KR20080019165A - Pre-discharging apparatus - Google Patents

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KR20080019165A
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신지 다카세
아쯔오 가지마
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도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
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Abstract

A pre-discharging apparatus is provided to recycle a cleaning liquid in a cleaning liquid bath by raking out an applying liquid discharged on a priming roller and discharging it to a waste liquid tank through a discharge channel. A cleaning liquid bath(10) contains a cleaning liquid. A priming roller(11) is rotatably arranged in the cleaning liquid bath. The priming roller attaches an applying liquid from a slit nozzle. A first cleaning liquid spray nozzle(12) sprays the cleaning liquid toward the priming roller. Squeezes(13,15) are arranged at a rear end more than the first cleaning liquid spray nozzle to rake out the applying liquid attached on the priming roller. A second cleaning liquid spray nozzle(14) sprays the cleaning liquid toward the priming roller passed through the cleaning liquid in the cleaning liquid bath. An air nozzle(16) sprays dry air toward the priming roller passed through the second cleaning liquid spray nozzle. A discharge channel(17) is installed adjacent to the squeeze. The discharge channel discharges the applying liquid raked out of the priming roller by the squeeze. The applying liquid removed by the squeeze is discharged to a waste liquid tank through the discharge channel.

Description

예비 토출장치{Pre-discharging apparatus}Pre-discharging apparatus

본 발명은 슬릿 코터의 예비 토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a preliminary ejection device for a slit coater.

슬릿 코터를 사용하여 유리기판이나 반도체 웨이퍼와 같은 각종 기판표면에 레지스트나 현상액을 연속적으로 도포하는 경우, 도포작업과 도포작업 사이의 대기중에 토출 노즐의 선단이 공기와 접촉되어 도포액의 농도가 부분적으로 상승해 버린다. 이와 같은 상태에서 도포작업을 행하면, 고농도화된 도포액에 의해 세로선이 발생하거나 막의 찢어짐을 일으킬 위험성이 있다. 이러한 문제를 해소하기 위해, 도포작업에 앞서 프라이밍 롤러(priming roller) 상에 미량의 도포액을 토출시켜서 고농도의 도포액을 제거하는 예비 토출장치가 이미 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).In the case of continuously applying a resist or developer to various substrate surfaces such as a glass substrate or a semiconductor wafer using a slit coater, the tip of the discharge nozzle is in contact with air in the air between the coating operation and the coating operation so that the concentration of the coating liquid is partially Will rise. If the coating operation is performed in such a state, there is a risk that vertical lines are generated or the film is torn due to the highly concentrated coating liquid. In order to solve such a problem, the preliminary ejection apparatus which removes a high concentration coating liquid by discharging a small amount of coating liquid on a priming roller prior to an application | coating operation is already known (for example, refer patent document 1). .

전술한 예비 토출장치에서는 세정액조(洗淨液槽) 내에 회전 가능하게 배치된 프라이밍 롤러 상에 도포액을 토출시키고, 프라이밍 롤러의 회전에 의해, 토출된 도포액을 스퀴지로 제거하고 있다. 또한 세정액조 내의 세정액 속을 통과시킴으로써 프라이밍 롤러 상에 잔존하는 도포액을 제거하고 있다. 세정된 프라이밍 롤러는 에어 노즐로부터 건조한 공기가 분사되고, 다음의 예비 토출이 행해지고 있다.In the above-mentioned preliminary ejection apparatus, the coating liquid is discharged onto the priming roller rotatably arranged in the cleaning liquid tank, and the discharged coating liquid is removed by squeegee by the rotation of the priming roller. In addition, the coating liquid remaining on the priming roller is removed by passing through the cleaning liquid in the cleaning liquid tank. In the cleaned priming roller, dry air is injected from the air nozzle, and the next preliminary ejection is performed.

