JP2008049636A - 洗浄機構および液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】短時間で効率良く洗浄を行える洗浄機構および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置１は、材料液４０を貯留する材料液タンク４１と、材料液４０を液滴として吐出するヘッド部２０と、材料液タンク４１とヘッド部２０との間に設けられヘッド部２０との水頭差を維持するためのサブタンク４２と、サブタンク４２からヘッド部２０へ材料液４０を供給するための供給管４６とを備え、さらに、洗浄液１０を貯留する洗浄液タンク１１と、供給管４６と連通するヘッド回収管１６と、洗浄液１０をヘッド回収管１６を通して回収するためにサブタンク４２へ圧力を付与する圧力付与部６０と、圧力付与部６０とサブタンク４２とを接続するサブタンク圧力管６５と、回収した洗浄液１０を貯留する洗浄液回収タンク１５とを有する洗浄機構と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、吐出装置の液体流路などを洗浄するための洗浄機構および洗浄機構を備えた液滴吐出装置に関する。

従来、液滴吐出装置などにおいて、吐出する液体の種類を変更する場合などには、液体タンクの交換の他に、液体を液体タンクから吐出ヘッドへ導く供給パイプ、および、液体タンクと吐出ヘッドとの間にあって吐出ヘッドとの水頭差管理のためのサブタンクなどを洗浄する必要がある。これらを洗浄するには、液体タンクを洗浄液の入った洗浄液タンクに替え、液体の流路に洗浄液を導入して洗浄していた。洗浄液の導入は、吐出ヘッドをキャッピングして液体を少量吸引するクリーニング機構を利用し、洗浄タンクから吐出ヘッドへ洗浄液を吸引して行っていた（たとえば特許文献１）。

特開２００２−２４８７９４号公報

しかし、従来の技術では、吐出ヘッドのクリーニング機構により吐出ヘッドから洗浄液を吸引しているため、洗浄液が洗浄のために流路を通過する速度が遅く、洗浄に多大な時間を要していた。また、微小な液滴を吐出する吐出ヘッドを有する液滴吐出装置ほど、吐出ヘッドから吸引可能な洗浄液の量が少なく、より洗浄時間がかかるという問題があった。

本発明は、上記課題を解決するために、短時間で効率良く洗浄を行える洗浄機構および液滴吐出装置を提供することを目的とする。

本発明の洗浄機構は、液体を貯留する液体タンクと、液体を吐出する吐出部と、液体タンクと吐出部との間に設けられたサブタンクと、をそれぞれ連通させて液体を液体タンクから吐出部へ供給するための供給部と、を備えた吐出装置に設けられ、供給部に接続し洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、供給部と連通する洗浄液回収部と、供給部およびサブタンクから洗浄液回収部を介して洗浄液を回収するための回収駆動部と、回収した洗浄液を貯留する洗浄液回収タンクと、を有することを特徴とする。

この洗浄機構によれば、吐出装置に設けられ、液体交換等の際に、新しい液体と今まで使用していた液体の残留液とが混合しないように、サブタンクおよび供給部の洗浄を行える。サブタンクおよび供給部の洗浄は、まず、洗浄液タンクから洗浄液をサブタンクおよび供給部へ導入する。この洗浄液の導入は、液体を吐出部から吐出するためにサブタンクおよび供給部へ導入する場合と、同様にして行うことが可能である。そして、回収駆動部は、サブタンクおよび供給部に導入されている洗浄液を、供給部と連通する洗浄液回収部へ導いて洗浄液回収タンクへ回収するように、洗浄液に作用する。これにより、洗浄液は、液体の流路であるサブタンクおよび供給部を洗浄しつつ通過して、残留している液体との混合液になり、流路の液体を除去することが可能である。従って、供給部に設けられた洗浄液回収専用の洗浄液回収部から洗浄液を回収することにより、吐出部から洗浄液を吐出等して回収する従来の場合に比べ、洗浄に要する時間が大幅に短縮可能である。

この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、供給部およびサブタンクの洗浄液を洗浄液回収タンクへ回収することが好ましい。

この構成によれば、洗浄液を洗浄液回収部へ導く回収駆動部の洗浄液への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、洗浄液をサブタンクから供給部へ押し出し、さらに、供給部から洗浄液回収部を通って洗浄液回収タンクまで押し出すことである。サブタンク、供給部および洗浄液回収部は連通しており、サブタンクに圧力を加えて洗浄液を押し出す簡単な構成で、サブタンクおよび供給部に残留している液体を洗浄して回収することが可能である。

本発明の液滴吐出装置は、材料液を貯留する材料液タンクと、材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、材料液タンクと吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、サブタンクと吐出ヘッドとを連通させて材料液をサブタンクから吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、を備え、さらに、サブタンクおよびヘッド供給管へ洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、ヘッド供給管およびサブタンクからヘッド回収管を介して洗浄液を回収するための回収駆動部と、回収した洗浄液を貯留する洗浄液回収タンクと、を有することを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、材料液交換等の際に、新しい材料液と今まで使用していた材料液とが混合しないように、サブタンクおよびヘッド供給管に残留している材料液を洗浄して回収することが可能である。そのために、液滴吐出装置には、洗浄液タンクと、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管および洗浄液回収タンクと、回収駆動部とが設けられている。洗浄液は、液体を吐出部から吐出するためにサブタンクおよびヘッド供給管へ供給する場合と、同様に行うことが可能である。この構成において、回収駆動部は、サブタンクおよびヘッド供給管に導入されている洗浄液を、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管へ導いて洗浄液回収タンクへ回収するように、洗浄液に作用する。従って、洗浄液は、液体の流路であるサブタンクおよびヘッド供給管を洗浄しつつ通過して、残留している液体との混合液になり、流路の液体を洗浄して除去することが可能である。このように、洗浄液の回収は、サブタンクと吐出ヘッドとの間にあるヘッド供給管に設けられた洗浄液回収専用のヘッド回収管から行われるため、吐出ヘッドから洗浄液を吐出して回収する従来の場合などに比して、洗浄液の回収が迅速に行え、洗浄に要する時間を大幅に短縮可能である。

この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、サブタンクおよびヘッド供給管の洗浄液を洗浄液回収タンクへ回収することが好ましい。

この構成によれば、洗浄液をヘッド回収管へ導く回収駆動部の洗浄液への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、洗浄液をサブタンクからヘッド供給管へ押し出し、さらに、ヘッド供給管からヘッド回収管を通って洗浄液回収タンクまで押し出すことである。サブタンク、ヘッド供給管およびヘッド回収管は連通しており、サブタンクに圧力を加えて洗浄液を押し出す簡単な構成で、サブタンクおよびヘッド供給管に残留している材料液を、洗浄液によって洗浄して回収することが可能である。

