回
転する。また、回転子１４は第１の固定子１２と第２の
固定子１３間に空隙を介して内挿されており、第１の固
定子１２と第２の固定子１３は図示しないフレームに固
定されている。このような構成で回転子１４の回転に応
じて変化する第１の固定子１２と第２の固定子１３間の
静電容量の変化を図５に示す処理回路を用いて電圧に変
換する。交流電源１５をエンコーダに入力して回転子と
対角の静電容量Ｃa 、Ｃb を加算する。次にダイオード
１７、１８を用いて信号を直流信号Ｉa 、Ｉb に変換す
る。さらにオペアンプ１６を用いて、加算された２つの
信号Ｉa 、Ｉb を差動増幅させて出力としている。出力
は回転角に対して直線的に増加または減少するため、出
力と回転位置を１対１に対応させることにより回転子の
絶対位置検出を行っている（例えば、米国特許第4,864,
295 号公報）。
の回転体の回転位置を検出する静電容量型エンコーダ
は、円周方向に４分割した電極１２ａ、１２ｂ、１２
ｃ、１２ｄからなる第１の固定子１２と、中心角９０度
の扇型形状の部材１４ａ、１４ｂを中心を点対称として
組み合わせた回転子１４と、第２の固定子１３と、から
構成されている。回転子１４は回転軸１０と互いに固定
されており、図示しないモータ等の回転体と同一的に回
転する。また、回転子１４は第１の固定子１２と第２の
固定子１３間に空隙を介して内挿されており、第１の固
定子１２と第２の固定子１３は図示しないフレームに固
定されている。このような構成で回転子１４の回転に応
じて変化する第１の固定子１２と第２の固定子１３間の
静電容量の変化を図５に示す処理回路を用いて電圧に変
換する。交流電源１５をエンコーダに入力して回転子と
対角の静電容量Ｃa 、Ｃb を加算する。次にダイオード
１７、１８を用いて信号を直流信号Ｉa 、Ｉb に変換す
る。さらにオペアンプ１６を用いて、加算された２つの
信号Ｉa 、Ｉb を差動増幅させて出力としている。出力
は回転角に対して直線的に増加または減少するため、出
力と回転位置を１対１に対応させることにより回転子の
絶対位置検出を行っている（例えば、米国特許第4,864,
295 号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の静電
容量型エンコーダで検出できる回転角度は８０度程度で
あって、多回転型のモータに適用することができなかっ
た。また、多回転型にするために固定子の電極を分割す
ると、全体の寸法を一定にした場合、電極面積が減少し
てしまい、それが静電容量変化の減少に繋がり、ひいて
は角度分解能の低下を招くといった問題があった。さら
に、従来技術では回転子の材料として比誘電率１０程度
のアルミナセラミックスが多く使われており、静電容量
の変化を大きくすることができず、高分解能化に制限が
あった。そこで、本発明は、多回転型のモータの回転位
置検出に適用可能で、かつ静電容量変化が大きく、回転
角度に対して高分解能を得ることができる静電容量型エ
ンコーダを提供することを目的とする。
容量型エンコーダで検出できる回転角度は８０度程度で
あって、多回転型のモータに適用することができなかっ
た。また、多回転型にするために固定子の電極を分割す
ると、全体の寸法を一定にした場合、電極面積が減少し
てしまい、それが静電容量変化の減少に繋がり、ひいて
は角度分解能の低下を招くといった問題があった。さら
に、従来技術では回転子の材料として比誘電率１０程度
のアルミナセラミックスが多く使われており、静電容量
の変化を大きくすることができず、高分解能化に制限が
あった。そこで、本発明は、多回転型のモータの回転位
置検出に適用可能で、かつ静電容量変化が大きく、回転
角度に対して高分解能を得ることができる静電容量型エ
ンコーダを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、請求項１記載の本発明は、回転軸と、前記回転軸に
固定されるとともに前記回転軸の中心を点対称として中
心角９０度の扇型形状を２つ組み合わせたものからなる
回転子と、前記回転子の片面と空隙を介して軸方向に配
置されると共に円板状の絶縁体の外縁部表面に円周方向
に４分割された電極を設けた第１の固定子と、前記回転
子を間に挟んで前記第１の固定子の反対側に空隙を介し
て配置されると共に円板状の絶縁体の表面に電極を設け
た第２の固定子とを備え、前記回転子の回転に応じて変
化する前記回転子と前記固定子の電極との間の静電容量
を検出することによって回転位置を検出する静電容量型
エンコーダにおいて、前記第１の固定子の外縁部に設け
た電極を、第１の電極とし、前記第１の電極の内周側に
は、その中心部に向かって同心円状に配列されると共に
それぞれ円周方向に沿って４分割された第２の電極およ
び第３の電極と、この第３の電極の内周側に同心円状に
