KR0161193B1 - Needle cleaning apparatus of auto prober - Google Patents
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Abstract
본 발명은 오토 프로브 카드(auto probe card)의 니들(needle)이나 익스터널 프로버(external prober)의 니들만을 쉽고 안전하게 세척할 수 있도록 한 오토 프로버의 니들 자동 세척장치에 관한 것으로, 이러한 본 발명은 피작업체를 고정하는 수단, 상기 고정수단에 의해 고정된 피작업체의 니들이 잠기는 용기로써 내부에 세척액이 채워져 상하 방향으로 이동하는 세척 용기, 상기 세척 용기를 상,하 이동시키기 위한 구동수단, 상기 구동수단의 구동을 제어하여 세척 용기의 상승 높이를 제어하는 것으로써 피작업체의 니들이 세척액에 잠기도록 세척 용기의 작업 위치를 설정하는 위치설정수단, 상기 세척 용기의 밑면 중앙에 설치되어 세척 용기에 미세 진동을 발생시키는 진동자, 및 상기 구성 부품들의 동작을 제어하는 회로로 구성되어 있으며, 상기 위치설정수단은 스텝핑 모터의 나사축에 결합되어 승,하강하는 승강부재와, 상기 승강부재를 지지하는 것으로써 승강부재의 상,하 이동 거리를 제한하는 홈이 형성된 몸체와, 상기 승강부재와 세척 용기 사이에 개재되어 세척 용기를 지지하는 부재와, 상기 세척 용기의 상부 측면에 고정되어 세척 용기의 상승 높이를 제한하는 하이 리미트 스위치와, 상기 몸체에 고정되어 세척 용기의 하강 위치를 제한하는 로우 리미트 스위치로 구성되어 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 프로프 카드의 기판에는 전혀 영향을 주지 않고 단지 니들만을 초음파 세척하므로 종래 수작업 또는 초음파 세척기를 이용함으로써 야기되는 프로브 카드의 데미지를 줄일 수 있고, 세척 작업을 쉽고 안전하게 할 수 있다.The present invention relates to a needle auto-cleaning apparatus of an auto prober, which enables easy and safe cleaning of only a needle of an auto probe card or an needle of an external prober. Silver means for fixing the workpiece, the needle of the workpiece fixed by the fixing means is filled with the cleaning liquid inside the cleaning container to move in the vertical direction, drive means for moving the cleaning container up and down, the drive Positioning means for setting the working position of the cleaning container so that the needle of the workpiece to be submerged in the cleaning liquid by controlling the drive of the means to control the rising height of the cleaning container, installed in the center of the bottom surface of the cleaning container and fine vibration in the cleaning container It consists of a vibrator for generating a, and a circuit for controlling the operation of the components, the positioning The stage is coupled to the screw shaft of the stepping motor, the elevating member to move up and down, the body formed with a groove for limiting the up and down movement distance of the elevating member by supporting the elevating member, and between the elevating member and the washing vessel A high limit switch fixed to the upper side of the cleaning container to limit the rising height of the cleaning container, and a low limit switch fixed to the body to limit the lowering position of the cleaning container. Consists of. According to the present invention, since only the needle is ultrasonically cleaned without affecting the substrate of the probe card at all, the damage of the probe card caused by the conventional manual or ultrasonic cleaner can be reduced, and the cleaning operation can be easily and safely performed. have.
Description
제1도는 (a)(b)는 본 발명의 일 예를 보인 도면으로서,1 is a view showing an example of the present invention (a) and (b),
(a)는 본 발명의 구조 및 동작을 보인 개략도 이고,(a) is a schematic diagram showing the structure and operation of the present invention,
(b)는 본 발명의 요부 분해도이다.(b) is the principal part exploded view of this invention.
제2도는 본 발명의 동작 제어를 위한 블럭 다이아 그램.2 is a block diagram for operation control of the present invention.