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 제2005-329340호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Publication No. 2005-329340

전술한 이미 알려진 예비 토출장치에서는 세정액조로부터 배출된 세정액을 일단 회수하고, 회수된 세정액을 리사이클 유로를 통해서 샤워 노즐에 공급하여 재이용에 제공하고 있다. 그러나, 스퀴지에 의한 도포액의 제거성능이 충분하지 않기 때문에, 프라이밍 롤러 표면에 도포액이 잔존한 상태에서 세정액조 속을 통과하기 때문에, 세정액조 내의 세정액이 오염되는 문제가 발생하고 있었다. 이 때문에 세정액조 내의 세정액을 신액(新液)과 빈번하게 교환해야만 하여, 러닝코스트가 고가가 되는 결점이 있었다.In the above-mentioned known preliminary discharging device, the washing liquid discharged from the washing liquid tank is once recovered, and the collected washing liquid is supplied to the shower nozzle through the recycling flow path for reuse. However, since the removal performance of the coating liquid by the squeegee was not sufficient, a problem occurred that the cleaning liquid in the cleaning liquid tank was contaminated because the coating liquid passed through the cleaning liquid tank while the coating liquid remained on the priming roller surface. For this reason, the washing | cleaning liquid in a washing | cleaning tank needs to be replaced frequently with new liquid, and there existed a fault which a running cost becomes expensive.

본 발명의 목적은 프라이밍 롤러 표면에 토출된 도포액을 제거하는 성능이 한층 향상되어, 세정액의 리사이클에 적합한 예비 토출장치를 실현하는 것에 있다.An object of the present invention is to further improve the performance of removing the coating liquid discharged to the priming roller surface and to realize a preliminary discharging device suitable for recycling the cleaning liquid.

또한, 본 발명의 다른 목적은 신액의 사용량이 대폭 저감된 예비 토출장치를 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a preliminary discharging device in which the amount of new liquid is significantly reduced.

본 발명의 예비 토출장치는 세정액을 수용하는 세정액조와, 세정액조 내에 회전 가능하게 배치되어 슬릿 노즐로부터의 도포액을 부착시키는 프라이밍 롤러와, 이 프라이밍 롤러를 향해서 세정액을 분사하는 제1 세정액 분사 노즐과, 프라이밍 롤러의 회전방향을 따라서 상기 제1 세정액 분사 노즐 보다도 후단측(後段側)에 배치되어, 상기 프라이밍 롤러 상에 부착된 도포액을 긁어내는 스퀴지와, 상기 세정액조 내의 세정액 속을 통과한 프라이밍 롤러를 향해서 세정액을 분사하는 제2 세 정액 분사 노즐과, 제2 세정액 분사 노즐을 통과한 프라이밍 롤러를 향해서 건조공기를 분사하는 에어 노즐을 구비하는 예비 토출장치에 있어서, 상기 스퀴지에 의해 프라이밍 롤러로부터 긁어낸 도포액을 배출하는 배출로를 스퀴지에 인접하여 설치하고, 상기 스퀴지에 의해 제거된 도포액을 상기 배출로를 통해서 폐액 탱크로 배출하는 구성으로 하였다.The preliminary ejection apparatus of the present invention includes a cleaning liquid tank for accommodating the cleaning liquid, a priming roller rotatably disposed in the cleaning liquid tank for attaching the coating liquid from the slit nozzle, a first cleaning liquid spray nozzle for injecting the cleaning liquid toward the priming roller, And a squeegee disposed at a rear end side of the first cleaning liquid injection nozzle along the rotational direction of the priming roller to scrape the coating liquid attached onto the priming roller, and the priming passing through the cleaning liquid in the cleaning liquid tank. A preliminary ejection device comprising a second three seminal spray nozzle for injecting a cleaning liquid toward the roller and an air nozzle for injecting dry air toward the priming roller passing through the second cleaning liquid spray nozzle, wherein the squeegee is used to remove the cleaning liquid from the priming roller. A discharge path for discharging the scraped coating liquid is provided adjacent to the squeegee, and the squeegee The coating solution was removed by a structure for discharging a waste liquid tank through to the discharge.

본 발명에서는 프라이밍 롤러 상에 토출된 도포액을 스퀴지에 의해 긁어내고, 긁어내어진 도포액을 배출로로 배출하여, 배출로를 통해서 세정액조와는 별도로 설치한 폐액 탱크로 배출하고 있기 때문에, 프라이밍 롤러를 수납하는 세정액조 내의 세정액이 도포액에 의해 오염되는 문제가 해소된다. 그 결과, 세정액조 내의 세정액이 비교적 청정한 상태로 유지되기 때문에, 리사이클로에 필터를 설치하는 것만으로 세정액조 내의 세정액을 재이용할 수 있어, 세정액의 소비량이 저감된다.In the present invention, the coating liquid discharged on the priming roller is scraped off by a squeegee, and the scraped coating liquid is discharged to the discharge path, and then discharged to the waste liquid tank installed separately from the cleaning liquid tank through the discharge path. The problem that the cleaning liquid in the cleaning liquid tank containing the liquid is contaminated by the coating liquid is solved. As a result, since the washing | cleaning liquid in a washing | cleaning liquid tank is maintained in a comparatively clean state, the washing | cleaning liquid in a washing | cleaning liquid tank can be reused only by providing a filter in a recycler, and consumption amount of a washing | cleaning liquid is reduced.

