JP2008039756A - 電気信号接続用座標変換装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 フイルムに規則的に配列された垂直型接触子が、フレキシブルフラットケーブルの一端に形成された配線端子の端面に垂直に接触させ、狭ピッチ化した接触子配列からの信号線をプリント基板に接続する。
【解決手段】 ウエハパッドと接触導通する狭ピッチ線配列プローブ入力端とプローブ出力端を有し、プローブ出力端が概略平面上に粗ピッチに面配列される手段と、プローブ出力端と変換配線入力端とが交差し接触して導通するｘ方向配線群と、ｘ方向配線群の出力端と交差し導通するｙ方向配線群を有する電気信号座標変換装置。
【選択図】図１

Description

この発明はプローブカード等に用いられる電気信号接続用座標変換装置に関し、特に接触子からプローブカード基板上に至る配線を効果的に行う電気信号接続用座標変換装置に関する。

ＬＳＩなどの電子デバイスの製造工程において、半導体ウエハ上に形成された複数の半導体チップの回路検査にプローブカードが使用される。プローブカードとしてこれまで本件発明者により垂直型プローブを用いたプローブカードが種々提案されてきた。そのようなプローブカードでは、半導体チップ上に配列される複数の回路端子（パッド）に対しウエハ状態のまま垂直型プローブを接触させ、一括して半導体チップの電気的導通を測定することができる。このようなプローブカードの従来例としては、例えば特開平７−３１８５８６号公報或いは特開２００３−７５５０３号公報に示されるものがある。

特開平７−３１８５８６号公報に示されたプローブカードを従来例として図１４に示す。このプローブカードにおいて複数の探針３が、プリント基板６にプリント配線の一部として形成された探針ランド部７に半田付けされている。探針ランド部７はワイヤ取り付け部８Ａまで接続されている。一方ターミナルピン２は、ワイヤ取り付け部８ｂまでプリント配線で接続されている。このプリント基板１は植設されたターミナルピン２を含めて半導体素子の種類に対して共通に設計され、種類毎に異なるのは探針３の配置と、ワイヤ取り付け部８ａと８ｂの間の接続とが異なる。このワイヤ取り付け部８ａ−８ｂ間接続をプリント基板とすればプリント基板１は半導体素子の種類毎の設計となって非常に高価なものになってしまう。そこでこの部分の接続はビニール被覆線５ａや特にノイズが問題に場合はシールド線５ｂによって半導体素子の種類ごとに接続している。なお上記の説明において、プリント基板の配線は片面のみに配線されているように説明したが、多ピン化とともに両面や多層の配線になっている。

またプローブカードは、半導体素子の種類によらず共通設計のプリント基板からなるマザーボードと、半導体の種類によらず共通設計で配置され、テスターに接続されるターミナルピンと、半導体の種類に対応して配置した探針と、前記探針と前記ターミナルピンとを接続し、半導体素子の種類に対応して設計されたプリント基板でなるチャイルドボードを特徴としたものがある。特願平６−１１６３１２

従来、この種のチャイルドボードからマザーボードへの配線は多層基板によって狭ピッチの接触子配線を粗いピッチの配線に接続していた。
特開平７−３１８５８６号公報 特開２００３−７５５０３号公報

しかしながら、上記従来のプローブカードは、ビニール被覆線を使用した場合には、測定する半導体素子を動作させることで発生する測定ノイズを取り込んでしまうという欠点があった。また、測定ノイズに強いシールド線を使用した場合には、配線径が太くなり配線体積の増大と配線許容エリアの制限から同軸配線が不可能な場合がある。さらに測定ピン数の多ピン化に伴い配線工数も増大し、線材や半田附け不良が原因となり、測定時にもれ電流が発生する率が高くなり、断線となることも多くなっている。半導体素子の種類に対応して設計されたプリント基板からなるチャイルドボードを使用しても多ピン化になった場合多層化になる欠点がある。

発明者等はフイルムに規則的に配列された垂直型接触子が、フレキシブルフラットケーブルの一端に形成された配線端子の端面に垂直に接触することを特徴とする狭ピッチ化した接触子配列からの信号線をプリント基板に接続する手段を発展させたものである。