本発明の液滴吐出装置は、材料液を貯留する材料液タンクと、材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、材料液タンクと吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、材料液タンクとサブタンクとを連通させて材料液を材料液タンクからサブタンクへ供給するためのタンク供給管と、を備え、さらに、タンク供給管およびサブタンクへ洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、タンク供給管と連通するタンク回収管と、タンク供給管およびサブタンクからタンク回収管を介して洗浄液を回収するための回収駆動部と、回収した洗浄液を貯留する洗浄液回収タンクと、を有することを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、材料液交換等の際に、新しい材料液と今まで使用していた材料液とが混合しないように、タンク供給管およびサブタンクに残留している材料液を洗浄して回収することが可能である。そのために、液滴吐出装置には、洗浄液タンクと、タンク供給管と連通するタンク回収管および洗浄液回収タンクと、回収駆動部とが設けられている。洗浄液は、液体を吐出部から吐出するためにタンク供給管およびサブタンクへ供給する場合と、同様に行うことが可能である。この構成において、回収駆動部は、タンク供給管およびサブタンクに導入されている洗浄液を、タンク供給管と連通するタンク回収管へ導いて洗浄液回収タンクへ回収収容するように、洗浄液に作用する。従って、洗浄液は、液体の流路であるタンク供給管およびサブタンクを洗浄しつつ通過して、残留している液体との混合液になり、流路の液体を洗浄して除去することが可能である。このように、洗浄液の回収は、サブタンクと吐出ヘッドとの間にあるヘッド供給管に設けられた洗浄液回収専用のヘッド回収管から行われるため、吐出ヘッドから洗浄液を吐出して回収する従来の場合などに比して、洗浄液の回収が迅速に行え、洗浄に要する時間を大幅に短縮可能である。

この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、サブタンクおよびタンク供給管の洗浄液を洗浄液回収タンクへ回収することが好ましい。

この構成によれば、洗浄液をタンク回収管へ導く回収駆動部の洗浄液への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、洗浄液をサブタンクからタンク供給管へ押し出し、さらに、タンク供給管からタンク回収管を通って洗浄液回収タンクまで押し出すことである。サブタンク、タンク供給管およびタンク回収管は連通しており、サブタンクに圧力を加えて洗浄液を押し出す簡単な構成で、サブタンクおよびタンク供給管に残留している材料液を、洗浄液によって洗浄して回収することが可能である。

本発明の液滴吐出装置は、材料液を貯留する材料液タンクと、材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、材料液タンクと吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、材料液タンクとサブタンクとを連通させて材料液を材料液タンクからサブタンクへ供給するためのタンク供給管と、サブタンクと吐出ヘッドとを連通させて材料液をサブタンクから吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、を備え、さらに、タンク供給管およびサブタンクおよびヘッド供給管へ洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、タンク供給管と連通するタンク回収管と、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管からタンク回収管およびヘッド回収管を介して洗浄液を回収するための回収駆動部と、回収した洗浄液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。

この液滴吐出装置によれば、材料液交換等の際に、新しい材料液と今まで使用していた材料液とが混合しないように、タンク供給管およびサブタンクおよびヘッド供給管に残留している材料液を洗浄して回収することが可能である。そのために、液滴吐出装置には、洗浄液タンクと、タンク供給管と連通するタンク回収管および洗浄液回収タンクと、ヘッド供給管と連通するヘッド回収管および洗浄液回収タンクと、回収駆動部とが設けられている。洗浄液は、液体を吐出部から吐出するためにタンク供給管およびサブタンクおよびヘッド供給管へ供給する場合と、同様に行うことが可能である。この構成において、回収駆動部は、タンク供給管およびサブタンクおよびヘッド供給管に導入されている洗浄液を、タンク回収管およびヘッド供給管へ導いて洗浄液回収タンクへ回収収容するように、洗浄液に作用する。従って、洗浄液は、液体の流路であるタンク供給管およびサブタンクおよびヘッド供給管を洗浄しつつ通過して、残留している液体との混合液になり、流路の液体を洗浄して除去することが可能である。このように、洗浄液の回収は、洗浄液回収専用のタンク回収管およびヘッド回収管から行われるため、吐出ヘッドから洗浄液を吐出して回収する従来の場合などに比して、洗浄液の回収が迅速に行え、洗浄に要する時間を大幅に短縮可能である。

この場合、回収駆動部は、サブタンクへ圧力を付与して、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管の洗浄液を洗浄液回収タンクへ回収することが好ましい。

この構成によれば、洗浄液をタンク回収管およびヘッド回収管へ導く回収駆動部の洗浄液への作用は、サブタンクへ圧力を付与して、洗浄液をサブタンクからタンク供給管へ押し出し、さらに、タンク供給管からタンク回収管を通って洗浄液回収タンクまで押し出すことである。同様に、サブタンクへ圧力を付与して、洗浄液をサブタンクからヘッド供給管へ押し出し、さらに、ヘッド供給管からヘッド回収管を通って洗浄液回収タンクまで押し出す。サブタンク、タンク供給管およびタンク回収管、ヘッド供給管およびヘッド回収管は、それぞれ連通しており、サブタンクに圧力を加えて洗浄液を押し出す簡単な構成で、サブタンクおよびタンク供給管およびヘッド供給管に残留している材料液を、洗浄液によって洗浄して回収することが可能である。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。実施形態で例示する液滴吐出装置は、吐出する材料液を異なる種類のものに交換する際などに、液滴吐出装置内の材料液の流路を洗浄するための洗浄機構を備えたものである。
（実施形態１）

最初に、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の外観を示す斜視図である。液滴吐出装置１は、図１に示すように、材料液４０を液滴として吐出するヘッド部２０を有するヘッド機構部２と、ヘッド部２０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３０を載置するワーク機構部３と、ヘッド部２０への材料液４０の供給および材料液４０の流路を洗浄液で洗浄する供給／洗浄部４と、ヘッド部２０の保守を行うメンテナンス機構部５と、これら各機構部等を総括的に制御する制御部６とを備えている。

さらに、詳細には、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱２１で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤９の側部には、ヘッド機構部２のヘッド部２０から連通して材料液４０の供給および洗浄液による洗浄をする供給／洗浄部４が配置されている。そして、ヘッド機構部２の一方の支持柱２１近傍には、メンテナンス機構部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配置されている。さらに、定盤９の下側には、制御部６が収容されている。

ヘッド機構部２は、材料液４０を吐出するヘッド部２０と、ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２２と、ヘッドキャリッジ２２のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３の側方にＹ軸ガイド２３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ２４と、を備えている。

ワーク機構部３は、ヘッド機構部２の下方に位置し、ヘッド機構部２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に配置されており、ワーク３０と、ワーク３０を載置しているワーク載置台３１と、ワーク載置台３１の移動をガイドするＸ軸ガイド３３と、Ｘ軸ガイド３３の側方にＸ軸ガイド３３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ３４とを備えている。

これらの構成により、ヘッド部２０とワーク３０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することが可能である。まず、ヘッド部２０の移動について説明する。ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２２は、Ｙ軸ガイド２３に移動可能に取り付けられている。図示されていないが、ヘッドキャリッジ２２からＹ軸リニアモータ２４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ２４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ２２がＹ軸ガイド２３に沿って任意の位置に移動する。同様に、ワーク載置台３１に載置されたワーク３０もＸ軸方向に自在に移動する。