配列されると共に円周方向に沿って２分割された第４の
電極とが設けられ、前記第１の電極、前記第２の電極お
よび前記第３の電極は、それぞれ円周方向に沿って３０
°ずらして配列してあることを特徴とする。また、請求
項１記載の静電容量型エンコーダにおいて、前記第１の
固定子の径方向に配列された電極のうち、少なくとも１
つが他の電極より径方向の長さが長いことを特徴とする
ものである。また、請求項１または２記載の静電容量型
エンコーダにおいて、前記回転子が導電体であることを
特徴とするものである。また、請求項１から３までの何
れか１項に記載の静電容量型エンコーダにおいて、前記
回転子の表面に絶縁膜を設けたことを特徴とするもので
ある。上記手段により、第１の固定子において径方向に
分割、配置されたの４つの電極の信号を比較、分割する
ことで回転子に対して３６０度の回転位置を検出するこ
とが可能になる。また、信号分割する第１の固定子に設
けた第１の電極は、他の第２の電極および第３の電極並
びに第４の電極より面積が大きいため、静電容量の変化
が大きく十分な分解能を得ることが可能になる。さらに
回転子を導電体にしているため、静電容量変化を大きく
でき、分解能を高めることが可能になる。
に、請求項１記載の本発明は、回転軸と、前記回転軸に
固定されるとともに前記回転軸の中心を点対称として中
心角９０度の扇型形状を２つ組み合わせたものからなる
回転子と、前記回転子の片面と空隙を介して軸方向に配
置されると共に円板状の絶縁体の外縁部表面に円周方向
に４分割された電極を設けた第１の固定子と、前記回転
子を間に挟んで前記第１の固定子の反対側に空隙を介し
て配置されると共に円板状の絶縁体の表面に電極を設け
た第２の固定子とを備え、前記回転子の回転に応じて変
化する前記回転子と前記固定子の電極との間の静電容量
を検出することによって回転位置を検出する静電容量型
エンコーダにおいて、前記第１の固定子の外縁部に設け
た電極を、第１の電極とし、前記第１の電極の内周側に
は、その中心部に向かって同心円状に配列されると共に
それぞれ円周方向に沿って４分割された第２の電極およ
び第３の電極と、この第３の電極の内周側に同心円状に
配列されると共に円周方向に沿って２分割された第４の
電極とが設けられ、前記第１の電極、前記第２の電極お
よび前記第３の電極は、それぞれ円周方向に沿って３０
°ずらして配列してあることを特徴とする。また、請求
項１記載の静電容量型エンコーダにおいて、前記第１の
固定子の径方向に配列された電極のうち、少なくとも１
つが他の電極より径方向の長さが長いことを特徴とする
ものである。また、請求項１または２記載の静電容量型
エンコーダにおいて、前記回転子が導電体であることを
特徴とするものである。また、請求項１から３までの何
れか１項に記載の静電容量型エンコーダにおいて、前記
回転子の表面に絶縁膜を設けたことを特徴とするもので
ある。上記手段により、第１の固定子において径方向に
分割、配置されたの４つの電極の信号を比較、分割する
ことで回転子に対して３６０度の回転位置を検出するこ
とが可能になる。また、信号分割する第１の固定子に設
けた第１の電極は、他の第２の電極および第３の電極並
びに第４の電極より面積が大きいため、静電容量の変化
が大きく十分な分解能を得ることが可能になる。さらに
回転子を導電体にしているため、静電容量変化を大きく
でき、分解能を高めることが可能になる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
図に基づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示す
静電容量型エンコーダを分解した斜視図である。図２
は、本発明の静電容量型エンコーダの検出信号のパター
ンを示す図である。図３は、本発明の静電容量型エンコ
ーダの静電容量変化を示す図である。本発明が従来例と
同じである回転子１４、第２の固定子１３、回転軸１０
については同一符号を付してその説明を省略する。本発
明が従来と異なる点は、第１の固定子１２０は、外縁部
から中心部に向かって同心円状に４分割して配列される
と共に、リング状の第１の電極、第２の電極、第３の電
極および第４の電極から構成されている。以下、第１〜
第４の各々の電極を簡単に１２１、１２２、１２３、１
２４と呼ぶことにする。ここで、第１の電極１２１、第
２の電極１２２および第３の電極１２３は、円周方向に
沿って４分割されており、また、径方向に対向する第１
〜第３の電極がそれぞれ円周方向に沿って反時計回りに
３０度づつずらして配置してある。すなわち、第１の電
極のうち１２１ａに対して第２の電極の１２２ａが反時
計回りに１２０度ずれ、第２の電極の１２２ａに対して
第３の電極の１２３ａが反時計回りに１２０度ずれて配
