JP2008051506A - 可動コネクタ - Google Patents
可動コネクタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008051506A JP2008051506A JP2006224853A JP2006224853A JP2008051506A JP 2008051506 A JP2008051506 A JP 2008051506A JP 2006224853 A JP2006224853 A JP 2006224853A JP 2006224853 A JP2006224853 A JP 2006224853A JP 2008051506 A JP2008051506 A JP 2008051506A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- support members
- movable connector
- contact
- electrostrictive actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
【課題】自己機能として所定の反復動作を行なうことができ、周辺機器の簡略化や製作コストの低減を図ることができる可動コネクタを提供する。
【解決手段】対向配置した第1及び第2の支持部材S1,S2と、電圧の印加により変形する弾性高分子材料の両面に柔軟な電極を設けて成る電歪アクチュエータAを備え、第1及び第2の支持部材S1,S2の少なくとも一方に接触子P1を設けると共に、第1及び第2の支持部材S1,S2の間に電歪アクチュエータAを介装し、電歪アクチュエータAが、第1及び第2の支持部材S,1S2を互いに近接離間動作させる駆動源である可動コネクタC1。
【選択図】図2
【解決手段】対向配置した第1及び第2の支持部材S1,S2と、電圧の印加により変形する弾性高分子材料の両面に柔軟な電極を設けて成る電歪アクチュエータAを備え、第1及び第2の支持部材S1,S2の少なくとも一方に接触子P1を設けると共に、第1及び第2の支持部材S1,S2の間に電歪アクチュエータAを介装し、電歪アクチュエータAが、第1及び第2の支持部材S,1S2を互いに近接離間動作させる駆動源である可動コネクタC1。
【選択図】図2
Description
本発明は、例えば、ウエハ上に形成した集積回路を検査するためのプローブカードや、ICチップを検査するためのソケット等のように比較的頻繁に所定の反復動作を伴う接続用具として好適な可動コネクタに関するものである。
プローブカードは、集積回路の製造工程で使用する検査用端子基板であって、ウエハ上に形成する集積回路の端子の配置に応じて多数の接触子(プローブ)を備えており、ウエハを個々のチップに切り離す前に、テスト装置において集積回路の端子に接触子を接触させて電気的導通をとることで、回路状態の良否判定を行なうものである。
ところで、上記の集積回路は、1チップあたりに数個から数百個の端子があるうえに、近年のチップの微細化に伴って端子のサイズや間隔がさらに小さくなる傾向にある。そこで、プローブカードは、検査時間の短縮等の目的で多くの集積回路を同時に検査可能にするには、より多数の接触子を備えたものとする必要があり、例えば五千個以上の接触子を備えたものがあることが周知である。
また、プローブカードにおける接触子には、基板の周囲から中心部に向けて略水平に取り付けたカンチレバー型(水平型)や、基板から下向きに取り付けたピン型(垂直型)がある。カンチレバー型の接触子は、それ自体の弾力性で、接触時の緩衝作用と所定の圧接力を得ることができる。
他方、ピン型の接触子は、図7に示すように、基板100に取り付ける中空状の本体部101と、本体部101からの抜け止め102aを有する下向きのピン102と、本体部101に収容されてピン102を突出状態に付勢するコイルばね103を備えたもので、この構造によって接触時の緩衝作用と所定の圧接力を得ることができる。ピン型の接触子は、平面上の占有面積が小さいので、カンチレバー型の接触子に比べて、基板上でのレイアウトの自由度が高いなどの利点がある(非特許文献1)。
フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 インターネット<"http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%97%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%96%E3%82%AB%E3%8
フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 インターネット<"http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%97%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%96%E3%82%AB%E3%8