このように、ヘッド部２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３０のＸ軸方向の移動に同調して、材料液４０を液滴として吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク３０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部２０とを相対的に制御することにより、ワーク３０上に液滴を吐出して所望する描画などを行うことが可能である。

メンテナンス機構部５は、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、およびフラッシングユニット５８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ５１と、メンテキャリッジ５１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド５２と、メンテキャリッジ５１と一体の螺合部５５と、螺合部５５が螺合するボールねじ５４と、ボールねじ５４を回転させるメンテモータ５３とを備えている。これにより、メンテモータ５３が正逆回転すると、ボールねじ５４が回転し、螺合部５５を介してメンテキャリッジ５１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ５１がヘッド部２０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド２３に沿ってヘッド部２０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。

メンテナンスユニットのキャッピングユニット５６は、液滴吐出装置１が稼動していない時に、図２を参照して後述するヘッド部２０の１２個の吐出ヘッド（吐出部）のそれぞれと密着してキャッピングし、材料液４０が乾燥してヘッド部２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。また、材料液４０の交換時などに、図示していない吸引ポンプにより、新しい材料液４０をヘッド部２０へ強制吸引する役目を果たす。ワイピングユニット５７は、材料液４０の連続吐出後やキャッピングの前にヘッド部２０に付着した材料液４０などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、ヘッド部２０を清浄な状態にする。フラッシングユニット５８は、液滴吐出装置１の稼動開始時やワーク３０への加工前、加工途中および加工後に、フラッシングとして吐出ヘッドから吐出される材料液４０を受け、ヘッド部２０の吐出状態を良好に維持する。

これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置１の非稼動時やワーク３０を交換載置している加工待ち時などに、ヘッド部２０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことが可能である。

次に、ヘッド部２０への材料液４０の供給および材料液４０の流路の洗浄をする供給／洗浄部４は、材料液タンク４１と、ヘッド部２０との水頭差を維持するために一定の液面位置を維持する機能を果たすサブタンク４２と、材料液タンク４１とサブタンク４２とヘッド部２０とを連通して材料液４０を材料液タンク４１からヘッド部２０へ供給する供給管（供給部）４６と、材料液タンク４１およびサブタンク４２の内部圧力を材料液タンク圧力管６４またはサブタンク圧力管６５を介して調整し、材料液４０をヘッド部２０へ供給するための圧力付与部６０とを備えている。材料液４０の供給については、図３を参照して詳細に後述する。そして、供給／洗浄部４は、キャッピングユニット５６が吸引した材料液４０を廃液として回収する廃液回収管４８および廃液タンク４４と、フラッシングユニット５８が受けた材料液４０の液滴を廃液として回収する廃液回収管４９および廃液タンク４５とを有する。

また、供給／洗浄部４は、材料液タンク４１を交換して材料液４０を変更する場合に、サブタンク４２および材料液４０の流路である供給管４６を洗浄する機能を有する。この場合、材料液タンク４１は、洗浄液を貯留する洗浄液タンクに交換され、洗浄液がサブタンク４２および供給管４６へ導入される。洗浄機構は、洗浄液回収タンク１５と、サブタンク４２とヘッド部２０の間の供給管４６に連通して洗浄液回収タンク１５へ洗浄液を導くためのヘッド回収管１６と、サブタンク４２内の洗浄液をヘッド回収管１６へ押し出すためにエアーによる圧力をサブタンク４２へ付与する圧力付与部６０と、圧力付与部６０からエアーをサブタンク４２へ導くためのサブタンク圧力管６５とを有する構成である。この場合、圧力付与部６０およびサブタンク圧力管６５は、洗浄機構としての機能を果たす。洗浄液による洗浄についての詳細は、図５を参照して後で詳細に説明する。

次に、ヘッド部２０について簡単に説明する。図２（ａ）は、ヘッド部の詳細を示す平面図であり、図２（ｂ）は、吐出ヘッドを示す平面図である。ヘッド部２０は、図２（ａ）に示すように互いに同じ構造を有する１２個の吐出ヘッド２６を保持している。この図２（ａ）は、ヘッド部２０をワーク載置台３１の側から観察した図である。また、材料液４０を吐出するための吐出ヘッド２６は、図２（ｂ）に示すように、それぞれが吐出ヘッド２６の長手方向に延びる２つのノズル列２８を有している。１つのノズル列２８は、それぞれ１８０個のノズル２７が一列に並んだ列である。ノズル２７からの材料液４０の吐出方法は、圧電素子の振動を利用して材料液４０の液滴を吐出する方式や材料液４０を加熱膨張させて吐出する方式などが知られている。液滴吐出装置１では、加熱をしないため材料液４０の変質などが少ない圧電素子方式を採用している。

次に、材料液４０を材料液タンク４１からヘッド部２０へ供給する機構について説明する。図３は、材料液タンク、サブタンクおよび圧力付与部の構成を示す模式図である。図３に示すように、材料液４０は、材料液タンク４１から供給管（タンク供給管）４６を介してサブタンク４２へ至り、さらに、サブタンク４２から供給管（ヘッド供給管）４６を経てヘッド部２０へ供給される。

材料液タンク４１とサブタンク４２との間の供給管４６には、材料液タンク４１の近傍に材料液タンクバルブ６１と、サブタンク４２の近傍に流入バルブ６２とが設けられている。また、サブタンク４２とヘッド部２０との間には、サブタンクの近傍に流出バルブ６３が設けられている。流入バルブ６２および流出バルブ６３は、電磁弁等で構成されており、制御部６により開閉制御される。サブタンク４２は、圧力付与部６０により、ヘッド部２０の吐出ヘッド２６のノズル２７における圧力が適切な水頭圧となるように負圧制御管理されており、吐出ヘッド２６の駆動に応じて材料液４０を一定の圧力で供給する。この場合、流出バルブ６３は開放状態であり、流入バルブ６２は閉止状態である。これにより、吐出ヘッド２６のノズル２７からの液だれが防止されると共に、材料液４０の吐出が設計上意図したものとなる。

圧力付与部６０は、レギュレータや各種エアーバルブを内蔵し、材料液タンク４１へ材料液タンク圧力管６４を介して正圧を付与し、材料液タンク４１からサブタンク４２へ材料液４０を供給する。材料液４０の供給時には、材料液タンクバルブ６１は開放されている。一方、圧力付与部６０は、サブタンク４２へサブタンク圧力管６５を介して負圧を付与し、サブタンク４２の液位と吐出ヘッド２６のノズル２７との水頭差が、所定圧である例えば−２５ｍｍＨｇとなるように、サブタンク４２内の圧力を減圧制御する。サブタンク４２内の圧力は、制御部６に接続された圧力センサ６６により測定され、圧力センサ６６の測定値に基づいて、制御部６が圧力付与部６０を制御することにより所定値に保たれる。