본 발명에 의한 예비 토출장치의 적합한 실시예는 스퀴지를 탄성변형 가능한 수지 플레이트 등으로 구성하고, 스퀴지 선단이 프라이밍 롤러의 표면과 밀착되도록 배치하며, 프라이밍 롤러 표면에 잔존하는 도포액을 상기 스퀴지로 긁어내고, 긁어낸 도포액을 상기 배출로를 통해서 폐액 탱크로 배출한다. 스퀴지로서 폴리우레탄 고무, 폴리에틸렌 고무, 실리콘 고무 등의 탄성변형 가능 고무의 탄성 플레이트를 사용하면, 탄성 플레이트의 선단을 프라이밍 롤러 표면에 밀착시키는 것이 가능하다. 이 밀착된 상태에서 프라이밍 롤러를 회전시킴으로써 프라이밍 롤러 상에 토출된 도포액은 스퀴지에 의해 거의 완전히 긁어내어 버려진다. 그리고, 긁어내어진 도포액을 배출로를 통해 폐액 탱크로 배출함으로써, 세정액조 내의 세정액이 도 포액에 의해 오염되는 정도가 대폭 저감된다. 또한, 스퀴지의 구성부재로서 탄성 고무재료 이외의 재료로서 SUS나 각종 합성수지 등의 각종 플레이트 부재를 사용하는 것도 가능하다.A suitable embodiment of the preliminary ejection apparatus according to the present invention comprises a squeegee made of an elastically deformable resin plate or the like, the tip of the squeegee is arranged to be in close contact with the surface of the priming roller, and the coating liquid remaining on the surface of the priming roller is scraped with the squeegee The coating liquid scraped out is discharged to the waste tank through the discharge passage. When the elastic plate of elastically deformable rubber | gum, such as a polyurethane rubber, polyethylene rubber, and silicone rubber, is used as a squeegee, it is possible to make the tip of an elastic plate adhere to the surface of a priming roller. The coating liquid discharged on the priming roller by rotating the priming roller in this adhered state is almost completely scraped off by the squeegee. By discharging the scraped coating liquid to the waste liquid tank through the discharge passage, the degree to which the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is contaminated by the coating liquid is greatly reduced. Moreover, it is also possible to use various plate members, such as SUS and various synthetic resins, as materials other than an elastic rubber material as a structural member of a squeegee.

본 발명에서는 프라이밍 롤러 상에 토출된 도포액을 스퀴지로 긁어내고, 배출로를 통해 폐액 탱크로 배출하고 있기 때문에, 도포액이 세정액조 내에 혼입되는 문제가 해소된다. 그 결과, 세정액조 내의 세정액을 리사이클함으로써 재이용할 수 있어, 신액의 소비량이 저감되며 러닝코스트가 저감된다.In the present invention, since the coating liquid discharged onto the priming roller is scraped off with a squeegee and discharged to the waste liquid tank through the discharge path, the problem of coating liquid being mixed into the cleaning liquid tank is eliminated. As a result, it can recycle | reuse by recycling the washing | cleaning liquid in a washing | cleaning liquid tank, consumption amount of new liquid is reduced, and a running cost is reduced.

도 1은 본 발명의 예비 토출장치를 적용한 도포장치의 평면도이고, 도 2는 동일한 예비 토출장치의 단면도이다.1 is a plan view of a coating apparatus to which the preliminary ejection apparatus of the present invention is applied, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the same preliminary ejection apparatus.

