JP2008039447A - クランプ機構、計測装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】丸棒状のワークを正しい姿勢で把持して回転させることが可能なクランプ機構、ワークの外形を精度よく計測可能な計測装置を提供すること。
【解決手段】クランプ機構30は、極細の丸棒状のワークRを把持する把持部10と、把持されたワークRの姿勢を調整する姿勢調整部20と、把持部10と姿勢調整部20とを一体として軸支する軸受け27と、把持部10と姿勢調整部20とを一体として回転させる回転駆動部としてのモータ29とを備えた。
【選択図】図1

Description

本発明は、丸棒状のワークを把持するクランプ機構、ワークの外形を計測する計測装置に関する。
丸棒状のワークを把持するクランプ機構としては、図9に示すような刃具を回転可能に把持するチャック80装置が知られている(特許文献1)。チャック80装置は、先端側が3分割された工具挟持部81と、工具挟持部81を締め付けてワークを把持させる操作体82とを有している。
また、上記チャック80装置のようなクランプ機構を備えた計測装置としては、クランプ機構としての工具保持手段と、工具保持手段を軸線を中心に回転させる回転駆動手段と、工具保持手段に保持された棒状切削工具の先端部を軸線方向および軸線方向と直交するZ軸方向の2つの方向から撮像する撮像手段とを備えた棒状切削工具の測定装置が知られている(特許文献2)。
特開2003−334706号公報 特開2001−59713号公報
上記チャック80装置を用いて極細の丸棒状ワークを把持する場合、工具挟持部81にワークを挿入して操作体82で締め付けると、分割された先端側の隙間83にワークが挟まって損傷する、あるいは正しい姿勢で把持し難いという課題があった。
また、上記測定装置を用いて極細の丸棒状ワークの外形を計測する場合、ワークの軸線とチャック80装置の回転軸とが合致していないと、ワークを回転させて撮像する際の焦点が定まらないという問題があった。よって、ワークの回転に対応して逐次焦点位置の調整を行わなければならないという課題があった。
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、丸棒状のワークを正しい姿勢で把持して回転させることが可能なクランプ機構、ワークの外形を精度よく計測可能な計測装置を提供することを目的とする。
本発明のクランプ機構は、丸棒状のワークを把持して回転させるクランプ機構であって、ワークを把持する把持部と、把持部を支持して把持されたワークの姿勢を調整する姿勢調整部と、把持部と姿勢調整部とを一体として回転させる回転駆動部と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、ワークの姿勢を調整する姿勢調整部を備え、回転駆動部は、把持部と姿勢調整部とを一体として回転させる。したがって、回転駆動部の回転軸に対して把持部に把持された丸棒状のワークの軸線が所定の方向に向くように姿勢を調整してワークを回転させることができる。すなわち、丸棒状のワークを正しい姿勢で把持して回転させることが可能なクランプ機構を提供することができる。
上記姿勢調整部が、回転駆動部の回転軸に対して、把持されるワークの軸線の位置を調整する位置調整部と軸線のぶれを調整するぶれ調整部とを有していることを特徴とする。
この構成によれば、位置調整部とぶれ調整部とを備えているので、回転駆動部の回転軸に対して、ワークの軸線の位置を調整可能であると共に、軸線のぶれも調整可能である。したがって、ワークの軸線の向きを所定の正しい方向に向け、回転軸を中心として相対的にワークを回転させることができる。
また、上記把持部が、少なくとも2つの斜面からなる溝部を有する受け台と、溝部を挟んで配置され、挟まれた溝部の全部または一部を切り欠くように受け台に設けられた一対の凹部と、溝部に収まる先端部を有する押さえ部と、一対の凹部に収まって溝部を横断するように先端部に設けられた一対の凸部とを有することを特徴とする。
この構成によれば、溝部を有する受け台には、溝部を挟んで配置され、挟まれた溝部の少なくとも2つの斜面の全部または一部を切り欠くように一対の凹部が設けられている。また、押さえ部には、一対の凹部に収まって溝部を横断するように一対の凸部が先端部に設けられている。したがって、一対の凸部が溝部に挿入されたワークを斜面に沿うようにガイドして一対の凹部に収まる。ゆえに、溝部が延在する方向と丸棒状のワークの軸線とが合致するようにワークを溝部と先端部とにより把持することができる。すなわち、丸棒状のワークが極細であっても、正しい姿勢で把持することが可能なクランプ機構を提供することができる。
また、上記溝部が延在する方向において、一対の凹部が間隔を置いて少なくとも2組設けられ、押さえ部の先端部には、少なくとも2組の凹部に対応する位置に一対の凸部を1組とする少なくとも2組の凸部が設けられていることが好ましい。これによれば、溝部に挿入されるワークは、間隔を置いて設けられた少なくとも2組の凸部により溝部の斜面に沿ってガイドされる。したがって、溝部が延在する方向において離間した少なくとも2組の凸部が対応する凹部に収まることにより、溝部の延在方向とワークの軸線とが合致するようにワークの姿勢を容易に正すことができる。
また、上記少なくとも2組の凹部のうちワークを挿入する側に位置する1組の凹部が受け台の内側に配設されていることが好ましい。これによれば、受け台の内側に配設された1組の凹部に対応して、押さえ部側に1組の凸部が設けられる。したがって、溝部にワークを挿入する際に、溝部の位置が押さえ部に設けられた上記1組の凸部によって隠れずに容易に視認することができる。ゆえに、極細のワークであっても確実に溝部に挿入でき、挿入ミスによりワークが損傷することを低減することができる。