ところが、上記したようなプローブカードは、搬入されたウエハに対して接触子を接触離間させる反復動作が頻繁に行なわれることとなるが、自ら反復動作を行なうことはできないので、ウエハに対して進退させる駆動手段が不可欠であり、従来では駆動手段としてエアシリンダを用いていた。このため、従来のプローブカードは、頻繁に所定の反復動作を伴う可動コネクタとして機能させるには、周辺機器の構造が複雑化したり製造コストが嵩んだりするといった問題があり、このような問題を解決することが課題であった。
本発明は、上記従来の課題に着目して成されたものであって、自己機能として所定の反復動作を行なうことができ、周辺機器の簡略化や製作コストの低減を図ることができる可動コネクタを提供することを目的としている。
本発明の可動コネクタは、請求項1として、対向配置した第1及び第2の支持部材と、電圧の印加により変形する弾性高分子材料の両面に柔軟な電極を設けて成る電歪アクチュエータを備え、第1及び第2の支持部材の少なくとも一方に接触子を設けると共に、第1及び第2の支持部材の間に電歪アクチュエータを介装し、電歪アクチュエータが、第1及び第2の支持部材を互いに近接離間動作させる駆動源である構成としており、上記構成をもって従来の課題を解決するための手段としている。
また、本発明の可動コネクタは、請求項2として、第1支持部材に、第2支持部材に向けて突出するピン状の接触子を設けると共に、第2支持部材に、接触子の先端側を摺動自在に貫通させ、第1及び第2の支持部材の近接離間動作に伴って第2支持部材から接触子の先端部を突没させることを特徴とし、請求項3として、第1及び第2の支持部材の両方に接触子を設けると共に、互いの接触子同士を伸縮可能な配線で電気的に接続したことを特徴とし、請求項4として、第1及び第2の支持部材を互いに近接離間可能に保持するホルダを備えたことを特徴とし、請求項5として、第1及び第2の支持部材の間に第3支持部材を備えると共に、第1及び第3の支持部材の間及び第2及び第3の支持部材の間に電歪アクチュエータを夫々介装したことを特徴とし、請求項6として、第1及び第2の支持部材の両方に接触子を設けると共に、第1及び第2の支持部材の近接離間動作に伴って互いの接触子同士を接触離間させることを特徴としている。
本発明の可動コネクタは、上記の如く第1及び第2の支持部材を近接離間動作させるものであるから、当該可動コネクタを要する周辺機器と組合わせる場合には、第1及び第2の支持部材のいずれか一方を固定し、他方を往復動可能な構成にしておくことがが望ましく、とくに、請求項2の構成においては、接触子が貫通する第2支持部材を固定し、接触子を設けた第1支持部材を往復動可能にするのがより望ましい。
また、請求項4の構成においては、ホルダに対して第1及び第2の支持部材の両方を往復動可能にしても良いし、ホルダに対して第1及び第2の支持部材のいずれか一方を往復動可能にし、他方をホルダに固定しても良い。さらに、請求項5の構成においては、第1〜第3の支持部材のいずれか一つを固定すれば良いが、中間となる第3支持部材を固定した構成にすれば、より安定した動作が可能となる。
さらに、接触子は、プローブ等のピン状のものや回路基板に設ける一般的な端子などを含み、その数が限定されることはない。
電歪アクチュエータは、いわゆる人工筋肉(EPAM:Electroactive Polymer Artificial Muscle)と呼ばれるもので、誘電性エラストマー、高分子ゲル、イオン導電性高分子及び導電性高分子などの種類が知られているが、これらのうちの誘電性エラストマーは、その他のもののように水分を必要とせず、動作環境に制約が無いうえに、応答速度、伸縮率、材料コスト、耐久性及び駆動力などの面で優れている。
この電歪アクチュエータは、スピンコーティング法、ディップコーティング法、キャスト法及びスプレー法などの従来既知の方法に基いて弾性高分子材料の膜を形成し、図6(a)に示すように、高分子膜110の両面に、フォトリソグラフィなどにより膜状や線状等の適宜形状の柔軟な電極111,112を形成したものである。そして、両電極111,112に電圧を印加すると、図6(b)に示す如く厚さを減少させ且つ面積を拡大する状態に変形し、電圧の印加を停止すれば元の形状に戻り、この反復動作により機械的な駆動力を生じる。さらに、電圧の増減により変形量が変わるので、簡単な電圧制御によって駆動量や駆動力を容易に調整することが可能である。
本発明の可動コネクタによれば、駆動源となる電歪アクチュエータを備えていることから、自己機能として第1及び第2の支持部材を近接離間させる反復動作を自在に行なうことができ、この反復動作を利用して被接触物に対する接触子の接触離間動作を行なうことが可能となる。したがって、当該可動コネクタは、通電の断続等の反復動作を頻繁に行なう接続用具に適用すれば、他の駆動手段が不要になるので、当該可動コネクタを要する周辺機器の簡略化や製作コストの低減に貢献することができる。
