KR200152552Y1 - Cleaning apparatus for probe card - Google Patents
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Abstract
본 고안은 프로브 카드 세정장치에 관한 것으로, 종래의 프로브 카드 세정은 샌드페이퍼로 샌딩하거나 상기 수산화나트륨용액을 묻힌 면봉을 사용하여 상기 니들에 오염된 이물질을 세정하였다. 이러한 세정으로 인하여 상기 니들이 마모되게 됨과 아울러 상기 프로브 카드의 수명이 단축되고, 또 상기 니들을 하나하나 세정하여야 하므로 많은 세정작업시간이 소요되게 되는 문제점을 초래하였다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치는 아래 도면에 도시된 바와 같이, 직류 전원의 마이너스 전원이 인가됨과 아울러 세정물질이 탑재하는 고정대(12)와, 상기 직류 전원의 플러스 전원이 인가됨과 아울러 세정할 프로브 카드가 탑재되는 프로브 카드홀더(16) 그리고 상기 고정대(12)에 탑재되어 있는 세정시트(11)에 상기 프로브 카드홀더(16)에 탑재되어 있는 프로브 카드의 니들을 접촉시킬 수 있는 이동수단을 구비하여 상기 프로브 카드를 세정할 수 있는 세정장치를 구성하므로써, 상기 프로브 카드의 니들이 마모되는 것을 방지하게 됨과 아울러 상기 프로브 카드의 수명 단축을 방지하고, 또 상기 프로브 카드의 니들을 한꺼번에 세정할 수 있게 되어 세정작업시간을 단축할 수 있게 된다.The present invention relates to a probe card cleaning apparatus. In the conventional probe card cleaning, a foreign material contaminated with the needle was washed by sandpaper or by using a cotton swab covered with the sodium hydroxide solution. Such cleaning causes wear of the needle, shortens the life of the probe card, and causes the problem of requiring a lot of cleaning operation time because the needle needs to be cleaned one by one. In order to solve this problem, the probe card cleaning apparatus according to the present invention, as shown in the following drawings, the negative power of the DC power is applied, and the fixing table 12 mounted with the cleaning material, and the positive power of the DC power supply The needle of the probe card mounted on the probe card holder 16 may be brought into contact with the probe card holder 16 mounted on the probe card holder 16 and the holder 12 mounted on the holder 12. By constructing a cleaning device for cleaning the probe card by providing a moving means to prevent the wear of the needle of the probe card and to prevent the shortening of the life of the probe card, the needle of the probe card Cleaning can be done all at once, thus reducing the cleaning time.
Description
본 고안은 프로브 카드 세정장치에 관한 것으로, 특히 세정물질이 탑재되는 고정대와 프로브 카드가 탑재되는 카드홀더에 직류전원을 인가하여 세정할 수 있도록 하므로써, 상기 프로브 카드의 니들의 마모방지와 더불어 세정시간을 단축시킬 수 있도록 한 프로브 카드 세정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card cleaning apparatus, and in particular, by applying a DC power to the holder for mounting the cleaning material and the card holder on which the probe card is mounted, thereby preventing the wear of the needle of the probe card and the cleaning time. The present invention relates to a probe card cleaning device capable of shortening the pressure.
일반적으로, 반도체 칩의 전기적인 특성을 검사하기 위하여 사용하는 프로브 카드(1)는 상기 제1도에 도시된 바와 같이 소정의 두께를 갖는 원형의 피시비(PCB)몸체(2)의 중앙부에 소정의 크기를 갖는 사각형상의 홀(3)이 형성되고, 그 홀(3)에 상기 반도체 웨이퍼(미도시)상에 형성된 디바이스 패드(미도시)와 접촉되는 다수개의 니들(Needle)(4)이 배열설치되어 있다.In general, the probe card 1 used for inspecting the electrical characteristics of the semiconductor chip has a predetermined portion in the center of a circular PCB body 2 having a predetermined thickness as shown in FIG. A rectangular hole 3 having a size is formed, and a plurality of needles 4 contacting a device pad (not shown) formed on the semiconductor wafer (not shown) are arranged in the hole 3. It is.