また、上記受け台の溝部に向けて押さえ部を付勢する付勢部をさらに備えることが好ましい。これによれば、溝部に挿入されたワークを付勢された押さえ部により押圧して溝部に沿って確実に固定することができる。
本発明の計測装置は、丸棒状のワークの外形を計測する計測装置であって、ワークを把持する把持部と、把持部を支持して把持されたワークの姿勢を調整する姿勢調整部と、把持部と姿勢調整部とを一体として回転させる回転駆動部とを具備したクランプ機構と、クランプ機構により把持されたワークの軸線と直交する方向からワークを撮像する撮像装置とを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、姿勢調整部により、回転駆動部の回転軸に対して把持部に把持された丸棒状のワークの軸線が所定の方向に向くように姿勢を調整して、ワークを回転させることが可能なクランプ機構を備えている。したがって、正しい姿勢で把持されたワークの外形を撮像装置により撮像することができる。また、ワークを回転させて撮像することができるので、把持されたワークに対して角度を変えて撮像し、撮像データを基により正確なワークの外形を計測することができる。すなわち、精度よく丸棒状のワークの外形を計測可能な計測装置を提供することができる。
上記姿勢調整部が回転駆動部の回転軸に対して、把持されるワークの軸線の位置を調整する位置調整部と軸線のぶれを調整するぶれ調整部とを有していることを特徴とする。
この構成によれば、位置調整部とぶれ調整部とを有し、ワークの軸線の向きを所定の正しい方向に向け、回転軸を中心として相対的にワークを回転させることが可能なクランプ機構を備えている。したがって、ワークを回転させても軸線のぶれがないので、ワークを撮像する際の焦点位置ずれが低減され、計測精度が低下することなく計測することができる。
また、上記把持部が、少なくとも2つの斜面からなる溝部を有する受け台と、溝部を挟んで配置され、挟まれた溝部の全部または一部を切り欠くように受け台に設けられた一対の凹部と、溝部に収まる先端部を有する押さえ部と、一対の凹部に収まって溝部を横断するように先端部に設けられた一対の凸部とを有することを特徴とする。
この構成によれば、丸棒状のワークが極細であっても、一対の凹部と一対の凸部とにより溝部にガイドされ、溝部の延在方向とワークの軸線とを合致させて把持することが可能なクランプ機構を備えている。したがって、ワークの挿入ミスを低減し、ワークを決められた位置に正しい姿勢で把持して撮像装置により外形を撮像することができる。
また、上記溝部が延在する方向において、一対の凹部が間隔を置いて少なくとも2組設けられ、押さえ部の先端部には、少なくとも2組の凹部に対応する位置に一対の凸部を1組とする少なくとも2組の凸部が設けられていることが好ましい。これによれば、離間して設けられた少なくとも2組の凸部によりワークが溝部にガイドされ、容易に正しい姿勢で溝部と先端部とにより把持することができる。すなわち、ワークの挿入ミスをより低減して計測することができる。
また、上記少なくとも2組の凹部のうちワークを挿入する側に位置する1組の凹部が受け台の内側に配設されていることが好ましい。これによれば、溝部にワークを挿入する際に、溝部の位置が押さえ部に設けられた上記1組の凸部によって隠れず容易に溝部を視認して挿入することができる。ゆえに、計測に際して、極細のワークであっても確実に溝部に挿入でき、挿入ミスによりワークが損傷して外形の計測異常が発生することを低減することができる。
また、上記受け台の溝部に向けて押さえ部を付勢する付勢部をさらに備えることが好ましい。これによれば、付勢部により押さえ部を付勢して溝部との間に正しい姿勢で丸棒状のワークを固定することができる。ゆえに、より正確な位置にワークを固定して撮像装置により撮像することができる。
また、上記撮像装置がワークを撮像するカメラと、ワークに対してカメラの焦点を合わせるフォーカス機構とを具備することを特徴とする。これによれば、ワークに対してカメラの焦点を合わせるフォーカス機構を備えているので、より精度よくワークの外形を計測することができる。
上記把持部に把持されたワークを複数回に分けて回転させ、複数回に対応して撮像することによりワークの外形を計測するように回転駆動部と撮像装置とを制御する制御部を備えたことを特徴とする。これによれば、制御部は、ワークを複数回に分けて回転させて、当該複数回に渡って撮像させるので、ワークの外形だけでなく偏心についても精度よく計測することができる。
また、上記姿勢調整部により、回転駆動部の回転軸と把持されたワークの軸線とが合致するように調整し、ワークを複数回に分けて回転させることを特徴とする。これによれば、姿勢調整部により回転駆動部の回転軸と把持されたワークの軸線とが合致するように調整するので、軸線を中心として複数回に分けてワークを回転させることができる。よって、軸線に対するワークの外形寸法のバラツキを正確に計測することができる。
また、上記姿勢調整部により、回転駆動部の回転軸と把持されたワークの軸線とが所定の距離ずれるように調整し、当該回転軸を中心としてワークを回転させ、回転軌跡上に位置するワークを複数回に分けて撮像するように制御部が回転駆動部と撮像装置とを制御してもよい。これによれば、回転駆動部の回転軸を中心としてワークを相対的に回転させる。したがって、回転軌跡上をワークが移動することにより、撮像装置とワークとの相対距離が変化するものの、ワークが正しい姿勢で把持されているので、上記複数回ごとに焦点位置を合わせれば、ワークに対して角度を変えて撮像することができ、正確なワークの外形を計測することができる。
