JP4460266B2 - Inspection device - Google Patents

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本発明は、表示用パネルの通電試験前に表示用パネルの電極を清掃する装置を備えた検査装置に関する。   The present invention relates to an inspection apparatus including an apparatus for cleaning electrodes of a display panel before an energization test of the display panel.
液晶表示パネルのような表示用パネルを検査する検査装置は、一般に、表示用パネルの電極に接触される複数の接触子をベースプレートに組み付け、そのベースプレートを装置のフレームに組み付け、表示用パネルをフレーム内に配置された検査テージに載せ、表示用パネルを検査ステージによりX,Y,Zの三方向へ移動させ、それにより表示用パネルの電極と接触子とを押圧する構造となっている(例えば、特許文献1,2を参照)。
In general, an inspection apparatus for inspecting a display panel such as a liquid crystal display panel has a plurality of contacts that are in contact with electrodes of the display panel assembled to a base plate, the base plate is assembled to a frame of the apparatus, and the display panel is framed. placed on arranged examined stages within, X by inspection stage the display panel, Y, is moved in the three directions of the Z, thereby has a structure for pressing the electrodes and the contacts of the display panel ( For example, see Patent Documents 1 and 2).
そのような検査装置において、接触子と表示用パネルの電極との電気的接続状態は、表示用パネルの電極に付着した塵埃に大きく影響され、時には電気的接続不良となって、表示用パネルの正確な検査をすることができないことがある。   In such an inspection apparatus, the electrical connection state between the contact and the electrode of the display panel is greatly affected by dust adhering to the electrode of the display panel, sometimes resulting in poor electrical connection, An accurate inspection may not be possible.
特開平1−124740号公報JP-A-1-124740 特開平8−254677号公報JP-A-8-254677
本発明の目的は、表示用パネルの電極に付着した塵埃を除去することにある。   An object of the present invention is to remove dust adhering to an electrode of a display panel.
本発明に係る検査装置は、矩形の表示用パネルを検査する検査部と、前記表示用パネルの電極を清掃する清掃部と、前記検査部と前記清掃部との間で前記表示用パネルを搬送する搬送装置とを含む表示用パネルの検査装置であって、前記検査部は、筐体に支持されて前記表示用パネルを受ける検査ステージを有し、前記清掃部は、前記筐体に組み付けられて前記表示用パネルを受けるパネル受けを備える清掃ステージと、前記表示用パネルにこれと平行の面内でX方向に間隔をおいて形成された複数の電極を清掃する清掃テープを備える清掃装置と、該清掃装置を前記X方向に移動させるX軸移動装置と、前記清掃装置を表示用パネルに垂直のZ方向に移動させるZ軸移動装置とを有し、前記清掃ステージは、前記パネル受けを前記表示用パネルに垂直のZ方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる回転装置を有し、前記X軸移動装置は、前記筐体に支持されたX方向に長い第1の固定子と、該第1の固定子にX方向に移動可能に組み付けられた第1の可動子とを有する第1のリニアガイド装置を有し、前記Z軸移動装置は、前記第1の可動子に組み付けられた、Z方向に長い第2の固定子と、該第2の固定子にZ方向に移動可能に組み付けられた第2の可動子とを有する第2のリニアガイド装置を有し、前記清掃装置は、前記第2の可動子に組み付けられている
An inspection apparatus according to the present invention conveys the display panel between an inspection unit that inspects a rectangular display panel , a cleaning unit that cleans electrodes of the display panel, and the inspection unit and the cleaning unit. A display panel inspection apparatus including a transporting device, wherein the inspection unit includes an inspection stage supported by a housing and receiving the display panel, and the cleaning unit is assembled to the housing. A cleaning stage including a panel receiver for receiving the display panel, and a cleaning device including a cleaning tape for cleaning a plurality of electrodes formed on the display panel at intervals in the X direction within a plane parallel to the display panel. An X-axis moving device that moves the cleaning device in the X direction; and a Z-axis moving device that moves the cleaning device in the Z direction perpendicular to the display panel. The cleaning stage receives the panel receiver. The display panel A rotating device that rotates at least angularly about an axis that extends in the Z direction perpendicular to the rod, and the X-axis moving device includes a first stator that is supported by the housing and that is long in the X direction; A first linear guide device having a first movable element assembled to the first stator so as to be movable in the X direction, and the Z-axis moving device is assembled to the first movable element. , A second linear guide device having a second stator that is long in the Z direction and a second mover that is assembled to the second stator so as to be movable in the Z direction. The second movable element is assembled to the second movable element .
極に付着している塵埃は、清掃テープを前記電極の少なくとも一部に接触させた状態で、表示用パネルと清掃装置とを方向に相対的に移動させることにより、前記清掃テープにより清掃されて、前記電極から確実に除去される。このため、検査装置は、清掃された表示用パネルの前記電極に検査装置の接触子を確実に電気的接触させることができ、前記表示用パネルの検査をすることができる。
The dust attached to electrodes, being in contact with at least a portion of the cleanup tape the electrodes, by relatively moving the display panel ToKiyoshi sweep apparatus in the X direction, the cleaning tape is cleaned by, it is reliably removed from the electrode. Therefore, the inspection apparatus can can be reliably electrically contacting the contacts of the testing apparatus to the electrode cleaning has been display panel, the inspection of the display panel.
検査は、さらに、複数のプローブを有するプローブブロックであってプローブの先端が前記電極に電気的に接続する複数のプローブブロックを含んでもよい。
The inspection unit may further include a plurality of probe blocks each having a plurality of probes, wherein the probe tips are electrically connected to the electrodes.
記清掃装置は、前記清掃テープの一端側が巻かれた第1の部材と、前記清掃テープの少なくとも他端側が巻かれた第2の部材であって前記第1の部材から前記方向に間隔をおいた第2の部材と、前記清掃テープが前記第1及び第2の部材の間の箇所において前記電極に当接するように掛けられた第3の部材と、前記清掃テープと前記電極とを前記方向に相対的に移動させる第1の駆動装置とを備えていてもよい。
Before KiKiyoshi sweep device, from said first member and, before KiKiyoshi sweep second member is a said first member, at least the other end is wound tapes one end of the cleanup tape wound a second member spaced in the X direction, and a third member before KiKiyoshi scavenging tape was subjected to abut before Symbol electrodes in locations between said first and second members, before the KiKiyoshi scavenging tape before Symbol electrodes may comprise a first driving device for relatively moving the X-direction.