列してある。以下同様に、第１の電極の１２１ｂ、１２
１ｃ、１２１ｄに対して、それぞれ第２の電極の１２２
ｂ、１２２ｃ、１２２ｄが反時計回りに１２０度ずれて
配列してある。また、第２の電極の１２２ｂ、１２２
ｃ、１２２ｄに対して、それぞれ第３の電極の１２３
ｂ、１２３ｃ、１２３ｄが対応して反時計回りに１２０
度ずれて配列してある。一方、第４の電極１２４は円周
方向に１２４ａと１２４ｂに２分割されたものである。
さらにまた、回転子１４は金属材料とする導電体とし、
あるいはその導電体表面に絶縁膜を配設している。ま
た、回転子は回転子表面のみを導電体として構成しても
良く、その導電体表面に絶縁膜を配設しても構わない。
回転子１４が回転すると第１の固定子１２０の電極と回
転子１４が対向する面積が変化し、静電容量の変化は次
式に示すように対向面積の変化に比例する。 ΔＣ＝（εr ー１）ε0 ｔΔＳ／Ｌ 但し、Ｌ＝［（ｄ1 ＋ｔ＋ｄ2 ）・（εr ｄ1 ＋ｔ＋ε
r ｄ2 ）］ ΔＣ：静電容量の変化 ｔ：回転子の厚さ、ΔＳ：対向面積の変化 ｄ2 ：第２の固定子の電極と回転子間の空隙 ｄ1 ：第１の固定子の電極と回転子間の空隙 ε0 ：空気の誘電率、εr ：回転子の比誘電率 このような構成において、回転子１０の１回転に対する
第１の固定子の電極１２１、１２２、１２３、１２４と
第２の固定子１３間の静電容量の変化を図示すると、図
２のようになる。ここで、図２の信号は図５に示す信号
処理回路を用いたあとの信号であり、縦軸が出力電圧、
横軸が回転角度である。１２１の信号の出力値を位置検
出に用いるが、回転子１回転につき、２サイクルの信号
が発生する。この出力を(A) 、(B) 、(C) 、(D) 、(E)
で区別することができれば絶対値エンコーダとして１回
転の位置検出が可能になる。区別の方法は、まず、１２
４の信号の正負信号により２サイクルの信号を２つに分
割する。続いて１２２と１２３の信号の大小により、
(A) 、(B) と(C) の一部、(C) の一部と(D) 、(E) を分
別することができる。したがって、１回転にわたって絶
対位置の検出が可能となる。つぎに、従来の回転子の材
料が比誘電率１０のものに対して、回転子を金属とし、
その表面に絶縁膜を設けたときの容量変化の違いを図３
に示す。第１の固定子の電極の外径を３ｍｍ、回転子の
厚さを０．１ｍｍ、絶縁膜の厚さを０．００１ｍｍ、第
１の固定子のうち第１の電極１２１の径方向長さを０．
５ｍｍとしたときの、第１の電極１２１における静電容
量の変化を回転子と固定子電極間の空隙を変化させて算
出した結果である。図３によると、回転子材料を金属と
することで、導電体がセラミックスに比べて比誘電率が
大きくなるので、結果的には比誘電率１０の場合と比較
して静電容量変化が増加することになる。したがって、
第１の固定子において、径方向に分割、配置された４つ
の電極の信号を比較、分割することで回転子に対して３
６０度の回転位置を検出するようにしたので、多回転型
のモータの回転位置検出に適用可能で、かつ静電容量変
化が大きく、回転角度に対して高分解能を得ることがで
きる効果がある。
図に基づいて説明する。図１は、本発明の実施例を示す
静電容量型エンコーダを分解した斜視図である。図２
は、本発明の静電容量型エンコーダの検出信号のパター
ンを示す図である。図３は、本発明の静電容量型エンコ
ーダの静電容量変化を示す図である。本発明が従来例と
同じである回転子１４、第２の固定子１３、回転軸１０
については同一符号を付してその説明を省略する。本発
明が従来と異なる点は、第１の固定子１２０は、外縁部
から中心部に向かって同心円状に４分割して配列される
と共に、リング状の第１の電極、第２の電極、第３の電
極および第４の電極から構成されている。以下、第１〜
第４の各々の電極を簡単に１２１、１２２、１２３、１
２４と呼ぶことにする。ここで、第１の電極１２１、第
２の電極１２２および第３の電極１２３は、円周方向に
沿って４分割されており、また、径方向に対向する第１
〜第３の電極がそれぞれ円周方向に沿って反時計回りに
３０度づつずらして配置してある。すなわち、第１の電
極のうち１２１ａに対して第２の電極の１２２ａが反時
計回りに１２０度ずれ、第２の電極の１２２ａに対して
第３の電極の１２３ａが反時計回りに１２０度ずれて配
列してある。以下同様に、第１の電極の１２１ｂ、１２
１ｃ、１２１ｄに対して、それぞれ第２の電極の１２２
ｂ、１２２ｃ、１２２ｄが反時計回りに１２０度ずれて
配列してある。また、第２の電極の１２２ｂ、１２２
ｃ、１２２ｄに対して、それぞれ第３の電極の１２３
ｂ、１２３ｃ、１２３ｄが対応して反時計回りに１２０
度ずれて配列してある。一方、第４の電極１２４は円周
方向に１２４ａと１２４ｂに２分割されたものである。
さらにまた、回転子１４は金属材料とする導電体とし、
