JP2008045937A - Probe assembly, probe unit and apparatus for inspecting display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表示パネルの検査装置、プローブユニットおよびプローブ組立体に関し、特に、表示パネルの点灯検査に適した検査装置、該検査装置のためのプローブユニットおよびそのプローブ組立体に関する。 The present invention relates to a display panel inspection apparatus, a probe unit, and a probe assembly, and more particularly, to an inspection apparatus suitable for lighting inspection of a display panel, a probe unit for the inspection apparatus, and a probe assembly thereof.
液晶パネルの製造では、一対のガラス板のそれぞれの一方の面に、例えばラビング処理を受けた配向膜が形成される。アクティブマトリックス方式の液晶パネルでは、一方のガラス板には、該ガラス板と配向膜との間に多数の透明な画素電極および薄膜トランジスタ(TFT)が組み込まれている。また、他方のガラス板には、該ガラス板と配向膜との間に透明な共通電極が組み込まれており、さらにカラー液晶パネルでは、当該ガラス板と共通電極との間にカラーフィルタが組み込まれている。この一対のガラス板は、それらの配向膜を互いに間隔をおいて対向させるように、シール部材を介して互いに貼り合わせられる。この貼り合わせたガラス組立体をマザーガラスとして、該マザーガラスのシール部材を分断するように、ガラス組立体が多数の所望の液晶パネル用ガラス組立体に切断される。この切断作業により、一枚のマザーガラスから複数のガラス組立体が形成される。その後、それぞれのガラス組立体の一対のガラス板間に液晶が注入され、この液晶が封止されることにより、複数の液晶パネルが効率的に形成される。 In the manufacture of a liquid crystal panel, an alignment film subjected to, for example, a rubbing process is formed on one surface of each of a pair of glass plates. In an active matrix type liquid crystal panel, a large number of transparent pixel electrodes and thin film transistors (TFTs) are incorporated in one glass plate between the glass plate and an alignment film. The other glass plate incorporates a transparent common electrode between the glass plate and the alignment film. Further, in a color liquid crystal panel, a color filter is incorporated between the glass plate and the common electrode. ing. The pair of glass plates are bonded to each other via a seal member so that the alignment films are opposed to each other with a space therebetween. The glass assembly thus bonded is used as mother glass, and the glass assembly is cut into a number of desired glass assemblies for liquid crystal panels so as to sever the sealing member of the mother glass. By this cutting operation, a plurality of glass assemblies are formed from one mother glass. Thereafter, liquid crystal is injected between a pair of glass plates of each glass assembly, and the liquid crystal is sealed, whereby a plurality of liquid crystal panels are efficiently formed.
この液晶パネルは、例えば検査装置を用いて欠陥を検出するための点灯検査のような検査を受ける。この点灯検査では、各液晶パネルに駆動信号を供給する必要がある。そのため、前記検査装置の検査ステージには、液晶パネルの電極に接触可能の多数のプローブが設けられたプローブ組立体が設けられている(例えば特許文献1、参照)。 The liquid crystal panel is subjected to an inspection such as a lighting inspection for detecting a defect using an inspection apparatus, for example. In this lighting inspection, it is necessary to supply a drive signal to each liquid crystal panel. For this reason, the inspection stage of the inspection apparatus is provided with a probe assembly provided with a large number of probes capable of contacting the electrodes of the liquid crystal panel (see, for example, Patent Document 1).
ところで、前記検査装置のプローブ組立体のプローブが接触する液晶パネルの電極に、前記した液晶パネルの製造工程での前記したガラス板の切りくずやシール部材の切りくずのような非導電性の異物が残存すると、各プローブと該プローブに対応する電極との確実な電気的接続が阻害されることから、前記検査装置の検査ステージでの各プローブの接触に先立って、検査を受ける液晶パネルの電極を清掃する必要がある。 By the way, non-conductive foreign substances such as chips on the glass plate and chips on the sealing member in the manufacturing process of the liquid crystal panel described above are applied to the electrodes of the liquid crystal panel to which the probe of the probe assembly of the inspection apparatus contacts. If the probe remains, reliable electrical connection between each probe and the electrode corresponding to the probe is hindered. Therefore, the electrodes of the liquid crystal panel undergoing inspection prior to contact of each probe at the inspection stage of the inspection apparatus Need to be cleaned.