本実施形態は、丸棒状のワークを把持して回転させるクランプ機構、このクランプ機構を備えた計測装置を例に説明する。なお、説明に用いる図は、適宜拡大または縮小して表示している。
<クランプ機構>
まず、本実施形態のクランプ機構について、図1から図5に基づいて説明する。図1は、クランプ機構の構造を示す概略斜視図である。図1に示すように、クランプ機構30は、極細の丸棒状のワークRを把持する把持部10と、把持されたワークRの姿勢を調整する姿勢調整部20と、把持部10と姿勢調整部20とを一体として軸支する軸受け27と、把持部10と姿勢調整部20とを一体として回転させる回転駆動部としてのモータ29とを備えている。モータ29は、例えば、サーボモータやパルスモータを用いる。
軸受け27とモータ29との間には、姿勢調整部20の原点位置を検出する位置検出機構28と、モータ29の回転軸と姿勢調整部20とを軸受け27を介して連結するスリーブ状の連結部29aとが設けられている。上記の各構成は、支持プレート25の表面にそれぞれ配設されている。
位置検出機構28は、位置検出用のプレート(ドグ板)28aと、ドグ板28aの取り付け部28bと、原点センサ28cとから構成されている。軸受け27により回転可能に軸支された姿勢調整部20の一方の軸(不図示)に取り付け部28bが固定されている。原点センサ28cは、例えば、発光部(不図示)と受光部(不図示)とが対向配置されたフォトマイクロセンサを用い、取り付け部28bに取り付けられたドグ板28aが上記発光部と上記受光部との間を横切るように支持プレート25の表面に配設されている。上記発光部と上記受光部との間の光軸をドグ板28aが遮蔽することにより、原点位置が検出される。本実施形態では検出位置精度30μmのフォトマイクロセンサを用いた。回転角度に直すと0.1°の精度で原点を検出可能である。
把持部10は、受け台アーム11と、受け台アーム11の一方の端部11aに取り付けられた受け台1と、T字形状の押さえ部アーム12と、その端部12aに取り付けられた押さえ部5と、を備えている。ワークRは、受け台1と押さえ部5とにより把持される。
姿勢調整部20は、受け台アーム11をガイドするアームガイド16と、受け台アーム11の他方の端部11bを支持する位置調整部としての中空のブロック21と、を備えている。また、アームガイド16とブロック21とが配設された回転テーブル18と、軸受け27に軸支されると共にブロック21が取り付けられる回転プレート24と、を備えている。
したがって、モータ29を駆動すれば、軸受け27に軸支された回転プレート24が回転する。回転プレート24には、ブロック21を介して回転テーブル18が固定されているので、ブロック21とアームガイド16とに支持された受け台アーム11が回転する。すなわち、ワークRを把持部10に把持した状態でモータ29の回転軸を中心として回転させる構成となっている。
図2は、把持部を示す平面図である。詳しくは、把持部10をX軸方向から見た正面図である。図2に示すように、受け台1は、V字形状の溝部2を有している。押さえ部5は、溝部2に収まる先端部6を有している。ワークRは受け台1の溝部2に挿入され、押さえ部5の先端部6により押圧されて把持される。
また、図2に示すように、姿勢調整部20のアームガイド16は、L字状に形成されており、その底部が回転テーブル18に固定されている。その側面には、X軸方向に離間して設けられた2つのロックネジ19と、Y軸調整ネジ17aとが設けられている。また、回転テーブル18とアームガイド16とを下方(Z軸方向)から貫通する2つのZ軸調整ネジ17bが設けられている。
よって、受け台1が取り付けられた受け台アーム11はY軸調整ネジ17aと、Z軸調整ネジ17bとで支持されている。各調整ネジ17a,17bのねじ込み量を調整することにより、受け台アーム11のY軸方向、Z軸方向のぶれを調整可能となっている。すなわち、上記Y軸調整ネジ17a、Z軸調整ネジ17b、ロックネジ19は、受け台アーム11のぶれ調整部15(図1参照)に含まれる。
図3は、受け台の詳細を示す概略図である。同図(a)は斜視図、同図(b)は同図(a)のA方向から見た平面図である。
図3(a)に示すように、受け台1は、2つの斜面2a,2bからなるV字形状の溝部2と、溝部2の延在方向と直交する方向に設けられた4つの凹部3a,3b,4a,4bと、取り付け用の2つのネジ孔1a,1bとを有している。溝部2を挟んで設けられた一対(1組)の凹部3a,3bは、受け台1の上方から見ると、ワークRの挿入側から内側に入り込んだ位置に設けられている。もう一対の凹部4a,4bは、一方の凹部3a,3bに対して離間し、受け台1の側面を切り欠くように設けられている。言い換えれば、ワークRの止当たり機能を有する受け台アーム11(図1参照)に面して設けられている。
図3(b)に示すように、一対の凹部4a,4bは、ワークRの径に対応して溝部2の深さよりも浅く、それぞれ対応する斜面2a,2bの一部を切り欠くように設けられている。したがって、ワークRが溝部2に沿って挿入され受け台アーム11に突き当たる。また、凹部4a,4bによってワークRの挿入が阻害されない。
ワークRの径が非常に細い場合は、それぞれ対応する2つの斜面2a,2bをすべて切り欠くように一対の凹部4a,4bを設けてもよい。また、ワークRを少なくとも2つの斜面2a,2bによって支持することができれば、溝部2の底部を平面としてもよい。なお、凹部3a,3bの形成方法も同様である。
このような受け台1は、図1に示した受け台アーム11の長軸方向と溝部2の延在方向とが合致するように、受け台アーム11の端部11aにネジ止めされる。