また、サブタンク４２は、図示していない液面検出部を有していて、サブタンク４２の液面の位置を検出する。液面検出部の検出結果により、サブタンク４２内の液面が下がり液量が所定量より減少していると、流出バルブ６３を閉じて流入バルブ６２を開け、材料液タンク圧力管６４からエアーを注入して、材料液タンク４１の材料液４０を供給管４６からサブタンク４２へ供給する。サブタンク４２の液面が上がり液量が所定量まで増加すると、流入バルブ６２を閉じ、圧力付与部６０によるサブタンク４２内の圧力調整後、流出バルブ６３を開けて材料液４０をヘッド部２０へ供給する。これら一連の制御は、制御部６が行う。この場合、流出バルブ６３を閉じずに、サブタンク４２の圧力調整をしつつ、流入バルブ６２側から材料液４０を受け入れても良い。

なお、サブタンク４２は、貯留する材料液４０の液面上にステンレスなどの金属板、フッ素系樹脂などのいわゆる落し蓋を設置し、液面とエアーとが直接接触する面積を減らすように構成することが好ましい。また、材料液タンク４１においても、サブタンク４２と同様のタンク構成として、サブタンク４２に材料液４０を供給する前に、材料液タンク４１での材料液４０とエアーとの接触を防止することが好ましい。これにより、さらに材料液４０への気泡の混入、材料液４０の変質をほぼ防止することが可能である。

以上説明した実施形態１における液滴吐出装置１の供給／洗浄部４について、さらに詳細に説明する。図４は、実施形態１における供給／洗浄部による材料液の供給に関わる詳細構成を示す模式図である。

図４の模式図に示すように、液滴吐出装置１は、材料液タンク４１を複数個有することが可能であり、この場合３個有している。これら材料液タンク４１は、ワーク３０がカラーフィルタであれば、カラーフィルタを形成するための赤のフィルタ液を材料液４０ａとして貯留する材料液タンク４１ａと、緑のフィルタ液を材料液４０ｂとして貯留する材料液タンク４１ｂと、青のフィルタ液を材料液４０ｃとして貯留する材料液タンク４１ｃとである。材料液４０としては、フィルタ液のほかに、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置を形成するための赤、緑、青の各ＥＬ発光液や、プラズマ表示装置を形成するための赤、緑、青の各プラズマ蛍光液、印刷用紙へ印刷するための赤、青、黄の各印刷インクなどが挙げられる。

材料液４０ａを貯留する材料液タンク４１ａは、タンク供給管である供給管４６ａを介してサブタンク４２ａと接続している。供給管４６ａは、材料液タンク４１ａ内の材料液４０ａに先端部が浸漬し、供給管４６ａの材料液タンク４１ａの直近には材料液タンクバルブ６１ａが設けられ、供給管４６ａのサブタンク４２ａの直近には流入バルブ６２ａが設けられている。サブタンク４２ａは、サブタンク４２ａとヘッド部２０ａとを接続するヘッド供給管である供給管４６ｄを介して、ヘッド部２０ａと接続しており、供給管４６ｄのサブタンク４２ａ直近には流出バルブ６３ａが設けられている。また、流出バルブ６３ａとヘッド部２０ａとの間には、洗浄バルブ９１ａと、洗浄バルブ９１ａに一端が接続しているヘッド回収管１６ａと、ヘッド回収管１６ａの他端が接続している洗浄液回収タンク１５ａとが設けられている。そして、材料液タンク４１ａは、材料液タンク圧力管６４ａによって圧力付与部６０と接続しており、サブタンク４２ａは、サブタンク圧力管６５ａによって圧力付与部６０と接続している。このような構成において、材料液４０ａのヘッド部２０ａへの供給は、図２を参照して既述した材料液４０のヘッド部２０への供給に準じて行われる。

同様に、材料液タンク４１ｂの材料液４０ｂは、材料液タンクバルブ６１ｂ、供給管（タンク供給管）４６ｂ、流入バルブ６２ｂ、サブタンク４２ｂ、流出バルブ６３ｂ、洗浄バルブ９１ｂ、供給管（ヘッド供給管）４６ｅを経てヘッド部２０ｂへ供給される。洗浄バルブ９１ｂは、供給管４６ｂの流入バルブ６２ｂとヘッド部２０ｂとの間に設けられ、ヘッド回収管１６ｂを介して洗浄液回収タンク１５ｂと接続している。同じく、材料液４０ｃは、材料液タンクバルブ６１ｃ、供給管（タンク供給管）４６ｃ、流入バルブ６２ｃ、サブタンク４２ｃ、流出バルブ６３ｃ、洗浄バルブ９１ｃ、供給管（ヘッド供給管）４６ｆを経てヘッド部２０ｃへ供給され、洗浄バルブ９１ｃにはヘッド回収管１６ｃと、洗浄液回収タンク１５ｃとが接続している。

また、材料液タンク４１ｂは、材料液タンク圧力管６４ｂによって圧力付与部６０と接続しており、サブタンク４２ｂは、サブタンク圧力管６５ｂによって圧力付与部６０と接続している。同じく、材料液タンク４１ｃは、材料液タンク圧力管６４ｃによって圧力付与部６０と接続しており、サブタンク４２ｃは、サブタンク圧力管６５ｃによって圧力付与部６０と接続している。

なお、材料液４０ａをヘッド部２０ａへ供給する場合、制御部６からの指示により、洗浄バルブ９１ａは、サブタンク４２ａからヘッド部２０ａへのみ連通するようにヘッド回収管１６ａの側が閉止されている。同様に、材料液４０ｂ，４０ｃをそれぞれヘッド部２０ｂ，２０ｃへ供給する場合、洗浄バルブ９１ｂ，９１ｃは、それぞれヘッド回収管１６ｂ，１６ｃの側が閉止されている。

ヘッド部２０ａは、図４に示すように、材料液４０ａを吐出しない時は、キャッピングユニット５６によってキャッピングされ、キャッピング時には、必要に応じて、キャッピングユニット５６が材料液４０ａを強制吸引して、ヘッド部２０ａの清掃および吐出機能維持を図っている。キャッピングユニット５６が吸引した材料液４０ａは、廃液として廃液回収管４８ａを通って廃液タンク４４ａへ一旦回収される。廃液が廃液タンク４４ａに所定量以上溜まると、廃液は、廃液回収管４８ｄを通って廃液タンク４４ｄへ図示していない吸引ポンプによって回収される。同様に、キャッピングユニット５６により吸引された材料液４０ｂ，４０ｃは、それぞれ廃液回収管４８ｂ，４８ｃおよび廃液タンク４４ｂ，４４ｃおよび廃液回収管４８ｅ，４８ｆを介して廃液タンク４４ｅ，４４ｆに回収される。

フラッシングユニット５８は、ヘッド部２０からフラッシングとして一斉に吐出された材料液４０ａ，４０ｂ，４０ｃを受け、各材料液４０が混合した廃液として、廃液回収管４９ａおよび廃液タンク４５ａおよび廃液回収管４９ｂを介して廃液タンク４５ｂへ回収される。