상기와 같이 구성된 프로브 카드(1)는 먼저, 검사하고자 하는 반도체 웨이퍼에 형성된 디바이스의 패드에 상기 프로브 카드(1)의 니들(4)을 접촉시키고, 상기 니들(4)과 납땝에 의하여 연결된 프로브카드접속단자(6)와 연결된 상기 반도체 웨이퍼의 검사용 기기의 접속단자와 접속하는 테스터접속단자(5)에 그 반도체 웨이퍼의 검사용 기기의 단자와 연결하므로써, 상기 반도체 웨이퍼상에 형성된 디바이스의 상태를 검사하게 되는 것이다.The probe card 1 configured as described above first contacts the needle 4 of the probe card 1 with a pad of a device formed on the semiconductor wafer to be inspected, and then connects the needle 4 with the needle 4 by a soldering method. The state of the device formed on the semiconductor wafer is connected to the tester connection terminal 5 which is connected to the connection terminal of the device for inspection of the semiconductor wafer connected to the connection terminal 6 with the terminal of the device for inspection of the semiconductor wafer. Will be examined.
이때, 상기 니들(4)은 상기 디바이스의 패드와 접촉시에 금속성 이물질 등에 오염되게 되어 접촉불량을 초래하게 되므로 상기 이물질을 현미경으로 확대 관찰하면서 샌드페이퍼(Sanding Paper)로 샌딩하여 세정하거나, 상기 니들(4) 하나하나에 DC 전원을 인가한 후 수산화나트륨(NaOH)용액을 묻힌 면봉을 사용하여 상기 이물질을 세정하게 되는 것이다.In this case, the needle 4 is contaminated with metallic foreign matters when contacted with the pad of the device, resulting in poor contact, so that the foreign material is cleaned by sanding (sanding paper) while observing the foreign matter under a microscope. 4) After applying DC power to each one, the foreign material is cleaned by using a cotton swab soaked with sodium hydroxide (NaOH) solution.
그러나, 상기와 같이 샌드페이퍼로 샌딩하거나 상기 수산화나트륨용액을 묻힌 면봉을 사용하여 상기 니들에 오염된 이물질을 세정하게 되면, 상기 니들이 마모되게 됨과 아울러 상기 프로브 카드의 수명이 단축되고, 또 상기 니들을 하나하나 세정하여야 하므로 많은 세정작업시간이 소요되게 되는 문제점을 초래하였다.However, when sanding with sandpaper or using a cotton swab soaked with the sodium hydroxide solution to clean the contaminants contaminated with the needle, the needle is worn out and the life of the probe card is shortened. One, however, has caused a problem that takes a lot of cleaning work time.
따라서, 본 고안의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 프로브 카드의 니들의 마모를 막아 상기 프로브 카드의 수명 단축을 방지함과 아울러 상기 니들의 세정작업시간을 단축할 수 있는 프로브 카드 세정장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a probe card cleaning apparatus that can solve the above problems to prevent the wear of the needle of the probe card to prevent the shortening of the life of the probe card and to shorten the cleaning time of the needle. have.
제1도는 일반적인 프로브 카드의 구조를 보인 평면도.1 is a plan view showing the structure of a typical probe card.
제2도는 일반적인 프로브 카드의 종단구조를 보인 단면도.2 is a cross-sectional view showing the termination structure of a typical probe card.
제3도는 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치의 개략적인 구조를 보인 사시도.Figure 3 is a perspective view showing a schematic structure of the probe card cleaning apparatus according to the present invention.
제4a도는 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치의 고정판의 구조를 보인 배면도.Figure 4a is a rear view showing the structure of the fixing plate of the probe card cleaning apparatus according to the present invention.
제4b도는 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치의 고정판의 구조를 보인 측면도.Figure 4b is a side view showing the structure of the fixing plate of the probe card cleaning apparatus according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
11 : 세정시트 12 : 고정대11: cleaning sheet 12: fixing table
13 : 지지대 14 : 베이스 플레이트13 support base 14 base plate
16 : 프로브 카드홀더 16a : 관통공16: probe card holder 16a: through hole
16b : 홀더몸체 17 : 고정판16b: holder body 17: fixed plate
17a : 포고핀17a: pogo pin
본 고안의 목적은 직류 전원의 한 전극이 인가됨과 아울러 세정물질이 탑재되는 고정대와, 상기 직류 전원의 다른 한 전극이 인가됨과 아울러 세정할 프로브 카드가 탑재되는 프로브 카드홀더와, 상기 고정대에 탑재되어 있는 세정물질에 상기 프로브 카드홀더에 탑재되어 있는 프로브 카드의 니들을 접촉시킬 수 있는 이동수단을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드 세정장치에 의하여 달성된다.An object of the present invention is a probe card holder to which one electrode of a DC power is applied and a cleaning material is mounted, a probe card holder to which the other electrode of the DC power is applied and a probe card to be cleaned is mounted, and mounted on the holder. It is achieved by a probe card cleaning apparatus, characterized in that it comprises a moving means for contacting the needle of the probe card mounted on the probe card holder with the cleaning material.