図4は、押さえ部の詳細を示す概略図である。同図(a)は斜視図、同図(b)は同図(a)のB方向から見た平面図である。
図4(a)に示すように、押さえ部5は、受け台1の溝部2に収まる先端部6を有している。先端部6は、溝部2の斜面2a,2bと同じ傾斜角度を有する2つの斜面6a,6bと、溝部2の延在方向と平行することになる平面6cとを有している。また、平面6cに直交するように斜面6a側に張り出した凸部7a,8aと、斜面6b側に張り出した凸部7b,8bとを有している。一対(1組)の凸部7a,7bは、受け台1に形成された一対の凹部3a,3bに対応する位置で、先端部6に形成されている。同様に、一対の凸部8a,8bは、一対の凹部4a,4bに対応する位置で、先端部6に形成されている。
図4(b)に示すように、各凸部7a,7b,8a,8bは、底面7c,8cが先端部6の平面6cと同一の平面を構成するように、紙面上の水平方向に各斜面6a,6bから張り出している。すなわち、受け台1の溝部2を横断するように先端部6に形成されている。また、押さえ部5には、押さえ部アーム12の一方の端部12aに嵌合する切り欠き9と、固定用のネジが貫通する孔9aとが設けられている。
溝部2に挿入されたワークRは、溝部2によって支持されると共に、押さえ部5の平面6cにより押圧される。また、各凸部7a,7b,8a,8bは、受け台1の各凹部3a,3b,4a,4bにそれぞれ収まる。よって、ワークRの溝部2に対する挿入位置がずれていても、ワークRが各凸部7a,7b,8a,8bにより溝部2に沿って所定の位置に案内される。
また、例えば、ワークRをより正しい姿勢で溝部2に配置するために、ワークRの挿入方向において、凹部4a,4bと同様に受け台1の側面に凹部3a,3bを切り欠くように設けることが考えられる。すると、ワークRを溝部2に挿入する際に、作業者から見ると押さえ部5の凸部7a,7bによって溝部2が隠れてしまい挿入ミスを起こすおそれがある。この場合、凹部3a,3bは受け台1の内側に設けられているので、これに収まる凸部7a,7bによって溝部2の入り口部分が隠れず、ワークRをより確実に溝部2に挿入することが可能である(図3参照)。
なお、各凸部7a,7b,8a,8bは、溝部2の延在方向に対して必ずしも直交する方向に設けなくてもよい。例えば、ワークRの挿入方向に対して、各凸部7a,7b,8a,8bとこれに対応する各凹部3a,3b,4a,4bとを逆ハの字に開くように形成することが好ましい。これによれば、各凹部3a,3b,4a,4bによって、ワークRの挿入が阻害され難い。さらには、斜面6a,6bは必須ではなく、先端部6がワークRを把持するための平面6cと、各凸部7a,7b,8a,8bとを有する構成としてもよい。また、凸部は2組に限定されず、1組でもその効果が期待できるし、もっと増やしてもよい。
図5は把持部および姿勢調整部の詳細を示す斜視図である。詳しくは、ブロック21とアームガイド16とを透視して表した図である。
図5に示すように、把持部10において、押さえ部アーム12は、支持部12cが受け台アーム11に設けられた長孔11cに収められ、軸13により軸支されている。一方の端部12aに押さえ部5がネジ止めされている。他方の端部12bと受け台アーム11との間には、溝部2に向けて押さえ部5を付勢する付勢部としてのバネ14が設けられている。付勢部はバネ14に限らずゴムなどの弾性体を用いてもよい。また、押さえ部5は、押さえ部アーム12の長軸方向と平面6cの延在方向とが合致するように、押さえ部アーム12の端部12aにネジ止めされる。すなわち、押さえ部5は、押さえ部アーム12の支持部12cを支点としてバネ14により付勢され、先端部6が受け台1の溝部2に収まる構成となっている。
姿勢調整部20において、受け台アーム11は、一方の端部11aがぶれ調整部15によって支持されている。一方の端部11aの先端には、受け台1がネジ11dにより取り付けられている。他方の端部11bは、ブロック21の中空部21aに挿入され、Z軸方向にブロック21を貫通する一対のZ軸傾き調整ネジ22a,22bと、Y軸方向にブロック21を貫通する一対のY軸傾き調整ネジ22c,22dとによって4つの方向から支持され、ブロック21に固定されている。
軸受け27に軸支された回転プレート24には、ブロック21側に突出する四角柱状の軸24aが設けられている。軸24aは、ブロック21の中空部21aに挿入され、Z軸方向にブロック21を貫通する一対のZ軸オフセット調整ネジ23a,23bと、Y軸方向にブロック21を貫通する一対のY軸オフセット調整ネジ23c,23dとによって4つの方向から支持され、ブロック21に固定される。これにより、回転プレート24の軸24aと受け台アーム11の端部11bとがブロック21を介して間接的に連結される。すなわち、回転プレート24が回転すれば、把持部10と姿勢調整部20(ぶれ調整部15、回転テーブル18、ブロック21)とが一体となって回転する。また、軸24aは、モータ29の回転中心と合致しており、回転軸の回転につれて回転する。ゆえに、モータ29は、把持部10と姿勢調整部20とを一体として回転させる。
このようなクランプ機構30によれば、溝部2に挿入されたワークRは、2つの斜面2a,2bで支持されると共に、押さえ部5の平面6cとの間で押圧され把持される。よって、ワークRの軸線Raと溝部2の延在方向とが合致するように把持される。
また、押さえ部5に設けられた2組の凸部7a,7b,8a,8bが2組の凹部3a,3b,4a,4bに収まるように設けられている。したがって、溝部2にワークRが傾いた状態で挿入されても、各凸部7a,7b,8a,8bがワークRを溝部2の斜面2a,2bに沿って所定の位置に収まるようにガイドする。