記清掃装置は、前記第1、第2及び第3の部材が支持された第1の支持部材を備え、前記第1及び第2の部材は、それぞれ、前記方向に間隔をおいて前記表示用パネルと平行の面内で前記方向と交差する方向に互いに平行に伸びる第1及び第2の長尺部を有し、前記第3の部材は、前記第1及び第2の長尺部と平行に伸びる第3の長尺部であって、前記清掃テープが前記表示用パネルの側に掛けられた第3の長尺部を有し、第1の駆動装置は、前記清掃テープを前記第2の長尺部に巻き取らせるべく前記第2の長尺部を回転させて前記第1の長尺部を前記清掃テープにより従動させてもよい。そのようにすれば、前記清掃テープは、第3の長尺部の前記表示用パネルの側を第1の長尺部から第2の長尺部向けて移動される。このため、前記清掃テープが第3の長尺部を介して前記表示用パネルの前記電極に押圧された状態で移動されることにより、前記表示用パネルの前記電極に付着している塵埃は、前記清掃テープにより確実に拭き取られ、その結果検査装置の接触子は表示用パネルの前記電極に電気的に確実に接触される。
Before KiKiyoshi sweep apparatus, prior Symbol first, comprising a first support member having a second and third member being supported, the first and second members, respectively, you apart in the X direction having first and second elongate portions extending parallel to each other in the Y direction crossing the X direction in a plane parallel with the display panel have the third member, the first and second of a third elongate portion extending parallel to the elongated portion, before KiKiyoshi scavenging tape has a third arm member which is hung on the side of the display panel, a first drive unit may be a pre KiKiyoshi scavenging tape is driven by the second of the second said it rotates the elongated portion of the first arm member front KiKiyoshi scavenging tape in order to wound the long portion. By doing so, the cleaning tape is moved to the side of the display panel of the third arm member from the first arm portion toward the second elongate portion. Therefore, dust the cleaning tape is adhered to the third by being moved in a pressed state to the electrodes of the display panel through the elongate portion, the electrode of the display panel, wiped ensured by the cleaning tape, the contacts results inspection device is reliably electrically contacted to the electrodes of the display panel.
前記清掃部は、さらに、前記清掃装置を前記表示用パネルに垂直の方向に移動させるZ軸移動装置を有し、前記清掃装置は、記清掃テープを前記第3の長尺部の位置において前記電極に接触させる押圧力を制御する第1の制御装置を有するZ軸移動装置を有する。そのようにすれば、前記電極に付着している塵埃を適切な押圧力で除去することができる。
The cleaning unit further before has a Z-axis moving unit that moves in the Z direction perpendicular to KiKiyoshi scavenging device to said display panel, wherein the cleaning device, the front KiKiyoshi sweep tape said third elongate to have a Z-axis moving unit having a first control device for controlling the pressing force of contacting before Symbol electrodes at the location of the parts. By doing so, the dust adhered to the electrode can be removed at a suitable pressure.
前記X軸移動装置は、前記筐体に支持されたX方向に長い第1の固定子と、該第1の固定子にX方向に移動可能に組み付けられた第1の可動子とを有する第1のリニアガイド装置を有し、前記Z軸移動装置は、前記第1の可動子に組み付けられた、Z方向に長い第2の固定子と、該第2の固定子にZ方向に移動可能に組み付けられた第2の可動子とを有する第2のリニアガイド装置を有する。そのようにすれば、前記清掃装置を、X軸又はZ軸方向に精度良く移動させることができる。
The X-axis movement device includes a first stator that is long in the X direction supported by the housing, and a first mover that is assembled to the first stator so as to be movable in the X direction. 1 linear guide device, and the Z-axis moving device can be moved in the Z direction with respect to the second stator which is assembled to the first mover and which is long in the Z direction. A second linear guide device having a second mover assembled to the first mover. By doing so, the cleaning device, can be accurately moved in the X-axis or Z-axis direction.
前記清掃ステージは、前記パネル受けを前記表示用パネルに垂直の方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる回転装置を備える。そのようにすれば、前記電極の配列方向と前記清掃テープ又は前記清掃装置の移動方向の不一致を修正することができる。
The cleaning stage comprises a rotating device for at least angularly rotating said panel receiving about an axis extending in the Z direction perpendicular to the display panel. By doing so, it is possible to correct the movement direction of the mismatch between the arrangement direction of the electrode and the cleaning tape or the cleaning device.
前記回転装置の回転可能な角度は、少なくとも90°にすることができる。そのようにすれば、前記電極を清掃した後に、前記表示用パネルの他の辺に形成された複数の電極を清掃することができる。
The rotatable angle of the rotating device can be at least 90 °. That way, after cleaning the electrode, a plurality of electrodes formed on the other side of the display panel can be cleaned.
前記清掃ステージは、さらに、前記パネル受けを前記表示用パネルに平行の方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる転向装置を有していてもよい。そのようにすれば、前記表示用パネルの清掃が完了した後に、前記表示用パネルを検査担当者が検査しやすい角度に傾けて待機させることができる。
The cleaning stage may further comprise a deflection device for at least angularly rotated about an axis extending in the X direction parallel to the panel received in the display panel. By doing so, after it said cleaning of the display panel is completed, the display panel inspection personnel can be stand inclined at an angle easy inspection.
図1から図6を参照するに、検査装置10は、液晶表示パネルを長方形の表示用パネル12とする目視点灯検査に用いられる。検査装置10は、表示用パネル12を斜めに配置した状態で、作業者の肉眼による検査に用いられるように製造されている。   Referring to FIGS. 1 to 6, the inspection device 10 is used for a visual lighting inspection in which a liquid crystal display panel is a rectangular display panel 12. The inspection apparatus 10 is manufactured to be used for inspection with the naked eye of an operator with the display panel 12 disposed obliquely.
本実施例では、表示用パネル12の長い端縁の方向をX方向(第1の方向)といい、表示用パネル12の短い端縁の方向をY方向(第2の方向)といい、表示用パネル12に垂直の方向をZ方向(第3の方向)という。また、X,Y及びZ方向へ伸びる軸線を、それぞれ、X,Y及びZ軸線という。   In this embodiment, the direction of the long edge of the display panel 12 is referred to as the X direction (first direction), and the direction of the short edge of the display panel 12 is referred to as the Y direction (second direction). The direction perpendicular to the panel 12 is called the Z direction (third direction). In addition, axes extending in the X, Y, and Z directions are referred to as X, Y, and Z axes, respectively.