そのため、特許文献1に記載の発明では、検査ステージに送られる液晶パネルを予め配置するセットステージに、液晶パネルの電極を清掃するための清掃テープを有する清掃装置が設けられている。これによれば、検査ステージで検査を受ける液晶パネルの各電極を検査に先立ってセットステージで清掃テープにより清掃することができる。
しかしながら、従来の前記検査装置では、セットステージに専用の駆動源を組み込んだ清掃装置が必要となることから、検査装置の構成が複雑になる。また、セットステージで電極を清掃しても、この清掃を受けた電極上に、検査ステージへの移送中あるいはその後に新たに異物が付着する可能性がある。そのため、できる限り、プローブが電極に接触する直前に電極を清掃することが望まれていた。 However, the conventional inspection apparatus requires a cleaning apparatus in which a dedicated drive source is incorporated in the set stage, and thus the configuration of the inspection apparatus is complicated. Further, even if the electrodes are cleaned on the set stage, there is a possibility that new foreign substances may adhere to the cleaned electrodes during or after transfer to the inspection stage. Therefore, it has been desired to clean the electrode as much as possible just before the probe contacts the electrode.
そこで、本発明の目的は、液晶パネルの電極の清掃のために専用の駆動源を必要とすることなく、検査ステージでの検査の直前に電極を清掃し得る検査装置、該検査装置のためのプローブユニットおよびプローブ組立体を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide an inspection apparatus capable of cleaning an electrode immediately before inspection at an inspection stage without requiring a dedicated drive source for cleaning the electrode of the liquid crystal panel, and the inspection apparatus for the inspection apparatus. It is to provide a probe unit and a probe assembly.
本発明に係るプローブ組立体は、被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられ、該プローブと該プローブに対応する前記電極との接触のために前記被検査体に近づく方向へ相対移動が可能である。前記プローブ組立体は、前記電極のための清掃手段と、該清掃手段を保持する揺動アームとを備える。前記被検査体および前記プローブ組立体が相近づくように移動するとき、この相対移動に伴なって前記揺動アームが揺動すべく、該揺動アームまたは前記清掃手段のいずれか一方が前記被検査体に接触可能である。前記揺動アームが揺動するとき、この揺動アームの揺動に伴って該揺動アームに支持された前記清掃手段が前記電極上を掃く。 The probe assembly according to the present invention is provided with a probe capable of contacting an electrode of an object to be inspected, and is relatively moved in a direction approaching the object to be inspected for contact between the probe and the electrode corresponding to the probe. Is possible. The probe assembly includes a cleaning unit for the electrode and a swing arm that holds the cleaning unit. When the object to be inspected and the probe assembly move so as to approach each other, either the rocking arm or the cleaning means is moved by the relative movement to cause the rocking arm to rock. The test object can be contacted. When the swing arm swings, the cleaning means supported by the swing arm sweeps on the electrode as the swing arm swings.
本発明に係る前記プローブ組立体では、被検査体の電極とこれに対応するプローブ組立体の各プローブとの接触のために前記被検査体と前記プローブ組立体とが相近づくと、その相対移動によって、清掃手段を支持する揺動アームが、揺動のための専用の駆動源を用いることなく揺動する。この揺動アームの揺動に伴って該揺動アームに支持された前記清掃手段が前記電極上を掃くことから、清掃のための専用の駆動源を用いることなく、しかも前記プローブと前記電極との接触の直前に該電極上を清掃することができる。 In the probe assembly according to the present invention, when the inspection object and the probe assembly come close to each other due to contact between the electrode of the inspection object and each probe of the probe assembly corresponding thereto, the relative movement thereof Thus, the swing arm that supports the cleaning means swings without using a dedicated drive source for swing. As the swinging arm swings, the cleaning means supported by the swinging arm sweeps the electrode, so that there is no need to use a dedicated drive source for cleaning, and the probe, the electrode, The electrode can be cleaned immediately before contact.
前記プローブ組立体では、その多数の前記プローブを支持するプローブブロックを着脱可能に支持機構に取り付けることができる。この支持機構への前記プローブブロックの取付けにより、前記各プローブは、前記支持機構に支持された前記プローブブロックの前縁からそれぞれの前記プローブの針先を前記被検査体へ向けて突出するように整列して配置される。この場合、プローブ組立体毎に、一対の揺動アームを前記プローブブロックの両側に配置することができ、前記清掃手段は両揺動アーム間でその両端が対応するそれぞれの前記揺動アームに支持される。 In the probe assembly, probe blocks that support the multiple probes can be detachably attached to the support mechanism. By attaching the probe block to the support mechanism, the probes protrude from the front edge of the probe block supported by the support mechanism toward the object to be inspected. Arranged in line. In this case, for each probe assembly, a pair of swing arms can be arranged on both sides of the probe block, and the cleaning means is supported by the swing arms corresponding to both ends between the swing arms. Is done.
前記両揺動アームを前記支持機構に揺動可能に支持することができる。また、これに代えて、前記両揺動アームを前記プローブブロックに揺動可能に支持することができる。 Both the swing arms can be swingably supported by the support mechanism. Alternatively, both the swing arms can be swingably supported on the probe block.