도 1에 나타내는 바와 같이, 도포장치는 베이스(B)에 한쌍의 평행한 레일(R, R)이 설치되고, 이들 레일(R, R)의 중간위치가 되는 베이스 상면의 중앙에 기판(W)의 재치(載置) 스테이지(S)가 고정되며, 이동기구(M, M)가 레일(R, R) 사이에 이 기판 재치 스테이지(S) 전체에 걸쳐 주행 가능하게 걸쳐지고, 이들 이동기구(M,M) 사이의 전후에 빔이 가설(架設)되어 평면에서 봤을 때 프레임상을 이루는 프레임(F)이 구성되며, 이 프레임(F)에 승강장치를 통해 슬릿 노즐(N)이 취부(取付)되어 있다.As shown in FIG. 1, the coating apparatus is provided with a pair of parallel rails R and R in the base B, and the board | substrate W is centered in the center of the base upper surface used as the intermediate position of these rails R and R. As shown in FIG. Mounting stage S is fixed, and moving mechanisms M and M are run between rails R and R so as to run across the entire substrate placing stage S, and these moving mechanisms ( The beam F is hypothesized before and after between M and M to form a frame F that forms a frame when viewed in a plane, and the slit nozzle N is mounted to the frame F through a lifting device. It is.

그리고, 베이스(B)의 일단측(一端側)에 예비 토출장치(1)가 설치되어 있다. 예비 토출장치는 예비 토출부(1)와 리사이클부(2)로 구성된다. 예비 토출부(1)는 세정액조(10)를 가지고, 세정액조(10) 내에 세정액을 수용한다. 세정액조(10) 내에 프라이밍 롤러(11)를 회전 가능하게 배치한다. 프라이밍 롤러(11)는 그 일부가 세정액에 잠기도록 배치되고, 화살표방향으로 회전함으로써 세정액조 내의 세정액에 의해 세정된다. 프라이밍 롤러(11)는 스테인리스, 알루미늄, 티탄, 카본, 크롬 도금 등으로 구성되며, 그 치수는 직경이 30~200 ㎜, 길이가 슬릿 노즐의 길이방향의 길이 보다도 약간 길어지도록 설정한다. 또한, 세정액 분사 노즐로서 2류체(流體) 노즐방식을 포함하는 각종 세정액 분사 노즐을 사용할 수 있다.And the preliminary discharge apparatus 1 is provided in the one end side of the base B. As shown in FIG. The preliminary ejection apparatus is composed of a preliminary ejection section 1 and a recycling section 2. The preliminary discharge part 1 has a washing | cleaning liquid tank 10, and accommodates a washing | cleaning liquid in the washing | cleaning liquid tank 10. FIG. The priming roller 11 is rotatably arranged in the cleaning liquid tank 10. The priming roller 11 is arrange | positioned so that a part may be submerged in a washing | cleaning liquid, and it wash | cleans with the washing | cleaning liquid in a washing | cleaning liquid tank by rotating in the arrow direction. The priming roller 11 is comprised from stainless steel, aluminum, titanium, carbon, chromium plating, etc., The dimension is set so that diameter may be 30-200 mm, and length becomes slightly longer than the length of the slit nozzle in the longitudinal direction. Moreover, various cleaning liquid injection nozzles including the two-fluid nozzle system can be used as the cleaning liquid injection nozzle.

예비 토출시, 프라이밍 롤러(11)의 위쪽에 슬릿 노즐(N)이 위치하고, 그 하단(下端)으로부터 미량의 도포액이 프라이밍 롤러(11) 상에 토출된다. 프라이밍 롤러(11)의 주위에는 슬릿 노즐의 토출위치로부터 화살표방향을 따라서 제1 세정액 분사 노즐(12), 제1 스퀴지(13)를 순차적으로 배치한다. 또한, 세정액에 잠기는 부위를 거쳐서, 제2 세정액 분사 노즐(14), 제2 스퀴지(15) 및 에어 노즐(16)을 순차적으로 배치한다.At the time of preliminary discharge, the slit nozzle N is located above the priming roller 11, and a trace amount of coating liquid is discharged on the priming roller 11 from the lower end. Around the priming roller 11, the 1st cleaning liquid injection nozzle 12 and the 1st squeegee 13 are arrange | positioned sequentially in the arrow direction from the discharge position of a slit nozzle. Moreover, the 2nd cleaning liquid injection nozzle 14, the 2nd squeegee 15, and the air nozzle 16 are arrange | positioned sequentially through the site | part submerged in the cleaning liquid.