あるいはその導電体表面に絶縁膜を配設している。ま
た、回転子は回転子表面のみを導電体として構成しても
良く、その導電体表面に絶縁膜を配設しても構わない。
回転子１４が回転すると第１の固定子１２０の電極と回
転子１４が対向する面積が変化し、静電容量の変化は次
式に示すように対向面積の変化に比例する。 ΔＣ＝（εr ー１）ε0 ｔΔＳ／Ｌ 但し、Ｌ＝［（ｄ1 ＋ｔ＋ｄ2 ）・（εr ｄ1 ＋ｔ＋ε
r ｄ2 ）］ ΔＣ：静電容量の変化 ｔ：回転子の厚さ、ΔＳ：対向面積の変化 ｄ2 ：第２の固定子の電極と回転子間の空隙 ｄ1 ：第１の固定子の電極と回転子間の空隙 ε0 ：空気の誘電率、εr ：回転子の比誘電率 このような構成において、回転子１０の１回転に対する
第１の固定子の電極１２１、１２２、１２３、１２４と
第２の固定子１３間の静電容量の変化を図示すると、図
２のようになる。ここで、図２の信号は図５に示す信号
処理回路を用いたあとの信号であり、縦軸が出力電圧、
横軸が回転角度である。１２１の信号の出力値を位置検
出に用いるが、回転子１回転につき、２サイクルの信号
が発生する。この出力を(A) 、(B) 、(C) 、(D) 、(E)
で区別することができれば絶対値エンコーダとして１回
転の位置検出が可能になる。区別の方法は、まず、１２
４の信号の正負信号により２サイクルの信号を２つに分
割する。続いて１２２と１２３の信号の大小により、
(A) 、(B) と(C) の一部、(C) の一部と(D) 、(E) を分
別することができる。したがって、１回転にわたって絶
対位置の検出が可能となる。つぎに、従来の回転子の材
料が比誘電率１０のものに対して、回転子を金属とし、
その表面に絶縁膜を設けたときの容量変化の違いを図３
に示す。第１の固定子の電極の外径を３ｍｍ、回転子の
厚さを０．１ｍｍ、絶縁膜の厚さを０．００１ｍｍ、第
１の固定子のうち第１の電極１２１の径方向長さを０．
５ｍｍとしたときの、第１の電極１２１における静電容
量の変化を回転子と固定子電極間の空隙を変化させて算
出した結果である。図３によると、回転子材料を金属と
することで、導電体がセラミックスに比べて比誘電率が
大きくなるので、結果的には比誘電率１０の場合と比較
して静電容量変化が増加することになる。したがって、
第１の固定子において、径方向に分割、配置された４つ
の電極の信号を比較、分割することで回転子に対して３
６０度の回転位置を検出するようにしたので、多回転型
のモータの回転位置検出に適用可能で、かつ静電容量変
化が大きく、回転角度に対して高分解能を得ることがで
きる効果がある。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば１回
転３６０度の位置を検出することができ、かつ静電容量
変化が大きく、回転角度に対して高分解能を得ることが
できるいう効果がある。
転３６０度の位置を検出することができ、かつ静電容量
変化が大きく、回転角度に対して高分解能を得ることが
できるいう効果がある。
【図１】本発明の静電容量型エンコーダの構成を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明の静電容量型エンコーダの検出信号のパ
ターンである。
ターンである。
【図３】本発明の静電容量型エンコーダの静電容量変化
である。
である。
【図４】従来の静電容量型エンコーダを示す斜視図であ
る。
る。
【図５】従来の静電容量型エンコーダの処理回路であ
る。
る。
１０：回転軸 １２０：第１の固定子 １２１（１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ）：
第１の電極 １２２（１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄ）：
第２の電極 １２３（１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ、１２３ｄ）：
第３の電極 １２４（１２４ａ、１２４ｂ）：第４の電極 １３：第２の固定子 １４：回転子
第１の電極 １２２（１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄ）：
第２の電極 １２３（１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ、１２３ｄ）：
第３の電極 １２４（１２４ａ、１２４ｂ）：第４の電極 １３：第２の固定子 １４：回転子
Claims (4)
- 【請求項１】 回転軸と、前記回転軸に固定されるとと
もに前記回転軸の中心を点対称として中心角９０度の扇
型形状を２つ組み合わせたものからなる回転子と、前記
回転子の片面と空隙を介して軸方向に配置されると共に