前記清掃手段には、中心軸が前記揺動アームに支持された棒状の清掃バーを用いることができる。このような清掃バーには、電極上の異物に係合して該異物を電極上から排除するための例えばローラ部材を用いることができる。また必要に応じて、清掃バーの摺動による電極表面の保護のために、清掃バーの表面に弾性層、フェルト層あるいは植毛のような保護手段を設けることができる。 As the cleaning means, a bar-shaped cleaning bar having a central axis supported by the swing arm can be used. For such a cleaning bar, for example, a roller member for engaging with foreign matter on the electrode and removing the foreign matter from the electrode can be used. Further, if necessary, a protective means such as an elastic layer, a felt layer, or flocking can be provided on the surface of the cleaning bar in order to protect the electrode surface by sliding the cleaning bar.
前記清掃手段には、中心軸が前記揺動アームに支持された清掃ブラシを用いることができる。 As the cleaning means, a cleaning brush whose center axis is supported by the swing arm can be used.
前記揺動アームの長さを適宜設定することにより、該揺動アームに支持された清掃手段が電極上を清掃するとき、該清掃手段によって、前記電極に加えて前記プローブの針先に付着した異物をも除去することができる。この場合、清掃手段との接触によるプローブの針先の損傷を防止するために、清掃手段がプローブの針先に付着した異物に接触するが針先には接触しないように、各揺動アーム長を設定することが望ましい。また、この場合、接触によるプローブの針先の損傷を確実に防止するために、清掃手段として回転ブラシのような清掃ブラシを用いることが好ましい。 By appropriately setting the length of the swing arm, when the cleaning means supported by the swing arm cleans the electrode, the cleaning means adheres to the probe tip in addition to the electrode. Foreign matter can also be removed. In this case, in order to prevent damage to the probe tip due to contact with the cleaning means, the length of each swing arm is set so that the cleaning means comes into contact with the foreign matter attached to the probe tip but does not come into contact with the needle tip. It is desirable to set In this case, it is preferable to use a cleaning brush such as a rotating brush as the cleaning means in order to reliably prevent the probe tip from being damaged by contact.
前記清掃手段を前記揺動アームの端部に支持し、該端部の縁部分を前記清掃手段を超えてその径方向外方へ突出させることができる。揺動アームをこの縁部分で前記被検査体に当接させることにより、揺動アームに支持された前記清掃手段が前記揺動アームの揺動時に前記電極上を摺動することを防止することができる。これにより、清掃手段で電極を擦ることなく、該電極上の異物を掃き出すことができるので、清掃手段による前記電極表面への損傷を確実に防止することができる。 The cleaning means can be supported on the end of the swing arm, and the edge portion of the end can protrude outward in the radial direction beyond the cleaning means. By bringing the swing arm into contact with the object to be inspected at the edge portion, the cleaning means supported by the swing arm is prevented from sliding on the electrode when the swing arm swings. Can do. Thereby, since the foreign material on this electrode can be swept out without rubbing an electrode with a cleaning means, the damage to the electrode surface by a cleaning means can be prevented reliably.
前記揺動アームに支持された清掃手段で確実に前記電極上の異物を掃くために、揺動アームに、ばね部材のような偏倚手段の付勢力を付与することができる。 A biasing force of a biasing means such as a spring member can be applied to the swing arm in order to surely remove the foreign matter on the electrode by the cleaning means supported by the swing arm.
前記プローブ組立体には、前記プローブの針先または前記電極上の異物を吸引するための吸引口を有する吸引機構を設けることができる。この吸引機構により、前記電極またはプローブの針先上から排除された異物を吸引することができるので、電極から掃き出される異物の前記被検査体への再付着を確実に防止することができる。また、吸引力の設定によって、前記電極上の異物を直接吸引することができる。この場合、前記吸引機構は前記清掃手段の補助として機能する。 The probe assembly may be provided with a suction mechanism having a suction port for sucking foreign matter on the probe tip or the electrode. By this suction mechanism, foreign matter removed from the tip of the electrode or probe can be sucked, so that foreign matter swept out from the electrode can be reliably prevented from reattaching to the object to be inspected. Further, the foreign matter on the electrode can be directly sucked by setting the suction force. In this case, the suction mechanism functions as an auxiliary to the cleaning means.
前記揺動アームおよび該揺動アームに支持された清掃手段をそれぞれ有する複数の前記プローブ組立体は、検査装置のプローブユニットに組み込むことができる。このプローブユニットでは、前記被検査体を昇降可能に保持する検査台の上方で、複数の前記プローブ組立体は、それぞれの各プローブが前記被検査体の対応する前記電極に当接可能となるように、支持部材上に支持される。 The plurality of probe assemblies each having the swing arm and the cleaning means supported by the swing arm can be incorporated into a probe unit of an inspection apparatus. In this probe unit, a plurality of the probe assemblies can be brought into contact with the corresponding electrodes of the object to be inspected above the inspection table that holds the object to be inspected up and down. And supported on a support member.