前記従来の課題を解決するために、本発明の座標変換装置は、ウエハパッドと接触導通する狭ピッチ線配列プローブ入力端とプローブ出力端を有し、プローブ出力端が概略平面上に粗ピッチに面配列される手段と、プローブ出力端と変換配線入力端とが交差し接触して導通するｙ方向配線群と、ｙ方向配線群の出力端と交差し導通するｘ方向配線群を有することにより、前記課題を解決するものである。これによって、例えばｙ方向のパッド配列に対応して配置した複数の接触子によりｙ方向に狭ピッチでｘ方向に分散した座標信号となったプローブの出力端信号を、ｙ方向配線群によりｙ方向配線出力端でｙ方向に分散した信号配線とし、更にｘ方向配線群により更に必要とする位置にｘ方向配線群出力端の座標を移動することを可能にする。したがってウエハ上の狭ピッチパッドから粗い信号配線しか対応できない安価のプリント配線基板に座標変換した信号線を接続可能とする作用を有する。

本発明による変換配線は、狭ピッチ線配列の信号を多層基板技術の介なく粗い電極を有する安価のプリント配線基板上に電気的接続を可能にする効果を有する。なお、半田付けを必要としない配線効果がある。

第１の発明は、ウハパッドと接触導通する狭ピッチ線配列プローブ入力端とプローブ出力端を有し、プローブ出力端が概略平面上に粗ピッチに面配列される手段と、プローブ出力端と変換配線入力端とが交差し接触して導通するｙ方向配線群と、ｙ方向配線群の出力端と交差し導通するｘ方向配線群を有する電気信号座標変換装置である。ウエハパッドと接触導通する狭ピッチ線配列プローブ入力端とプローブ出力端を有し、プローブ出力端が概略平面上に粗ピッチに面配列される手段を有し、プローブ出力端と変換配線入力端とが交差し接触して導通するｙ方向配線群と、ｙ方向配線群の出力端と交差し導通するｘ方向配線群を有する電気信号座標変換装置とすることにより、請求項１は、ｙ方向のパッド配列に対応して配置した複数の接触子によりｙ方向に狭ピッチでｘ方向に分散した座標信号となったプローブの出力端信号を、ｙ方向配線群によりｙ方向配線出力端でｙ方向に分散した信号配線とし、更にｘ方向配線群により更に必要とする位置にｘ方向配線群出力端の座標を移動することを可能にする。したがってウエハ上の狭ピッチパッドから粗い信号配線しか対応できない安価のプリント配線基板に座標変換した信号線を接続可能とする作用を有する。このことは半田付けおよび多層基板を必要としないシンプル構造のプローブカード基板が構成できることを意味する。

第２の発明は、プローブ出力端子部は接触子を積層したとき、夫々の配置位置が概略等ピッチにずれ、該出力端子部がグループ化により、ｘ方向にｙ方向配線群が積層配列可能程度の粗い面配列になり、組立を容易にしている。接触子出力位置の繰り返しとｘ方向配線のｘ方向配線出力端の座標パターンを関係させている。こととすることにより、プリント基板に座標変換された後の複雑な配線が低減できる。このことは簡易な構造で、多層基板を必要としないプローブカードを製作できることに繋がる。

第３の発明はｙ方向配線群およびｘ方向配線群の個々の配線は樹脂フイルム上に形成され、ｙ方向配線群入力端、ｙ方向配線群出力端、ｘ方向配線群入力端、ｘ方向配線群出力端は樹脂フイルムの外周から突出していることを特徴とする請求項１に記載の座標変換装置とすることにより、強力な接触力を有する電気接続を可能とすることができる。

第４の発明は複数のプローブ出力端が直線上に配置され１枚の樹脂フイルム上に形成された複数のｙ方向配線と接続されることを特徴とする請求項１に記載の座標変換装置である。

第５の発明は、ｙ方向配線群出力端が直線上に配置され、１枚の樹脂フイルム上に形成された複数のｘ方向配線と接続されることを特徴とする請求項１に記載の座標変換装置。

絶縁フイルムを挟んで配線パターンを複数構造にすることにより信号の出力先を選択可能にする手段を有する請求項１に記載の座標変換装置。

第４および第５の発明により、旧来の配列と同じ配列に変換することが可能であるため旧来のテスタを利用することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明はこの実施の形態によって本発明が限定されるものではない。

