JP2008049226A - Preliminary discharge device - Google Patents

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和伸 山口
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真治 高瀬
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a preliminary discharge device suitable for recycling a cleaning liquid. <P>SOLUTION: A coating liquid discharged onto a priming roller 11 from a slit nozzle N is scraped by a squeegee 13 to be discharged to a waste liquid tank 18 through a discharge passage 17. Since almost all of the coating liquid discharged onto the priming roller are removed by the squeegee 13, an amount of the coating liquid intermixed to a cleaning liquid tank from the priming roller is reduced and the degree of fouling of the cleaning liquid is reduced. Thereby, the amount of the cleaning liquid used and running costs are reduced. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、スリットコータの予備吐出装置に関する。   The present invention relates to a preliminary discharge device for a slit coater.

スリットコータを用いて、ガラス基板や半導体ウェハのような各種基板表面にレジストや現像液を連続的に塗布する場合、塗布作業と塗布作業との間の待機中に吐出ノズルの先端が空気と接触し、塗布液の濃度が部分的に上昇してしまう。このような状態で塗布作業を行うと、高濃度化した塗布液により縦筋が発生したり、膜切れを起こす危険性がある。斯かる不具合を解消するため、塗布作業に先立って、プライミングローラ上に微量の塗布液を吐出させて高濃度の塗布液を除去する予備吐出装置が既知である（例えば、特許文献１参照）。   When using a slit coater to continuously apply resist and developer to the surface of various substrates such as glass substrates and semiconductor wafers, the tip of the discharge nozzle comes into contact with air during the standby period between application operations. As a result, the concentration of the coating solution partially increases. If the coating operation is performed in such a state, there is a risk that vertical stripes may be generated or the film may be cut by the highly concentrated coating solution. In order to solve such a problem, a preliminary discharge device that removes a high-concentration application liquid by discharging a small amount of application liquid onto a priming roller prior to the application work is known (for example, see Patent Document 1).

上述した予備吐出装置では、洗浄液槽内に回転可能に配置されたプライミングローラ上に塗布液を吐出させ、プライミングローラの回転により、吐出した塗布液をスキージにより除去している。さらに洗浄液槽内の洗浄液中を通過させることによりプライミングローラ上に残存する塗布液を除去している。洗浄されたプライミングローラは、エアノズルから乾燥した空気が噴射され、次の予備吐出が行われている。   In the preliminary discharge device described above, the coating liquid is discharged onto a priming roller that is rotatably arranged in the cleaning liquid tank, and the discharged coating liquid is removed by a squeegee by the rotation of the priming roller. Further, the coating liquid remaining on the priming roller is removed by passing through the cleaning liquid in the cleaning liquid tank. The cleaned priming roller is sprayed with dry air from an air nozzle, and the next preliminary discharge is performed.

特開２００５−３２９３４０号公報JP 2005-329340 A

上述した既知の予備吐出装置では、洗浄液槽から排出された洗浄液を一旦回収し、回収された洗浄液をリサイクル流路を介してシャワーノズルに供給して再利用に供している。しかしながら、スキージによる塗布液の除去性能が十分でないため、プライミングローラ表面に塗布液が残存した状態で洗浄液槽中を通過するため、洗浄液槽内の洗浄液が汚染される不具合が生じていた。このため、洗浄液槽内の洗浄液を新液と頻繁に交換しなければならず、ランニングコストが高価になる欠点があった。   In the known preliminary discharge device described above, the cleaning liquid discharged from the cleaning liquid tank is temporarily recovered, and the recovered cleaning liquid is supplied to the shower nozzle through the recycle flow path for reuse. However, since the removal performance of the coating liquid by the squeegee is not sufficient, it passes through the cleaning liquid tank with the coating liquid remaining on the surface of the priming roller, causing a problem that the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is contaminated. For this reason, the cleaning liquid in the cleaning liquid tank must be frequently replaced with a new liquid, and there is a disadvantage that the running cost is expensive.