以上説明したような構成により、ヘッド部２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、材料液４０ａ，４０ｂ，４０ｃの供給を受けて吐出を行うことができ、ヘッド部２０のメンテナンスのためにキャッピングユニット５６およびフラッシングユニット５８によって吸引または吐出された材料液４０は、廃液タンク４４，４５へ回収される。こうして材料液４０のヘッド部２０への供給およびメンテナンスによる廃液の処理が機能して、ワーク３０への液滴吐出加工が行われる。

次に、材料液タンク４１を交換して、既使用の材料液４０と異なる新しい材料液４０を使用するために、供給管４６およびサブタンク４２を洗浄する洗浄機構について説明する。図５は、供給／洗浄部による洗浄液の供給に関わる詳細構成を示す模式図である。ここでは、材料液タンク４１ａの材料液４０ａの流路を洗浄する場合を例にして説明する。この場合、洗浄機構は、材料液タンクバルブ６１ａ、流入バルブ６２ａ、流出バルブ６３ａ、洗浄バルブ９１ａ、ヘッド回収管１６ａ、洗浄液回収タンク１５ａ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ａにより構成され、二回の洗浄が実行される。

まず、サブタンク４２ａおよび供給管４６ａ，４６ｄの材料液４０ａを排除する。材料液４０ａの排除は、例えば一例として、材料液タンクバルブ６１ａを閉じて、材料液４０ａの入っていない材料液タンク４１ａに交換し、交換した材料液タンク４１ａへ材料液タンク圧力管６４ａから圧縮したエアーを導入して、材料液タンク４１ａ内の圧力を高める。そして、材料液タンクバルブ６１ａおよび流入バルブ６２ａを開けて、エアー圧により、供給管４６ａの材料液４０ａをサブタンク４２ａへ押し出し、流入バルブ６２ａを閉じる。次に、流出バルブ６３ａを開け、ヘッド部２０ａをキャッピングユニット５６によりキャッピングの状態とする。この状態において、サブタンク４２ａへ、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて圧縮したエアーを付与する。サブタンク４２ａおよび供給管４６ｄ内の材料液４０ａは、エアーの圧力によって、流出バルブ６３ａを通り、供給管４６ｄから洗浄バルブ９１ａを経てヘッド部２０ａへ至り、キャッピングユニット５６へほとんどが排出される。

次に、サブタンク４２ａ、供給管４６ａ，４６ｄおよびヘッド部２０の壁面などに付着して残留する材料液４０ａを洗浄する手順を説明する。最初に、材料液タンクバルブ６１ａを閉じ、材料液タンク４１ａに替えて、洗浄液１０を貯留した洗浄液タンク１１を設置する。洗浄液タンク１１は、二回の洗浄に必要な洗浄液１０を有している。次に、材料液タンクバルブ６１ａおよび流入バルブ６２ａを開けて、流出バルブ６３ａを閉じ、圧力付与部６０から材料液タンク圧力管６４ａを通じて洗浄液タンク１１へ圧縮したエアーを導入する。エアーは、洗浄液１０を供給管４６ａおよびサブタンク４２ａへ押し出して、サブタンク４２ａの液面検出部が所定量の洗浄液１０を検出するまで導入される。サブタンク４２ａに洗浄液１０が所定量貯留されると、エアーの導入を止め、流入バルブ６２ａを閉じる。

そして、流出バルブ６３ａを開け、さらに、供給管４６ｄとヘッド回収管１６ａとが連通するように洗浄バルブ９１ａを開放する。この状態において、サブタンク４２ａへ、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて、圧縮したエアーを付与する。サブタンク４２ａ内の洗浄液１０は、エアーの圧力によって、流出バルブ６３ａを通り、供給管４６ｄから洗浄バルブ９１ａを経てヘッド回収管１６ａへ至り、供給管４６ｄ内の材料液４０ａと共に洗浄液回収タンク１５ａに回収される。この場合、ヘッド部２０ａは、キャッピングの状態としておき、キャッピングユニット５６がヘッド部２０ａから排出される洗浄液１０を受けて回収する。また、ヘッド部２０ａからの洗浄液１０の排出は少量であるため、供給管４６ｄの洗浄液１０を回収するには時間がかかる。そのため、より短時間に洗浄液１０の回収を行うために、洗浄バルブ９１ａは、図５の示す位置よりも、ヘッド部２０ａの直近へ設けておき、ヘッド回収管１６ａによってほとんどの洗浄液１０の回収を行うことが望ましい。この場合にも、ヘッド部２０から洗浄液１０が押し出され、ヘッド部２０の洗浄が行われる。

サブタンク４２ａ内の洗浄液１０が回収されて一回目の洗浄が終了した後、二回目の洗浄を行うために、流出バルブ６３ａを閉じ流入バルブ６２ａを開ける。そして、圧力付与部６０から材料液タンク圧力管６４ａを通じて洗浄液タンク１１へ圧縮したエアーを導入し、再び、洗浄液１０をサブタンク４２ａへ貯留する。この時、洗浄液タンク１１の洗浄液１０がすべて押し出されると、材料液タンク圧力管６４ａからのエアーが供給管４６ａへ入り、供給管４６ａの洗浄液１０をすべてサブタンク４２ａへ押し出す。この状態において、流入バルブ６２ａを閉じ流出バルブ６３ａを開けて、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて、圧縮したエアーをサブタンク４２ａに付与する。サブタンク４２ａ内の洗浄液１０は、エアーの圧力によって、流出バルブ６３ａを通り、供給管４６ｄから洗浄バルブ９１ａを経てヘッド回収管１６ａへ至り、供給管４６ｄ内の材料液４０ａと共に洗浄液回収タンク１５ａに回収される。こうして、二度目の洗浄によって、供給管４６ａ，サブタンク４２ａ、供給管４６ｄおよびヘッド部２０の洗浄が行われ、新しい材料液４０の供給が可能になる。

また、圧力付与部６０から付与するエアーの圧力を、サブタンク４２ａおよび供給管４６ａ，４６ｄが耐えうる範囲の高圧にして付与すれば、サブタンク４２ａおよび供給管４６ａ，４６ｄの洗浄液１０の回収がより迅速に行える。このように、洗浄機構は、材料液４０ａの供給時に材料液タンク４１ａ内の加圧およびサブタンク４２内の減圧を制御するための圧力付与部６０を、洗浄液１０の供給および回収時にも利用しており、洗浄液１０の供給および回収のための新たな駆動装置の付加が不要である。