図1及び図2は、本発明に係わる可動コネクタの一実施例を説明する図である。
図示の可動コネクタC1は、対向配置した第1及び第2の支持部材S1,S2と、電圧の印加により変形する弾性高分子材料の両面に柔軟な電極を設けて成る電歪アクチュエータ(図6参照)Aを備え、第1支持部材S1に接触子P1を設けると共に、第1及び第2の支持部材S1,S2の間に電歪アクチュエータAを介装し、電歪アクチュエータAが、第1及び第2の支持部材S1,S2を互いに近接離間動作させる駆動源となっている。
この実施例の可動コネクタC1は、集積回路の製造工程で使用する検査用のプローブカードに適用されるものである。第1及び第2の支持部材S1,S2は、いずれも矩形のプレート状であって、例えば合成樹脂製である。この実施例では、第1支持部材S1の中央部に、第2支持部材S2に向けて突出する多数のピン状の接触子P1が互いに平行な状態で縦横に配列してあると共に、第2支持部材S2に、各接触子P1の先端側を摺動自在に貫通させている。
各接触子P1は、夫々の基端部(図2では上端部)に、いずれも図外の基板本体などに接続するためのリード線Lを有している。また、実際にプローブカードに適用する場合には、図示例よりも多数の接触子(プローブ)が取り付けられる。
この実施例の電歪アクチュエータAは、上記の接触子P1群を包囲するように矩形の枠状を成している。また、電歪アクチュエータAは、動作環境に制約の無い誘電性エラストマーであって、この場合には高い駆動電圧が要求されるので、配線に昇圧用の電圧変換チップVcが介装してある。なお、第1及び第2の支持部材S1,S2と電歪アクチュエータAとの接合には、電歪アクチュエータAの変形を妨げないように、弾性に富む接着剤などを使用するのが良い。
上記構成を備えた可動コネクタC1は、電歪アクチュエータAに電圧を印加していないときには、図2(a)に示すように、全ての接触子P1の先端部が第2支持部材S2内に没入した状態にあり、電歪アクチュエータAに電圧を印加すると、同電歪アクチュエータAが厚さを減少させるように変形するので、第1及び第2の支持部材S1,S2が互いに近接し、これにより、図2(b)に示すように、全ての接触子P1の先端部が第2支持部材S2から一斉に突出した状態になる。
つまり、可動コネクタC1は、電歪アクチュエータAへの電圧の印加を断続的に行なうことで、第1及び第2の支持部材S1,S2が互いに近接離間して、第2支持部材S2から各接触子P1が突没動作することとなり、この際、第2支持部材S2が各接触子P1のガイド体としても機能して、全ての接触子P1の突没動作を円滑にする。
また、可動コネクタC1は、プローブカードに適用されるものであるから、ウエハ上の集積回路を検査するテスト装置において、搬入されたウエハ(図2中に仮想線で示す)Wに対向するように第2支持部材S2を固定すると共に、第1支持部材S1を上下に往復動自在に保持する。そして、ウエハW上の集積回路を検査する際に、電歪アクチュエータAに通電し、第1支持部材S1の下降とともに各接触子P1を第2支持部材S2から突出させて集積回路の端子に接触させる。
このように、可動コネクタC1は、駆動源となる電歪アクチュエータAを備えていることから、自己機能として第1及び第2の支持部材S1,S2を近接離間させる反復動作を自在に行なうことができ、この反復動作を利用して被接触物(例えばウエハW)に対する接触子P1の接触離間動作を行なうことが可能となる。とくに、この実施例の可動コネクタC1のように、接触子P1群を包囲する形態の電歪アクチュエータAを用いれば、充分な駆動力を確保して多数の接触子P1を一斉に突没動作させることができる。
また、可動コネクタC1は、プローブカードに適用した場合、従来のテスト装置で使用していたエアシリンダ等の他の駆動手段が不要になるので、テスト装置を含む周辺機器の簡略化や製作コストの低減を実現することができ、さらには、ハンドラー方式の自動測定(検査)が可能になるので、高速測定が可能になる。
そしてさらに、可動コネクタC1は、上記の如くプローブカードに適用する場合、電歪アクチュエータAを構成する弾性高分子材料の弾力性により、接触子P1がウエハWに接触した際の緩衝作用や所定の圧接力が得られることから、従来のスプリング内蔵型の接触子(図7参照)が一切不要になり、図示の如く構造が簡単で小径のピン状接触子P1を用いることができる。
これにより、プローブカード自体の構造を簡単にすることができ、また、接触子の寿命を大幅に高めることができると共に、プローブカードに取り付け可能な接触子の数を飛躍的に増すことができ、また、接触子同士の間隔をより小さくすることもできるので、集積回路のさらなる微細化に貢献し得るものとなる。