本発明の目的は、プライミングローラ表面に吐出された塗布液を除去する性能が一段と向上し、洗浄液のリサイクルに好適な予備吐出装置を実現することにある。
さらに、本発明の別の目的は、新液の使用量が大幅に低減された予備吐出装置を提供することにある。 An object of the present invention is to further improve the performance of removing the coating liquid discharged onto the surface of the priming roller and to realize a preliminary discharge device suitable for recycling the cleaning liquid.
Furthermore, another object of the present invention is to provide a preliminary discharge device in which the amount of new liquid used is greatly reduced.

本発明に係る予備吐出装置は、洗浄液を収容する洗浄液槽と、洗浄液槽内に回転可能に配置され、スリットノズルからの塗布液を付着させるプライミングローラと、このプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第１の洗浄液噴射ノズルと、プライミングローラの回転方向に沿って前記第１の洗浄液噴射ノズルよりも後段側に配置され、前記プライミングローラ上に付着した塗布液を掻き取るスキージと、前記洗浄液槽内の洗浄液中を通過したプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第２の洗浄液噴射ノズルと、第２の洗浄液噴射ノズルを通過したプライミングローラに向けて乾燥空気を噴射するエアノズルとを備える予備吐出装置において、 前記スキージによりプライミングローラから掻き取った塗布液を排出する排出路をスキージに隣接して設け、前記スキージにより除去された塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出する構成とした。   The preliminary discharge device according to the present invention includes a cleaning liquid tank that contains a cleaning liquid, a priming roller that is rotatably disposed in the cleaning liquid tank, and that applies a coating liquid from a slit nozzle, and jets the cleaning liquid toward the priming roller. A first cleaning liquid spray nozzle, a squeegee disposed on the rear side of the first cleaning liquid spray nozzle along the rotation direction of the priming roller, and scraping off the coating liquid adhering to the priming roller; and in the cleaning liquid tank In a preliminary discharge device comprising: a second cleaning liquid spray nozzle that sprays cleaning liquid toward the priming roller that has passed through the cleaning liquid; and an air nozzle that sprays dry air toward the priming roller that has passed through the second cleaning liquid spray nozzle A discharge path for discharging the coating liquid scraped from the priming roller by the squeegee is scanned. Provided adjacent to the over-di, the coating solution is removed by the squeegee was configured to discharge the waste liquid tank through the discharge passage.

本発明では、プライミングローラ上に吐出された塗布液をスキージにより掻き取り、掻き取られた塗布液を排出路に排出し、排出路を介して洗浄液槽とは別に設けた廃液タンクに排出しているので、プライミングローラを収納する洗浄液槽内の洗浄液が塗布液により汚染される不具合が解消される。この結果、洗浄液槽内の洗浄液が比較的清浄な状態に維持されるので、リサイクル路にフィルタを設けるだけで、洗浄液槽内の洗浄液を再利用することができ、洗浄液の消費量が低減する。   In the present invention, the coating liquid discharged on the priming roller is scraped off by a squeegee, the scraped coating liquid is discharged to a discharge path, and discharged to a waste liquid tank provided separately from the cleaning liquid tank via the discharge path. Therefore, the problem that the cleaning liquid in the cleaning liquid tank that houses the priming roller is contaminated by the coating liquid is solved. As a result, since the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is maintained in a relatively clean state, the cleaning liquid in the cleaning liquid tank can be reused simply by providing a filter in the recycling path, and the consumption of the cleaning liquid is reduced.

本発明による予備吐出装置の好適実施例は、スキージを弾性変形可能な樹脂プレートなどで構成し、スキージ先端がプライミングローラの表面と密着するように配置し、プライミングローラ表面に存在する塗布液を前記スキージにより掻き取り、掻き取った塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出する。スキージとして、ポリウレタンゴム、ポリエチレンゴム、シリコンゴム等の弾性変形可能ゴムの弾性プレートを用いれば、弾性プレートの先端をプライミングローラ表面に密着させることが可能である。この密着した状態でプライミングローラを回転させることにより、プライミングローラ上に吐出された塗布液はスキージによりほぼ完全に掻き落とされる。そして、掻き取られた塗布液を排出路を介して廃液タンクに排出することにより、洗浄液槽内の洗浄液が塗布液により汚染される程度が大幅に低減される。尚、スキージの構成部材として、弾性ゴム材料以外の材料としてＳＵＳや各種合成樹脂等の各種プレート部材を使用することも可能である。   In a preferred embodiment of the preliminary discharge device according to the present invention, the squeegee is constituted by an elastically deformable resin plate or the like, arranged so that the tip of the squeegee is in close contact with the surface of the priming roller, and the coating liquid present on the surface of the priming roller is The application liquid scraped off by the squeegee is discharged to the waste liquid tank through the discharge path. If an elastic plate made of elastically deformable rubber such as polyurethane rubber, polyethylene rubber, or silicon rubber is used as the squeegee, the tip of the elastic plate can be brought into close contact with the surface of the priming roller. By rotating the priming roller in this tight contact state, the coating liquid discharged onto the priming roller is scraped off almost completely by the squeegee. Then, by discharging the scraped coating liquid to the waste liquid tank through the discharge path, the degree of contamination of the cleaning liquid in the cleaning liquid tank with the coating liquid is greatly reduced. In addition, as a constituent member of the squeegee, various plate members such as SUS and various synthetic resins can be used as materials other than the elastic rubber material.