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１について図１乃至図１１に従い詳細に説明する。

図１は本発明の第１の実施の形態における構成の一部の斜視図である。また、図２は図１の正面図である。図１および図２において１−ｉは接触子、２００−ｉはプローブ入力端、３００−ｉーｍはプローブ出力端、６−Ｍはｙ方向配線、Ｍ−Ａｔはｙ方向配線入力端、Ｍ−Ｂｔはｙ方向配線出力端、７はｘ方向配線、Ｓ−Ｃ_０はｘ方向配線入力端、Ｓ−Ｄ_０はｘ方向配線出力端、１０はチップ、１１はパッド、１２はプリント基板、１３はプリント基板入力端、１４はプリント基板配線、１５はプリント基板出力端、１６はポゴピン、１７はポゴピンリングである。

チップ１０上にパッド１１がある。チップ１０はウエハ上に配置されている。接触子１はプローブ入力端２００−ｉ、プローブ出力端３００−ｉーｍを電気的接続端として有する。接触子１については図３に詳述する。ｙ方向配線６はｙ方向配線入力端Ｍ−Ａｔ、ｙ方向配線出力端Ｍ−Ｂｔを電気的接続端として有する。ｙ方向配線６については図６に詳述する。ｘ方向配線７はｘ方向配線入力端Ｓ−Ｃ_０、ｘ方向配線出力端Ｓ−Ｄ_０を電気的接続端として有する。ｘ方向配線７については図９に詳述する。プリント基板１２はプリント基板入力端１３、プリント基板出力端１５をプリント基板配線１４を通して電気的に接続している。プリント基板入力端１３は、図１においてはプリント基板１２の裏面に形成されている。ポゴピン１６はポゴピンリング１７によって支持されている。

組立状態でプローブ出力端３００−ｉーｍとｙ方向配線入力端Ｍ−Ａｔ、ｙ方向配線出力端Ｍ−Ｂｔとｘ方向配線入力端Ｓ−Ｃ_０、ｘ方向配線出力端Ｓ−Ｄ_０とプリント基板入力端１３、プリント基板出力端１５とポゴピン１６は夫々圧接され、導通が図られている。検査時にパッド１１がｚ方向に移動しプローブ入力端２００−ｉとパッド１１が接触し、導通が図られる。

図１および図２は説明を簡略化するために１つの接触子１−１だけに対応した部分図としたが、実際の構成においては接触子１はｙ方向に複数枚積層され、ｙ方向配線６はｘ方向に複数枚積層され、ｘ方向配線７はｙ方向に複数枚積層されている。パッド１１についても接触子１と同じくｙ方向に複数個配置されている。

したがって、検査時にパッド１１がｚ方向に移動しプローブ入力端２００−ｉとパッド１１が接触することで、パッド１１とプローブ入力端２００−ｉが導通し、プローブ出力端３００−ｉーｍとｙ方向配線入力端Ｍ−Ａｔが導通し、ｙ方向配線出力端Ｍ−Ｂｔとｘ方向配線入力端Ｓ−Ｃ_０が導通し、ｘ方向配線出力端Ｓ−Ｄ_０とプリント基板入力端１３が導通し、プリント基板出力端１５とポゴピン１６が導通し、結果パッド１１とポゴピン１６が電気的導通がなされる。したがって、ポゴピン１６を通じて外部テスター（図示せず）と電気的導通がなされる。

以上のように構成された本発明の第１の実施の形態における構成について、以下その動作、作用を説明する。６−Ｍはｙ方向配線である。ｙ方向配線６は樹脂フィルム６０、ｙ方向変換配線ｆｔ（ｔ＝１〜６）、固定部６７から構成されている。ｙ方向変換配線ｆｔはｙ方向変換配線入力端Ａｔ、ｙ方向変換配線出力端Ｂｔ、ｙ方向変換配線ｆｔ、ばね部ｋｔから成る。Ｍはシート上に構成されたｙ方向配線６に付けられた番号である。例えば６−１は１枚目のｙ方向配線を示す。また１−Ａｔ（ｔ＝３）は１枚目のｙ方向配線の中に構成されている３番目のｙ方向変換配線入力端を示す。即ち先頭にある数字はシートの番号であり、ハイフン以下に品名（Ａ）と配線網の配置番号（ｔ）である。ｙ方向変換配線ｆｔ、ｙ方向変換配線出力端Ｂｔ、ｙ方向変換配線ｆｔ、ばね部ｋｔも同様の意味し表現されるものとする。