以上説明した手順と同様に、サブタンク４２ｂ、供給管４６ｂ，４６ｅの洗浄、および、サブタンク４２ｃ、供給管４６ｃ，４６ｆの洗浄を行うことが可能である。

なお、洗浄液１０は、使用している材料液４０によって、それぞれ適したものを選択することが望ましい。例えば、カラーフィルタを形成するためのフィルタ液を使用したサブタンク４２および供給管４６の洗浄の場合には、ブチルカルビトールなどのブチル系溶液を用い、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置を形成するためのＥＬ発光液の場合、および、プラズマ表示装置を形成するためのプラズマ蛍光液の場合には、エタノールを用いることが望ましい。また、洗浄前のサブタンク４２および供給管４６の材料液４０を排除する場合に、洗浄バルブ９１をヘッド回収管１６にも開放して洗浄液回収タンク１５に材料液４０を回収しても良い。こうすれば、洗浄前の材料液４０の回収が短時間に行える。

次に、液滴吐出装置１を制御する制御部６について説明する。図６は、液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。制御部６は、入出力インターフェイス７１、ＣＰＵ（Central Processing Unit）７２、ＲＯＭ（Read Only Memory）７３、ＲＡＭ（Random Access Memory）７４を有し、ＣＰＵ７２が入出力インターフェイス７１を介して入力される各種信号をＲＡＭ７４に記憶させるなど、ＲＯＭ７３の記憶するプログラムに基づいて処理し、入出力インターフェイス７１を介して制御信号を出力する。

出力された制御信号は、ヘッドドライバ８１、モータドライバ８２、圧力ドライバ８３、バルブドライバ８４、およびメンテドライバ８５のいずれかに入力される。ヘッドドライバ８１は、ヘッド部２０における材料液４０の吐出を制御し、ワーク３０上に所定の描画などが行えるようにする。モータドライバ８２は、ヘッドドライバ８１の制御と同調して、Ｘ軸リニアモータ３４、Ｙ軸リニアモータ２４を制御し、ワーク３０、ヘッド部２０の移動を制御する。さらに、メンテモータ５３を制御してメンテナンス機構部５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。圧力ドライバ８３は、圧力付与部６０を制御し、材料液４０の吐出状態に対応してサブタンク４２の減圧制御および材料液タンク４１への加圧制御を行う。また、材料液４０の回収時には、サブタンク４２へ圧縮したエアーを付与して加圧する。バルブドライバ８４は、材料液タンクバルブ６１、流入バルブ６２、流出バルブ６３、洗浄バルブ９０を制御する。そして、メンテドライバ８５は、メンテナンス機構部５のキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７およびフラッシングユニット５８を制御して、ヘッド部２０のノズル２７を、常に、良好な状態に保つ役割を果たす。

以上、実施形態１として、洗浄機構を備えた液滴吐出装置１について説明した。以下に、その効果を記載する。

（１）洗浄機構は、洗浄液タンク１１とサブタンク４２とを接続する供給管４６に連通する洗浄液回収専用の洗浄バルブ９１と、ヘッド回収管１６と、洗浄液回収タンク１５とを有し、サブタンク４２へ圧力を付与して洗浄液１０を押し出す簡便な構成である。簡便ながら、ヘッド部２０から洗浄液１０を少量ずつ吐出または吸引して回収する従来の場合に比して、洗浄液１０の回収が迅速に行え、洗浄に要する時間を大幅に短縮可能である。
（２）洗浄液１０に圧力を付与して、洗浄液１０を流路へ供給するための圧力付与部６０は、材料液４０をヘッド部２０へ供給するための圧力付与部６０を利用しており、洗浄のための新たな駆動部が不要である。
（実施形態２）

次に、本発明の実施形態２について説明する。実施形態２の液滴吐出装置１は、実施形態１とほぼ同様な構成であるが、実施形態１における洗浄機構の洗浄バルブ９１およびヘッド回収管１６の設置位置を変更して備えている。以下では、実施形態１と異なる洗浄機構の部分について主に説明する。

図７は、実施形態２における供給／洗浄部の構成を示す模式図である。液滴吐出装置１の供給／洗浄部４は、実施形態１の洗浄バルブ９１およびヘッド回収管１６に替えて、図７に示すように、材料液タンク４１とサブタンク４２とを連通する供給管４６に設けられた洗浄バルブ９０と、洗浄バルブ９０に連通するタンク回収管１９と、タンク回収管１９に接続する洗浄液回収タンク１８とを有する。ここでは、材料液タンク４１ａの材料液４０ａの流路を洗浄する場合を例にして説明する。この場合、洗浄機構は、材料液タンクバルブ６１ａ、洗浄バルブ９０ａ、タンク回収管１９ａ、洗浄液回収タンク１８ａ、流入バルブ６２ａ、流出バルブ６３ａ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ａにより構成されている。

まず、サブタンク４２ａおよび供給管４６ａ，４６ｄの材料液４０ａを、実施形態１で説明したようにして排除する。そして、材料液タンクバルブ６１ａを閉じ、材料液タンク４１ａに替えて、洗浄液１０を貯留した洗浄液タンク１１を設置する。次に、材料液タンクバルブ６１ａおよび流入バルブ６２ａを開けて、流出バルブ６３ａを閉じ、洗浄バルブ９０ａのタンク回収管１９ａ側を閉じる。次に、圧力付与部６０から材料液タンク圧力管６４ａを通じて洗浄液タンク１１へ圧縮したエアーを導入する。エアーは、洗浄液１０を供給管４６ａおよびサブタンク４２ａへ押し出し、サブタンク４２ａの液面検出部が所定量の洗浄液１０を検出するまで導入される。サブタンク４２ａに洗浄液１０が所定量貯留されると、エアーの導入を止め、材料液タンクバルブ６１ａを閉じる。

次に、サブタンク４２ａの流出バルブ６３ａを開け、さらに、供給管４６ａとタンク回収管１９ａとが連通するように洗浄バルブ９０ａを開放する。ヘッド部２０ａは、キャッピングの状態とする。この状態において、サブタンク４２ａに、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて圧縮したエアーを付与する。サブタンク４２ａ内の洗浄液１０は、エアーの圧力によって、流入バルブ６２ａを通り、供給管４６ａから洗浄バルブ９０ａを経てタンク回収管１９ａへ至り、供給管４６ａ内の洗浄液１０と共に洗浄液回収タンク１８ａに回収される。この場合、供給管４６ａ内の洗浄液１０を残留させること無く回収するために、洗浄バルブ９０ａは、図７の示す位置よりも、供給管４６ａの材料液タンクバルブ６１ａの直近へ設けておくことが望ましい。

また、サブタンク４２ａのほとんどの洗浄液１０と供給管４６ａの洗浄液１０とは、タンク回収管１９ａを介して洗浄液回収タンク１８ａへ回収されるが、供給管４６ｄの洗浄液１０とサブタンク４２ａの一部の洗浄液１０は、ヘッド部２０ａを経由してキャッピングユニット５６から回収される。この場合のキャッピングユニット５６による回収は、圧力付与部６０からの圧縮エアーによって、供給管４６ｄの洗浄液１０をヘッド部２０ａへ押し出すことにより、ヘッド部２０ａの吐出機構によって供給管４６ａの洗浄液１０を吐出して回収する場合に比べ、より迅速に回収することが可能である。以上のようにして一回目の洗浄が終了する。続いて、材料液タンクバルブ６１ａを開け、洗浄液１０をサブタンク４２ａへ供給して二回目の洗浄を行う。