本発明では、プライミングローラ上に吐出された塗布液をスキージにより掻き取り、排出路を介して廃液タンクに排出しているので、塗布液が洗浄液槽内に混入する不都合が解消される。この結果、洗浄液槽内の洗浄液をリサイクルすることにより再利用でき、新液の消費量が低減し、ランニングコストが低減する。   In the present invention, since the coating liquid discharged onto the priming roller is scraped off by the squeegee and discharged to the waste liquid tank via the discharge path, the inconvenience that the coating liquid is mixed into the cleaning liquid tank is eliminated. As a result, the cleaning liquid in the cleaning liquid tank can be reused by recycling, the consumption of new liquid is reduced, and the running cost is reduced.

図１は本発明に係る予備吐出装置を適用した塗布装置の平面図、図２は同予備吐出装置の断面図である。
図１に示すように、塗布装置はベースＢに一対の平行なレールＲ，Ｒが設けられ、これらレールＲ，Ｒの中間位置となるベース上面の中央に基板Ｗの載置ステージＳが固定され、この基板載置ステージＳを跨ぐように移動機構Ｍ、ＭがレールＲ，Ｒ間に走行可能に架け渡され、これら移動機構Ｍ、Ｍ間の前後にビームが架設されて平面視で枠状をなすフレームＦが構成され、このフレームＦに昇降装置を介してスリットノズルＮが取付けられている。 FIG. 1 is a plan view of a coating apparatus to which a preliminary ejection device according to the present invention is applied, and FIG. 2 is a sectional view of the preliminary ejection device.
As shown in FIG. 1, the coating apparatus is provided with a pair of parallel rails R, R on a base B, and a mounting stage S for a substrate W is fixed at the center of the base upper surface, which is an intermediate position between the rails R, R. The moving mechanisms M, M are laid across the rails R, R so as to straddle the substrate mounting stage S, and a beam is laid between the moving mechanisms M, M before and after the frame to form a frame shape in plan view. A frame F is formed, and a slit nozzle N is attached to the frame F via an elevating device.

そして、ベースＢの一端側に予備吐出装置１が設けられている。予備吐出装置は、予備吐出部１とリサイクル部２とから構成される。予備吐出部１は、洗浄液槽１０を有し、洗浄液槽１０内に洗浄液を収容する。洗浄液槽１０内にプライミングローラ１１を回転可能に配置する。プライミングローラ１１は、その一部が洗浄液に浸るように配置され、矢印方向に回転することにより洗浄液槽内の洗浄液により洗浄される。プライミングローラ１１は、ステンレス、アルミニウム、チタン、カーボン、クロムメッキ等で構成され、その寸法は、直径が３０〜２００ｍｍ、長さがスリットノズルの長手方向の長さよりも若干長くなるように設定する。尚、洗浄液噴射ノズルとして、２流体ノズル方式を含む各種の洗浄液噴射ノズルを用いることができる。   A preliminary discharge device 1 is provided on one end side of the base B. The preliminary ejection device includes a preliminary ejection unit 1 and a recycling unit 2. The preliminary discharge unit 1 includes a cleaning liquid tank 10 and stores the cleaning liquid in the cleaning liquid tank 10. A priming roller 11 is rotatably disposed in the cleaning liquid tank 10. The priming roller 11 is disposed so that a part thereof is immersed in the cleaning liquid, and is cleaned with the cleaning liquid in the cleaning liquid tank by rotating in the direction of the arrow. The priming roller 11 is made of stainless steel, aluminum, titanium, carbon, chrome plating or the like, and its dimensions are set so that the diameter is 30 to 200 mm and the length is slightly longer than the length of the slit nozzle in the longitudinal direction. Various cleaning liquid injection nozzles including a two-fluid nozzle system can be used as the cleaning liquid injection nozzle.