円板状の絶縁体の外縁部表面に円周方向に４分割された
電極を設けた第１の固定子と、前記回転子を間に挟んで
前記第１の固定子の反対側に空隙を介して配置されると
共に円板状の絶縁体の表面に電極を設けた第２の固定子
とを備え、前記回転子の回転に応じて変化する前記回転
子と前記固定子の電極との間の静電容量を検出すること
によって回転位置を検出する静電容量型エンコーダにお
いて、 前記第１の固定子の外縁部に設けた電極を、第１の電極
とし、 前記第１の電極の内周側には、その中心部に向かって同
心円状に配列されると共にそれぞれ円周方向に沿って４
分割された第２の電極および第３の電極と、この第３の
電極の内周側に同心円状に配列されると共に円周方向に
沿って２分割された第４の電極とが設けられ、 前記第１の電極、前記第２の電極および前記第３の電極
は、それぞれ円周方向に沿って３０°ずらして配列して
あることを特徴とする静電容量型エンコーダ。 - 【請求項２】 前記第１の固定子の径方向に配列された
電極のうち、少なくとも１つが他の電極より径方向の長
さが長いことを特徴とする請求項１記載の静電容量型エ
ンコーダ。 - 【請求項３】 前記回転子が導電体であることを特徴と
する請求項１または２に記載の静電容量型エンコーダ。 - 【請求項４】 前記回転子の表面に絶縁膜を設けたこと
を特徴とする請求項１から３までの何れか１項に記載の
静電容量型エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9854898A JPH11271092A (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 静電容量型エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9854898A JPH11271092A (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 静電容量型エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271092A true JPH11271092A (ja) | 1999-10-05 |
Family
ID=14222753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9854898A Abandoned JPH11271092A (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 静電容量型エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271092A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003519373A (ja) * | 1999-12-30 | 2003-06-17 | ジーエスアイ・ルモニクス，インコーポレイテッド | 検流計位置検出器 |
| JP2021501310A (ja) * | 2017-11-09 | 2021-01-14 | ベバスト エスエーＷｅｂａｓｔｏ ＳＥ | 静電容量測定によるモータの位置決め |
| JP2021021655A (ja) * | 2019-07-29 | 2021-02-18 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | 角度センサ、マウント装置、及び測定方法 |
-
1998
- 1998-03-25 JP JP9854898A patent/JPH11271092A/ja not_active Abandoned
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003519373A (ja) * | 1999-12-30 | 2003-06-17 | ジーエスアイ・ルモニクス，インコーポレイテッド | 検流計位置検出器 |
| JP2021501310A (ja) * | 2017-11-09 | 2021-01-14 | ベバスト エスエーＷｅｂａｓｔｏ ＳＥ | 静電容量測定によるモータの位置決め |
| JP2021021655A (ja) * | 2019-07-29 | 2021-02-18 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | 角度センサ、マウント装置、及び測定方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050228 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20060330 |