表示用パネル12は、長方形の辺のうち、隣り合うX方向及びY方向の端縁に、X方向及びY方向に配列された複数の第1及び第2の電極14及び16(図3参照)を有している。   The display panel 12 includes a plurality of first and second electrodes 14 and 16 arranged in the X direction and the Y direction on the adjacent edges in the X direction and the Y direction among the rectangular sides (see FIG. 3). have.
検査装置10は、筐体18と、表示用パネル12の電極14及び16を清掃する清掃部20と、表示用パネル12の点灯検査をする検査部22とを含む。清掃部20及び検査部22は、X方向に間隔をおいて筐体18の内部に備えられた支持部材(図示せず)に組み付けられている。   The inspection apparatus 10 includes a housing 18, a cleaning unit 20 that cleans the electrodes 14 and 16 of the display panel 12, and an inspection unit 22 that performs lighting inspection of the display panel 12. The cleaning unit 20 and the inspection unit 22 are assembled to a support member (not shown) provided inside the housing 18 with an interval in the X direction.
筐体18の前面上部は、傾斜面部24とされている。傾斜面部24は、清掃部20及び検査部22の位置に対応した箇所に表示用パネル12の受渡し及び目視検査に用いる開口26及び28を有する。開口26及び28は、表示用パネル12より大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有している。   An upper portion of the front surface of the housing 18 is an inclined surface portion 24. The inclined surface portion 24 has openings 26 and 28 used for delivery of the display panel 12 and visual inspection at locations corresponding to the positions of the cleaning portion 20 and the inspection portion 22. The openings 26 and 28 have a rectangular shape which is larger than the display panel 12 and whose corners are rounded.
検査部22は、開口30が形成されているプローブベース32と、プローブベース32に配置された複数のプローブブロック34と、表示用パネル12を受ける検査ステージ36とを含む。開口30は、表示用パネル12より大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有している。   The inspection unit 22 includes a probe base 32 in which an opening 30 is formed, a plurality of probe blocks 34 disposed on the probe base 32, and an inspection stage 36 that receives the display panel 12. The opening 30 is larger than the display panel 12 and has a rectangular shape with rounded corners.
プローブブロック34は、これをZ方向から見たとき、プローブブロック34のプローブの先端が検査ステージ36に配置された表示用パネル12の電極14及び16に重なるように、先端側を開口30の中心側に突出させている。プローブベース32及び検査ステージ36は、いずれも、筐体18に支持されている。プローブは、ニードルタイプ、ブレードタイプ等、いずれの種類のものであってもよい。   When the probe block 34 is viewed from the Z direction, the tip of the probe block 34 is positioned at the center of the opening 30 so that the tip of the probe of the probe block 34 overlaps the electrodes 14 and 16 of the display panel 12 disposed on the inspection stage 36. It protrudes to the side. Both the probe base 32 and the inspection stage 36 are supported by the housing 18. The probe may be of any type such as a needle type or a blade type.
図3及び図4に示すように、清掃部20は、表示用パネル12を受ける清掃ステージ40と、清掃ステージ40の周りにあって筐体18内に配置されたX方向及びY方向のパネル清掃装置(第1及び第2の清掃装置)42及び44を含む。   As shown in FIGS. 3 and 4, the cleaning unit 20 includes a cleaning stage 40 that receives the display panel 12, and panel cleaning in the X direction and the Y direction around the cleaning stage 40 and disposed in the housing 18. Devices (first and second cleaning devices) 42 and 44 are included.
X方向のパネル清掃装置(第1の清掃装置)42は、X方向に配列された電極14を清掃するように、X軸、Y軸及びZ軸移動装置(第1,第2及び第3の移動装置)48,50及び52により、X方向、Y方向及びZ方向に移動される。   The X-direction panel cleaning device (first cleaning device) 42 is configured to clean the electrodes 14 arranged in the X direction so as to move the X-axis, Y-axis, and Z-axis moving devices (first, second, and third). Moving devices) 48, 50, and 52 move in the X, Y, and Z directions.
Y方向のパネル清掃装置(第2の清掃装置)44は、Y方向に配列された電極16を清掃するように、Y軸、X軸及びZ軸移動装置(第4,第5及び第6の移動装置)56,58及び60により、Y方向、X方向及びZ方向に移動される。   The Y-direction panel cleaning device (second cleaning device) 44 is configured to move the Y-axis, X-axis, and Z-axis moving devices (fourth, fifth, and sixth) so as to clean the electrodes 16 arranged in the Y direction. It is moved in the Y direction, the X direction and the Z direction by moving devices) 56, 58 and 60.
検査装置10は、また、清掃部20及び検査部22に配置されている表示用パネル12及び12をそれぞれ検査部22から清掃部20へ及び清掃部20から検査部22へ同時期に搬送する一対の搬送装置62,62を含む。   The inspection apparatus 10 also conveys the display panels 12 and 12 arranged in the cleaning unit 20 and the inspection unit 22 from the inspection unit 22 to the cleaning unit 20 and from the cleaning unit 20 to the inspection unit 22 at the same time. Transport devices 62 and 62.
各搬送装置62は、筐体18に支持された一対のキャリア移動機構64,66と、キャリア移動機構64,66によりX方向へ個々に移動される一対のキャリア68,70と、キャリア68,70に組み付けられた一対のアーム72,74とを有する。   Each transport device 62 includes a pair of carrier moving mechanisms 64 and 66 supported by the casing 18, a pair of carriers 68 and 70 that are individually moved in the X direction by the carrier moving mechanisms 64 and 66, and carriers 68 and 70. And a pair of arms 72 and 74 assembled to each other.
アーム72及び74のそれぞれは、Y方向に間隔をおいた2つのホルダ89を有している。両アーム72及び74は、エアーシリンダのような挟持装置76によりY方向に移動されて、それらのホルダ89による表示用パネル12の挟持と解放を行う。   Each of the arms 72 and 74 has two holders 89 spaced in the Y direction. Both arms 72 and 74 are moved in the Y direction by a clamping device 76 such as an air cylinder, and the display panel 12 is clamped and released by the holder 89.