제3도는 본 발명의 다른 예를 보인 것으로, 익스터널 프로버의 니들 세척 상태도.Figure 3 shows another example of the present invention, the needle cleaning state of the external prober.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 프로브 카드 2 : 홀더1: probe card 2: holder
3 : 세척 용기 4 : 스텝핑 모터3: washing container 4: stepping motor
4a : 나사축 5 : 승강부재4a: screw shaft 5: elevating member
6 : 몸체 6a : 홈6: body 6a: groove
7 : 지지부재 8 : 진동자7 support member 8 vibrator
9 : 하이 리미트 스위치 10 : 로우 리미트 스위치9: high limit switch 10: low limit switch
11 : 타이머11: timer
본 발명은 오토 프로브 카드(auto probe card)의 니들(needle)이나 익스터널 프로버(external prober)의 니들만을 쉽고 안전하게 세척할 수 있도록 한 오토 프로버의 니들 자동 세척장치에 관한 것이다.The present invention relates to a needle auto-cleaning apparatus of an auto prober, which enables to easily and safely clean only a needle of an auto probe card or an needle of an external prober.
일반적으로 소정의 단위 공정을 거친 웨이퍼상의 각 칩의 특성검사 등을 포함하는 반도체 분석 방법에 프로빙이라는 것이 있다. 프로빙이란 트랜지스터나 IC칩의 패드에 프로브를 세워 해당 칩의 특성검사 등을 행하는 방법으로, 주로 프로브 카드라는 중간 매개체를 이용하고 있다.In general, there is a method of probing in a semiconductor analysis method including a characteristic test of each chip on a wafer that has undergone a predetermined unit process. Probing is a method in which a probe is placed on a pad of a transistor or an IC chip to test the characteristics of the chip, and an intermediate medium called a probe card is mainly used.
상기 프로브 카드는 대략 사각 형태의 소형기판으로 이루어지는 바, 이 소형기판의 일측에는 테스터 등에 연결하기 위한 외부접속패드가 형성되어 있고, 중간부에 형성된 통공에는 웨이퍼의 해당 칩에 접촉하여 시그널을 주고 받는 다수개의 니들이 배열된 구조로 되어 있다.The probe card is made of a small rectangular board having a substantially rectangular shape. An external connection pad for connecting a tester or the like is formed at one side of the small board, and the through hole formed in the middle portion contacts and transmits a signal to a corresponding chip of the wafer. A plurality of needles are arranged in an arrangement.
이와 같은 프로브 카드는 테스터의 헤드에 놓인 웨이퍼 위에 위치하게 되는데, 그의 니들이 칩의 패드에 일대일로 대응, 접촉하는 것에 의하여 칩과 테스트간의 신호 교환이 이루어지면서 검사가 진행된다.The probe card is placed on the wafer placed on the head of the tester, and the needle is in contact with the pad of the chip in one-to-one contact with the chip, so that the inspection is performed as the signal is exchanged between the chip and the test.
이와 같이 칩의 패드에 접촉하는 니들의 단부에는 작업을 반복함에 따라 칩의 박막이나 먼지 등의 이물질을 묻어 존재하게 되는데, 니들의 단부에 이물질이 존재하게 되면 칩과 테스터간의 전기적인 도통이 이루어지지 않게 됨으로써 테스트 불량을 야기시키므로 주기적인 세척 작업을 해주어야 한다.As such, the end of the needle contacting the pad of the chip is buried with foreign matter such as a thin film or dust of the chip as the work is repeated. If the foreign material is present at the end of the needle, electrical conduction between the chip and the tester is not achieved. This will cause poor test results and should be cleaned periodically.
종래에는 니들의 세척을 수작업으로 하거나, 또는 초음파 세척기에 프로브 카드 전체를 담그는 방법에 의존하고 있었다. 즉 알콜등의 세척액을 면봉에 묻혀 각각의 니들을 세척하거나, 또는 초음파 세척기를 이용하여 니들의 세척 작업을 행하고 있었다.Conventionally, the needle was washed by hand, or the whole of the probe card was immersed in an ultrasonic cleaner. In other words, each of the needles were washed with a cotton swab, such as alcohol, or the needles were cleaned using an ultrasonic cleaner.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 니들 세척방법은, 면봉을 이용하는 수작업에 있어서는, 시간이 많이 소요된다는 문제가 있었고, 또 사람이 손으로 클리어를 하므로 자칫 무리한 힘을 가할 수 있어 니들에 손상을 줄 우려가 있으며 힘을 적게 가하면 세척이 제대로 이루어지지 않게 되는 등 세심한 주의를 기울여야하는 단점이 있었다.However, the conventional needle cleaning method as described above has a problem that it takes a lot of time in the manual operation using a cotton swab, and since the person clears it by hand, it may cause excessive force and damage the needle. There was a drawback that you have to pay close attention, such as not being properly cleaned if you apply less force.