予備吐出の際、プライミングローラ１１の上方にスリットノズルＮが位置し、その下端から微量の塗布液がプライミングローラ１１上に吐出される。プライミングローラ１１の周囲には、スリットノズルの吐出位置から矢印方向に沿って、第１の洗浄液噴射ノズル１２、第１のスキージ１３を順次配置する。さらに、洗浄液に浸される部位を経て、第２の洗浄液噴射ノズル１４、第２のスキージ１５及びエアノズル１６を順次配置する。   At the time of preliminary discharge, the slit nozzle N is positioned above the priming roller 11, and a small amount of coating liquid is discharged onto the priming roller 11 from the lower end thereof. Around the priming roller 11, a first cleaning liquid ejecting nozzle 12 and a first squeegee 13 are sequentially arranged along the arrow direction from the discharge position of the slit nozzle. Furthermore, the 2nd washing | cleaning liquid injection nozzle 14, the 2nd squeegee 15, and the air nozzle 16 are sequentially arrange | positioned through the site | part immersed in a washing | cleaning liquid.

プライミングローラ１１上に吐出された塗布液に対して、第１の洗浄液噴射ノズル１２から洗浄液が噴射される。次に、プライミングローラの回転により、第１のスキージ１３と対向する位置に移動し、プライミングローラ上の塗布液は、第１のスキージ１３により掻き取られる。本発明では、第１のスキージ１３は、例えば、ポリウレタン、ポリエチレン、シリコンゴム等の弾性プレートで構成する。この弾性プレートは、その先端がプライミングローラ１１の表面と圧接するように装着する。よって、弾性プレートには弾性変形可能な復元力が作用し、この復元力により弾性プレートの先端がプライミングローラの表面に対して圧接される。このように、スキージ１３を弾性プレートで構成することにより、スキージの先端がプライミングローラの表面と隙間なく密着した状態となり、プライミングローラ表面に残存する塗布液を確実に掻き取ることができる。   The cleaning liquid is sprayed from the first cleaning liquid spray nozzle 12 to the coating liquid discharged onto the priming roller 11. Next, the rotation of the priming roller moves to a position facing the first squeegee 13, and the coating liquid on the priming roller is scraped off by the first squeegee 13. In the present invention, the first squeegee 13 is composed of an elastic plate such as polyurethane, polyethylene, or silicon rubber. The elastic plate is mounted so that the tip thereof is in pressure contact with the surface of the priming roller 11. Therefore, an elastically deformable restoring force acts on the elastic plate, and the tip of the elastic plate is pressed against the surface of the priming roller by the restoring force. Thus, by configuring the squeegee 13 with an elastic plate, the tip of the squeegee is in close contact with the surface of the priming roller without any gap, and the coating liquid remaining on the surface of the priming roller can be reliably scraped off.

第１のスキージにより掻き取られた塗布液は、スキージの上側表面に開口する排出路１７に排出され、排出路１７を経て廃液タンク１８に排出される。この実施例では、廃液タンク１８への排出を強制的に行わせるため、排出路１７の途中に吸引機構１９を設けている。この結果、プライミングローラ上の存在する塗布液は、第１のスキージによりほとんど除去され、洗浄液槽とは別に設けた廃液タンクに排出されるため、洗浄液槽内の洗浄液が塗布液が汚染される欠点が解消される。   The coating liquid scraped off by the first squeegee is discharged to the discharge path 17 that opens on the upper surface of the squeegee, and is discharged to the waste liquid tank 18 through the discharge path 17. In this embodiment, a suction mechanism 19 is provided in the middle of the discharge path 17 in order to force the discharge to the waste liquid tank 18. As a result, the coating liquid present on the priming roller is almost removed by the first squeegee and discharged to a waste liquid tank provided separately from the cleaning liquid tank, so that the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is contaminated with the coating liquid. Is resolved.