７−Ｓ（Ｓ＝１〜６）はｘ方向配線Ｓｕｂ組立である。
７はｘ方向配線である。ｘ方向配線７は樹脂フィルム７０、ｘ方向変換配線ｇ_０（_０＝１〜６）、固定部７７から構成されている。ｘ方向変換配線ｇ_０はｘ方向変換配線入力端Ｃ_０、ｘ方向変換配線出力端Ｄ_０、ｘ方向変換配線ｇ_０、ばね部ｈ_０から成る。Ｓはシート上に構成されたｘ方向配線７に付けられた番号である。例えば７−１は１枚目のｘ方向配線を示す。また１−Ｃ_０（_０＝３）は１枚目のｘ方向配線の中に構成されている３番目のｘ方向変換配線入力端を示す。即ち先頭にある数字はシートの番号であり、ハイフン以下に品名（Ａ）と配線網の配置番号（_０）である。ｘ方向変換配線ｇ_０、ｘ方向変換配線出力端Ｄ_０、ｘ方向変換配線ｇ_０、ばね部ｈ_０も同様の意味を有し表現されるものとする。

実施の形態２は実施の形態１においてｙ方向配線の入力端と出力端の配線を自由に設計段階で選択可能な構造を有し、またｘ方向配線の入力端と出力端の配線を自由に設計段階で選択可能な構造を有するものである。前記のように選択可能にすることによって、プローブ入力端２００−ｉがどのような順番に配列されていても、ｘ方向変換配線出力端の所望する位置に配線を可能とするものである。

図３は本実施の形態１における接触子１の正面図である。図４は接触子１を紙面に垂直方向（以後ｙ方向とする）に所望ピッチで複数配列した接触子積層組立５のプローブ部のみを図示した正面図である。

図３において、１−ｉは接触子である。接触子１−ｉは樹脂フィルム４３、固定部４１、プローブ４２−ｉから構成されている。プローブ４２−ｉはプローブ入力端２００−ｉ、プローブ出力端３００−ｉーｍ、変形部４００−ｉ、ばね部５００−ｉから構成されている。

接触子１−ｉは樹脂フィルム４３上に、固定部４１、プローブ４２−ｉが接着固定されている。樹脂フィルム４３は樹脂系の絶縁材料である（例えばポリイミドが好ましい）。プローブ４２−ｉは導通材である（例えばベリリウム銅が好ましい）。固定部４１はプローブ４２−ｉと同じ導通材である。

プローブ入力端２００−ｉから入力された電気信号は、変形部４００−ｉ、ばね部５００−ｉを通じてプローブ出力端３００−ｉーｍへ出力される。プローブ出力端３００−ｉーｍは、樹脂フィルム４３の上辺よりもｚ方向に突出していることを特徴とし、ばね部５００−ｉの持つばね性と合わせて、他の電気接点との電気的接続を確実なものとしている。したがって、プローブ入力端２００−ｉから入力された電気信号は、プローブ出力端３００−ｉーｍを通じて、他の電気接点へ確実に伝達される。

固定部４１には棒（丸棒、図示せず）が圧入される穴を有する。この穴に棒が圧入されることで、接触子１は所望のピッチで積層固定される。

図４において、１−ｉ（ｉ＝１〜１２））は接触子である。１−ｉは、図３にて説明した接触子１と同一の機能を有する。４２−ｉはプローブである。２００−ｉはプローブ入力端である。３００−ｉーｍはプローブ出力端である。ｙ方向に所望のピッチで積層された接触子１−ｉ のプローブ入力端２００−ｉの先端はｚ方向に同じ高さで形成されている。またプローブ出力端３００−ｉーｍの先端はｚ方向に同じ高さで形成されている。さらにプローブ出力端３００−ｉーｍｘ方向にピッチｐの位相差を有する。

本発明の実施例においては、図３に示すによって便宜上接触子及び接触子組立を用いて説明したが、接触子の方式及び構造に限定されるものではなく、プローブ出力端がｘ方向にピッチｐの位相差がある接触子組立なら本発明に適用可能である。