또한 종래의 초음파 세척기에 의한 방법에 있어서는, 프로브 카드 전체를 세척통에 투입하여 세척하므로 프로브 카드 전체가 흔들림으로써 기판이 손상을 입을 우려가 있었다.In addition, in the conventional ultrasonic cleaner, the entire probe card is put into the washing tub and washed, so that the entire probe card may be shaken to damage the substrate.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해소하기 위하여 창안한 것으로, 프로브 카드의 니들 또는 익스터널 프로버의 니들만을 세척액이 채워진 세척 용기에 담그어 초음파 세척할 수 있는 오토 프로버의 니들 자동 세척장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, the needle automatic cleaning device of the auto prober that can ultrasonically immerse only the needle of the probe card or the needle of the external prober in the cleaning container filled with the cleaning liquid The purpose is to provide.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 피작업체를 고정하는 수단, 상기 고정수단에 의해 고정된 피작업체의 니들이 잠기는 용기로써 내부에 세척액이 채워져 상하 방향으로 이동하는 세척 용기, 상기 세척 용기를 상,하 이동시키기 위한 구동수단, 상기 구동수단의 구동을 제어하여 세척 용기의 상승높이를 제어하는 것으로써 피작업체의 니들이 세척액에 잠기도록 세척 용기의 작업 위치를 설정하는 위치설정수단, 상기 세척 용기의 밑면 중앙에 설치되어 세척 용기에 미세 진동을 발생시키는 진동자, 및 상기 구성 부품들의 동작을 제어하는 회로를 구비하여 구성한 것을 특징으로 하는 오토 프로버의 니들 자동 세척장치를 제공함으로써 달성된다.An object of the present invention as described above, the means for fixing the workpiece, the needle of the workpiece fixed by the fixing means is filled with the cleaning liquid inside the cleaning container to move in the vertical direction, the cleaning container up, down Positioning means for setting the working position of the washing vessel so that the needle of the workpiece is submerged in the washing liquid by controlling the driving height of the driving means, by controlling the drive of the driving means to move, the center of the bottom of the washing vessel It is achieved by providing a needle auto-cleaning device of the auto prober, characterized in that it is provided with a vibrator for generating a fine vibration in the washing vessel, and a circuit for controlling the operation of the components.
상기 고정수단은 프로브 카드를 고정할 수 있는 통상의 홀더, 또는 익스터널 프로버를 고정할 수 있는 진공척으로 구성되며, 상기 구동수단은 스텝핑 모터로 함이 바람직하다.The fixing means is composed of a conventional holder for fixing a probe card, or a vacuum chuck for fixing an external prober, and the driving means is preferably a stepping motor.
또한 상기 위치설정수단은 스텝핑 모터의 나사축에 결합되어 승,하강하는 승강부재와, 상기 승강부재를 지지하는 것으로써 승강부재의 상,하 이동거리를 제한하는 홈이 형성된 몸체와, 상기 승강부재와 세척 용기 사이에 개재되어 세척 용기를 지지하는 부재와, 상기 세척 용기의 상부 측면에 고정되어 세척 용기의 상승 높이를 제한하는 하이 리미트 스위치와, 상기 몸체에 고정되어 세척 용기의 하강 위치를 제한하는 로우 리미트 스위치로 구성된다.In addition, the positioning means is coupled to the screw shaft of the stepping motor lifting member to move up and down, the body formed with a groove for limiting the moving distance of the lifting member by supporting the lifting member, and the lifting member And a member interposed between the cleaning container and the cleaning container to support the cleaning container, a high limit switch fixed to an upper side of the cleaning container to limit the rising height of the cleaning container, and fixed to the body to restrict the lowering position of the cleaning container. It consists of a low limit switch.
한편, 본 발명은 세척 시간의 자동 설정을 위한 타이머가 더 구비된다.On the other hand, the present invention is further provided with a timer for automatic setting of the cleaning time.
이와 같은 본 발명에 의하면, 프로프 카드의 기판에는 전혀 영향을 주지 않고 단지 니들만을 초음파 세척하므로 종래 수작업 또는 초음파 세척기를 이용함으로써 야기되는 프로브 카드의 데미지를 줄일 수 있고, 세척 작업을 쉽고 안전하게 할 수 있다.According to the present invention, since only the needle is ultrasonically cleaned without affecting the substrate of the probe card at all, the damage of the probe card caused by the conventional manual or ultrasonic cleaner can be reduced, and the cleaning operation can be easily and safely performed. have.