次に、プライミングローラは洗浄液槽内の洗浄液中を通過し、洗浄液中を通過する間にプライミングローラの表面に残存する塗布液が除去される。さらに回転すると、第２のシャワーノズル１４と対向する位置に移動する。第２の洗浄液噴射ノズル１４は、プライミングローラ１１の表面に向けて洗浄液を強く噴射する。この洗浄液の噴射により、残存する塗布液はほとんど除去される。   Next, the priming roller passes through the cleaning liquid in the cleaning liquid tank, and the coating liquid remaining on the surface of the priming roller is removed while passing through the cleaning liquid. When it further rotates, it moves to a position facing the second shower nozzle 14. The second cleaning liquid spray nozzle 14 strongly sprays the cleaning liquid toward the surface of the priming roller 11. The remaining coating liquid is almost removed by spraying the cleaning liquid.

プライミングローラはさらに回転し、第２のスキージ１５により表面に残存する洗浄液が掻き落とされる。第２のスキージ１５も第１のスキージと同様に、弾性プレートで構成する。   The priming roller further rotates, and the cleaning liquid remaining on the surface is scraped off by the second squeegee 15. Similarly to the first squeegee, the second squeegee 15 is also composed of an elastic plate.

次に、エアノズル１６と対向する位置に移動し、エアノズルから乾燥した空気が噴射され、プライミングローラの表面は乾燥処理される。   Next, the air nozzle 16 moves to a position facing the air nozzle 16, dried air is ejected from the air nozzle, and the surface of the priming roller is dried.

次に、リサイクルについて説明する。洗浄液槽１０の底部に排出孔２１を設け、洗浄液槽内の洗浄液を循環路に排出する。また、洗浄液槽１０には、洗浄液槽の液面を調整するための液面調整用廃液部材２２を設け、溢れた洗浄液を循環路に排出する。これら２本の循環路は１本の循環路に結合され、三方弁２３のインレットに接続する。三方弁２３の第１のアウトレットは、第１のポンプ２４を経てリサイクルボックス２５に接続する。リサイクルボックス２５は、フィルタを含み、当該フィルタにより洗浄液中に残存する塗布液が除去され、清浄な洗浄液として第２のポンプ２６に供給される。三方弁２３の第２のアウトレットは管路を経て第２のポンプ２６に接続する。第２のポンプ２６のアウトレットはバッファタンク２７に接続する。尚、本例では、洗浄液槽の底部に設けた排出孔及び液面調整用廃液部材の両方を用いて洗浄液を循環させているが、液面調整用の廃液部材から溢れ出た洗浄液だけを循環させることも可能である。 Next, recycling will be described. A discharge hole 21 is provided at the bottom of the cleaning liquid tank 10 to discharge the cleaning liquid in the cleaning liquid tank to the circulation path. Further, the cleaning liquid tank 10 is provided with a liquid level adjusting waste liquid member 22 for adjusting the liquid level of the cleaning liquid tank, and the overflowing cleaning liquid is discharged to the circulation path. These two circulation paths are connected to one circulation path and connected to the inlet of the three-way valve 23. The first outlet of the three-way valve 23 is connected to the recycle box 25 via the first pump 24. The recycle box 25 includes a filter, the coating liquid remaining in the cleaning liquid is removed by the filter, and is supplied to the second pump 26 as a clean cleaning liquid. The second outlet of the three-way valve 23 is connected to the second pump 26 via a pipe line. The outlet of the second pump 26 is connected to the buffer tank 27. In this example, the cleaning liquid is circulated using both the discharge hole provided at the bottom of the cleaning liquid tank and the liquid level adjusting waste liquid member, but only the cleaning liquid overflowing from the liquid level adjusting waste liquid member is circulated. It is also possible to make it.