同様な操作により、材料液タンクバルブ６１ｂ、洗浄バルブ９０ｂ、タンク回収管１９ｂ、洗浄液回収タンク１８ｂ、流入バルブ６２ｂ、流出バルブ６３ｂ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ｂを有する洗浄機構により、材料液タンク４１ｂの材料液４０ｂの流路を洗浄することが可能である。また、材料液タンクバルブ６１ｃ、洗浄バルブ９０ｃ、タンク回収管１９ｃ、洗浄液回収タンク１８ｃ、流入バルブ６２ｃ、流出バルブ６３ｃ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ｃを有する洗浄機構により、材料液タンク４１ｃの材料液４０ｃの流路を洗浄することが可能である。

以上、実施形態２として、洗浄機構を備えた液滴吐出装置１について説明した。以下に、その効果を記載する。

（１）供給管４６ａ，４６ｂ，４６ｃにおいて、洗浄液１０が供給時と回収時とで反対方向に流れて、異なる洗浄流により洗浄するため、一方向だけの流れによる洗浄に比べて、より均一で緻密な洗浄が可能である。
（実施形態３）

次に、本発明の実施形態３について説明する。実施形態３の液滴吐出装置は、実施形態１および２とほぼ同様な構成であるが、実施形態１のヘッド回収管１６ａ，１６ｂ，１６ｃおよび洗浄バルブ９１ａ，９１ｂ，９１ｃと、実施形態２のタンク回収管１９ａ，１９ｂ，１９ｃおよび洗浄バルブ９０ａ，９０ｂ，９０ｃとを共に有する洗浄機構を備えている。以下では、実施形態１および２と異なる洗浄機構の部分について主に説明する。

図８は、実施形態３における供給／洗浄部の構成を示す模式図である。ここでは、材料液タンク４１ａの材料液４０ａの流路を洗浄する場合を例にして説明する。この場合、実施形態３における洗浄機構は、材料液タンクバルブ６１ａ、洗浄バルブ９０ａ、タンク回収管１９ａ、洗浄液回収タンク１８ａ、流入バルブ６２ａ、流出バルブ６３ａ、洗浄バルブ９１ａ、ヘッド回収管１６ａ、洗浄液回収タンク１５ａ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ａにより構成されている。

まず、サブタンク４２ａおよび供給管４６ａ，４６ｄの材料液４０ａを、実施形態１で説明したようにして排除する。そして、材料液タンクバルブ６１ａを閉じ、材料液タンク４１ａに替えて、洗浄液１０を貯留した洗浄液タンク１１を設置する。次に、材料液タンクバルブ６１ａおよび流入バルブ６２ａを開けて、流出バルブ６３ａを閉じ、洗浄バルブ９０ａのタンク回収管１９ａ側を閉じる。次に、圧力付与部６０から材料液タンク圧力管６４ａを通じて洗浄液タンク１１へ圧縮したエアーを導入する。エアーは、洗浄液１０を供給管４６ａおよびサブタンク４２ａへ押し出し、サブタンク４２ａの液面検出部が所定量の洗浄液１０を検出するまで導入される。サブタンク４２ａに洗浄液１０が所定量貯留されると、エアーの導入を止め、材料液タンクバルブ６１ａを閉じる。

次に、サブタンク４２ａの流出バルブ６３ａを開け、さらに、供給管４６ａとタンク回収管１９ａとが連通するように洗浄バルブ９０ａの開放と、供給管４６ｄとヘッド回収管１６ａとが連通するように洗浄バルブ９１ａの開放とを行う。ヘッド部２０ａは、キャッピングの状態とする。この状態において、サブタンク４２ａに、圧力付与部６０からサブタンク圧力管６５ａを通じて圧縮したエアーを付与する。サブタンク４２ａ内の洗浄液１０は、エアーの圧力によって、流入バルブ６２ａおよび流出バルブ６３ａを通って、サブタンク４２ａから流出する。流入バルブ６２ａを通った洗浄液１０は、供給管４６ａから洗浄バルブ９０ａを経てタンク回収管１９ａへ至り、供給管４６ａ内の洗浄液１０と共に洗浄液回収タンク１８ａに回収される。また、流出バルブ６３ａから流出した洗浄液１０は、供給管４６ｄから洗浄バルブ９１ａを経てヘッド回収管１６ａへ至り、供給管４６ｄ内の洗浄液１０と共に洗浄液回収タンク１５ａに回収される。以上のようにして一回目の洗浄が終了する。続いて、材料液タンクバルブ６１ａを開け、洗浄液１０をサブタンク４２ａへ供給して二回目の洗浄を行う。

なお、供給管４６ａ内の洗浄液１０を残留させること無く回収するために、洗浄バルブ９０ａは、図８の示す位置よりも、材料液タンクバルブ６１ａの直近へ設けておくことが望ましい。また、供給管４６ｄ内の洗浄液１０を、ヘッド部２０ａを介して回収するより迅速に回収するために、洗浄バルブ９１ａは、図８の示す位置よりも、ヘッド部２０ａの直近へ設けておくことが望ましい。この場合にも、ヘッド部２０から洗浄液１０が押し出され、ヘッド部２０が洗浄される。

同様な操作により、材料液タンクバルブ６１ｂ、洗浄バルブ９０ｂ、タンク回収管１９ｂ、洗浄液回収タンク１８ｂ、流入バルブ６２ｂ、流出バルブ６３ｂ、洗浄バルブ９１ｂ、ヘッド回収管１６ｂ、洗浄液回収タンク１５ｂ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ｂを有する洗浄機構により、材料液タンク４１ｂの材料液４０ｂの流路を洗浄することが可能である。また、材料液タンクバルブ６１ｃ、洗浄バルブ９０ｃ、タンク回収管１９ｃ、洗浄液回収タンク１８ｃ、流入バルブ６２ｃ、流出バルブ６３ｃ、洗浄バルブ９１ｃ、ヘッド回収管１６ｃ、洗浄液回収タンク１５ｃ、圧力付与部６０、サブタンク圧力管６５ｃを有する洗浄機構により、材料液タンク４１ｃの材料液４０ｃの流路を洗浄することが可能である。

以上、実施形態３として、洗浄機構を備えた液滴吐出装置１について説明した。以下に、その効果を記載する。

（１）洗浄機構は、洗浄液タンク１１とサブタンク４２との間、および、サブタンク４２とヘッド部２０との間の両部から洗浄液１０を回収する構成であるため、液滴吐出装置１内の洗浄液１０、特にサブタンク４２内の洗浄液１０を、より迅速に回収することが可能である。

また、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、次に挙げる変形例のような形態であっても、実施形態と同様な効果が得られる。

（変形例１）サブタンク４２および供給管４６は、エタノールやブチルカルビトールなどの洗浄液１０による洗浄後、さらに、洗浄液１０としての純水による洗浄を追加することにより、より完全に近い洗浄が可能である。