이하, 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 오토 프로버의 니들 자동 세척장치를 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the automatic needle cleaning device of the auto prober according to the present invention as described above will be described in more detail based on the accompanying drawings.
첨부한 제1도의 (a)(b)는 본 발명의 일 예를 보인 도면으로서, (a)는 본 발명의 구조 및 동작을 보인 개략도 이고, (b)는 본 발명의 요부 분해도이다. 또한 제2도는 본 발명의 동작 제어를 위한 블럭 다이아 그램를 나타낸 것이다.(A) and (b) of FIG. 1 are diagrams showing an example of the present invention, (a) is a schematic view showing the structure and operation of the present invention, and (b) is an exploded view of main parts of the present invention. Figure 2 also shows a block diagram for the operation control of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 오토 프로버의 니들 자동 세척장치는 프로브 카드(1)를 고정하기 위한 홀더(2)의 하부에 프로브 카드(1)의 니들(1a)이 잠기는 세척 용기(3)가 설치되어 있다. 상기 세척 용기(3)에는 알콜 등과 같은 세척액이 채워져 있고, 승강 가능하게 설치되어 있다.As shown in the drawing, the auto probe cleaning device of the auto prober according to the present invention includes a cleaning container 3 in which the needle 1a of the probe card 1 is locked to the lower part of the holder 2 for fixing the probe card 1. ) Is installed. The washing container 3 is filled with a washing liquid such as alcohol, and is provided to be elevated.
상기 세척 용기(3)의 하부에는 그 세척 용기(3)를 상,하 이동시키기 위한 스텝핑 모터(4)가 설치되어 있다. 상기 스텝핑 모터(4)의 나사축(4a)에는 세척 용기(3)를 지지하는 승강부재(5)가 결합되어 있다. 이 승강부재(5)는 그 양단이 몸체(6)의 홈(6a)에 끼워지는 것에 의하여 지지되어 있다. 따라서 상기 승강부재(5)는 스텝핑 모터(4)의 구동에 의해 홈(6a)의 크기에 상당하는 행정거리를 유지하여 상,하 방향으로 이동하면서 세척 용기(3)를 상하 이동시킨다.A stepping motor 4 is installed below the washing container 3 to move the washing container 3 up and down. An elevating member 5 for supporting the washing vessel 3 is coupled to the screw shaft 4a of the stepping motor 4. The elevating member 5 is supported by its ends being fitted into the grooves 6a of the body 6. Therefore, the elevating member 5 moves the washing container 3 up and down while moving in the up and down direction while maintaining the stroke distance corresponding to the size of the groove 6a by the driving of the stepping motor 4.
또한 상기 세척 용기(3)와 승강부재(5)의 사이에는 지지부재(7)가 개재되어 있으며, 세척 용기(3)의 하면 중간부에는 그 세척 용기(3)를 진동시키는 진동자(8)가 부착되어 세척시 일정한 진동을 발생시키도록 되어 있다.In addition, a support member 7 is interposed between the washing vessel 3 and the elevating member 5, and a vibrator 8 for vibrating the washing vessel 3 in the middle of the lower surface of the washing vessel 3 is provided. It is attached to generate a constant vibration during cleaning.
한편, 상기 세척 용기(3)의 상부 측면에는 세척 용기(3)의 상승 높이를 제한하기 위한 하이 리미트 스위치(9)가 부착되어 있고, 몸체(6)의 일측에는 세척 용기(3)의 하강을 제한하는 로우 리미트 스위치(10)가 부착되어 있다.On the other hand, a high limit switch 9 is attached to the upper side of the washing container 3 to limit the rising height of the washing container 3, and one side of the body 6 allows the lowering of the washing container 3 to fall. A limiting low limit switch 10 is attached.