把持部10は、アームガイド16および回転テーブル18とブロック21とからなる姿勢調整部20により支持され、一体となって回転する。ぶれ調整部15の各調整ネジ17a,17bとブロック21の各傾き調整ネジ22a,22b,22c,22dとにより、ワークRの軸線Raのぶれが調整される。そして、ブロック21の各オフセット調整ネジ23a,23b,23c,23dにより、実質的に軸24aとワークRの軸線Raとの相対位置を決めることができる。ゆえに、軸24aと軸線Raとが合致するように各オフセット調整ネジ23a,23b,23c,23dのねじ込み量を調整すれば、モータ29の回転軸とワークRの軸線Raとを合致させて、ワークRを回転させることができる。また、合致させなくても、モータ29の回転軸とワークRの軸線Raとを所定の距離オフセットして、回転軸を中心とした回転軌跡上において、把持部10に把持されたワークRを相対的に回転させることができる。
<計測装置>
次に、本実施形態の計測装置について図6に基づいて説明する。図6は、計測装置の構成を示す概略図である。
図6に示すように、本実施形態の計測装置100は、ワークRを把持する上記実施形態のクランプ機構30と、クランプ機構30が上面に配設されたテーブル31と、把持されたワークRの軸線Raに直交するZ軸方向からワークRを撮像する撮像装置35とを備えている。撮像装置35は、撮像手段としての2つのカメラユニット36,37と、各カメラユニット36,37に対向して配置された2つの照明33,34とを備えている。カメラユニット36,37と照明33,34とは、同一のテーブル32に配設されている。また、テーブル32をZ軸方向に移動させることにより、ワークRに対する各カメラユニット36,37の焦点を調整するオートフォーカス機構38を有している。カメラユニット36,37は、例えば、撮像素子としてのCCDとワークRの計測箇所を拡大する対物レンズとの組み合わせを用いる。この場合、カメラユニット36とカメラユニット37とは撮像時の倍率が異なるように構成されている。照明33,34は、例えば、高輝度が得られるハロゲンランプなどを用い、各カメラユニット36,37の撮像倍率に応じて照明輝度が設定されている。オートフォーカス機構38は、当然ながらテーブル32をZ軸方向に移動させる駆動部を備えているが図示省略した。
また、計測装置100は、把持されたワークRの少なくとも一部が各カメラユニット36,37と各照明33,34との間の各光軸33a,34a上に位置するように、テーブル31をX軸方向およびY軸方向に移動させる駆動部(図示省略)を備えている。駆動部には、X軸モータとY軸モータとを有する。X軸モータおよびY軸モータは、例えば、サーボモータやパルスモータを用いる。
さらに、計測装置100の各部を制御する制御装置40を備えている。制御装置40は、CPU41と、EPROMなどからなるメモリ42と、画像処理部43と、X軸モータ制御部44と、Y軸モータ制御部45と、クランプ機構30のモータ29の制御を行うモータ制御部46と、を備えている。制御装置40は、例えばパーソナルコンピュータ等を活用して構成する。
計測装置100を用いた計測方法について説明する。この場合、クランプ機構30において、予め把持部10にワークRを把持させ、ワークRの軸線Raとモータ29の回転軸とが合致するように姿勢調整部20を調整する(軸調整工程)。実際の調整方法としては、クランプ機構30にワークRを把持して回転させ、その状態を撮像装置35により撮像して軸線Raのぶれがないかチェックする作業を繰り返して行う。
次に作業者は、ワークRを溝部2に挿入し、押さえ部5によって押圧することにより、クランプ機構30にワークRを把持する(把持工程)。そして、制御装置40を操作して計測動作を開始させる。CPU41は、まず、メモリ42に入力された測定プログラムに基づいてX軸モータ制御部44とY軸モータ制御部45とに制御信号を送る。X軸モータ制御部44とY軸モータ制御部45は、制御信号に基づいてX軸モータ、Y軸モータを駆動して例えば光軸33a上にワークRの測定箇所が位置するように、テーブル31を移動させる(位置決め工程)。また、オートフォーカス機構38に制御信号を送り、照明33によって照明されたワークRにカメラユニット36の焦点が合うようにオートフォーカス機構38を駆動する。より詳しくは、カメラユニット36によって撮像された画像情報に基づいて画像処理部43がワークRの外形を特定し、外形線が所定のシャープネスを得られるようにオートフォーカス機構38を駆動して焦点合わせを行う(焦点位置調整工程)。画像処理部43は、焦点が合った状態で撮像された画像情報をビットマップデータに変換してCPU41に送る。CPU41はこのビットマップデータから測定箇所の寸法を演算して出力する(計測工程)。また、制御装置40は、モータ制御部46に制御信号を送り、ワークRを複数回に分けて回転させるようにモータ29を駆動する(回転工程)。これに同期してワークRを撮像する計測工程を複数回繰り返し、出力されたデータをCPU41によって統計処理させる(寸法データ処理工程)。これにより、測定箇所の複数のサンプリングデータから平均値やバラツキが得られる。また、ワークRを複数回に分けて回転させることにより、偏心等の寸法情報が得られる。
計測装置100は、軸線RaがぶれないようにワークRを把持して回転させるクランプ機構30を備えているので、上記複数回に渡ってサンプリングデータを得ようとする場合、初回の計測において、ワークRに対するカメラユニット36の焦点位置調整をしておけば、ワークRを回転させても再び焦点位置調整の必要がなく、計測を行うことが可能である。また、ワークRを交換して他のワークRについて計測を続ける場合においても同様である。すなわち、精度よくワークRの外形を計測可能であると共に、複数回の計測に伴うワークRとカメラユニット36との焦点位置調整が簡略化された。