図４において、実際には接触子組立５は更に多くの接触子１−１、１−２・・・１−１２から構成されているが、本図では接触子１−１乃至１−４までを示し、他の接触子は省略している。

図５は図４の接触子組立５を矢印Ａの方向から見た平面図である。図５に示すように接触子組立５は接触子ＳｕＢ組立５−Ｎ（Ｎ＝１〜６）から構成されている。Ｎは接触子Ｓｕｂ組立の配置番号である。ｉは接触子の配置番号である。接触子１−ｉ（ｉ＝１〜２４）はｙ方向にピッチｑで積層されていて、Ｓｕｂ組立５−ＮのＮ＝１にはｉ＝１〜４、Ｎ＝２にはｉ＝５〜８、Ｎ＝にはｉ＝９〜１２、Ｎ−４にはｉ＝１３〜１６、Ｎ＝５にはｉ＝１７〜２０、Ｎ＝６にはｉ＝２１〜２４が対応している。本実施の形態１では６のグループを成している。またプローブ１−ｉ−ｍは１前記Ｎの配置番号と対応し、ｉは接触子全数の通し番号であり、ｍはグループ内の配置番号である。図５においては、ｉ＝１〜２４，ｍ＝１〜４のうちｉ＝１から４までを示しあとは省略してある。プローブ入力端２００−ｉはｘ方向に１直線に配列されている。プローブ出力端３００−ｉーｍ（ｉ＝１〜２４，ｍ＝１〜４）のｘ方向位置でｉ＝ｎ＝１のとき（ｎ，ｎ＋４，ｎ＋８，ｎ＋１２，ｎ＋１６，ｎ＋２０）は同一直線上、（ｎ＋２，ｎ＋６，ｎ＋１０，ｎ＋１４，ｎ＋１８，ｎ＋２２）は同一直線上、（ｎ＋３，ｎ＋７，ｎ＋１１，ｎ＋１５，ｎ＋１９，ｎ＋２３）は同一線上にあることを示す。図５においてはｉ＝１０までを示している。

図６は１つのｙ方向配線の正面図である。図６において、６−Ｍはｙ方向配線である。ｙ方向配線６は樹脂フィルム６０、ｙ方向変換配線ｆｔ（ｔ＝１〜６）、固定部６７から構成されている。ｙ方向変換配線ｆｔはｙ方向変換配線入力端Ａｔ、ｙ方向変換配線出力端Ｂｔ、ｙ方向変換配線ｆｔ、ばね部ｋｔから成る。Ｍはシート上に構成されたｙ方向配線６に付けられた番号である。例えば６−１は１枚目のｙ方向配線を示す。また１−Ａｔ（ｔ＝３）は１枚目のｙ方向配線の中に構成されている３番目のｙ方向変換配線入力端を示す。即ち先頭にある数字はシートの番号であり、ハイフン以下に品名（Ａ）と配線網の配置番号（ｔ）である。ｙ方向変換配線ｆｔ、ｙ方向変換配線出力端Ｂｔ、ｙ方向変換配線ｆｔ、ばね部ｋｔも同様の意味し表現されるものとする。

ｙ方向配線６は樹脂フィルム６０上に、ｙ方向変換配線ｆｔ、固定部６７が接着固定されている。樹脂フィルム６０は樹脂系の絶縁材料である（例えばポリイミドが好ましい）。ｙ方向変換配線ｆｔは導通材である（例えばベリリウム銅が好ましい）。本発明において固定部６７はｙ方向変換配線ｆｔと同じ導通材である。

ｙ方向変換配線入力端Ａｔはｚ方向に同じ高さで形成され、さらにｙ方向にピッチＱの間隔で配置されている。このピッチＱは、図５で説明したピッチＱと同意である。また、ｙ方向変換配線入力端Ａｔ乃至ｙ方向変換配線入力端Ａｔは樹脂フィルム６０の下辺よりもｚ方向に突出していることを特徴とし、他の電気接点との電気的接続を確実なものとしている。ｙ方向変換配線出力端Ｂｔはｚ方向に同じ高さで形成され、さらにｙ方向変換配線出力端Ｂｔ夫々ｙ方向にピッチＱｂの間隔で配置されている。ばね部ｋｔばね性があり他の電気接点との間で接触力を生じ電気的接続を確実なものとしている。