図3は、本発明の可動コネクタの他の実施例を説明する図である。なお、先の実施例と同一の構成部位は、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図示の可動コネクタC2は、プレート状を成す第1及び第2の支持部材S1,S2の両方に複数の接触子P2を設けると共に、互いの接触子P2同士をコイル等のように伸縮可能な配線Rで電気的に接続したものとなっており、さらに、第1及び第2の支持部材S1,S2の間に枠状の第3支持部材S3を備えると共に、第1及び第3の支持部材S1,S3の間及び第2及び第3の支持部材S2,S3の間に電歪アクチュエータAを夫々介装した構成になっている。
このとき、図3中で上側となる第1支持部材S1においては、短いピン状の接触子P2が上方に突出した状態で設けてあり、他方、下側の第2支持部材においては、同じくピン状の接触子P2が下方に突出した状態で設けてある。そして、第1支持部材S1の上側及び第2支持部材S2の下側には、夫々の接触子P2を摺動自在に貫通させるガイド板G1,G2が設けてある。
上記の可動コネクタC2は、例えば、当該可動コネクタC2の上下に配置される図示しない装置同士の間を電気的に断続するものであり、より好ましい構成としては、第3支持部材と上下のガイド板G1,G2を固定し、第1及び第2の支持部材S1,S2を上下に往復動自在に保持する。
そして、上記可動コネクタC2は、電歪アクチュエータAに電圧を印加していないときには、図3(a)に示すように、各ガイド板G1,G2から接触子P2が上下に突出した状態にあり、図示しない装置間を通電状態にする。
また、図3(b)に示すように、下側の電歪アクチュエータAに電圧を印加すると、同電歪アクチュエータAが厚さを減少させるように変形するのに伴って、第2支持部材S2が上昇し、接触子P2の先端部がガイド板G2に没入状態となって、図示しない装置間を非通電状態にする。なお、上側の電歪アクチュエータA又は両方の電歪アクチュエータAに電圧を印加した場合も同様である。
図4は、本発明の可動コネクタの他の実施例を説明する図である。
図示の可動コネクタC3は、プレート状を成す第1及び第2の支持部材S1,S2の両方にピン状の接触子P2を互いに相反する方向(上下方向)に向けて設けると共に、互いの接触子P2同士を伸縮可能な配線Rで電気的に接続したものとなっており、さらに、第1及び第2の支持部材S1,S2を互いに近接離間可能に保持する円筒状のホルダHを備え、このホルダHに、第1及び第2の支持部材S1,S2及び電歪アクチュエータAを収容したコンパクトな構造になっている。
上記の可動コネクタC3は、先の実施例と同様に、例えば、当該可動コネクタC2の上下に配置される図示しない装置同士の間を電気的に断続するものであって、電圧を印加していないときには、図4(a)に示すように、両接触子P2の突出量が最大となって、図示しない装置間を通電状態にし、電歪アクチュエータAに電圧を印加すると、図4(b)に示すように、両接触子P2の突出量が最小となって、図示しない装置間を非通電状態にする。
この可動コネクタC3は、ホルダHを備えているので、取扱いが容易であると共に、他の装置類に対する取付けにも容易に対処することができる。なお、この実施例では、ホルダHに対して第1及び第2の支持部材S1,S2を摺動自在に収容した構造としたが、ホルダHに対して第1及び第2の支持部材S1,S2のいずれか一方を固定しても良く、このような構造にすればより安定した動作を得ることができる。
図5は、本発明の可動コネクタの他の実施例を説明する図である。
図示の可動コネクタC4は、第1及び第2の支持部材S11、S12の両方に同数の接触子(端子)P3を設けると共に、電歪アクチュエータAを駆動源とする第1及び第2の支持部材S11、S12の近接離間動作に伴って、互いの接触子P3同士を接触離間させるものとなっている。
上記の可動コネクタC4は、図中上側の第1支持部材S11が、中央に矩形等の適宜形状の凹部Qを備えたものとなっていて、例えば、ICチップ検査用のソケットに適用することができる。この場合、第1支持部材S11の接触子P3は図5(a)中に仮想線で示すICチップIcの端子に対応したものとなっている。そして、第1支持部材S11の凹部QにICチップIcを嵌合し、必要に応じてクランプ類でICチップIcを第1支持部材S11に固定する。
そして、上記の可動コネクタC4は、電歪アクチュエータAに電圧を印加していないときには、図5(a)に示すように、第1及び第2の支持部材S11,S12の各接触子P3が離間した状態になり、電歪アクチュエータAに電圧を印加すると、図5(b)に示すように、第1及び第2の支持部材S11,S12の各接触子P3が互いに接触した状態になる。
また、上記のようにICチップ検査用のソケットとして用いる場合には、例えば、凹部Qの部分を開口部にして第1支持部材S11を枠状に形成し、この第1支持部材S11により、ICチップIcをその端子が下側に露出するように保持する構成とし、電歪アクチュエータAに電圧を印加した際に、ICチップIcの端子と第2支持部材S12の接触子3とを直接接触させる構成としても良い。