両アーム72及び74が相寄る方向へ移動されると、それら両アーム72,74のホルダ89は清掃部20又は検査部22に配置されている表示用パネル12のX方向へ伸びる一対の辺を共同して挟持する。   When both arms 72 and 74 are moved in the direction in which the arms 72 and 74 come together, the holders 89 of the arms 72 and 74 have a pair of sides extending in the X direction of the display panel 12 arranged in the cleaning unit 20 or the inspection unit 22. Clamp together.
両アーム72,74のホルダ89に挟持された表示用パネル12は、キャリア68及び70がX方向へ移動することにより、清掃部20から検査部22へ又はその逆に搬送される。   The display panel 12 sandwiched between the holders 89 of both arms 72 and 74 is conveyed from the cleaning unit 20 to the inspection unit 22 or vice versa as the carriers 68 and 70 move in the X direction.
検査部22又は清掃部20に搬送された表示用パネル12は、アーム72及び74が検査部22又は清掃部20において挟持装置76により相離れる方向へ移動されることにより、ホルダ89から解放されて、検査部22又は清掃部20に渡される。   The display panel 12 conveyed to the inspection unit 22 or the cleaning unit 20 is released from the holder 89 when the arms 72 and 74 are moved away from each other by the clamping device 76 in the inspection unit 22 or the cleaning unit 20. And passed to the inspection unit 22 or the cleaning unit 20.
検査ステージ36は、筐体18に支持されたZステージ78と、Zステージ78に組み付けられたXYθステージ80と、XYθステージ80に組み付けられたチャックトップ82とを含む。   The inspection stage 36 includes a Z stage 78 supported by the housing 18, an XYθ stage 80 assembled to the Z stage 78, and a chuck top 82 assembled to the XYθ stage 80.
チャックトップ82は、これに配置された表示用パネル12を真空的に吸着する。図示してはいないが、背面からの照明用のバックライトは、チャックトップ82内に配置されている。   The chuck top 82 vacuum-sucks the display panel 12 disposed on the chuck top 82. Although not shown, a backlight for illumination from the back surface is disposed in the chuck top 82.
チャックトップ82は、受けた表示用パネル12の電極14及び16の配置位置をプローブブロック34の位置に対応させるいわゆる位置決めのための2組のプッシャー88及び位置決めピン90を備えている。   The chuck top 82 includes two sets of pushers 88 and positioning pins 90 for so-called positioning in which the arrangement positions of the electrodes 14 and 16 of the received display panel 12 correspond to the positions of the probe block 34.
表示用パネル12がチャックトップ82の上面に配置されると、その表示用パネル12は、2組のプッシャー88及び88によりそれらと反対側に配置された位置決めピン90に短時間押圧される。これにより、表示用パネル12はチャックトップ82ひいてはプローブブロック34に対して位置決められる。   When the display panel 12 is disposed on the upper surface of the chuck top 82, the display panel 12 is pressed by the two pairs of pushers 88 and 88 against the positioning pins 90 disposed on the opposite side thereof for a short time. As a result, the display panel 12 is positioned with respect to the chuck top 82 and the probe block 34.
XYθステージ80は、チャックトップ82ひいてはこれに受けられた表示用パネル12をプローブブロック34に対して、X方向及びY方向に移動させると共に、Z方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる。これにより、チャックトップ82及びこれに受けられた表示用パネル12はプローブブロック34に対して正確に位置決められる。   The XYθ stage 80 moves the chuck top 82 and the display panel 12 received by the chuck top 82 in the X direction and the Y direction with respect to the probe block 34, and rotates it angularly around an axis extending in the Z direction. Thereby, the chuck top 82 and the display panel 12 received by the chuck top 82 are accurately positioned with respect to the probe block 34.
検査部22のZステージ78は、XYθステージ80を介してチャックトップ82ひいてはこれに受けられた表示用パネル12をプローブブロック34に対してZ方向に移動させる。これにより、チャックトップ82に取り付けられた表示用パネル12の電極14及び16とプローブブロック34のプローブとが、接触して電気的に接続される。   The Z stage 78 of the inspection unit 22 moves the chuck top 82 and the display panel 12 received by the chuck top 82 via the XYθ stage 80 in the Z direction with respect to the probe block 34. As a result, the electrodes 14 and 16 of the display panel 12 attached to the chuck top 82 and the probes of the probe block 34 come into contact and are electrically connected.
清掃ステージ40は、筐体18の支持部材に組み付けられたZステージ84と、Zステージ84に組み付けられたパネル受け86とを含む。   The cleaning stage 40 includes a Z stage 84 assembled to the support member of the housing 18, and a panel receiver 86 assembled to the Z stage 84.
パネル受け86は、受けた表示用パネル12をパネル受け86の中央位置に配置するための2組のセンターリングアーム92及び92を備えている。   The panel receiver 86 includes two sets of center ring arms 92 and 92 for arranging the received display panel 12 at the center position of the panel receiver 86.
表示用パネル12がパネル受け86の上面に配置されると、2組のセンターリングアーム92が相寄る方向へ移動されることにより、表示用パネル12はセンターリングをされる。これにより、その表示用パネル12はパネル受け86ひいてはパネル清掃装置42,44及びキャリア68,70に対して位置決めされる。   When the display panel 12 is disposed on the upper surface of the panel receiver 86, the display panel 12 is centered by moving the two sets of centering arms 92 toward each other. As a result, the display panel 12 is positioned with respect to the panel receiver 86 and the panel cleaning devices 42 and 44 and the carriers 68 and 70.
清掃部20のZステージ84は、パネル受け86を2組のキャリア68,70に対してZ方向に直接移動させて、パネル受け86に取り付けられた表示用パネル12をX方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44の清掃待機位置に移動させることができる。   The Z stage 84 of the cleaning unit 20 moves the panel receiver 86 directly in the Z direction with respect to the two sets of carriers 68 and 70 to move the display panel 12 attached to the panel receiver 86 in the X and Y directions. The cleaning devices 42 and 44 can be moved to the cleaning standby position.