バッファタンク２７は、リサイクルボックスのフィルタにより清浄にされた洗浄液を貯蔵すると共に未使用の洗浄液（新液）が供給される。よって、バッファタンクには、一層清浄な洗浄液が貯蔵される。バッファタンク２７は３個のアウトレット２７ａ〜２７ｃを有する。第１のアウトレット２７ａは第１の洗浄液噴射ノズル１２に洗浄液を供給し、第２のアウトレット２７ｂは第２の洗浄液噴射ノズル１４に洗浄液を供給する。さらに、第３のアウトレット２７ｃは、スリットノズルの洗浄用に新鮮な洗浄液を供給する。このリサイクルシステムを設けることにより、清浄度が新液に近い状態の洗浄液が各シャワーノズルに供給されるので、プライミングローラの表面を一層清浄な状態に維持することができる。   The buffer tank 27 stores the cleaning liquid cleaned by the filter of the recycle box and is supplied with an unused cleaning liquid (new liquid). Therefore, a cleaner cleaning liquid is stored in the buffer tank. The buffer tank 27 has three outlets 27a to 27c. The first outlet 27 a supplies the cleaning liquid to the first cleaning liquid injection nozzle 12, and the second outlet 27 b supplies the cleaning liquid to the second cleaning liquid injection nozzle 14. Further, the third outlet 27c supplies a fresh cleaning liquid for cleaning the slit nozzle. By providing this recycling system, the cleaning liquid having a cleanness level close to that of the new liquid is supplied to each shower nozzle, so that the surface of the priming roller can be maintained in a cleaner state.

本発明は上述した実施例だけに限定されず種々の変形や変更が可能である。例えば、プライミングローラ上に吐出された塗布液を掻き取るスキージに吸引機構を設け、スキージにより掻き取られた塗布液を吸引機構を介して排出路に排出することも可能である。塗布液を吸引することにより、第１スキージまでにプライミングローラに付着する可能性のある塗布液を除去でき、ごみの発生原因を防ぐことができる。このように、吸引機構を設けることにより、スキージにより掻き取られた塗布液がスキージ上に残留する不具合が解消される。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made. For example, a suction mechanism may be provided in a squeegee that scrapes off the coating liquid discharged onto the priming roller, and the coating liquid scraped off by the squeegee can be discharged to the discharge path via the suction mechanism. By sucking the coating liquid, it is possible to remove the coating liquid that may adhere to the priming roller by the first squeegee and prevent the generation of dust. Thus, by providing the suction mechanism, the problem that the coating liquid scraped off by the squeegee remains on the squeegee is solved.

本発明に係る予備吐出装置を適用した塗布装置の平面図The top view of the coating device which applied the preliminary discharge apparatus which concerns on this invention 同予備吐出装置の断面図Sectional view of the preliminary discharge device

符号の説明Explanation of symbols

１…予備吐出装置、２…リサイクル部、１０…洗浄液槽、１１…プライミングローラ、Ｎ…スリットノズル、１２…第１の洗浄液噴射ノズル、１３…第１のスキージ、１４…第２の洗浄液噴射ノズル、１５…第２のスキージ、１６…エアノズル、１７…排出路、１８…廃液タンク、１９…吸引機構、２１…排出孔、２２…液面調整用廃液部材、２３…三方弁、２４…第１のポンプ、２５… リサイクルボックス、２６…第２のポンプ、２７…バッファタンク、Ｎ…スリットノズル。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Preliminary discharge apparatus, 2 ... Recycle part, 10 ... Cleaning liquid tank, 11 ... Priming roller, N ... Slit nozzle, 12 ... 1st cleaning liquid injection nozzle, 13 ... 1st squeegee, 14 ... 2nd cleaning liquid injection nozzle 15 ... second squeegee, 16 ... air nozzle, 17 ... discharge path, 18 ... waste liquid tank, 19 ... suction mechanism, 21 ... discharge hole, 22 ... waste liquid member for liquid level adjustment, 23 ... three-way valve, 24 ... first 25 ... recycle box, 26 ... second pump, 27 ... buffer tank, N ... slit nozzle.