상기와 같은 두 개의 마이크로 스위치에 의해 세척 용기(3)의 작업 위치, 즉 프로브 카드(1)의 니들 중간부가 세척 용기(3)의 세척액에 잠기는 위치가 결정되는 바, 자세히 살펴보면, 초기에 스텝핑 모터(4)가 동작함에 따라 세척 용기(3)가 상승하게 되는데, 이 때 상기 하이 리미트 스위치(9)가 프로브 카드(1)의 기판에 접촉하는 순간 스텝핑 모터(4)는 멈추고 역으로 동작하여 세척 용기(3)를 하강 시킨다. 이 위치가 작업 위치가 되는 것이다. 이와 같은 작업 위치의 설정은 미리 회로에 프로그램하여 놓는다.By the two micro-switch as described above, the working position of the cleaning container 3, that is, the position where the needle intermediate part of the probe card 1 is immersed in the cleaning liquid of the cleaning container 3 is determined. As the (4) is operated, the washing vessel 3 rises, at which time the stepping motor 4 stops and operates in reverse to wash the high limit switch 9 in contact with the substrate of the probe card 1. Lower the container (3). This position becomes the working position. This setting of the working position is programmed in the circuit in advance.
그리고, 본 고안은 세척 시간을 자동으로 설정할 수 있는 타이머(11)가 구비되어 있는 바, 이는 제2도에 도시한 바와 같이, 씨피유(12)에 연결되어 있다. 또한 상기 씨피유(12)에는 하이 리미트 스위치(9)와 로우 리미트 스위치(10)가 연결되어 있고, 또한 모터 컨트롤 보드(13)가 연결되어 있다.In addition, the present invention is provided with a timer 11 that can automatically set the washing time, which is connected to the CPI 12, as shown in FIG. In addition, the CPI 12 is connected to the high limit switch 9 and the low limit switch 10, and the motor control board 13 is also connected.
도면에서 미설명 부호 14는 세척 용기(3)의 하강 거리 등이 입력되어 있는 이피롬을 보인 것이고, 15는 초음파 발진기를 보인 것이다. 상기 초음파 발진기(15)는 진동자(8)와 연결되어 있다. 또한 미설명 부호 16은 모터 브래키트를 보인 것이다.In the drawings, reference numeral 14 denotes an epipyrome in which the falling distance of the washing container 3 is input, and 15 denotes an ultrasonic oscillator. The ultrasonic oscillator 15 is connected to the vibrator 8. Reference numeral 16 also shows a motor bracket.
이하, 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 장치의 작용 및 그에 따르는 효과를 살펴본다.Hereinafter, the operation of the apparatus according to the present invention as described above and the effects thereof will be described.
세척 용기(3)에 세척액을 넣은 다음 스텝핑 모터(4)를 구동시키게 되면, 이 스텝핑 모터(4)의 구동에 의하여 세척 용기(3)가 상승하게 되는데, 이 때 그 용기에 부착된 하이 리미트 스위치(9)와 몸체(6)에 부착된 로우 리미트 스위치(10)의 작용에 의해 적정의 작업 위치가 결정되어 세척 용기(3)가 정지하게 된다. 이를 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.When the washing liquid is put into the washing container 3 and the stepping motor 4 is driven, the washing container 3 is raised by the driving of the stepping motor 4, at which time the high limit switch attached to the washing container 3 is attached. The proper working position is determined by the action of the low limit switch 10 attached to the body 9 and the cleaning container 3 to stop. Looking at this in more detail as follows.
세척 용기(3)는 그의 측면에 부착된 하이 리미트 스위치(9)가 프로브 카드(1)의 기판에 접촉하는 순간 상승을 멈춘다. 즉 스텝핑 모터(4)의 구동이 상기 하이 리미트 스위치(9)에 의해 멈추게 됨으로써 세척 용기(3)의 상승 동작이 멈추는 것이다. 이어서 상기 세척 용기(3)는 이피롬에 프로그램되어 있는 값만큼(약 1.5㎜) 역으로 내려와 정지하게 된다. 이 위치가 작업 위치가 되는 것이다. 이에 따라 니들의 중간부까지 세척 용기(3)의 세척액에 잠기게 된다. 이와 같은 상태에서 진동자가 구동하여 진동을 발생시키면서 세척 작업을 진행한다. 여기서 상기 세척 시간은 타이머에 의해 설정된다. 따라서 소정의 정해진 세척 시간이 경과하게 되면 세척 용기(3)가 하강하게 되는데 로우 리미트 스위치(10)에 접촉할 때까지 하강하여 멈춘다. 세척 용기(3)가 정지하게 되면 세척된 프로브 카드(1)를 제거하고 세척 용기(3)를 분리하여 세척에 사용했던 세척액을 버린다. 이상의 설명을 정리하여 보면, 세척 용기(3)는 스텝핑 모터(4)의 구동에 의해 위로 올라가다가 하이 리미트 스위치(9)가 프로브 카드(1)의 기판에 닺는 순간 다시 역으로 내려와 프로브 카드(1)의 기판과 니들(1a)의 단부 중간 사이에 멈추게 된다. 이때부터 초음파 세척이 시작되게 되는데, 타이머에 셋팅된 시간까지만 동작하게 된다. 그리고 정해진 시간이 되면 세척 용기(3)가 자동으로 내려오게 되고, 이 때 프로브 카드(1)를 홀더로부터 빼낸다. 