図4及び図5に示すように、X方向のパネル清掃装置42用のY軸移動装置50は、筐体18に支持されてY方向へ伸びるリニアレール94と、Y方向に移動可能にリニアレール94に組み付けられたリニアブロック96とを有している。   As shown in FIGS. 4 and 5, the Y-axis moving device 50 for the panel cleaning device 42 in the X direction includes a linear rail 94 that is supported by the housing 18 and extends in the Y direction, and a linear rail that is movable in the Y direction. 94 and a linear block 96 assembled to 94.
X方向のパネル清掃装置42用のX軸移動装置48は、リニアブロック96に片持ち梁状に組み付けられてX方向へ伸びるリニアレール98と、X方向に移動可能にリニアレール98に組み付けられたリニアブロック100とを有している。   The X-axis movement device 48 for the panel cleaning device 42 in the X direction is assembled to the linear block 96 in a cantilever shape and extends in the X direction, and is assembled to the linear rail 98 so as to be movable in the X direction. And a linear block 100.
X方向のパネル清掃装置42用のZ軸移動装置52は、リニアブロック100に組み付けられてZ方向へ伸びるリニアレール102と、Z方向に移動可能にリニアレール102に組み付けられたリニアブロック104とを有している。   The Z-axis moving device 52 for the X-direction panel cleaning device 42 includes a linear rail 102 that is assembled to the linear block 100 and extends in the Z direction, and a linear block 104 that is assembled to the linear rail 102 so as to be movable in the Z direction. Have.
Y方向のパネル清掃装置44のX軸移動装置58は、筐体18に支持されてX方向へ伸びるリニアレール106と、X方向に移動可能にリニアレール106に組み付けられたリニアブロック108とを有している。   The X-axis moving device 58 of the panel cleaning device 44 in the Y direction has a linear rail 106 that is supported by the housing 18 and extends in the X direction, and a linear block 108 that is assembled to the linear rail 106 so as to be movable in the X direction. is doing.
Y方向のパネル清掃装置44のY軸移動装置56は、リニアブロック108に片持ち梁状に組み付けられてY方向へ伸びるリニアレール110と、Y方向に移動可能にリニアレール110に組み付けられたリニアブロック112とを有している。   The Y-axis moving device 56 of the panel cleaning device 44 in the Y direction includes a linear rail 110 that is assembled to the linear block 108 in a cantilever shape and extends in the Y direction, and a linear that is assembled to the linear rail 110 so as to be movable in the Y direction. Block 112.
Y方向のパネル清掃装置44のZ軸移動装置60は、リニアブロック112に組み付けられてZ方向へ伸びるリニアレール114と、Z方向に移動可能にリニアレール114に組み付けられたリニアブロック116とを有している。   The Z-axis moving device 60 of the panel cleaning device 44 in the Y direction has a linear rail 114 that is assembled to the linear block 112 and extends in the Z direction, and a linear block 116 that is assembled to the linear rail 114 so as to be movable in the Z direction. is doing.
リニアレール94,98,102,106,110及び114とリニアブロック96,100,104,108,112及び116とは、少なくともリニアガイド装置の一部を構成している。   The linear rails 94, 98, 102, 106, 110 and 114 and the linear blocks 96, 100, 104, 108, 112 and 116 constitute at least a part of the linear guide device.
図5に示すように、Z軸移動装置52及び60は、それぞれ、X方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44の清掃テープ120及び118をテンションロール124及び122の位置において電極14及び16に接触させる押圧力を制御する制御装置としても作用する。   As shown in FIG. 5, the Z-axis moving devices 52 and 60 respectively apply the cleaning tapes 120 and 118 of the panel cleaning devices 42 and 44 in the X and Y directions to the electrodes 14 and 16 at the positions of the tension rolls 124 and 122, respectively. It also functions as a control device for controlling the pressing force to be contacted.
図6に示すように、X方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44は、それぞれ、清掃テープ118及び120並びにテンションロール122及び124のほかに、さらに、支持部材として作用する取付板126及び128と、取付板126及び128にX方向及びY方向に間隔をおいて配置されたテープロール130及び132と、巻取ロール134及び136とを有する。   As shown in FIG. 6, in addition to the cleaning tapes 118 and 120 and the tension rolls 122 and 124, the panel cleaning devices 42 and 44 in the X direction and the Y direction, respectively, are further attached to mounting plates 126 and 128 that act as support members. And tape rolls 130 and 132 and winding rolls 134 and 136 disposed on the mounting plates 126 and 128 at intervals in the X and Y directions.
X方向のパネル清掃装置42のテンションロール122、テープロール130及び巻取ロール134は、X方向へ間隔をおいてY方向へ互いに平行に伸びている。Y方向のパネル清掃装置44のテンションロール124、テープロール132及び巻取ロール136は、Y方向に間隔をおいてX方向へ互いに平行に伸びている。   The tension roll 122, the tape roll 130, and the take-up roll 134 of the panel cleaning device 42 in the X direction extend in parallel to each other in the Y direction at intervals in the X direction. The tension roll 124, the tape roll 132, and the take-up roll 136 of the panel cleaning device 44 in the Y direction extend in parallel to each other in the X direction at intervals in the Y direction.
テンションロール122及び124は、それぞれ、X方向及びY方向においてテープロール130及び132と巻取ロール134及び136との間に配置されていると共に、テープロール130及び132並びに巻取ロール134及び136よりも表示用パネル12の側とされている。   The tension rolls 122 and 124 are arranged between the tape rolls 130 and 132 and the take-up rolls 134 and 136 in the X direction and the Y direction, respectively, and from the tape rolls 130 and 132 and the take-up rolls 134 and 136, respectively. Is also on the display panel 12 side.
清掃テープ118及び120は、それぞれ、テープロール130及び132に巻かれている。清掃テープ118及び120は、それぞれ、テンションロール122及び124の表示用パネル12の側を経て少なくとも先端部を巻取ロール134及び136に巻かれている。   The cleaning tapes 118 and 120 are wound around tape rolls 130 and 132, respectively. The cleaning tapes 118 and 120 are wound around winding rolls 134 and 136 at least at the front end portions through the display panel 12 side of the tension rolls 122 and 124, respectively.
X方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44は、それぞれ、巻取ロール134及び136を駆動装置138及び140により回転させてテープロール130及び132を清掃テープ118及び120により従動させる。   The panel cleaning devices 42 and 44 in the X direction and the Y direction rotate the winding rolls 134 and 136 by the driving devices 138 and 140, respectively, and drive the tape rolls 130 and 132 by the cleaning tapes 118 and 120, respectively.