프라이밍 롤러(11) 상에 토출된 도포액에 대해, 제1 세정액 분사 노즐(12)로부터 세정액이 분사된다. 이어서, 프라이밍 롤러의 회전에 의해 제1 스퀴지(13)와 대향하는 위치로 이동하고, 프라이밍 롤러 상의 도포액은 제1 스퀴지(13)에 의해 긁어내어진다. 본 발명에서는 제1 스퀴지(13)는, 예를 들면 폴리우레탄, 폴리에틸렌, 실리콘 고무 등의 탄성 플레이트로 구성한다. 이 탄성 플레이트는 그 선단이 프라이밍 롤러(11)의 표면과 압접(壓接)하도록 장착된다. 따라서, 탄성 플레이트에는 탄성변형 가능한 복원력이 작용하고, 이 복원력에 의해 탄성 플레이트의 선단이 프라이밍 롤러의 표면에 대해 압접된다. 이와 같이, 스퀴지(13)를 탄성 플레이트로 구성함으로써 스퀴지의 선단이 프라이밍 롤러의 표면과 간극 없이 밀착된 상태가 되어, 프라이밍 롤러 표면에 잔존하는 도포액을 확실하게 긁어낼 수 있다.The cleaning liquid is injected from the first cleaning liquid spray nozzle 12 to the coating liquid discharged onto the priming roller 11. Subsequently, it moves to the position which opposes the 1st squeegee 13 by rotation of a priming roller, and the coating liquid on a priming roller is scraped off by the 1st squeegee 13. In this invention, the 1st squeegee 13 is comprised from elastic plates, such as polyurethane, polyethylene, and a silicone rubber, for example. This elastic plate is mounted so that its tip is in pressure contact with the surface of the priming roller 11. Therefore, an elastically deformable restoring force acts on the elastic plate, and by this restoring force, the tip of the elastic plate is pressed against the surface of the priming roller. Thus, by configuring the squeegee 13 with an elastic plate, the tip of the squeegee is brought into close contact with the surface of the priming roller without a gap, and the coating liquid remaining on the surface of the priming roller can be reliably scraped off.

제1 스퀴지에 의해 긁어내어진 도포액은 스퀴지 위쪽 표면으로 개구하는 배출로(17)로 배출되고, 배출로(17)를 거쳐서 폐액 탱크(18)로 배출된다. 이 실시예에서는 폐액 탱크(18)로의 배출을 강제적으로 행하게 하기 위해, 배출로(17) 도중에 흡인기구(19)를 설치하고 있다. 그 결과, 프라이밍 롤러 상에 존재하는 도포액은 제1 스퀴지에 의해 거의 제거되고, 세정액조와는 별도로 설치한 폐액 탱크로 배출되기 때문에, 세정액조 내의 세정액이 도포액에 의해 오염되는 결점이 해소된다.The coating liquid scraped off by the first squeegee is discharged to the discharge passage 17 opening to the upper surface of the squeegee, and discharged to the waste liquid tank 18 via the discharge passage 17. In this embodiment, in order to force discharge to the waste liquid tank 18, the suction mechanism 19 is provided in the middle of the discharge path 17. As shown in FIG. As a result, the coating liquid present on the priming roller is almost removed by the first squeegee and discharged to the waste liquid tank provided separately from the cleaning liquid tank, thereby eliminating the defect that the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is contaminated by the coating liquid.

이어서 프라이밍 롤러는 세정액조 내의 세정액 속을 통과하고, 세정액 속을 통과하는 사이에 프라이밍 롤러의 표면에 잔존하는 도포액이 제거된다. 또한 회전하면, 제2 샤워 노즐(14)과 대향하는 위치로 이동한다. 제2 세정액 분사 노즐(14)은 프라이밍 롤러(11) 표면을 향해서 세정액을 강하게 분사한다. 이 세정액의 분사에 의해 잔존하는 도포액은 거의 제거된다.The priming roller then passes through the cleaning liquid in the cleaning liquid tank, and the coating liquid remaining on the surface of the priming roller is removed while passing through the cleaning liquid. Moreover, when it rotates, it will move to the position which opposes the 2nd shower nozzle 14. As shown in FIG. The second cleaning liquid spray nozzle 14 strongly sprays the cleaning liquid toward the surface of the priming roller 11. The remaining coating liquid is almost removed by the spray of the cleaning liquid.