また、本発明に係るプローブユニットでは、前記支持部材上に整列して配置される複数の複数のプローブ組立体からなるプローブ組立体群毎に、該プローブ組立体群の両側に一対の揺動アームを配置し、この一対の揺動アームに該揺動アーム間の複数のプローブ組立体の各プローブに対応する被検査体の電極のための清掃手段を支持させることができる。この場合、前記揺動アームは前記支持部材に揺動可能に支持される。 In the probe unit according to the present invention, a pair of swing arms is provided on both sides of the probe assembly group for each probe assembly group including a plurality of probe assemblies arranged in alignment on the support member. And the cleaning means for the electrodes of the object to be inspected corresponding to the probes of the plurality of probe assemblies between the swing arms can be supported by the pair of swing arms. In this case, the swing arm is swingably supported by the support member.
さらに、本発明に係る検査装置では、電極が設けられた被検査体を昇降可能に保持する検査台の上方に前記プローブユニットが設けられる。 Furthermore, in the inspection apparatus according to the present invention, the probe unit is provided above an inspection table that holds an object to be inspected provided with electrodes so as to be movable up and down.
本発明によれば、被検査体の検査のための該被検査体とプローブ組立体との相対運動に関連して揺動アームを揺動させることができ、この揺動アームの揺動によって、該揺動アームに支持された清掃手段で前記電極上から異物を掃き出すことができる。これにより、清掃のための専用の駆動源を組み込むことなく、したがって、この専用の駆動源の組み込みによる検査装置の構成の複雑化を招くことなく、被検査体の電極をプローブの接触直前に清掃することができるので、比較的安価にしかも確実に検査直前で被検査体の電極を清掃することができ、異物の影響を受けることなく安定した検査を行うことができる。 According to the present invention, the swing arm can be swung in relation to the relative movement between the test object and the probe assembly for inspecting the test object. By swinging the swing arm, Foreign matter can be swept out from the electrode by the cleaning means supported by the swing arm. As a result, the electrode of the object to be inspected is cleaned immediately before contact with the probe without incorporating a dedicated drive source for cleaning, and thus without complicating the configuration of the inspection apparatus by incorporating this dedicated drive source. Therefore, the electrode of the object to be inspected can be reliably cleaned immediately before the inspection at a relatively low cost, and a stable inspection can be performed without being affected by the foreign matter.
図1および図2は、本発明に係る検査装置10の外観を示す。この検査装置10は、長方形の平面形状を有する液晶パネル12の例えば点灯検査に用いられる。検査装置10には、点灯検査のための検査ステージ14が設けられ、また該検査ステージとの間で被検査体である液晶パネル12を順次やり取りする従来よく知られたセットステージ16が検査ステージ14に並んで設けられている。図示の例では、点灯検査で作業者の目視による液晶パネル12の表示画面の観察を容易とするために、検査ステージ14およびセットステージ16で、液晶パネル12が前方に向けて傾斜して保持されている。
1 and 2 show the appearance of an
矩形の液晶パネル12の表面には、後述するように、その一方の長辺縁部に沿って多数の電極12a(図4参照)が配列されており、また一方の短辺縁部に沿って同様な多数の電極12aが配列されている。検査ステージ14で検査を受ける液晶パネル12は、筐体18の正面に設けられた出し入れ口20からセットステージ16の支持台22上に、前記電極を正面に向けて配置される。液晶パネル12は、セットステージ16では、支持台22に設けられたセンタリングピン24を有する従来よく知られたセンタリング機構によって支持台22上で姿勢を整えられる。このセットステージ16の液晶パネル12は、図示しないが、従来よく知られたパネル取り扱い機構を介して、検査ステージ14で検査を受けた液晶パネル12と相互に交換され、検査を終えた液晶パネル12は、セットステージ16の出し入れ口20を経て検査装置10から取り出される。
On the surface of the rectangular