なお、本発明の可動コネクタは、その構成の細部が上記各実施例に限定されるものではなく、各支持部材、電歪アクチュエータ及び接触子などの形状や材料を適宜変更することができ、また、電歪アクチュエータの取り付ける向きによっては、電圧の印加の有無に対して第1及び第2の支持部材の近接離間動作を上記各実施例とは逆(ON/OFFを逆)にすることも可能である。
さらに、本発明の可動コネクタは、その用途がとくに限定されるものではないが、上記実施例で説明したように、ウエハ上の集積回路を検査するためのプローブカードやICチップを検査するためのソケットなどのように、頻繁に所定の反復動作を伴う接続用具への適用にきわめて有効である。
A 電歪アクチュエータ
C1〜C4 可動コネクタ
H ホルダ
S1 S11 第1支持部材
S2 S12 第2支持部材
S3 第3支持部材
P1〜P3 接触子
R 配線
C1〜C4 可動コネクタ
H ホルダ
S1 S11 第1支持部材
S2 S12 第2支持部材
S3 第3支持部材
P1〜P3 接触子
R 配線
Claims (6)
- 対向配置した第1及び第2の支持部材と、電圧の印加により変形する弾性高分子材料の両面に柔軟な電極を設けて成る電歪アクチュエータを備え、第1及び第2の支持部材の少なくとも一方に接触子を設けると共に、第1及び第2の支持部材の間に電歪アクチュエータを介装し、電歪アクチュエータが、第1及び第2の支持部材を互いに近接離間動作させる駆動源であることを特徴とする可動コネクタ。
- 第1支持部材に、第2支持部材に向けて突出するピン状の接触子を設けると共に、第2支持部材に、接触子の先端側を摺動自在に貫通させ、第1及び第2の支持部材の近接離間動作に伴って第2支持部材から接触子の先端部を突没させることを特徴とする請求項1に記載の可動コネクタ。
- 第1及び第2の支持部材の両方に接触子を設けると共に、互いの接触子同士を伸縮可能な配線で電気的に接続したことを特徴とする請求項1に記載のコネクタ。
- 第1及び第2の支持部材を互いに近接離間可能に保持するホルダを備えたことを特徴とする請求項3に記載の可動コネクタ。
- 第1及び第2の支持部材の間に第3支持部材を備えると共に、第1及び第3の支持部材の間及び第2及び第3の支持部材の間に電歪アクチュエータを夫々介装したことを特徴とする請求項3に記載の可動コネクタ。
- 第1及び第2の支持部材の両方に接触子を設けると共に、第1及び第2の支持部材の近接離間動作に伴って互いの接触子同士を接触離間させることを特徴とする請求項1に記載の可動コネクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006224853A JP2008051506A (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 可動コネクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006224853A JP2008051506A (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 可動コネクタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008051506A true JP2008051506A (ja) | 2008-03-06 |
Family
ID=39235725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006224853A Pending JP2008051506A (ja) | 2006-08-22 | 2006-08-22 | 可動コネクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008051506A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008210724A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | コンタクト部品とそれを備えたコネクタ |
WO2010103892A1 (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカード |
CN114152865A (zh) * | 2021-12-02 | 2022-03-08 | 业成科技(成都)有限公司 | 一种检测治具 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01212448A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-25 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