ｙ方向変換配線ｆｔはばね部ｋｔとｙ方向変換配線出力端Ｂｔの間に存在している。ｙ方向変換配線ｆｔが水平方向に展開する際にｚ方向へ位相差ｚを付けている為、夫々の配線部が交錯すること無く任意の距離ｙだけ離れた位置に、ｙ方向変換配線出力端Ｂｔはｙ方向変換配線入力端Ａｔを配置したピッチＱよりも充分広いピッチＱｂで配設けることができる。

この場合、図６に示すように、ｙ方向変換配線ｆｔが水平方向に展開する際に、左右へ振り分けることで、ｚ方向への位相差ｚの総数を抑えること、でｙ方向配線６の全体高さｈを低減させることが可能であり、本実施の形態では左右に振り分けを実行している。

固定部６７には棒（丸棒、図示せず）が圧入される穴を有する。この穴に棒が圧入されることで、ｙ方向配線６は所望のピッチで積層固定される。

図７はｙ方向配線の組立平面図である。ｙ方向配線６−Ｍはｙ方向変換配線入力端Ｍ−Ａｔ（Ｍ＝１〜４、Ｍは以下同様）、ｙ方向変換配線出力端Ｍ−Ｂｔ、ｙ方向変換配線Ｍ−ｆｔ等から構成されている。図６の１つのｙ方向配線の正面図で説明したものと固定部６７は同一で同一の場所にあり、ｙ方向変換配線出力端Ｂｔの位置は同じである。また図６の１つのｙ方向配線の正面図で説明したものとｙ方向変換配線入力端Ｍ−Ａｔの位置がそれぞれ異なり、位置の異なる量をｐで示している。

図８は１つのｘ方向配線の正面図である。７−Ｓ（Ｓ＝１〜６）はｘ方向配線Ｓｕｂ組立である。７はｘ方向配線である。ｘ方向配線７は樹脂フィルム７０、ｘ方向変換配線ｇ_０（_０＝１〜６）、固定部７７から構成されている。ｘ方向変換配線ｇ_０はｘ方向変換配線入力端Ｃ_０、ｘ方向変換配線出力端Ｄ_０、ｘ方向変換配線ｇ_０、ばね部ｈ_０から成る。Ｓはシート上に構成されたｘ方向配線７に付けられた番号である。例えば７−１は１枚目のｘ方向配線を示す。また１−Ｃ_０（_０＝３）は１枚目のｘ方向配線の中に構成されている３番目のｘ方向変換配線入力端を示す。即ち先頭にある数字はシートの番号であり、ハイフン以下に品名（Ａ）と配線網の配置番号（_０）である。ｘ方向変換配線ｇ_０、ｘ方向変換配線出力端Ｄ_０、ｘ方向変換配線ｇ_０、ばね部ｈ_０も同様の意味を有し表現されるものとする。

ｘ方向変換配線ｇ_０はばね部ｈ_０とｘ方向変換配線出力端Ｄ_０の間に存在している。 ｙ方向変換配線ｇ_０が水平方向に展開する際にｚ方向へ位相差ｚを付けている為、夫々の配線部が交錯すること無く任意の距離ｘだけ離れた位置に、ｘ方向変換配線出力端Ｄ_０はｘ方向変換配線入力端Ｃ_０を配置したピッチＰよりも充分広いピッチＰｂで配設けることができる。

ｘ方向変換配線ｇ_０はばね部ｈ_０とｘ方向変換配線出力端Ｄ_０の間に存在している。 ｘ方向変換配線ｇ_０が水平方向に展開する際にｚ方向へ位相差ｚを付けている為、夫々の配線部が交錯すること無く任意の距離ｘだけ離れた位置に、ｘ方向変換配線出力端Ｄ_０はｘ方向変換配線入力端Ｃ_０を配置したピッチＰよりも充分広いピッチＰｂで配設けることができる。

図９はｘ方向配線の組立平面図である。ｘ方向配線Ｓｕｂ組立７−１乃至７−６は同一である。即ち、図８の１つのｘ方向配線の正面図で説明したものと固定部７５、ｘ方向変換配線入力端Ｃ_０及びｘ方向変換配線出力端Ｄ_０の位置は同じである。