検査ステージ14には、図1および図3に示すように、筐体18の正面でセットステージ16の出し入れ口20に整列して傾斜配置される全体に矩形の観察窓26が形成されている。また検査ステージ14には、液晶パネル12を所定の姿勢で保持するためのチャックトップ28が設けられている。チャックトップ28には、ストッパピン30と、該ストッパピンへ向けてチャックトップ28上の液晶パネル12の縁部を押圧するプッシャ32とが設けられている。チャックトップ28上の液晶パネル12は、従来よく知られているように、ストッパピン30およびプッシャ32により、液晶パネル12の長辺および短辺がそれぞれ観察窓26のX軸方向およびY軸方向に沿うように姿勢を調整される。姿勢を調整された液晶パネル12は、チャックトップ28の大気圧よりも低い吸引圧力によって該チャックトップ上に保持される。チャックトップ28は、従来よく知られているように、xyzθ台上に設けられている。これにより、チャックトップ28上の液晶パネル12は、チャックトップ28と一体に、前記X軸方向、Y軸方向およびX−Y面に直角なZ軸方向へ移動可能であり、またZ軸の回りに回転可能である。
As shown in FIGS. 1 and 3, the
チャックトップ28の斜め上方、すなわちZ軸方向に沿ったチャックトップ28の斜め前方には、図3に示すように、Z軸方向へチャックトップ28に間隔をおいて、本発明に係るプローブユニット34が配置されている。プローブユニット34は、チャックトップ28と平行な平面上でチャックトップ28から間隔をおいて配置された矩形枠体からなる支持部材36と、該支持部材に支持された多数のプローブ組立体38(38a、38b)とを備える。
As shown in FIG. 3, the
支持部材36は、筐体18内で該筐体に図示しないフレーム部材で固定的に支持されている。また、図3に示す例では、支持部材36のX軸方向に沿った一方の長辺部36a上に4個のプローブ組立体38aが長辺部36aの長手方向へ相互に間隔をおいて並列的に配列されている。また、支持部材36のY軸方向に沿った一方の短辺部36b上に3個のプローブ組立体38bが短辺部36bの長手方向へ相互に間隔をおいて並列的に配列されている。
The
各プローブ組立体38(38a、38b)は、図3および図4に示すように、多数のプローブ40が設けられたプローブブロック42を備える。各プローブ40は、該プローブが設けられるプローブブロック42の前縁から下方へ向けて針先を突出させて保持されている。各プローブ組立体38(38a、38b)は、それらのプローブ40の針先が対応する電極12aに対応するように、支持機構であるサスペンション機構44を介して、支持部材36の長辺部36aおよび短辺部36b上で、相互に間隔をおいて保持されている。これにより、各プローブ組立体38(38a、38b)のプローブ40は、その針先を下方に配置された液晶パネル12の対応する電極12aから間隔をおく。
Each probe assembly 38 (38a, 38b) includes a
前記セットステージ16から検査ステージ14のチャックトップ28上に移送
された液晶パネル12は、チャックトップ28上で前記したようにX、Y方向の位置調整およびZ軸の回りの姿勢調整を受ける。この調整によって、各電極12aがプローブ組立体38(38a、38b)の対応するプローブ40の針先に正確に位置決められると、チャックトップ28は、該チャックトップ上の液晶パネル12がその上方で支持部材36に支持された各プローブ組立体38(38a、38b)に近づくように、図5(a)に示される下降位置からZ軸に沿って支持部材36へ向けて駆動される。
The
この液晶パネル12のプローブ組立体38(38a、38b)へ向けての移動により、チャックトップ28が図5(c)に示す接触位置へ移動すると、液晶パネル12の各電極12aは、対応するプローブ40の針先に接触する。この接触状態では、従来よく知られているように、サスペンション機構44の弾性あるいはプローブ40自体の弾性により、該プローブの針先は対応する各電極12aに適正な押圧力で押し付けられる。このプローブ40の接触状態で、液晶パネル12には、検査のために必要な、例えば、液晶パネル12を黒表示させるための電気信号あるいは駆動信号等がテスタ本体(図示しせず)からプローブ40および該プローブに対応する各電極12aを経て供給される。
When the
黒表示画面上の欠陥(例えば白欠陥)の有無についての検査が終了すると、チャックトップ28は、所定の下降位置へ向けて、Z軸に沿って支持部材36から離れる方向へ駆動される。検査を受けた液晶パネル12は、チャックトップ28の所定の下降位置で、前記したように、セットステージ16に移送される。
When the inspection about the presence or absence of a defect (for example, a white defect) on the black display screen is completed, the
本発明に係るプローブユニット34には、前記したプローブ組立体38(38a、38b)の各プローブ40と液晶パネル12の各電極12aとの接触のための両者12、38の相対運動に関連して各電極12aを清掃するための清掃手段46が設けられている。
The
図1に示す例では、支持部材36の長辺部36aに設けられた4つのプローブ組立体38aからなる第1のプローブ群および支持部材36の短辺部36bに設けられた3つのプローブ組立体38bからなる第2のプローブ群の群毎に、清掃手段46が設けられている。各清掃手段46は、対応するプローブ群の各プローブ40の配列方向へ伸長する棒状部材からなる清掃バーで構成されている。この清掃バー46を構成する棒状部材は、例えば合成樹脂材料からなるローラ部材で形成することができる。
In the example shown in FIG. 1, a first probe group including four
各清掃バー46を保持するために、図3および図4に示すように、それぞれのプローブ群の両側外方で、固定アーム48がその一端を支持部材36に固定されている。各固定アーム48は、対応する各プローブ組立体38のプローブブロック42から間隔をおいてこれに平行に、チャックトップ28の上方で伸長する。プローブ群毎で対をなす固定アーム48の先端部の近傍には、それぞれ水平の枢軸50を介して、一対の揺動アーム52がその一端で枢着されている。
In order to hold each cleaning
プローブ群毎に設けられた一対の揺動アーム52間に、それぞれ前記した清掃バー46が配置されている。各清掃バー46は、その中心軸に一致して配置された水平軸54を介してそれぞれの端部で、対応する各揺動アーム52の他端近傍に例えば固定的に取り付けられている。