JP2001286162A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Keiwa Ryu | 電歪伸縮材を利用した駆動装置 |
-
2006
- 2006-08-22 JP JP2006224853A patent/JP2008051506A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01212448A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-25 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
JP2001286162A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Keiwa Ryu | 電歪伸縮材を利用した駆動装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008210724A (ja) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | コンタクト部品とそれを備えたコネクタ |
JP4545164B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2010-09-15 | 日本航空電子工業株式会社 | コンタクト部品とそれを備えたコネクタ |
WO2010103892A1 (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカード |
JP2010210600A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード |
TWI421501B (zh) * | 2009-03-12 | 2014-01-01 | Tokyo Electron Ltd | Probe card |
CN114152865A (zh) * | 2021-12-02 | 2022-03-08 | 业成科技(成都)有限公司 | 一种检测治具 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109642917B (zh) | 探针和检查单元 | |
KR20070064883A (ko) | 자체 클리닝 기능이 있는 검사장치용 소켓핀 및 이를포함하는 검사장치 | |
TWI632375B (zh) | 電連接裝置 | |
JP2009002845A (ja) | 接触子及び接続装置 | |
US8710857B2 (en) | High frequency vertical spring probe | |
KR20090094841A (ko) | 강화 접촉 요소 | |
TW201430350A (zh) | 測試裝置 | |
JP2016142644A (ja) | 電気的接続装置およびポゴピン | |
JP2008051506A (ja) | 可動コネクタ | |
KR101552553B1 (ko) | 검사장치용 컨택트 프로브 | |
JP2008151684A (ja) | 電気的接続装置およびその使用方法 | |
JP2007139712A (ja) | プローブホルダおよびプローブユニット | |
JP4940269B2 (ja) | 半導体ウェハのテスト装置、半導体ウェハのテスト方法及び半導体ウェハ用プローブカード | |
JP2015010980A (ja) | プローブ装置 | |
JP2007127488A (ja) | プローブカード | |
EP3364194A1 (en) | Kelvin test probe, kelvin test probe module, and manufacturing method therefor | |
KR101680319B1 (ko) | 액정 패널 테스트용 프로브 블록 | |
JP2011106980A (ja) | プローブカード | |
JP2000338133A (ja) | 接触子 | |
JPWO2012098837A1 (ja) | 検査ソケット | |
KR20070111847A (ko) | 최종시험공정에서의 반도체 특성 시험용 소켓 핀 | |
JP2005345262A (ja) | 半導体検査装置およびこれに用いる被検査部品トレー | |
KR20220034446A (ko) | 멀티-레이어 콘택 핀 | |
JP2004156969A (ja) | プローブ、プローブ集合体およびプローブカード | |
KR20200091067A (ko) | 전기적 검사용 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110516 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110916 |