Claims (6)

洗浄液を収容する洗浄液槽と、洗浄液槽内に回転可能に配置され、スリットノズルからの塗布液を付着させるプライミングローラと、このプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第１の洗浄液噴射ノズルと、プライミングローラの回転方向に沿って前記第１の洗浄液噴射ノズルよりも後段側に配置され、前記プライミングローラ上に付着した塗布液を掻き取るスキージと、前記洗浄液槽内の洗浄液中を通過したプライミングローラに向けて洗浄液を噴射する第２の洗浄液噴射ノズルと、第２の洗浄液噴射ノズルを通過したプライミングローラに向けて乾燥空気を噴射するエアノズルとを備える予備吐出装置において、
前記スキージによりプライミングローラから掻き取った塗布液を排出する排出路をスキージに隣接して設け、前記スキージにより除去された塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出することを特徴とする予備吐出装置。 A cleaning liquid tank that contains the cleaning liquid, a priming roller that is rotatably disposed in the cleaning liquid tank, adheres the coating liquid from the slit nozzle, a first cleaning liquid injection nozzle that sprays the cleaning liquid toward the priming roller, and a priming A squeegee that is disposed downstream of the first cleaning liquid jet nozzle along the rotation direction of the roller and scrapes off the coating liquid adhering to the priming roller, and a priming roller that has passed through the cleaning liquid in the cleaning liquid tank. In a preliminary discharge device comprising: a second cleaning liquid injection nozzle that injects the cleaning liquid toward the surface; and an air nozzle that injects dry air toward the priming roller that has passed through the second cleaning liquid injection nozzle.
A preliminary path is provided adjacent to the squeegee to discharge the coating liquid scraped from the priming roller by the squeegee, and the coating liquid removed by the squeegee is discharged to the waste liquid tank through the discharge path. Discharge device. 請求項１に記載の予備吐出装置において、前記スキージを弾性変形可能な合成樹脂材料のプレートで構成したことを特徴とする予備吐出装置。   2. The preliminary ejection device according to claim 1, wherein the squeegee is composed of a plate made of a synthetic resin material that can be elastically deformed. 請求項１又は２に記載の予備吐出装置において、前記スキージの近傍に、スキージにより掻き取られた塗布液を吸引する吸引機構を設け、当該吸引機構により吸引された塗布液を前記排出路を介して廃液タンクに排出することを特徴とする予備吐出装置。   3. The preliminary ejection device according to claim 1, wherein a suction mechanism that sucks the coating liquid scraped by the squeegee is provided in the vicinity of the squeegee, and the coating liquid sucked by the suction mechanism is passed through the discharge path. The preliminary discharge device is characterized by discharging to a waste liquid tank. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の予備吐出装置において、前記洗浄液槽に接続されたバッファタンクを有し、当該バッファタンクを前記第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに接続し、当該バッファタンクを介して前記洗浄液槽に収容された洗浄液を前記第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに供給してリサイクルすることを特徴とする予備吐出装置。   4. The preliminary discharge device according to claim 1, further comprising a buffer tank connected to the cleaning liquid tank, wherein the buffer tank is connected to the first and second cleaning liquid injection nozzles. A pre-discharge device, wherein the cleaning liquid stored in the cleaning liquid tank is supplied to the first and second cleaning liquid injection nozzles through the buffer tank and recycled. 請求項４に記載の予備吐出装置において、前記洗浄液槽とバッファタンクとの間に汚染物を除去するフィルタを含むリサイクルボックスを接続し、前記洗浄液槽から排出された洗浄液をフィルタにより清浄な洗浄液にしてから第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに供給することを特徴とする予備吐出装置。   5. The preliminary discharge apparatus according to claim 4, wherein a recycling box including a filter for removing contaminants is connected between the cleaning liquid tank and the buffer tank, and the cleaning liquid discharged from the cleaning liquid tank is made into a clean cleaning liquid by the filter. A preliminary discharge device for supplying the first and second cleaning liquid injection nozzles after the first injection. 請求項４または請求項５に記載の予備吐出装置において、前記バッファタンクには、未使用の洗浄液が供給され、前記洗浄液槽から回収され前記フィルタを通過した洗浄液と未使用の洗浄液とが混合されて前記第１及び第２の洗浄液噴射ノズルに供給されることを特徴とする予備吐出装置。

6. The preliminary discharge device according to claim 4, wherein an unused cleaning liquid is supplied to the buffer tank, and the cleaning liquid recovered from the cleaning liquid tank and passed through the filter is mixed with the unused cleaning liquid. The preliminary ejection device is supplied to the first and second cleaning liquid ejection nozzles.

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