다음은, 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.Next, an embodiment of a probe card cleaning apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제3도는 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치의 개략적인 구조를 보인 사시도이고, 제4a도는 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치의 고정판의 구조를 보인 배면도이며, 제4b도는 본 고안의 의한 프로브 카드 세정장치의 고정판의 구조를 보인 측면도이다.Figure 3 is a perspective view showing a schematic structure of the probe card cleaning device according to the present invention, Figure 4a is a rear view showing the structure of the fixing plate of the probe card cleaning device according to the present invention, Figure 4b is a probe card of the present invention It is a side view which shows the structure of the fixing plate of a washing | cleaning apparatus.
상기 제3도에 도시된 바와 같이 본 고안에 의한 프로브 카드 세정장치는 직류 전원의 마이너스 전극이 인가됨과 아울러 세정물질인 수산화 나트륨(NaOH)용액이 흡수된 세정시트(11)가 탑재되는 고정대(12)가 설치되어 있고, 그 고정대(12)의 일측에는 상기 고정대(12)를 고정함과 아울러 상.하로 이동이 가능하도록 하는 이동수단의 하나의 부재인 랙기어가 형성된 지지대(13)가 베이스 플레이트(14)에 설치고정되며, 상기 고정대(12)에는 상기 지지대(13)에 형성된 랙기어와 맞물려 구동하므로써 그 고정대(12)가 상.하로 동작하는 피니언기어(미도시)와 그 피니언기어를 구동하는 구동모터(15a)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 3, the probe card cleaning apparatus according to the present invention includes a holder 12 on which a negative electrode of DC power is applied and a cleaning sheet 11 on which a sodium hydroxide (NaOH) solution, which is a cleaning material, is absorbed is mounted. The base plate is provided with a support plate 13 having a rack gear, which is a member of a moving means, which is fixed to the fixing stand 12 and which can be moved up and down. It is fixed to (14), and the pinned gear (not shown) and the pinion gear that is fixed up and down by operating the rack 12 formed in the support 13 to the fixture 12 is driven up and down. The drive motor 15a is provided.
상기 고정대(12)의 상부에는 세정할 프로브 카드(1)를 탑재하는 프로브 카드홀더(16)가 설치되어 있고, 그 프로브 카드홀더(16)에는 상기 지지대(13)에 형성된 랙기어에 의하여 상.하로 이동가능하도록 피니언기어(미도시)와 그 피니언기어를 구동하는 구동모터(15b)가 설치되어 있다.A probe card holder (16) is mounted on top of the holder (12), and the probe card holder (16) mounts the probe card (1) to be cleaned. A pinion gear (not shown) and a drive motor 15b for driving the pinion gear are provided to move downward.
또, 상기 프로브 카드홀더(16)는 중심부에 사각 관통공(16a)이 형성된 디스크형의 홀더몸체(16b)가 있고, 그 홀더몸체(16b)의 상부에는 직류 전원의 플러스 전극이 인가됨과 아울러 상기 홀더몸체(16b)에 탑재되는 프로브 카드(1)를 고정하는 디스크형의 고정판(17)이 설치되어 있다.In addition, the probe card holder 16 has a disk-shaped holder body 16b having a rectangular through hole 16a formed at the center thereof, and a positive electrode of DC power is applied to the upper portion of the holder body 16b. A disk-shaped fixing plate 17 for fixing the probe card 1 mounted on the holder body 16b is provided.
그리고, 상기 고정판에는 상기 제4a도와 제4b도에 도시된 바와 같이 상기 프로브 카드의 프로브카드접속단자(6)와 접속되는 다수개의 포고(Pogo)핀(17a)이 설치되어 있다.The fixing plate is provided with a plurality of pogo pins 17a connected to the probe card connection terminal 6 of the probe card as shown in FIGS. 4A and 4B.
도면상의 미설명 부호 15c는 상기 고정판을 구동하는 구동모터이고, 18은 직류전원 공급장치이며, 19a, 19b는 직류전원 공급라인이다.In the drawing, reference numeral 15c is a driving motor for driving the fixed plate, 18 is a DC power supply device, and 19a and 19b are DC power supply lines.
