JP2008041791A - 濾過装置及びそれを用いた塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】A)下面に注入口52、上面に注出口53を有し、上面は中央部から外縁に向けて高くなる傾斜、上面の外縁には気泡排出口60を有し、上面の外縁近傍には透明な材料70が用いられた中空筒状ケーシング51、B)中空筒状ケーシングの中空部57内で、下端部を注入口52に対向させ、締具56と台座55で中空筒状ケーシングに固定された中空柱状濾過フィルタ54を具備すること。
【選択図】図3
Description
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、画素として形成されて使用されるものである。表示装置用カラーフィルタの画素を形成する方法として、これまで実用されてきた方法には、フォトリソグラフィー法、印刷法などがあげられる。
しかし、カラーフィルタを製造するガラス基板の大型化に伴い、例えば、550mm×650mm程度以上の大きさのガラス基板においては、着色フォトレジストの塗布装置として、スリットコータとスピンコータを併用したコータを用いる方法、すなわち、ガラス基板上に着色フォトレジストをスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、塗布膜が形成されたガラス基板をスピンコータで回転し塗布膜を延展させ塗膜とする塗布装置が採用されはじめた。
しかし、この塗布装置では、大型のガラス基板を回転させるモーターなどの機械的制約から、装置を更に大型化するのは難しい。
着色フォトレジストは、着色フォトレジスト中においては、分散剤によって高分子樹脂に顔料を分散させ、分散した顔料の凝集を防ぎ、分散系としての平衡を保つ機能を果たすようにしている。しかし、着色フォトレジスト中で分散している粒径約1μm以下の微小な顔料粒子は凝集し易く、この顔料粒子が核となって、着色フォトレジストには凝集体が生じ易い。
図1に示す着色フォトレジストの供給系(20)において、レジスト貯蔵容器(21)の中の着色フォトレジスト(22)は、外部からの空気又は窒素などの気体による加圧によって、流路の配管(23)、第1ポンプ(P1)、一次濾過装置(30)、流路の配管(25)、第2ポンプ(P1)、最終段フィルタ装置(26)を経て、吐出ノズル(27)よりスピンコータのハウジング(28)内のガラス基板(10)上に適量が滴下されるようになっている。
尚、中空円筒状ケーシング(31)の材料としては、不透明な材料を用いていることが多い。
着色フォトレジスト(22)中に混入した気泡(40)が、中空柱状濾過フィルタ(34)によって捕捉されず、吐出ノズル(27)より滴下されてしまうのは、図2に示すように、中空円筒状ケーシング(31)の上面が、上面の中央部に向かって高くなるような傾斜面でなく、平坦な構造の上面であっても同様である。
しかし、この液ヌキの作業には、当然、相応の時間、及び着色フォトレジストの損失が伴うといった問題がある。
従って、液ヌキの作業の終点を正確に容易に判断する方法が求められている。
た、液ヌキの作業の終点を正確に容易に判断することができ、更には、供給系の気密の破れたリーク箇所の特定に要する時間を短縮することができる濾過装置を提供することを課題とするものである。
A)1)その下面の中央部に配管と接続する注入口、上面の中央部に配管と接続する注出口を有し、
2)該上面は注出口の有る中央部から外縁に向けて徐々に高くなるように傾斜をしており、該上面の外縁には気泡排出口を有し、該上面の少なくとも外縁近傍の部位には中空部内を観視できる透明な材料が用いられている中空筒状ケーシング、
B)上記中空筒状ケーシングの中空部内にて、その下端部を注入口に対向させ、締具と中空筒状ケーシングの下面の内面に設けられた台座で上端部と下端部が挟持されて台座を介して中空筒状ケーシングに固定されている中空柱状濾過フィルタを少なくとも具備することを特徴とする濾過装置である。
図3は、本発明による濾過装置の一実施例を説明する断面図である。図3に示すように、この濾過装置(50)は、中空筒状ケーシング(51)の下面の中央部に濾過する着色フォトレジストを供給する配管と接続する注入口(52)、その上面の中央部に濾過した着色フォトレジストを排出する配管と接続する注出口(53)が設けられている。
また、この部位は透明な材料(70)に代わり、透明板を嵌めた密閉された窓でってもよい。この窓の個数は限定されない。
中空柱状濾過フィルタ(54)は、その下端部を注入口(52)に対向させ、締具(56)と中空筒状ケーシング(51)の下面の内面に設けられた台座(55)によって、その上端部と下端部が挟持された状態て台座(55)を介して中空筒状ケーシング(51)の下面の内面に固定されている。
第1ポンプ(P1)の作動により、レジスト貯蔵容器(21)の中の着色フォトレジスト(22)は吸引され、中空柱状濾過フィルタ(54)の中空部(58)内へと加圧注入される。
従って、着色フォトレジスト(22)中に気泡(40)が存在したまま濾過装置(50)の注出口(53)から排出されることは大幅に減少し、気泡(40)が混入した着色フォトレジスト(22)がガラス基板(10)上に滴下されることはなくなる。
40)の排出を行うことができる。
すなわち、吐出ノズル(27)より着色フォトレジスト(22)を吐出させる、前記液ヌキの作業における、相応の時間は短縮され、また、着色フォトレジストの損失は減少する。
20・・・着色フォトレジストの供給系
21・・・レジスト貯蔵容器
22・・・着色フォトレジスト
23、25・・・配管
26・・・最終段フィルタ装置
27・・・吐出ノズル
28・・・ハウジング
30・・・一次濾過装置
31・・・中空円筒状ケーシング
32、52・・・着色フォトレジストの注入口
33、53・・・着色フォトレジストの注出口
34、54・・・中空柱状濾過フィルタ
35、55・・・台座
36、56・・・締具
37・・・中空円筒状ケーシングの中空部
38、58・・・中空柱状濾過フィルタの中空部
40・・・気泡
50・・・本発明による濾過装置
51・・・中空筒状ケーシング
57・・・中空筒状ケーシングの中空部
60・・・気泡排出口
70・・・透明な材料
P1・・・第1ポンプ
P2・・・第2ポンプ
Claims (3)
- 着色フォトレジストを塗布する塗布装置用の濾過装置であって、
A)1)その下面の中央部に配管と接続する注入口、上面の中央部に配管と接続する注出口を有し、
2)該上面は注出口の有る中央部から外縁に向けて徐々に高くなるように傾斜をしており、該上面の外縁には気泡排出口を有し、該上面の少なくとも外縁近傍の部位には中空部内を観視できる透明な材料が用いられている中空筒状ケーシング、
B)上記中空筒状ケーシングの中空部内にて、その下端部を注入口に対向させ、締具と中空筒状ケーシングの下面の内面に設けられた台座で上端部と下端部が挟持されて台座を介して中空筒状ケーシングに固定されている中空柱状濾過フィルタを少なくとも具備することを特徴とする濾過装置。 - 前記透明な材料が用いられている外縁近傍の部位が、透明板を嵌めた窓であることを特徴とする請求項1記載の濾過装置。
- 請求項1又は請求項2記載の濾過装置を、着色フォトレジストの供給系の濾過装置として用いたことを特徴とする塗布装置。
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