清掃テープ118,120として、微細な研磨剤や粘着材を樹脂テープの一方の面にコーティングしたテープ、布テープ等を用いることができる。後者の場合、清掃時に水のような液体を布テープに添加される。   As the cleaning tapes 118 and 120, a tape, a cloth tape, or the like in which a fine abrasive or an adhesive is coated on one surface of the resin tape can be used. In the latter case, a liquid such as water is added to the fabric tape during cleaning.
ロール122,124,130,132,134,136は、長尺部を備えている。それらロールの代わりに、リールのよう他の部材を用いてもよい。
The rolls 122, 124, 130, 132, 134, 136 have long portions. Instead of these rolls, other members such as reels may be used.
検査装置10は、例えば、以下のように動作する。   For example, the inspection apparatus 10 operates as follows.
先ず、表示用パネル12が人手により清掃部20の清掃ステージ40に配置される。この表示用パネル12は、パネル受け86に配置された一対のセンターリングアーム92によりセンターリングをされて、パネル受け86の中央に位置決めされる。   First, the display panel 12 is manually placed on the cleaning stage 40 of the cleaning unit 20. The display panel 12 is centered by a pair of center ring arms 92 disposed on the panel receiver 86 and positioned at the center of the panel receiver 86.
次いで、Z方向から見たとき、清掃テープ118及び120が電極14及び16に重なるように、X方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44がそれぞれY軸移動装置50及びX軸移動装置58により微動される。   Next, when viewed from the Z direction, the panel cleaning devices 42 and 44 in the X direction and the Y direction are moved by the Y axis moving device 50 and the X axis moving device 58 so that the cleaning tapes 118 and 120 overlap the electrodes 14 and 16, respectively. Slightly moved.
次いで、X方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44がそれぞれZ軸移動装置52及び60により表示用パネル12に向けて移動されることにより、テンションロール122及び124の表示用パネル12の側に位置している清掃テープ118及び120の箇所が電極14及び16に接触される。   Subsequently, the panel cleaning devices 42 and 44 in the X direction and the Y direction are moved toward the display panel 12 by the Z axis moving devices 52 and 60, respectively, so that the tension rolls 122 and 124 are moved to the display panel 12 side. The locations of the cleaning tape 118 and 120 that are located are in contact with the electrodes 14 and 16.
次いで、巻取ロール134及び136が、それぞれ、駆動装置138及び140により回転されて、清掃テープ118及び120を巻き取る。これにより、テープリール130及び132は、それぞれ、引き出される清掃テープ118及び120により巻取ロール134及び136の回転に従動される。   Next, the winding rolls 134 and 136 are rotated by the driving devices 138 and 140, respectively, to wind the cleaning tapes 118 and 120. As a result, the tape reels 130 and 132 are driven by the rotation of the take-up rolls 134 and 136 by the cleaning tapes 118 and 120 drawn out, respectively.
上記状態で、X方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44が、それぞれ、X軸移動装置48及びY軸移動装置56によって移動される。このとき、清掃テープ118及び120が、それぞれ、テンションロール122及び124の表示用パネル12の側の箇所において電極14及び16に接触しつつ、X方向及びY方向に接触移動されるから、清掃テープ118及び120は電極14及び16に付着している塵埃を確実に拭き取る。   In the above state, the panel cleaning devices 42 and 44 in the X direction and the Y direction are moved by the X axis moving device 48 and the Y axis moving device 56, respectively. At this time, the cleaning tapes 118 and 120 are moved in the X direction and the Y direction while being in contact with the electrodes 14 and 16 at the positions on the display panel 12 side of the tension rolls 122 and 124, respectively. 118 and 120 reliably wipe off dust adhering to the electrodes 14 and 16.
上記のように清掃部20において清掃している間、検査部22に配置された表示用パネル12は、XYθステージ80により位置決められた後、Zステージ78によりZ方向に移動されて、電極14及び16をそれぞれプローブブロック34のプローブに押圧される。   While cleaning is performed in the cleaning unit 20 as described above, the display panel 12 disposed in the inspection unit 22 is positioned by the XYθ stage 80 and then moved in the Z direction by the Z stage 78, so that the electrodes 14 and 16 are each pressed by the probe of the probe block 34.
上記状態で、検査部22に配置された表示用パネル12に通電されて、その表示用パネル12が点灯され、その表示用パネル12の目視検査が行われる。   In the above state, the display panel 12 arranged in the inspection unit 22 is energized, the display panel 12 is turned on, and the display panel 12 is visually inspected.
電極14及び16に付着していた塵埃は、上述のように予め清掃テープ118及び120によって確実に取り除かれているから、電極14及び16はプローブブロック34のプローブに電気的に確実に接触する。これにより、表示用パネル12の点灯検査を正確に行うことができる。   Since the dust adhering to the electrodes 14 and 16 is securely removed in advance by the cleaning tapes 118 and 120 as described above, the electrodes 14 and 16 are in electrical contact with the probes of the probe block 34 reliably. Thereby, the lighting test | inspection of the display panel 12 can be performed correctly.
次いで、清掃部20における清掃及び検査部22における検査が終了した後、清掃部20に配置されている表示用パネル12が一方の搬送装置62により検査部22に搬送されると共に、検査部22に配置されている表示用パネル12を他方の搬送装置62により清掃部20に搬送する。   Next, after the cleaning in the cleaning unit 20 and the inspection in the inspection unit 22 are finished, the display panel 12 arranged in the cleaning unit 20 is transported to the inspection unit 22 by the one transport device 62 and also to the inspection unit 22. The arranged display panel 12 is transported to the cleaning unit 20 by the other transport device 62.
本発明は、表示用パネル12を斜めの状態で検査する装置のみならず、表示用パネル12を上向きの状態で検査する装置等、他のタイプの検査装置にも適用することができる。   The present invention can be applied not only to an apparatus that inspects the display panel 12 in an oblique state but also to other types of inspection apparatuses such as an apparatus that inspects the display panel 12 in an upward state.
図7に示すように、検査対象の表示用パネル12のタイプによっては、検査装置は、X方向及びY方向のパネル清掃装置42及び44のいずれか一方のみを備えていてもよい。   As illustrated in FIG. 7, depending on the type of the display panel 12 to be inspected, the inspection apparatus may include only one of the panel cleaning apparatuses 42 and 44 in the X direction and the Y direction.