撮像倍率が異なる2つのカメラユニット36,37の選択は、ワークRの外形寸法に応じて測定プログラムに組み込まれている。例えば、ワークRが極細の丸棒であれば、まず、低倍率のカメラユニット側を選択して焦点位置を調整し、その後高倍率のカメラユニット側にワークRを移動させて焦点位置を調整する。このようにすれば、高倍率側のカメラユニットを用いていきなり焦点位置を調整する場合に比べて、要する時間を短縮することが可能である。
姿勢調整部20において、モータ29の回転軸とワークRの軸線Raとが合致せず、オフセットするように位置調整されている場合は、オフセットされた回転軌跡上においてワークRが相対的に回転する。したがって、回転するワークRに対して撮像装置35の焦点位置を調整する必要が生ずる。この場合、ワークRの設計データに基づいてオフセットされた回転軌跡を演算し、予め位置情報としてメモリ42に格納しておく。CPU41は、回転軌跡の位置情報からワークRの回転角度に応じたX,Y,Z軸座標を演算する。この演算結果に基づいて制御装置40がX軸モータ制御部44、Y軸モータ制御部45に制御信号を送り、回転角度に応じて例えば光軸33a上にワークRの計測部位が位置するようにテーブル31を移動させる。また、オートフォーカス機構38に制御信号を送り、テーブル32をZ軸方向に移動させてワークRの計測部位に撮像装置35の焦点を合わせる。そして、上述したような計測工程、寸法データ処理工程を複数回に分けて行う。
このような計測装置100が表示装置や印刷装置をさらに備えれば、CPU41が出力する寸法データを表示したり用紙に記録すること、あるいはワークRの画像情報を表示することが可能である。
上記実施形態の効果は、以下の通りである。
(1)上記実施形態のクランプ機構30は、把持部10に把持されたワークRの軸線Raがモータ29の回転軸に対して軸ぶれしないように調整可能な姿勢調整部20を備えている。また、モータ29は、把持部10と姿勢調整部20とを一体として回転させる。したがって、ワークRを正しい姿勢で把持して回転させることができる。
(2)上記実施形態のクランプ機構30において、把持部10は、受け台1の溝部2に挿入されたワークRを押さえ部5の2組の凸部7a,7b,8a,8bが斜面2a,2bに沿ってガイドする。そして、2組の凸部7a,7b,8a,8bが溝部2を横断するように設けられた2組の凹部3a,3b,4a,4bに収まる。したがって、先端部6と溝部2とによりワークRを3点で支持して、溝部2の延在方向とワークRの軸線Raとを合致させて把持することができる。よって、ワークRを正しい姿勢で把持してモータ29により回転させることができる。さらには、押さえ部5は、バネ14により溝部2に向かって付勢されているので、ワークRを押圧して把持部10に固定することができる。
(3)上記実施形態のクランプ機構30において、受け台1の1組の凹部3a,3bは、ワークRの挿入方向において入口側から内側に入った位置に設けられている。したがって、ワークRを溝部2に挿入する際に、1組の凹部3a,3bに対応する押さえ部5の1組の凸部7a,7bによって溝部2が遮られないので、溝部2の位置が視認し易く、極細のワークRであっても容易に溝部2に挿入することができる。
(4)上記実施形態の計測装置100は、クランプ機構30を備えている。したがって、モータ29の回転軸とワークRの軸線Raとが軸ぶれしないようにワークRが把持される。よって、ワークRを複数回に分けて回転させ、精度よくワークRの寸法を計測することができる。また、ワークRを複数回に分けて回転させ計測する場合、あるいは複数のワークRを交換して計測する場合、ワークRが高い位置精度で配置されるので、オートフォーカス機構38による焦点位置調整を頻繁に実施しなくてもよい。すなわち、ワークRの寸法を精度よく且つ効率よく計測することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
(変形例1)上記実施形態のクランプ機構30において、把持部10の受け台1および押さえ部5の形状は、これに限定されない。図7は変形例の押さえ部と受け台を示す概略図である。同図(a)は変形例の押さえ部の斜視図、同図(b)は変形例の押さえ部と受け台との関係を示す平面図である。同図(a)に示すように、変形例の押さえ部50は、2つの斜面51a,51bと、稜51cと、2組の凸部52a,52b,53a,53bとを有する先端部51を備えている。各凸部52a,52b,53a,53bは、稜51cに対して直交するように張り出している。同図(b)に示すように、押さえ部50に対応する受け台60には、V字形状の溝部61と、2組の凸部52a,52b,53a,53bに対応して溝部61を横断するように2組の凹部62a,62b,63a,63bが設けられている。一対の凸部53a,53b(凸部52a,52b)の底面53c(底面52c)は逆V字形状となっており、底面53c(底面52c)と溝部61とによりワークRを4点で支持して、溝部61の延在方向とワークRの軸線Raとを容易に合致させて把持することができる。
