JP2008051628A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2008051628A5
JP2008051628A5 JP2006227508A JP2006227508A JP2008051628A5 JP 2008051628 A5 JP2008051628 A5 JP 2008051628A5 JP 2006227508 A JP2006227508 A JP 2006227508A JP 2006227508 A JP2006227508 A JP 2006227508A JP 2008051628 A5 JP2008051628 A5 JP 2008051628A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gyro sensor
resin mold
axis
sensor element
lead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006227508A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2008051628A (ja
JP5164015B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2006227508A priority Critical patent/JP5164015B2/ja
Priority claimed from JP2006227508A external-priority patent/JP5164015B2/ja
Publication of JP2008051628A publication Critical patent/JP2008051628A/ja
Publication of JP2008051628A5 publication Critical patent/JP2008051628A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5164015B2 publication Critical patent/JP5164015B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2006227508A 2006-08-24 2006-08-24 多軸ジャイロセンサ Expired - Fee Related JP5164015B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006227508A JP5164015B2 (ja) 2006-08-24 2006-08-24 多軸ジャイロセンサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006227508A JP5164015B2 (ja) 2006-08-24 2006-08-24 多軸ジャイロセンサ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2008051628A JP2008051628A (ja) 2008-03-06
JP2008051628A5 true JP2008051628A5 (enExample) 2009-10-01
JP5164015B2 JP5164015B2 (ja) 2013-03-13

Family

ID=39235825

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006227508A Expired - Fee Related JP5164015B2 (ja) 2006-08-24 2006-08-24 多軸ジャイロセンサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5164015B2 (enExample)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7933128B2 (en) 2007-10-10 2011-04-26 Epson Toyocom Corporation Electronic device, electronic module, and methods for manufacturing the same
US8256288B2 (en) 2008-12-16 2012-09-04 Seiko Epson Corporation Sensor device
JP5695292B2 (ja) * 2008-12-16 2015-04-01 セイコーエプソン株式会社 センサデバイス
JP5278166B2 (ja) 2009-05-28 2013-09-04 セイコーエプソン株式会社 電子デバイスの製造方法及び電子デバイス
JP2012193971A (ja) * 2011-03-15 2012-10-11 Seiko Epson Corp センサーモジュール、センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法及び電子機器
JP5553122B2 (ja) * 2013-04-04 2014-07-16 セイコーエプソン株式会社 電子デバイスの製造方法
JP5757352B2 (ja) * 2014-02-21 2015-07-29 セイコーエプソン株式会社 センサデバイス
JP6398730B2 (ja) * 2015-01-13 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体
CN105800544B (zh) * 2016-05-16 2017-04-12 安徽北方芯动联科微系统技术有限公司 多轴mems传感器模块及其垂直组装方法
JP7452383B2 (ja) * 2020-11-06 2024-03-19 株式会社デンソー 多軸慣性力センサの製造方法
JP7452382B2 (ja) * 2020-11-06 2024-03-19 株式会社デンソー 多軸慣性力センサ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0523140U (ja) * 1991-02-22 1993-03-26 株式会社東海理化電機製作所 加速度センサ
JPH0727785A (ja) * 1993-07-08 1995-01-31 Nitta Ind Corp 加速度センサー
JPH07306047A (ja) * 1994-05-10 1995-11-21 Murata Mfg Co Ltd 多軸検出型振動ジャイロ
JPH10253652A (ja) * 1997-03-14 1998-09-25 Denso Corp センサ装置及びその製造方法並びにその製造に用いられるリードフレーム
JP3780086B2 (ja) * 1998-01-22 2006-05-31 Ｎｅｃトーキン株式会社 姿勢角度検出装置
JP2000009743A (ja) * 1998-06-19 2000-01-14 Omron Corp センサ取り付け構造
JP2002286741A (ja) * 2001-03-26 2002-10-03 Murata Mfg Co Ltd リードフレームおよびそれを用いた振動ジャイロの製造方法
JP2003028646A (ja) * 2001-07-17 2003-01-29 Canon Inc 多軸半導体センサ
JP2005241490A (ja) * 2004-02-27 2005-09-08 Ngk Insulators Ltd 振動子の支持構造および振動子用パッケージ
JP2006214898A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及び電子機器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008051628A5 (enExample)
JP2009042239A5 (enExample)
JP2009042240A5 (enExample)
JP2008209388A5 (enExample)
JP2015517098A5 (enExample)
JP2010245106A5 (enExample)
JP2012058243A5 (enExample)
JP2009146969A5 (enExample)
JP2018163120A5 (enExample)
JP2007074066A5 (enExample)
USD654985S1 (en) Dosing assembly
JP2014085233A5 (enExample)
JP2014178248A5 (enExample)
JP2012013528A5 (enExample)
JP2014119412A5 (enExample)
DE602006015146D1 (de) Mehrachsiger Beschleunigungssensor mit magnetoresistiven Detektoren vom Spin-Valve-Typ
ITMI20050986A1 (it) "sensore micromeccanico con riconoscimento di errore"
USD558641S1 (en) Sweater basket for a golf car
JP2010243468A5 (enExample)
JP2016118421A5 (enExample)
JP2006121411A5 (enExample)
CN104458111B (zh) 压力检测装置及使用了该压力检测装置的进气压测定装置
JP2006326165A5 (enExample)
JP2008218776A5 (enExample)
RU2005127610A (ru) Устройство для определения углового положения подвижного объекта