프라이밍 롤러는 더 회전하여, 제2 스퀴지(15)에 의해 표면에 잔존하는 세정액이 긁어내어 버려진다. 제2 스퀴지(15)도 제1 스퀴지와 동일하게 탄성 플레이트로 구성한다.The priming roller is further rotated so that the cleaning liquid remaining on the surface is scraped off by the second squeegee 15. The 2nd squeegee 15 is also comprised from an elastic plate similarly to a 1st squeegee.

이어서, 에어 노즐(16)과 대향하는 위치로 이동하고, 에어 노즐로부터 건조된 공기가 분사되어 프라이밍 롤러의 표면은 건조처리된다.Subsequently, it moves to the position opposite to the air nozzle 16, and air dried by the air nozzle is sprayed, and the surface of the priming roller is dried.

이어서, 리사이클에 대해서 설명한다. 세정액조(10)의 바닥부에 배출구 멍(21)을 설치하고, 세정액조 내의 세정액을 순환로로 배출한다. 또한, 세정액조(10)에는 세정액조의 액면(液面)을 조정하기 위한 액면 조정용 폐액부재(22)를 설치하고, 넘친 세정액을 순환로로 배출한다. 이들 2개의 순환로는 1개의 순환로로 결합되어 3방 밸브(23)의 인렛(inlet)에 접속된다. 3방 밸브(23)의 제1 아웃렛(outlet)은 제1 펌프(24)를 거쳐서 리사이클 박스(25)에 접속된다. 리사이클 박스(25)는 필터를 포함하고, 해당 필터에 의해 세정액 중에 잔존하는 도포액이 제거되어, 청정한 세정액으로서 제2 펌프(26)로 공급된다. 3방 밸브(23)의 제2 아웃렛은 관로를 거쳐서 제2 펌프(26)에 접속된다. 제2 펌프(26)의 아웃렛은 버퍼 탱크(27)에 접속된다. 또한, 본 예에서는 세정액조의 바닥부에 설치한 배출구멍 및 액면 조정용 폐액부재의 양쪽을 사용하여 세정액을 순환시키고 있지만, 액면 조정용 폐액부재로부터 넘쳐나온 세정액만을 순환시키는 것도 가능하다.Next, the recycling will be described. A discharge hole 21 is provided at the bottom of the cleaning liquid tank 10, and the cleaning liquid in the cleaning liquid tank is discharged to the circulation path. Further, the cleaning liquid tank 10 is provided with a liquid level adjusting waste liquid member 22 for adjusting the liquid level of the cleaning liquid tank, and the overflowed cleaning liquid is discharged into the circulation path. These two circulation paths are combined into one circulation path and connected to an inlet of the three-way valve 23. The first outlet of the three-way valve 23 is connected to the recycling box 25 via the first pump 24. The recycling box 25 includes a filter, and the coating liquid remaining in the cleaning liquid is removed by the filter, and is supplied to the second pump 26 as a clean cleaning liquid. The second outlet of the three-way valve 23 is connected to the second pump 26 via a conduit. The outlet of the second pump 26 is connected to the buffer tank 27. In addition, in this example, although the washing | cleaning liquid is circulated using both the discharge hole provided in the bottom part of the washing | cleaning liquid tank, and the waste liquid member for liquid level adjustment, it is also possible to circulate only the washing liquid overflowed from the waste liquid member for liquid level adjustment.

버퍼 탱크(27)는 리사이클 박스의 필터에 의해 청정하게 된 세정액을 저장하는 동시에 미사용의 세정액(신액)이 공급된다. 따라서, 버퍼 탱크에는 한층 청정한 세정액이 저장된다. 버퍼 탱크(27)는 3개의 아웃렛(27a~27c)을 갖는다. 제1 아웃렛(27a)은 제1 세정액 분사 노즐(12)에 세정액을 공급하고, 제2 아웃렛(27b)은 제2 세정액 분사 노즐(14)에 세정액을 공급한다. 또한, 제3 아웃렛(27c)은 슬릿 노즐의 세정용으로 신선한 세정액을 공급한다. 이 리사이클 시스템을 설치함으로써 청정도가 신액에 가까운 상태의 세정액이 각 샤워 노즐에 공급되기 때문에, 프라이밍 롤러의 표면을 한층 청정한 상태로 유지할 수 있다.The buffer tank 27 stores a washing liquid that has been cleaned by a filter of a recycling box and is supplied with an unused washing liquid (new liquid). Thus, a cleaner liquid is stored in the buffer tank. The buffer tank 27 has three outlets 27a-27c. The first outlet 27a supplies the cleaning liquid to the first cleaning liquid injection nozzle 12, and the second outlet 27b supplies the cleaning liquid to the second cleaning liquid injection nozzle 14. In addition, the third outlet 27c supplies a fresh cleaning liquid for cleaning the slit nozzle. By providing this recycling system, since the washing | cleaning liquid of the state whose cleanliness is close to a new liquid is supplied to each shower nozzle, the surface of a priming roller can be kept more clean.