(変形例2)上記実施形態においてワークRは、単純な丸棒に限定されない。図8は、ワークの形状を示す平面図である。図8に示すように、例えば、ワーク70は、異なる軸径d1,d2,d3を有する丸棒である。主軸71から副軸72、先端軸73に行くにしたがって細くなっている。先端軸73の軸径は、およそ20μmである。主軸71と副軸72との間、副軸72と先端軸73との間は、それぞれテーパ部となっている。計測装置100を用いれば、各軸径d1,d2,d3、び各寸法a,b,c,eを精度よく計測することができる。これにより各軸71,72,73の外形やテーパ部の長さを求めることができる。また、主軸71に対して、副軸72、先端軸73の偏心についても計測可能である。
(変形例3)上記実施形態の計測装置100において、クランプ機構30、テーブル31、撮像装置35などの各部の配置は、これに限定されない。例えば、図6において、丸棒状のワークRの軸線RaとZ軸方向とが合致するようにクランプ機構30をテーブル31に配置して、ワークRの軸線Raに対して垂直な方向に光軸33aが来るように、カメラユニット36と照明33とを対向配置してもよい。これによれば、ワークRをZ軸方向から溝部2に挿入することとなり、比較的に作業がし易い。
クランプ機構の構造を示す概略斜視図。 把持部を示す平面図。 (a)は受け台の詳細を示す斜視図、(b)は(a)のA方向から見た平面図。 (a)は押さえ部の詳細を示す斜視図、(b)は(a)のB方向から見た平面図。 把持部および姿勢調整部の詳細を示す斜視図。 計測装置の構成を示す概略図。 (a)は変形例の押さえ部の斜視図、(b)は変形例の押さえ部と受け台との関係を示す平面図。 ワークの形状を示す平面図。 従来のクランプ機構としてのチャック装置を示す概略斜視図。
符号の説明
1…受け台、2…溝部、2a,2b…斜面、3a,3b,4a,4b…凹部、5…押さえ部、6…先端部、7a,7b,8a,8b…凸部、10…把持部、14…付勢部としてのバネ、29…回転駆動部としてのモータ、30…クランプ機構、35…撮像装置、36,37…カメラとしてのカメラユニット、38…フォーカス機構としてのオートフォーカス機構、50…押さえ部、51…先端部、52a,52b,53a,53b…凸部、60…受け台、61…溝部、62a,62b,63a,63b…凹部、70…丸棒状のワーク、100…計測装置、R…丸棒状のワーク、Ra…軸線。

Claims (16)

  1. 丸棒状のワークを把持して回転させるクランプ機構であって、
    前記ワークを把持する把持部と、
    前記把持部を支持して把持された前記ワークの姿勢を調整する姿勢調整部と、
    前記把持部と前記姿勢調整部とを一体として回転させる回転駆動部と、
    を備えたことを特徴とするクランプ機構。
  2. 前記姿勢調整部が、前記回転駆動部の回転軸に対して、把持される前記ワークの軸線の位置を調整する位置調整部と前記軸線のぶれを調整するぶれ調整部とを有していることを特徴とする請求項1に記載のクランプ機構。
  3. 前記把持部が、少なくとも2つの斜面からなる溝部を有する受け台と、前記溝部を挟んで配置され、挟まれた前記溝部の全部または一部を切り欠くように前記受け台に設けられた一対の凹部と、前記溝部に収まる先端部を有する押さえ部と、前記一対の凹部に収まって前記溝部を横断するように前記先端部に設けられた一対の凸部とを有することを特徴とする請求項1または2に記載のクランプ機構。
  4. 前記溝部が延在する方向において、前記一対の凹部が間隔を置いて少なくとも2組設けられ、
    前記押さえ部の前記先端部には、前記少なくとも2組の凹部に対応する位置に前記一対の凸部を1組とする少なくとも2組の凸部が設けられていることを特徴とする請求項3に記載のクランプ機構。
  5. 前記少なくとも2組の凹部のうち前記ワークを挿入する側に位置する1組の凹部が前記受け台の内側に配設されていることを特徴とする請求項4に記載のクランプ機構。
  6. 前記受け台の前記溝部に向けて前記押さえ部を付勢する付勢部をさらに備えたことを特徴とする請求項3ないし5のいずれか一項に記載のクランプ機構。
  7. 丸棒状のワークの外形を計測する計測装置であって、
    前記ワークを把持する把持部と、前記把持部を支持して把持された前記ワークの姿勢を調整する姿勢調整部と、前記把持部と前記姿勢調整部とを一体として回転させる回転駆動部とを具備したクランプ機構と、
    前記クランプ機構により把持された前記ワークの軸線と直交する方向から前記ワークを撮像する撮像装置とを備えたことを特徴とする計測装置。
  8. 前記姿勢調整部が前記回転駆動部の回転軸に対して、把持される前記ワークの軸線の位置を調整する位置調整部と前記軸線のぶれを調整するぶれ調整部とを有していることを特徴とする請求項7に記載の計測装置。
  9. 前記把持部が、少なくとも2つの斜面からなる溝部を有する受け台と、前記溝部を挟んで配置され、挟まれた前記溝部の全部または一部を切り欠くように前記受け台に設けられた一対の凹部と、前記溝部に収まる先端部を有する押さえ部と、前記一対の凹部に収まって前記溝部を横断するように前記先端部に設けられた一対の凸部とを有することを特徴とする請求項7または8に記載の計測装置。
  10. 前記溝部が延在する方向において、前記一対の凹部が間隔を置いて少なくとも2組設けられ、
    前記押さえ部の前記先端部には、前記少なくとも2組の凹部に対応する位置に前記一対の凸部を1組とする少なくとも2組の凸部が設けられていることを特徴とする請求項9に記載の計測装置。
  11. 前記少なくとも2組の凹部のうち前記ワークを挿入する側に位置する1組の凹部が前記受け台の内側に配設されていることを特徴とする請求項10に記載の計測装置。
  12. 前記受け台の前記溝部に向けて前記押さえ部を付勢する付勢部をさらに備えたことを特徴とする請求項9ないし11のいずれか一項に記載の計測装置。