The cleaning
清掃手段46が取り付けられた各揺動アーム52の他端すなわち先端部は、図5(a)に示すチャックトップ28の下降位置から図5(c)に示すプローブ40と電極12aとの接触位置へ向けてチャックトップ28が移動するとき、その過程で図5(b)に示すように、チャックトップ28上の液晶パネル12の縁部に接触する。各揺動アーム52と液晶パネル12とが接触すると、引き続くチャックトップ28の上昇に伴って揺動アーム52の前記先端部が液晶パネル12を介して押し上げられることにより、該先端部が液晶パネル12上を摺動するように揺動アーム52が枢軸52を中心に揺動する。このとき、図4に拡大して示されているように、揺動アーム52の前記先端部は電極12a列から清掃手段46の長手方向へ充分な間隔を保持するように、固定アーム48に支持されているので、各揺動アーム52が各電極12a上を摺動することはない。
The other end, that is, the tip of each
また、揺動アーム52の各前記先端部の縁部分は、清掃手段46を超えて該清掃手段の半径方向外方へ突出することから、前記した一対の揺動アーム52の揺動で、該揺動アーム間の清掃手段46が液晶パネル12の表面および該表面上の各電極12aに接触することはない。
In addition, since the edge portion of each tip of the
このことから、一対の揺動アーム52が図5(a)の下降位置の姿勢から図5(c)の接触位置の姿勢へ向けて枢軸50の回りに揺動するとき、一対の揺動アーム52間に支持された清掃手段46は、枢軸50を中心として該枢軸および水平軸54間距離を半径とする弧状軌跡に沿って、各電極12aに近接してその上方を移動するが、図4に示されているように、清掃手段46は各電極12aと間隔をおくことにより、該電極上を摺動することはない。
Therefore, when the pair of
また、図6に拡大して示すように、前記した揺動アーム52の揺動に伴って各電極12aに近接して該電極上を移動する清掃手段46は、図5(b)および図6に示す清掃工程で、電極12a列上を横切るように通過することから、電極12a上の異物56に係合して該異物を電極12a上から掃き出す。
Further, as shown in FIG. 6 in an enlarged manner, the cleaning means 46 that moves on the electrodes in proximity to each
この電極12aから異物56を掃き出す清掃工程の直後に、各プローブ40が図5(c)に示した接触位置で対応する電極12aに接触する。このプローブ40と電極12aとの接触は、清掃手段46が電極12a列上を横切るように通過した後であることから、この清掃手段46によってプローブ40と電極12aとの接触が妨げられることはない。
Immediately after the cleaning step of sweeping out the
また、図6に仮想線で示すように、揺動アーム52のアーム長すなわち枢軸(50、54)間の距離を清掃手段46の半径に応じて適正に選択することにより、一対の揺動アーム52の揺動に伴って、プローブ40の針先に付着した異物58をも清掃手段46の掃き出しによって除去することができる。
In addition, as indicated by phantom lines in FIG. 6, the arm length of the
検査後、チャックトップ28は、図5(a)に示した下降位置に向けて移動する。この移動に伴い、揺動アーム52は、該揺動アームおよび清掃手段46の各自重により、揺動アーム52の前記先端部が液晶パネル12上を摺動しながら、下方へ向けて揺動する。この揺動アーム52の下方へ向けての揺動は、図5(a)に示すように、プローブブロック42の側壁部42aに設けられたストッパピン60により、規制することができる。このストッパピン60の規制作用によって、揺動アーム52の前記先端部が液晶パネル12の対応領域を超えて下方側方へはみ出して揺動することはない。
After the inspection, the
本発明に係る前記検査装置10では、液晶パネル12を保持するチャックトップ28の昇降運動に伴って、各一対の揺動アーム52が揺動する。この揺動アーム52に保持された清掃手段46は、図5(c)の接触位置へ向けて揺動アーム52が揺動するとき、各電極12aおよびプローブ40の針先を清掃する。したがって、清掃手段46のための専用の駆動源を用いることなく各電極12aを清掃することができる。しかも、清掃直後の図5(c)に示す接触位置で、プローブ40の針先が対応する電極12aに接触するので、各電極12aの清掃後から該電極へのプローブ40の接触までの間に、各電極12a上に新たな異物が付着し難い。そのため、従来のような清掃後の新たな異物の付着による接触不良を確実に防止することができる。
In the
清掃手段46が各電極12a上を摺動することによる該電極の損傷を確実に防止するために、必要に応じて、各清掃手段46を構成するローラ部材のような清掃バーの表面に植毛を施すことができる。また前記ローラ部材の表面にゴムのような弾性膜あるいはフェルトのような保護層を形成することができる。また、このような保護手段を清掃手段46に設けることにより、揺動アーム52の前記先端部を液晶パネル12上で摺動させることに代えて、清掃手段46を各電極12a上を含む液晶パネル12上を摺動させることができる。
In order to reliably prevent damage to the electrodes due to the cleaning means 46 sliding on the
また、複数のプローブ組立体38(38a、38b)からなるプローブ組立体の群毎に清掃手段46を設けることに代えて、図7に示されているように、各プローブ組立体38(38a、38b)に個別の清掃手段46を設けることができる。 Further, instead of providing the cleaning means 46 for each group of probe assemblies comprising a plurality of probe assemblies 38 (38a, 38b), as shown in FIG. 38b) can be provided with individual cleaning means 46.