즉 프로브 카드(1)의 니들(1a)만을 세척액에 담그어 초음파 세척을 하는 것이다.The cleaning vessel 3 stops rising as soon as the high limit switch 9 attached to its side contacts the substrate of the probe card 1. In other words, the driving of the stepping motor 4 is stopped by the high limit switch 9 so that the raising operation of the washing container 3 is stopped. Subsequently, the washing vessel 3 is lowered to the station by the value programmed in the pyrom (about 1.5 mm) and stopped. This position becomes the working position. Accordingly, it is immersed in the washing liquid of the washing container 3 to the middle of the needle. In this state, the vibrator is driven to perform the washing while generating vibration. The washing time is here set by a timer. Therefore, when the predetermined washing time has elapsed, the washing container 3 is lowered, but lowers and stops until it contacts the low limit switch 10. When the washing container 3 is stopped, the washed probe card 1 is removed, the washing container 3 is removed, and the washing liquid used for washing is discarded. In summary, the cleaning vessel 3 is moved upward by the driving of the stepping motor 4, and then descends again as soon as the high limit switch 9 touches the substrate of the probe card 1 and the probe card 1 ) And the middle of the end of the needle (1a). Ultrasonic cleaning is started from this time, and it operates only up to the time set in the timer. Then, when the predetermined time comes, the washing container 3 automatically comes down, and at this time, the probe card 1 is removed from the holder. That is, only the needle 1a of the probe card 1 is immersed in the cleaning solution for ultrasonic cleaning.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 프로프 카드의 기판에는 전혀 영향을 주지 않고 단지 니들만을 초음파 세척하므로 종래 수작업 또는 초음파 세척기를 이용함으로써 야기되는 프로브 카드의 데미지를 줄일 수 있고, 세척 작업을 쉽고 안전하게 할 수 있다.As described in detail above, according to the present invention, since only the needle is ultrasonically cleaned without affecting the substrate of the probe card, the damage of the probe card caused by the conventional manual work or the ultrasonic cleaner can be reduced, and the cleaning operation is performed. You can do it easily and safely.
한편, 첨부한 제3도는 본 발명의 다른 실시례를 보인 것으로, 이와 같은 다른 실시례는 도면에서 명백한 바와 같이, 프로브 카드 뿐만 아니라 익스터널 프로버의 니들도 세척할 수 있도록 하기 위하여 통상의 홀더 대신에 진공척(20)을 설치하여 프로버를 유동 없이 고정한 상태에서 쉽고 안전하게 세척 작업을 할 수 있도록 구성한 것으로, 그외 니들 세척장치를 구성하는 여타 다른 구성 및 작용 효과는 상술한 일 실시례와 동일하므로 도면에서 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하고 여기서는 상세한 설명을 생략한다.On the other hand, Figure 3 attached to show another embodiment of the present invention, as shown in the other drawings, as shown in the drawings, instead of the conventional holder in order to be able to clean the needle of the external prober as well as the probe card The vacuum chuck 20 is installed on the probe to fix the prober easily and safely in a state of no flow, and other configuration and operation effects of configuring the needle cleaning device are the same as in the above-described embodiment. In the drawings, like reference numerals refer to like parts, and detailed description thereof will be omitted herein.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시례에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시례에 한정되지 아니하며, 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시기 가능할 것이다.While the invention has been shown and described with respect to certain preferred embodiments, the invention is not limited to the embodiments described above, but in the field to which the invention pertains without departing from the spirit of the invention as claimed in the claims. Anyone with ordinary knowledge will be able to implement various changes.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950018031A KR0161193B1 (en) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | Needle cleaning apparatus of auto prober |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950018031A KR0161193B1 (en) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | Needle cleaning apparatus of auto prober |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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1995
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Also Published As
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