JP2008041460A - 電界放出素子用エミッタ作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン層12上に所定形状のマスク13を形成する。このマスク13を用いてシリコン層12をエッチングし、マスク13の裏面に接する頂部の径φtが最も小さくなる塔状突起部14を形成する。先鋭化準備工程として、マスク13を除去した後に現れる塔状突起部14の頂部をエッチングし、当該頂部に角度θaを付ける。その後、塔状突起部14の頂部をさらにエッチングし、角度θaをさらに鋭くして、先端が先鋭となったエミッタ15を得る。
【選択図】 図1
Description
C. A. Spindt, "Physical Properties of thin-film field emissioncathode with molybdenum cones", Journal of applied Physics, vol. 47, (1976)p.5248)
M. Nagao他,"Fabrication of Polycrystalline Silicon Field EmitterArrays with Hafnium Carbide Coating for Thin-Film-Transistor Controlled FieldEmission Displays", Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 43, No.6B, 2004,pp. 3919-3922.
シリコン層上に所定形状のマスクを形成する工程と;
このマスクを用いてシリコン層をエッチングし、マスクの裏面に接する頂部の径が最も小さくなる塔状突起部を形成する工程と;
マスクを除去した後に現れるこの塔状突起部の頂部をエッチングし、当該頂部に角度を付ける先鋭化準備工程と;
先鋭化準備工程の後に頂部をさらにエッチングし、上記の角度をさらに鋭くして、塔状突起部を先端が先鋭となったエミッタに加工する先鋭化工程と;
を含んで成る電界放出素子用エミッタ作製方法を提案する。
T. Mizutani et al.: Nucl. Instrum. Methods, B7/8(1985)825
"プラズマ材料化学ハンドブック",日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会編,オーム社,p.470
12 シリコン層
13 マスク
14 塔状突起部
15 エミッタ
Claims (7)
- 電界放出素子用のエミッタの作製方法であって;
シリコン層上に所定形状のマスクを形成する工程と;
該マスクを用いて該シリコン層をエッチングし、該マスクの裏面に接する頂部の径が最も小さくなる塔状突起部を形成する工程と;
該マスクを除去した後に現れる該塔状突起部の上記頂部をエッチングし、該頂部に角度を付ける先鋭化準備工程と;
該先鋭化準備工程の後に該頂部をさらにエッチングし、該角度をさらに鋭くして、該塔状突起部を先端が先鋭となったエミッタに加工する先鋭化工程と;
を含んで成る電界放出素子用エミッタ作製方法。 - 請求項1記載の電界放出素子用エミッタ作製方法であって;
上記先鋭化準備工程によって得られる上記塔状突起部の上記頂部の角度は100°以下であること;
を特徴とする電界放出素子用エミッタ作製方法。 - 請求項1記載の電界放出素子用エミッタ作製方法であって;
上記先鋭化準備工程における上記エッチングはアルゴンイオンエッチングであること;
を特徴とする電界放出素子用エミッタ作製方法。 - 請求項1記載の電界放出素子用エミッタ作製方法であって;
上記先鋭化工程におけるエッチングは、フッ素、炭素、水素を含む化学種から選択されるガスを用いた反応性イオンエッチングであること;
を特徴とする電界放出素子用エミッタ作製方法。 - 請求項4記載の電界放出素子用エミッタ作製方法であって;
上記ガスが、CHF3ガス、CF4とH2の混合ガス、C2F6とH2の混合ガス、C4F8とH2の混合ガスのいずれかの中から選択されたガスであること;
を特徴とするシリコン電界放出エミッタの製造方法。 - 請求項1記載の電界放出素子用エミッタ作製方法であって;
上記先鋭化工程を経た結果として堆積した上記シリコン層表面の炭素系薄膜を除去する工程をさらに有すること;
を特徴とするシリコン電界放出エミッタの製造方法。 - 請求項6記載の電界放出素子用エミッタ作製方法であって;
上記炭素系薄膜の除去は、上記エミッタが搭載されたシリコン層に電界が掛からない装置を用いての酸素プラズマアッシングでなすこと;
を特徴とするシリコン電界放出エミッタの製造方法。
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