본 발명은 전술한 실시예만으로 한정되지 않고, 각종 변형이나 변경이 가능 하다. 예를 들면, 프라이밍 롤러 상에 토출된 도포액을 긁어내는 스퀴지에 흡인기구를 설치하고, 스퀴지에 의해 긁어내어진 도포액을 흡인기구를 통해 배출로로 배출하는 것도 가능하다. 도포액을 흡인함으로써, 제1 스퀴지까지 프라이밍 롤러에 부착될 가능성이 있는 도포액을 제거할 수 있어, 먼지의 발생원인을 막을 수 있다. 이와 같이, 흡인기구를 설치함으로써 스퀴지에 의해 긁어내어진 도포액이 스퀴지 상에 잔류하는 문제가 해소된다.This invention is not limited only to the above-mentioned embodiment, A various deformation | transformation and a change are possible. For example, it is also possible to provide a suction mechanism in the squeegee for scraping off the coating liquid discharged on the priming roller, and to discharge the coating liquid scraped off by the squeegee to the discharge path through the suction mechanism. By aspirating the coating liquid, the coating liquid that may be attached to the priming roller up to the first squeegee can be removed, and the cause of dust generation can be prevented. Thus, by providing the suction mechanism, the problem that the coating liquid scraped off by the squeegee remains on the squeegee is eliminated.

도 1은 본 발명의 예비 토출장치를 적용한 도포장치의 평면도이다.1 is a plan view of a coating apparatus to which the preliminary ejection apparatus of the present invention is applied.

도 2는 동일한 예비 토출장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the same preliminary ejection device.

부호의 설명Explanation of the sign

1…예비 토출장치, 2…리사이클부, 10…세정액조, 11…프라이밍 롤러, N…슬릿 노즐, 12…제1 세정액 분사 노즐, 13…제1 스퀴지, 14…제2 세정액 분사 노즐, 15…제2 스퀴지, 16…에어 노즐, 17…배출로, 18…폐액 탱크, 19…흡인기구, 21…배출구멍, 11…액면 조정용 폐액부재, 23…3방 밸브, 24…제1 펌프, 25…리사이클 박스, 26…제2 펌프, 27…버퍼 탱크, N…슬릿 노즐.One… Preliminary ejection apparatus, 2... Recycling unit, 10... Washing bath, 11... Priming roller, N... Slit nozzle, 12... First cleaning liquid spray nozzle, 13... First squeegee, 14... Second cleaning liquid spray nozzle, 15... Second squeegee, 16... Air nozzle, 17.. Exhaust furnace, 18... Waste tank, 19... Suction device, 21... . Exit hole, 11.. Waste liquid for liquid level adjustment, 23.. 3-way valve, 24.. First pump, 25... Recycling box, 26... Second pump, 27... Buffer tank, N... Slit nozzle.

Claims (6)