図7に示す例では、X方向のパネル清掃装置42のみを備えていると共に、パネル受け86を角度的に回転させるθステージ150を清掃ステージ40に備えている。この例においては、X方向のパネル清掃装置42は、電極16を清掃した後、θステージ150を90°だけ回転させ、電極14を清掃する。   In the example shown in FIG. 7, only the X-direction panel cleaning device 42 is provided, and the cleaning stage 40 includes a θ stage 150 that angularly rotates the panel receiver 86. In this example, the panel cleaning device 42 in the X direction cleans the electrode 14 by rotating the θ stage 150 by 90 ° after cleaning the electrode 16.
しかし、電極14,16の配置位置によっては、θステージ150によるパネル受け86の回転可能の角度は90°以外であってもよく、例えば、180°であってもよい。そのようにすれば、矩形の対向する一対辺の電極又は矩形の対向する一対辺とそれらの辺と交差する方向の辺の電極は、共通のパネル清掃装置42で清掃することができる。   However, depending on the arrangement position of the electrodes 14 and 16, the angle at which the panel receiver 86 can be rotated by the θ stage 150 may be other than 90 °, for example, 180 °. If it does in that way, the common panel cleaning apparatus 42 can clean the electrode of a pair of sides which a rectangle opposes or a pair of sides which a rectangle opposes, and the direction of the direction which cross | intersects those sides.
図8に示すように、検査装置は、清掃ステージ40にX軸の周りを角度的に回転可能の転向装置170を備えていてもよい。そのようにすれば、清掃ステージ40は、清掃ステージ40に対する表示用パネル12の受渡しを水平状態で行い、表示用パネル12の向きを転向装置170により傾斜状態に配置されている搬送装置62と平行の位置まで転向させ、搬送装置62に表示用パネル12を搬送させることができる。
As shown in FIG. 8, the inspection device around the X axis to the cleaning stage 40 may comprise angularly rotatable diverter 170. By doing so, the cleaning stage 40 performs delivery of the display panel 12 to the cleaning stage 40 in a horizontal state, and the direction of the display panel 12 is parallel to the transport device 62 arranged in an inclined state by the turning device 170. The display panel 12 can be transported to the transport device 62.
図8に示す検査装置は、さらに、複数の表示用パネル12を水平状態にカセット174に格納したカセット部176と、カセット174に格納された表示用パネル12を清掃ステージ40及びカセット174に対し受渡すロボット172とを備えている。

The inspection apparatus shown in FIG. 8 further receives the cassette unit 176 in which a plurality of display panels 12 are horizontally stored in the cassette 174 and the display panel 12 stored in the cassette 174 to the cleaning stage 40 and the cassette 174. and a robot 172 to pass.

本発明は、液晶が封入された液晶表示パネルのみならず、それ用のガラス基板、有機EL等、他の表示用パネルの検査装置にも適用することができる。   The present invention can be applied not only to a liquid crystal display panel in which liquid crystal is sealed, but also to other display panel inspection devices such as a glass substrate and an organic EL.
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。   The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
本発明に係る検査装置の外観を示す正面図である。It is a front view which shows the external appearance of the inspection apparatus which concerns on this invention. 図1に示す検査装置の右側面図である。It is a right view of the inspection apparatus shown in FIG. 図1に示す検査装置の内部に配置されている清掃部及び検査部の付近の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the vicinity of the cleaning part and inspection part which are arrange | positioned inside the inspection apparatus shown in FIG. 図1に示す検査装置の内部に配置されているパネル清掃装置及び各種の移動装置の拡大斜視図である。It is an expansion perspective view of the panel cleaning apparatus arrange | positioned inside the inspection apparatus shown in FIG. 1, and various moving apparatuses. 図4に示すパネル清掃装置による清掃作業を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the cleaning operation | work by the panel cleaning apparatus shown in FIG. 図4に示すパネル清掃装置の拡大斜視図である。It is an expansion perspective view of the panel cleaning apparatus shown in FIG. パネル清掃装置の他の実施例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the other Example of a panel cleaning apparatus. 本発明に係る検査装置のさらに他の実施例を示す図である。It is a figure which shows the further another Example of the test | inspection apparatus which concerns on this invention.
符号の説明Explanation of symbols
10 検査装置
12 表示用パネル
14,16 表示用パネルの電極
18 筐体
20 清掃部
22 検査部
24 傾斜面部
26 開口
28 開口
30 開口
32 プローブベース
34 プローブブロック
36 検査ステージ
40 清掃ステージ
42 X方向のパネル清掃装置
44 Y方向のパネル清掃装置
48,50,52 移動装置(第1,第2及び第3の移動装置)
58,56,60 移動装置(第4,第5及び第6の移動装置)
62 搬送装置
64,66 キャリア移動機構
68,70 キャリア
72,74 アーム
76 挟持装置
78 検査部のZステージ
80 検査部のXYθステージ
82 チャックトップ
84 清掃部のZステージ
86 パネル受け
88 プッシャー
89 ホルダ
90 位置決めピン
92 センターリングアーム
94,98,102,106,110,114 リニアレール
96,100,104,108,112,116 リニアブロック
118,120 第1及び第2の清掃テープ
122,124 テンションロール(第3及び第6の部材)
126,128 取付板(支持部材)
130,132 テープロール(第1及び第4の部材)
134,136 巻取ロール(第2及び第5の部材)
138,140 第1及び第2の駆動装置
150 清掃部のθステージ
170 清掃部の転向装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 Display panel 14,16 Display panel electrode 18 Case 20 Cleaning part 22 Inspection part 24 Inclined surface part 26 Opening 28 Opening 30 Opening 32 Probe base 34 Probe block 36 Inspection stage 40 Cleaning stage 42 X direction panel Cleaning device 44 Panel cleaning device in Y direction 48, 50, 52 Moving device (first, second and third moving devices)
58, 56, 60 moving devices (fourth, fifth and sixth moving devices)
62 Transport device 64, 66 Carrier moving mechanism 68, 70 Carrier 72, 74 Arm 76 Holding device 78 Z stage of inspection section 80 XYθ stage of inspection section 82 Chuck top 84 Z stage of cleaning section 86 Panel receiver 88 Pusher 89 Holder 90 Positioning Pin 92 Centering arm 94, 98, 102, 106, 110, 114 Linear rail 96, 100, 104, 108, 112, 116 Linear block 118, 120 First and second cleaning tapes 122, 124 Tension roll (third And the sixth member)
126,128 Mounting plate (support member)
130, 132 Tape roll (first and fourth members)
134,136 Winding rolls (second and fifth members)