図１０は接触子のプローブ入力端２００−ｉからｘ方向変換出力端Ｓ−Ｄ_０まで全端子の接続を示す平面の模式図である。例えば、接触子すＳｕｂ組立５−６（Ｎ＝６）→接触子１−２６（ｉ＝２４）→ｙ方向配線Ｓｕｂ組立６−４（Ｍ＝４）→ｙ方向配線入力端４−Ａ６（ｔ＝６）→ｙ方向出力端４−Ｂ６（ｔ＝６）→ｘ方向出力端６−Ｄ４（_０＝４）の順に接続されていることを示す。図１１は端子接続表である。図１１は実施の形態１における全端子の接続状態を示していて図１０で説明した関係も表右端の矢印で示すように同列の上下が接続関係にあることを示している。

（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について図１２乃び１３に従い詳細に説明する。実施の形態２は実施の形態１においてｙ方向配線の入力端と出力端の配線を自由に設計段階で選択可能な構造を有する、またｘ方向配線の入力端と出力端の配線を自由に設計段階で選択可能な構造を有するものである。前記のように選択可能にすることによって、プローブ入力端２００−ｉがどのような順番に配列されていても、ｘ方向変換配線出力端の所望する位置に配線を接続することを可能とするものである。

実施の形態１と実施の形態２のｙ方向変換配線入力端からｙ方向変換配線出力端はを次のように変えた場合について説明する。
「実施の形態１において」
Ａ１→Ｂ１，Ａ２→Ｂ２，Ａ３→Ｂ３，Ａ４→Ｂ４，Ａ５→Ｂ５，Ａ６→Ｂ６
「実施の形態２において」
Ａ１→Ｂ１，Ａ２→Ｂ２，Ａ３→Ｂ５，Ａ４→Ｂ６，Ａ５→Ｂ４，Ａ６→Ｂ３

実施の形態１では中心部にあるｙ方向変換配線入力端から外部のｙ方向変換配線出力端に配線しようとすると、配線間の干渉を生ずることがある。

図１２は実施実施の形態２のｙ方向配線を示す。図１２において、前記説明のような干渉を避けるためにｙ方向変換配線ｆｔに絶縁膜６９をつくり、絶縁膜６９には窓６９（１）、６９（２）、・・・６９（６）をつくり、ｙ方向変換配線入力端はこの窓を通じて到達するべきｙ方向変換配線出力端と接続可能にしていることを示している。

窓
６９（１） ６９（２） ６９（３） ６９（４） ６９（５）
６９（６）
ｙ方向変換配線出力端
２−Ｂ１ ２−Ｂ２ ２−Ｂ５ ２−Ｂ６ ２−Ｂ４
２−Ｂ３
ｙ方向変換配線入力端
２−Ａ１ ２−Ａ２ ２−Ａ３ ２−Ａ４ ２−Ａ５
２−Ａ６

図１３は実施実施の形態２のｘ方向配線を示す。
窓
７９（１） ７９（２） ７９（３） ７９（４）
ｘ方向変換配線入力端
５−Ｃ１ ５−Ｃ２ ５−Ｃ３ ５−Ｃ４
ｘ方向変換配線出力端
５−Ｄ４ ５−Ｄ３ ５−Ｄ１ ５−Ｄ２

図１２はｙ方向配線６−Ｍ（Ｍ＝２）のｙ方向変換配線入力端２−Ａ３をｙ方向変換配線出力端２−Ｂ５に接続している。
このように絶縁膜を通して接続してはならない配線との導通を回避し必要とするｙ方向変換配線ｆｔに接続することはエッチング技術やスクリーン印刷技術により容易に達成可能である。

同様に図１３に示すようなｘ方向配線により、窓７９（１）乃至窓（４）を通じて、Ｓ−Ｃ_０
からＳ−Ｄ_０に選択的に導通の接続を可能にする。

本発明による変換配線は、フイルムに規則的に配列された垂直型接触子が、フレキシブルフラットケーブルの一端に形成された配線端子の端面に垂直に接触するようにする。狭ピッチ線配列の信号を多層基板技術を介在させることなく粗い電極を有する安価のプリント配線基板上に電気的接続を可能にする効果を有し、狭ピッチ化した接触子配列からの信号線をプリント基板に接続する技術を発展させる。なお、半田付けを必要としない配線効果がある。