세정액을 수용하는 세정액조와, 세정액조 내에 회전 가능하게 배치되어 슬릿 노즐로부터의 도포액을 부착시키는 프라이밍 롤러와, 이 프라이밍 롤러를 향해서 세정액을 분사하는 제1 세정액 분사 노즐과, 프라이밍 롤러의 회전방향을 따라서 상기 제1 세정액 분사 노즐 보다도 후단측에 배치되어, 상기 프라이밍 롤러 상에 부착된 도포액을 긁어내는 스퀴지와, 상기 세정액조 내의 세정액 속을 통과한 프라이밍 롤러를 향해서 세정액을 분사하는 제2 세정액 분사 노즐과, 제2 세정액 분사 노즐을 통과한 프라이밍 롤러를 향해서 건조공기를 분사하는 에어 노즐을 구비하는 예비 토출장치에 있어서, A cleaning liquid tank accommodating the cleaning liquid, a priming roller rotatably disposed in the cleaning liquid tank to adhere the coating liquid from the slit nozzle, a first cleaning liquid spray nozzle for spraying the cleaning liquid toward the priming roller, and a rotation direction of the priming roller. Therefore, a second squeegee liquid jet disposed at a rear end side of the first rinse liquid jet nozzle to scrape the coating liquid attached onto the priming roller and a second rinse liquid jet to spray the cleaning liquid toward the priming roller that has passed through the cleaning liquid in the cleaning liquid tank. A preliminary ejection apparatus comprising a nozzle and an air nozzle for injecting dry air toward a priming roller that has passed through a second cleaning liquid spray nozzle, 상기 스퀴지에 의해 프라이밍 롤러로부터 긁어낸 도포액을 배출하는 배출로를 스퀴지에 인접하여 설치하고, 상기 스퀴지에 의해 제거된 도포액을 상기 배출로를 통해서 폐액 탱크로 배출하는 것을 특징으로 하는 예비 토출장치.A preliminary discharge device, characterized in that a discharge path for discharging the coating liquid scraped from the priming roller by the squeegee adjacent to the squeegee, and discharge the coating liquid removed by the squeegee to the waste liquid tank through the discharge path. . 제1항의 예비 토출장치에 있어서, 상기 스퀴지를 탄성변형 가능한 합성수지 재료의 플레이트로 구성한 것을 특징으로 하는 예비 토출장치.The preliminary ejection apparatus according to claim 1, wherein the squeegee is constituted by a plate of a synthetic resin material which is elastically deformable. 제1항 또는 제2항의 예비 토출장치에 있어서, 상기 스퀴지의 근방에 스퀴지에 의해 긁어내어진 도포액을 흡인하는 흡인기구를 설치하고, 해당 흡인기구에 의해 흡인된 도포액을 상기 배출로를 통해서 폐액 탱크로 배출하는 것을 특징으로 하 는 예비 토출장치.The preliminary ejection apparatus according to claim 1 or 2, wherein a suction mechanism for sucking the coating liquid scraped by the squeegee is provided in the vicinity of the squeegee, and the coating liquid sucked by the suction mechanism is passed through the discharge passage. A preliminary discharge device, characterized in that the discharge to the waste tank. 제1항 또는 제2항의 예비 토출장치에 있어서, 상기 세정액조에 접속된 버퍼 탱크를 가지며, 해당 버퍼 탱크를 상기 제1 및 제2 세정액 분사 노즐에 접속하고, 해당 버퍼 탱크를 통해서 상기 세정액조에 수용된 세정액을 상기 제1 및 제2 세정액 분사 노즐에 공급하여 리사이클하는 것을 특징으로 하는 예비 토출장치.The preliminary discharge device according to claim 1 or 2, wherein the preliminary discharge device has a buffer tank connected to the cleaning liquid tank, the buffer tank is connected to the first and second cleaning liquid injection nozzles, and the cleaning liquid contained in the cleaning liquid tank through the buffer tank. Preliminary discharging device, characterized in that for recycling to the first and second cleaning liquid injection nozzle. 제4항의 예비 토출장치에 있어서, 상기 세정액조와 버퍼 탱크 사이에 오염물을 제거하는 필터를 포함하는 리사이클 박스를 접속하고, 상기 세정액조로부터 배출된 세정액을 필터에 의해 청정한 세정액으로 한 후에 제1 및 제2 세정액 분사 노즐에 공급하는 것을 특징으로 하는 예비 토출장치.The preliminary discharge device according to claim 4, wherein a recycling box including a filter for removing contaminants is connected between the cleaning liquid tank and the buffer tank, and the cleaning liquid discharged from the cleaning liquid tank is a cleaning liquid clean by a filter. 2 A preliminary ejection apparatus characterized by supplying to a cleaning liquid injection nozzle. 제4항의 예비 토출장치에 있어서, 상기 버퍼 탱크에는 미사용의 세정액이 공급되고, 상기 세정액조로부터 회수되어 상기 필터를 통과한 세정액과 미사용의 세정액이 혼합되어 상기 제1 및 제2 세정액 분사 노즐에 공급되는 것을 특징으로 하는 예비 토출장치.The preliminary discharge device of claim 4, wherein an unused cleaning liquid is supplied to the buffer tank, and a cleaning liquid and an unused cleaning liquid which are recovered from the cleaning liquid tank and passed through the filter are mixed and supplied to the first and second cleaning liquid injection nozzles. Preliminary discharge device characterized in that the.
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