상기와 같이 구성된 프로브 카드 세정장치는, 먼저 상기 프로브 카드홀더의 홀더몸체(16b)에 상기 프로브 카드(1)가 탑재되면, 그 홀더몸체(16b)에 형성된 사각 관통공(16a)을 통하여 상기 프로브 카드의 니들(4)이 돌출되게 되고, 상기 홀더몸체(16b)의 상부에 설치되어 있는 고정판(17)의 이동수단인 구동모터(15c)에 전원을 인가하므로써, 그 고정판(17)은 상기 홀더몸체(16b)에 탑재되어 있는 프로브 카드(1)를 고정함과 아울러 상기 고정판(17)에 설치되어 있는 포고핀(17a)이 상가 프로브 카드의 프로브카드접속단자(6)와 접속되게 된다.In the probe card cleaning apparatus configured as described above, when the probe card 1 is mounted on the holder body 16b of the probe card holder, the probe may be formed through a rectangular through hole 16a formed in the holder body 16b. The needle 4 of the card protrudes, and by applying power to the drive motor 15c, which is a moving means of the fixed plate 17 installed on the upper portion of the holder body 16b, the fixed plate 17 is connected to the holder. While fixing the probe card 1 mounted on the body 16b, the pogo pin 17a provided on the fixing plate 17 is connected to the probe card connection terminal 6 of the mall probe card.
상기의 상태에서, 상기 고정대(12)를 상.하로 구동하는 피니언기어를 구동하는 구동모터(15a)에 전원을 인가하므로써, 상기 프로브 카드의 니들(4)은 상기 고정대(12)에 탑재되어 있는 세정시트(11)에 접촉되게 되고, 이러한 상태에서 상기 고정판(17)에 플러스 전원을 가하고 상기 고정대(12)에 마이너스 전원을 가하므로써, 상기 니들(4)이 세정되게 되는 것이다.In the above state, by applying power to the drive motor 15a for driving the pinion gear for driving the fixture 12 up and down, the needle 4 of the probe card is mounted on the holder 12. In this state, the needle 4 is cleaned by applying a positive power to the fixing plate 17 and a negative power to the holder 12 in this state.
상기와 같이 세정이 끝난 후에는 상기 고정판(17)과 고정대(12)에 가해진 전원을 차단하고, 상기 고정대(12)를 상.하로 구동하는 피니언기어를 구동하는 구동모터(15a)에 전원을 인가하므로써, 상기 세정시트(11)와 접촉되어 있는 니들(4)이 이탈되게 되고, 이러한 상태에서 상기 홀더몸체(16b)에 탑재되어 있는 프로브 카드(1)를 고정하는 고정판(17)을 상부로 이동하므로써 그 프로브 카드(1)를 분리할 수 있게 되는 것이다.After the cleaning is completed as described above, the power applied to the fixing plate 17 and the fixing stand 12 is cut off, and power is supplied to the driving motor 15a for driving the pinion gear for driving the fixing stand 12 up and down. Thus, the needle 4 in contact with the cleaning sheet 11 is detached, and in this state, the fixing plate 17 for fixing the probe card 1 mounted on the holder body 16b is moved upward. Thus, the probe card 1 can be removed.
상기와 같이 직류 전원의 마이너스 전원이 인가됨과 아울러 세정물질이 탑재되는 고정대와, 상기 직류 전원의 플러스 전원이 인가됨과 아울러 세정할 프로브 카드가 탑재되는 프로브 카드홀더 그리고 상기 고정대에 탑재되어 있는 세정시트에 상기 프로브 카드홀더에 탑재되어 있는 프로브 카드의 니들을 접촉시킬 수 있는 이동수단을 구비하여 상기 프로브 카드를 세정할 수 있는 세정장치를 구성하므로써, 상기 프로브 카드의 니들이 마모되는 것을 방지하게 됨과 아울러 상기 프로브 카드의 수명 단축을 방지하고, 또 상기 프로브 카드의 니들을 한꺼번에 세정할 수 있게 세정작업시간을 단축할 수 있게 된다.As described above, to a holder for applying a negative power of DC power and mounting a cleaning material, a probe card holder for mounting a probe card to be loaded with the positive power of DC power, and a cleaning sheet mounted on the holder. By providing a cleaning device for cleaning the probe card by providing a moving means for contacting the needle of the probe card mounted on the probe card holder, it is possible to prevent the needle of the probe card from being worn, and It is possible to shorten the life of the card and to shorten the cleaning time so that the needle of the probe card can be cleaned at once.
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