図7に示す例では、各プローブ組立体38(38a、38b)のためのプローブブロック42の側壁部42aに各一対の揺動アーム52の枢軸50が支持されている。また、図8に示すように、清掃手段46を支持する各揺動アーム52の先端部の外側に、スペーサ部材62を固定的に設けることができる。各スペーサ部材62は、液晶パネル12に当接し、該液晶パネル上を摺動する。スペーサ部材62を用いることなく、前記したように揺動アーム52の先端部の縁部分を清掃手段46の半径方向外方に突出させることができるが、揺動アーム52間に保持された清掃手段46と、各電極12aとの間隔を所望の適正値に保持する点で、スペーサ部材60を用いることが有利である。
In the example shown in FIG. 7, the
また、図9に示すように、揺動アーム52の枢軸50をプローブブロック42が取り付けられるサスペンション機構44の支持台44aに支持することができる。また、図9に示す例では、揺動アーム52をストッパピン60に向けて付勢するコイルスプリングのような弾性部材からなる偏倚手段64が設けられている。偏倚手段64の一端は揺動アーム52に係止され、その他端は支持台44aに係止されている。偏倚手段64は、揺動アーム52にストッパピン60へ向けての付勢力を付与することにより、清掃手段46が各電極12aから不要に浮き上がることを防止し、清掃手段46による清掃作用を高める。
る。
Further, as shown in FIG. 9, the
The
前記したような偏倚手段64は、図1ないし図6に示した揺動アーム52あるいは図7に示した揺動アーム52にも設けることができる。図1ないし図6に示した例では、偏倚手段64の前記他端は固定アーム48に係止することができる。また図7に示した例では、偏倚手段64の前記他端は、プローブブロック42の側壁部42aまたはサスペンション機構44の支持台44aに係止することができる。
The biasing means 64 as described above can also be provided on the
図10(a)および図10(b)に示すように、一対の揺動アーム52をサスペンション機構44の支持台44aで支持することに関連して、サスペンション機構44の支持台44aと、該支持台に取り付けられるプローブブロック42とを取り外し可能とすることができる。
As shown in FIGS. 10A and 10B, the
この場合、プローブブロック42の上面には、取付け部42bが設けられ、支持台44aの下面には、取付け部42bを受け入れる嵌合部44bが形成されており、支持台44aと取付け部42bとの間には図示しないが従来よく知られたクランプ機構が設けられる。このように、揺動アーム52を支持台44aに揺動可能に支持し、かつプローブブロック42を各サスペンション機構44から取り外し可能とすることにより、プローブブロック42の一部のプローブ40に欠損が生じた場合、清掃手段46および揺動アーム52を取り替えることなく、プローブブロック42を取り替えるができる。したがって、資源の浪費を防止し、その有効活用が可能となる。
In this case, an
図11に示す例では、清掃手段46により各電極12aまたはプローブ40の針先から掃き出した異物56または58を吸引するための吸引機構66が設けられている。吸引機構66は、プローブ40が設けられるプローブブロック42の前縁下方に向けて開放する吸引口68aを有する吸引ノズル68を有する。吸引ノズル68には、そのホース68bを経て、例えばチャックトップ28の負圧源(真空ポンプ)からの吸引圧力が導入される。この吸引圧力により、清掃手段46によりプローブ40あるいは各電極12a上から掃き出された異物56、58を吸引口68aから吸引し、ホース68bに設けられたトラップ(図示せず)に捕獲することができる。
In the example shown in FIG. 11, a
このような吸引機構68を設けることにより、掃き出された異物56、58が電極12aあるいはプローブ40に再付着することを確実に防止することができる。また、吸引力を適正に調整することにより、清掃手段46により掃き残された異物56、58をプローブ40あるいは電極12aから直接的に吸引することができる。この場合、吸引機構66は、清掃手段46の補助手段として機能する。さらに、吸引機構66によって、プローブ組立体38(38a、38b)のプローブ40の針先の異物を吸引除去することにより、この針先の定期的な保守点検作業の周期を比較的長く設定することができ、またメンテナンス作業も容易になる。
By providing such a
前記したところでは、清掃手段46をローラ部材のような棒状部材で構成される例を示した。これに代えて、図12(a)ないし図12(c)に示すように、清掃手段46を回転ブラシ70で構成することができる。
As described above, the example in which the
回転ブラシ70の毛は、例えば適度な弾性を有する繊維状の樹脂部材で形成することができる。この回転ブラシ70は、一対の揺動アーム52で両端を回転可能に支持されることにより、揺動アーム52間で該各揺動アームの端部から回転ブラシ70の毛先が該回転ブラシの径方向外方へ大きく突出する。このような回転ブラシ70では、その毛先が電極12aあるいはプローブ40の針先に接触しても、これらに損傷を与える虞はない。したがって、この場合、図12(a)に示す下降位置から図12(c)に示す接触位置の間で、回転ブラシ70を液晶パネル12に接触させることができ、揺動アーム52が液晶パネル12に接触することを防止することができる。また、回転ブラシ70に吸引機構66を組み合わせることにより、プローブ40の針先に付着した異物58を針先からより確実に排除することができる。
The bristles of the rotating