  13. 前記撮像装置が前記ワークを撮像するカメラと、前記ワークに対して前記カメラの焦点を合わせるフォーカス機構とを具備することを特徴とする請求項7ないし12のいずれか一項に記載の計測装置。
  14. 前記把持部に把持された前記ワークを複数回に分けて回転させ、前記複数回に対応して撮像することにより前記ワークの外形を計測するように前記回転駆動部と前記撮像装置とを制御する制御部を備えたことを特徴とする請求項7ないし13のいずれか一項に記載の計測装置。
  15. 前記姿勢調整部により、前記回転駆動部の回転軸と把持された前記ワークの軸線とが合致するように調整し、前記ワークを複数回に分けて回転させることを特徴とする請求項14に記載の計測装置。
  16. 前記姿勢調整部により、前記回転駆動部の回転軸と把持された前記ワークの軸線とが所定の距離ずれるように調整し、前記回転軸を中心として前記ワークを回転させ、回転軌跡上に位置する前記ワークを複数回に分けて撮像することを特徴とする請求項14に記載の計測装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010107437A (ja) * 2008-10-31 2010-05-13 Mitsutoyo Corp 表面性状測定装置
JP2010133944A (ja) * 2008-10-29 2010-06-17 Gleason Asia Co Ltd カッターブレード検査装置
CN106002765A (zh) * 2016-07-20 2016-10-12 西安工程大学 斜入式激光干涉测量中动静压轴承夹持与调整一体化机构
CN108344359A (zh) * 2017-01-22 2018-07-31 迈得医疗工业设备股份有限公司 柔性管捋直定位机构
WO2018168064A1 (ja) * 2017-03-13 2018-09-20 株式会社Screenホールディングス 検査方法および検査装置
WO2018168065A1 (ja) * 2017-03-13 2018-09-20 株式会社Screenホールディングス ワーク保持装置、検査装置およびワーク位置補正方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62214313A (ja) * 1986-03-17 1987-09-21 Tokyo Seimitsu Co Ltd ねじ測定装置
JPH02162247A (ja) * 1988-12-16 1990-06-21 Kawasaki Steel Corp 表面形状自動測定装置
JPH07332949A (ja) * 1994-06-07 1995-12-22 Kubota Corp 三次元形状入力装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62214313A (ja) * 1986-03-17 1987-09-21 Tokyo Seimitsu Co Ltd ねじ測定装置
JPH02162247A (ja) * 1988-12-16 1990-06-21 Kawasaki Steel Corp 表面形状自動測定装置
JPH07332949A (ja) * 1994-06-07 1995-12-22 Kubota Corp 三次元形状入力装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010133944A (ja) * 2008-10-29 2010-06-17 Gleason Asia Co Ltd カッターブレード検査装置
JP2010107437A (ja) * 2008-10-31 2010-05-13 Mitsutoyo Corp 表面性状測定装置
CN106002765A (zh) * 2016-07-20 2016-10-12 西安工程大学 斜入式激光干涉测量中动静压轴承夹持与调整一体化机构
CN108344359A (zh) * 2017-01-22 2018-07-31 迈得医疗工业设备股份有限公司 柔性管捋直定位机构
WO2018168064A1 (ja) * 2017-03-13 2018-09-20 株式会社Screenホールディングス 検査方法および検査装置
WO2018168065A1 (ja) * 2017-03-13 2018-09-20 株式会社Screenホールディングス ワーク保持装置、検査装置およびワーク位置補正方法
JP2018151245A (ja) * 2017-03-13 2018-09-27 株式会社Screenホールディングス 検査方法および検査装置
JP2018151243A (ja) * 2017-03-13 2018-09-27 株式会社Screenホールディングス ワーク保持装置、検査装置およびワーク位置補正方法
TWI663393B (zh) * 2017-03-13 2019-06-21 日商斯庫林集團股份有限公司 工件保持裝置、檢查裝置及工件位置補正方法
US10658219B2 (en) 2017-03-13 2020-05-19 SCREEN Holdings Co., Ltd. Workpiece holder, inspection apparatus, and workpiece position correction method
US10955358B2 (en) 2017-03-13 2021-03-23 SCREEN Holdings Co., Ltd. Inspection method and inspection apparatus

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