本発明の実施の形態１における構成の一部の斜視図 図１の正面図 本発明の実施の形態１における接触子１の正面図 本発明の実施の形態１における接触子組立５の正面図 本発明の実施の形態１における図４の接触子組立５を矢印Ａの方向から見た平面図 本発明の実施の形態１における１つのｙ方向配線の正面図 本発明の実施の形態１におけるｙ方向配線の組立平面図 本発明の実施の形態１における１つのｘ方向配線の正面図 本発明の実施の形態１におけるｘ方向配線の組立平面図 接触子のプローブ入力端２００−ｉからｘ方向変換出力端Ｓ−Ｄ_０まで全端子の接続を示す平面の模式図 端子接続表。 実施実施の形態２のｙ方向配線構造を示す図 実施実施の形態２のｘ方向配線構造を示す図 プローブカードの一従来例を示す説明図

符号の説明

３ 探針
５ｂ シールド線
７ 探針ランド部
８ ワイヤ取り付け部
８ａ ワイヤ取り付け部
８ｂ ワイヤ取り付け部
１０ ｘ方向配線群入力端
１ 接触子全体
１−１ 接触子全体＿１
１−２ 接触子全体＿２
１−３ 接触子全体＿３
１−４ 接触子全体＿４
３−４ プローブ出力端＿４
５ 接触子組立
６ ｙ方向配線
６−１ ｙ方向配線＿１
６−２ ｙ方向配線＿２
６−３ ｙ方向配線＿３
６−４ ｙ方向配線＿４
Ｍ−Ａｔ ｙ方向配線入力端
Ｍ−Ｂｔ ｙ方向配線出力端
６ｃ ｙ方向変換配線
７ ｘ方向配線
７−１ ｘ方向配線＿１
７−２ ｘ方向配線＿２
７−３ ｘ方向配線＿３
Ｓ−Ｃ_０ ｘ方向配線入力端
Ｓ−Ｄ_０ ｘ方向配線出力端
７ｃ ｘ方向変換配線
１０ ウエハ
１１ パッド
１２ プリント基板
１３ プリント基板入力端
１４ プリント基板配線
１５ プリント基板出力端
１６ ポゴピン
１７ ポゴピンリング
４２−ｉ 配線部
６１Ａ ｙ方向変換配線入力端
６１Ｂ ｙ方向変換配線出力端
６７ ダミー
６９ 穴
７１Ａ ｘ方向変換配線入力端
７１Ｂ ｘ方向変換配線出力端
２００−ｉ プローブ入力端
２００−１ プローブ入力端＿１
２００−２ プローブ入力端＿２
２００−３ プローブ入力端＿３
２００−４ プローブ入力端＿４
３００ プローブ出力端
３００−１ プローブ出力端＿１
３００−２ プローブ出力端＿２
３００−３ プローブ出力端＿３

Claims (6)

1. ウエハパッドと接触導通する狭ピッチ線配列プローブ入力端とプローブ出力端を有し、プローブ出力端が概略平面上に粗ピッチに面配列される手段と、プローブ出力端と変換配線入力端とが交差し接触して導通するｙ方向配線群と、ｙ方向配線群の出力端と交差し導通するｘ方向配線群を有する電気信号接続用座標変換装置。
2. プローブ出力端子部は接触子を積層したとき夫々の配置位置が概略等ピッチにずれ、該出力端子部がグループ化により、粗い面配列になるべく各樹脂フイルムに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の座標変換装置。
3. ｘ方向配線群およびｙ方向配線群の個々の配線は樹脂フイルム上に形成され、ｘ方向配線群入力端、ｘ方向配線群出力端、ｙ方向配線群入力端、ｙ方向配線群出力端は樹脂フイルムの外周から突出していることを特徴とする請求項１に記載の座標変換装置。
4. 複数のプローブ出力端が直線上に配置され、１枚の樹脂フイルム上に形成された複数のｙ方向配線と接続されることを特徴とする請求項１に記載の座標変換装置。
5. ｙ方向配線群出力端が直線上に配置され、１枚の樹脂フイルム上に形成された複数のｘ方向配線と接続されることを特徴とする請求項１に記載の座標変換装置。
6. 絶縁フイルムを挟んで配線パターンを複数構造にすることにより信号の出力先を選択可能にする手段を有する請求項１に記載の座標変換装置。

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