（変形例２）洗浄回数は、二回に限定されず、一回または二回以上であっても良い。材料液４０および洗浄液１０に対応して、適切に選択することが好ましい。

（変形例３）洗浄前に、サブタンク４２および供給管４６に残留する材料液４０を排除せずに、洗浄液１０と共に材料液４０を洗浄液回収タンク１５，１８へ回収しても良い。コスト負担の少ない材料液４０などであれば、洗浄時間の短縮を図る方が有利な場合もある。

（変形例４）サブタンク４２へ加圧して、洗浄液１０を洗浄液回収タンク１５，１８へ回収することに限定せず、吸引ポンプなどにより、洗浄液回収タンク１５，１８へ洗浄液１０を吸引して回収しても良い。

（変形例５）実施形態３における洗浄液１０を回収する洗浄液回収タンク１５ａと洗浄液回収タンク１８ａとは、別個のタンクでなく、一つのタンクであっても良い。同様に、洗浄液回収タンク１５ｂと洗浄液回収タンク１８ｂおよび洗浄液回収タンク１５ｃと洗浄液回収タンク１８ｃも、それぞれ一つのタンクで良い。

近年、吐出装置は、ワーク３０としての印刷用紙への印刷だけでなく、カラーフィルタ、有機ＥＬ表示装置、プラズマ表示装置などをワーク３０として対応でき、各種の材料液４０を選択して吐出加工することが可能になってきた。従って、吐出装置に本発明の洗浄機構を設けることや、本発明の液滴吐出装置１を用いれば、ワーク３０の変更に対応して、材料液４０の交換を行う際に、前に使用した材料液４０の流路を迅速に洗浄でき、段取り変えをすばやく行うことが可能である。

液滴吐出装置の外観を示す斜視図。 （ａ）ヘッド部の詳細を示す平面図、（ｂ）吐出ヘッドを示す平面図。 材料液タンク、サブタンクおよび圧力付与部の構成を示す模式図。 実施形態１における供給／洗浄部による材料液の供給に関わる詳細構成を示す模式図。 供給／洗浄部による洗浄液の供給に関わる詳細構成を示す模式図。 液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。 実施形態２における供給／洗浄部の構成を示す模式図。 実施形態３における供給／洗浄部の構成を示す模式図。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、４…供給／洗浄部、５…メンテナンス機構部、６…制御部、１０…洗浄液、１１…洗浄液タンク、１５，１８…洗浄液回収タンク、１６…洗浄液回収部としてのヘッド回収管、１９…洗浄液回収部としてのタンク回収管、２０…ヘッド部、２６…吐出部としての吐出ヘッド、３０…ワーク、４０…液体としての材料液、４１…液体タンクとしての材料液タンク、４２…サブタンク、４６ａ，４６ｂ，４６ｃ…供給部およびタンク供給管としての供給管、４６ｄ，４６ｅ，４６ｆ…供給部およびヘッド供給管としての供給管、６０…回収駆動部としての圧力付与部、６１…材料液タンクバルブ、６２…流入バルブ、６３…流出バルブ、６４…材料液タンク圧力管、６５…サブタンク圧力管、８３…圧力ドライバ、８４…バルブドライバ、９０，９１…洗浄バルブ。

Claims (8)

1. 液体を貯留する液体タンクと、前記液体を吐出する吐出部と、前記液体タンクと前記吐出部との間に設けられたサブタンクと、をそれぞれ連通させて前記液体を前記液体タンクから前記吐出部へ供給するための供給部と、を備えた吐出装置に設けられ、
   前記供給部に接続し洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、
   前記供給部と連通する洗浄液回収部と、
   前記供給部および前記サブタンクから前記洗浄液回収部を介して前記洗浄液を回収するための回収駆動部と、
   回収した前記洗浄液を貯留する洗浄液回収タンクと、を有することを特徴とする洗浄機構。
2. 請求項１に記載の洗浄機構において、
   前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記供給部および前記サブタンクの前記洗浄液を前記洗浄液回収タンクへ回収することを特徴とする洗浄機構。
3. 材料液を貯留する材料液タンクと、
   前記材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、
   前記材料液タンクと前記吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、
   前記サブタンクと前記吐出ヘッドとを連通させて前記材料液を前記サブタンクから前記吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、を備え、
   さらに、前記サブタンクおよび前記ヘッド供給管へ洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、
   前記ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、
   前記ヘッド供給管および前記サブタンクから前記ヘッド回収管を介して前記洗浄液を回収するための回収駆動部と、
   回収した前記洗浄液を貯留する洗浄液回収タンクと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
4. 請求項３に記載の液滴吐出装置において、
   前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記サブタンクおよび前記ヘッド供給管の前記洗浄液を前記洗浄液回収タンクへ回収することを特徴とする液滴吐出装置。
5. 材料液を貯留する材料液タンクと、
   前記材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、
   前記材料液タンクと前記吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、
   前記材料液タンクと前記サブタンクとを連通させて前記材料液を前記材料液タンクから前記サブタンクへ供給するためのタンク供給管と、を備え、
   さらに、前記タンク供給管および前記サブタンクへ洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、
   前記タンク供給管と連通するタンク回収管と、
   前記タンク供給管および前記サブタンクから前記タンク回収管を介して前記洗浄液を回収するための回収駆動部と、
   回収した前記洗浄液を貯留する洗浄液回収タンクと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
6. 請求項５に記載の液滴吐出装置において、
   前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記サブタンクおよび前記タンク供給管の前記洗浄液を前記洗浄液回収タンクへ回収することを特徴とする液滴吐出装置。
7. 材料液を貯留する材料液タンクと、
   前記材料液を液滴状態で吐出する吐出ヘッドと、
   前記材料液タンクと前記吐出ヘッドとの間に設けられたサブタンクと、
   前記材料液タンクと前記サブタンクとを連通させて前記材料液を前記材料液タンクから前記サブタンクへ供給するためのタンク供給管と、
   前記サブタンクと前記吐出ヘッドとを連通させて前記材料液を前記サブタンクから前記吐出ヘッドへ供給するためのヘッド供給管と、を備え、
   さらに、前記タンク供給管および前記サブタンクおよび前記ヘッド供給管へ洗浄液を供給するための洗浄液タンクと、
   前記タンク供給管と連通するタンク回収管と、
   前記ヘッド供給管と連通するヘッド回収管と、
   前記サブタンクおよび前記タンク供給管および前記ヘッド供給管から前記タンク回収管および前記ヘッド回収管を介して前記洗浄液を回収するための回収駆動部と、
   回収した前記洗浄液を貯留する回収タンクと、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
8. 請求項３に記載の液滴吐出装置において、
   前記回収駆動部は、前記サブタンクへ圧力を付与して、前記サブタンクおよび前記タンク供給管および前記ヘッド供給管の前記洗浄液を前記洗浄液回収タンクへ回収することを特徴とする液滴吐出装置。

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