138,140 First and second driving devices 150 θ stage of cleaning unit 170 Turning device of cleaning unit

Claims (7)

  1. 矩形の表示用パネルを検査する検査部と、前記表示用パネルの電極を清掃する清掃部と、前記検査部と前記清掃部との間で前記表示用パネルを搬送する搬送装置とを含む表示用パネルの検査装置であって、
    前記検査部は、筐体に支持されて前記表示用パネルを受ける検査ステージを有し、
    前記清掃部は、前記筐体に組み付けられて前記表示用パネルを受けるパネル受けを備える清掃ステージと、前記表示用パネルにこれと平行の面内でX方向に間隔をおいて形成された複数の電極を清掃する清掃テープを備える清掃装置と、該清掃装置を前記X方向に移動させるX軸移動装置と、前記清掃装置を表示用パネルに垂直のZ方向に移動させるZ軸移動装置とを有し、
    前記清掃ステージは、前記パネル受けを前記表示用パネルに垂直のZ方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる回転装置を備え、
    前記X軸移動装置は、前記筐体に支持されたX方向に長い第1の固定子と、該第1の固定子にX方向に移動可能に組み付けられた第1の可動子とを有する第1のリニアガイド装置を有し、
    前記Z軸移動装置は、前記第1の可動子に組み付けられた、Z方向に長い第2の固定子と、該第2の固定子にZ方向に移動可能に組み付けられた第2の可動子とを有する第2のリニアガイド装置を有し、
    前記清掃装置は、前記第2の可動子に組み付けられている、表示用パネルの検査装置。
    A display unit including an inspection unit that inspects a rectangular display panel, a cleaning unit that cleans electrodes of the display panel, and a transport device that transports the display panel between the inspection unit and the cleaning unit. A panel inspection device,
    The inspection unit has an inspection stage that is supported by a housing and receives the display panel;
    The cleaning unit includes a cleaning stage that includes a panel receiver that is assembled to the housing and receives the display panel, and a plurality of cleaning units that are formed on the display panel at intervals in the X direction within a plane parallel to the cleaning stage. A cleaning device having a cleaning tape for cleaning the electrodes, an X-axis moving device for moving the cleaning device in the X direction, and a Z-axis moving device for moving the cleaning device in the Z direction perpendicular to the display panel. And
    The cleaning stage includes a rotating device that rotates the panel receiver at least angularly about an axis extending in a Z direction perpendicular to the display panel.
    The X-axis movement device includes a first stator that is long in the X direction supported by the housing, and a first mover that is assembled to the first stator so as to be movable in the X direction. 1 linear guide device,
    The Z-axis moving device includes a second stator that is assembled to the first movable element and is long in the Z direction, and a second movable element that is assembled to the second stator so as to be movable in the Z direction. A second linear guide device having
    The cleaning device is an inspection device for a display panel, which is assembled to the second mover.
  2. 前記清掃装置は、前記清掃テープの一端側が巻かれた第1の部材と、
    前記清掃テープの少なくとも他端側が巻かれた第2の部材であって前記第1の部材から前記X方向に間隔をおいた第2の部材と、
    前記清掃テープが前記第1及び第2の部材の間の箇所において前記電極に当接するように掛けられた第3の部材と、
    前記清掃テープと前記電極とを前記X方向に相対的に移動させる第1の駆動装置とを備える、請求項1に記載の検査装置。
    The cleaning device includes a first member on which one end side of the cleaning tape is wound,
    A second member wound at least on the other end side of the cleaning tape and spaced from the first member in the X direction; and
    A third member hung so that the cleaning tape contacts the electrode at a location between the first and second members;
    The inspection apparatus according to claim 1, further comprising a first drive device that relatively moves the cleaning tape and the electrode in the X direction.
  3. 前記清掃装置は、前記第1、第2及び第3の部材が支持された第1の支持部材を備え、
    前記第1及び第2の部材は、それぞれ、前記X方向に間隔をおいて前記表示用パネルと平行の面内で前記X方向と交差するY方向に互いに平行に伸びる第1及び第2の長尺部を有し、
    前記第3の部材は、前記第1及び第2の長尺部と平行に伸びる第3の長尺部であって、前記清掃テープが前記表示用パネルの側に掛けられた第3の長尺部を有し、
    第1の駆動装置は、前記清掃テープを前記第2の長尺部に巻き取らせるべく前記第2の長尺部を回転させて前記第1の長尺部を前記清掃テープにより従動させる、請求項2に記載の検査装置。
    The cleaning device includes a first support member on which the first, second, and third members are supported,
    The first and second members extend in parallel to each other in the Y direction intersecting with the X direction within a plane parallel to the display panel with an interval in the X direction. Having a scale,
    The third member is a third long portion extending in parallel with the first and second long portions, and the third long member in which the cleaning tape is hung on the display panel side. Part
    The first driving device rotates the second long portion so that the cleaning tape is wound around the second long portion, and the first long portion is driven by the cleaning tape. Item 3. The inspection apparatus according to Item 2.
  4. 前記清掃テープを前記第3の長尺部の位置において前記電極に接触させる押圧力を制御する第1の制御装置を有するZ軸移動装置を含む、請求項3に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 3, comprising a Z-axis moving device having a first control device that controls a pressing force that causes the cleaning tape to contact the electrode at the position of the third long portion.
  5. 前記回転装置の回転可能な角度は、少なくとも90°である、請求項1に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the rotatable angle of the rotating device is at least 90 °.
  6. 前記清掃ステージは、前記パネル受けを前記表示用パネルに平行のX方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる転向装置を有する、請求項1に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the cleaning stage has a turning device that rotates the panel receiver at least angularly about an axis extending in the X direction parallel to the display panel.
  7. 前記検査部はさらに、複数のプローブを有するプローブブロックであってプローブの先端が各電極に電気的に接続する複数のプローブブロックを含む、請求項1に記載の検査装置。   The inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection unit further includes a plurality of probe blocks each having a plurality of probes, wherein the probe tips are electrically connected to the electrodes.
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