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。例えば、液晶パネル12を支持するチャックトップ28をプローブ組立体38(38a、38b)へ向けておよびこれから離れる方向へ移動可能とすること代えて、チャックトップ28を固定的に保持し、プローブ組立体38(38a、38b)を支持する支持部材36をチャックトップ28上の液晶パネル12へ向けておよびこれから離れる方向へ移動させることができる。
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, instead of allowing the
10 検査装置
12 液晶パネル(被検査体)
34 プローブユニット
36 支持部材
38(38a、38b) プローブ組立体
40 プローブ
42 プローブブロック
46、70 清掃手段
52 揺動アーム
56、58 異物
62 スペーサ部材
64 偏倚手段
66 吸引機構
68a 吸引口
10
34
Claims (20)
前記電極のための清掃手段と、該清掃手段を保持する揺動アームとを備え、前記被検査体および前記プローブ組立体が相近づくように移動するとき、この相対移動に伴なって前記揺動アームが揺動すべく該揺動アームまたは前記清掃手段のいずれか一方が前記被検査体に接触可能であり、前記揺動アームの揺動に伴って該揺動アームに支持された前記清掃手段が前記電極上を掃くことを特徴とするプローブ組立体。 A probe assembly is provided with a probe capable of contacting an electrode of an object to be inspected, and capable of relative movement at least in a direction approaching the object to be inspected for contact between the probe and the electrode corresponding to the probe. And
A cleaning means for the electrode; and a swinging arm for holding the cleaning means. When the object to be inspected and the probe assembly move so as to approach each other, the swinging motion is accompanied by the relative movement. Either the swing arm or the cleaning means can contact the object to be inspected so that the arm swings, and the cleaning means is supported by the swing arm as the swing arm swings. Sweeping over the electrode.
さらに、整列する複数の前記プローブ組立体の前記各プローブに対応する前記電極のための清掃手段と、該清掃手段を保持すべく、複数の整列する前記プローブ組立体からなるプローブ組立体群の両側に配置され、前記支持部材に揺動可能に支持された一対の揺動アームとを備え、前記検査台が前記支持部材に向けて移動するとき前記検査台上の前記被検査体の移動に伴なって前記揺動アームが揺動すべく、前記揺動アームまたは前記清掃手段が前記被検査体に当接可能であり、前記揺動アームの揺動によって前記清掃手段が前記電極上を掃く、プローブユニット。 A plurality of probe assemblies disposed above an inspection table for holding an object to be inspected provided with electrodes so as to be movable up and down, and a plurality of probe assemblies provided with probes corresponding to the electrodes; A probe unit comprising: a support member that aligns and holds the probe assembly so that each of the three-dimensional probes can come into contact with the corresponding electrode;
Further, cleaning means for the electrodes corresponding to the probes of the plurality of aligned probe assemblies, and both sides of a probe assembly group consisting of the plurality of aligned probe assemblies for holding the cleaning means And a pair of swing arms supported by the support member so as to be swingable. When the inspection table moves toward the support member, the inspection object moves on the inspection table. The swing arm or the cleaning means can contact the object to be inspected so that the swing arm swings, and the cleaning means sweeps the electrode by swinging the swing arm. Probe unit.
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