JP2008034434A - スイッチング素子及びその製造方法 - Google Patents
スイッチング素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008034434A JP2008034434A JP2006203025A JP2006203025A JP2008034434A JP 2008034434 A JP2008034434 A JP 2008034434A JP 2006203025 A JP2006203025 A JP 2006203025A JP 2006203025 A JP2006203025 A JP 2006203025A JP 2008034434 A JP2008034434 A JP 2008034434A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal oxide
- switching element
- thin film
- metal
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 83
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 83
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 62
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 38
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 34
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 26
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 22
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims abstract description 11
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 21
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical group [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 8
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical group [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims description 5
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 32
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 7
- 238000011282 treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 229910020647 Co-O Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910020704 Co—O Inorganic materials 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 229910002480 Cu-O Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910020599 Co 3 O 4 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011232 storage material Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 3
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 1
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- -1 chalcogenide compound Chemical class 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000011328 necessary treatment Methods 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers
- H10N70/026—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers by physical vapor deposition, e.g. sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/041—Modification of switching materials after formation, e.g. doping
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/061—Shaping switching materials
- H10N70/063—Shaping switching materials by etching of pre-deposited switching material layers, e.g. lithography
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【解決手段】遷移金属と酸素の定比化合物から、結晶構造、金属元素イオンの価数、不定比性のうち何れか1つ若しくは複数を変化させた、該遷移金属と酸素からなる金属酸化物を、第1電極と第2電極との間に形成したスイッチング素子。並びに第1電極及び第2電極の間に成膜された、組成ゆらぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜に、400〜800°Cの温度範囲で熱処理、及び/又は酸素プラズマに暴露する処理を施す工程を含む、電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子の製造方法。
【選択図】 図1
Description
本発明(1)は、遷移金属と酸素からなる定比化合物から、以下の(a)〜(c)のうち何れか1つ若しくは複数を変化させた、該遷移金属と酸素からなる金属酸化物を、第1電極と第2電極との間に形成したスイッチング素子である。
(a)結晶構造
(b)金属元素イオンの価数
(c)不定比性
本発明(2)は、前記金属酸化物が、Co1-xO(但し、式中xは、定比組成からのずれであって、0<x≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、本発明(1)のスイッチング素子である。
本発明(3)は、前記金属酸化物が、酸化コバルトであって、酸素の原子濃度が50〜100×(4/7)%の範囲内にある、本発明(1)のスイッチング素子である。
本発明(4)は、前記金属酸化物が、Cu1-yO或いはCu2O1+y(但し、式中yは、定比組成からのずれであって、0<y≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、本発明(1)のスイッチング素子である。
本発明(5)は、前記金属酸化物が、酸化銅であって、酸素の原子濃度が100×(1/3)〜50%の範囲内にある、本発明(1)のスイッチング素子である。
本発明(6)は、以下の(i)〜(iii)の工程を含む、
(i)第1電極と第2の電極を、同時乃至順次、又は次の(ii)の工程若しくは(ii)及び(iii)の工程を挟んで順に、基板上に成膜する工程、
(ii)第1電極及び第2電極の間に、組成ゆらぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜を成膜する工程、
(iii)金属酸化物薄膜を400〜800°Cの温度範囲で熱処理する工程、
両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子の製造方法である。
本発明(7)は、少なくとも、以下の(i)〜(iii)の工程を含む、
(i)基板上に組成ゆらぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜を成膜する工程、
(ii)該金属酸化物薄膜を、少なくとも対向する一対の表面を露出させるようにエッチングする工程、
(iii)少なくとも該金属酸化物薄膜の対向する一対の表面に、第1電極と第2の電極を同時乃至順次に成膜する工程、
両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子の製造方法であって、
(ii)の工程と(iii)の工程の間に、(iv)金属酸化物薄膜を400〜800°Cの温度範囲で熱処理する工程を、さらに含むことを特徴とする、スイッチング素子の製造方法である。
本発明(8)は、少なくとも、以下の(i)〜(iii)の工程を含む、
(i)基板上に、酸化により組成ゆらぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜を構成する中心金属元素からなる金属薄膜を成膜する工程、
(ii)金属薄膜の少なくとも一部を膜厚に亘って酸化する工程、
(iii)少なくとも酸化された領域を400〜800°Cの温度範囲で熱処理する工程、
両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子の製造方法である。
本発明(9)は、前記金属酸化物薄膜における中心金属元素が、Co、Cu、Fe、Mn、Ni及びTiからなる群より選ばれた何れか一種の金属である、本発明(6)〜本発明(8)の何れか1発明のスイッチング素子の製造方法である。
本発明(10)は、前記金属酸化物薄膜が、Co1-xO(但し、式中xは、定比組成からのずれであって、0<x≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、本発明(6)〜本発明(8)の何れか1発明のスイッチング素子製造方法である。
本発明(11)は、前記金属酸化物薄膜が、酸化コバルトであって、酸素の原子濃度が50〜100×(4/7)%の範囲内にある、本発明(6)〜本発明(8)の何れか1発明のスイッチング素子の製造方法である。
本発明(12)は、前記金属酸化物薄膜が、Cu1-yO或いはCu2O1+y(但し、式中yは、定比組成からのずれであって、0<y≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、本発明(6)〜本発明(8)の何れか1発明のスイッチング素子の製造方法である。
本発明(13)は、前記金属酸化物薄膜が、酸化コバルトであって、酸素の原子濃度が100×(1/3)〜50%の範囲内にある、本発明(6)〜本発明(8)の何れか1発明のスイッチング素子の製造方法である。
本発明(14)は、前記第1電極と前記第2電極が、同種又は異種の材料であって、それぞれ、W、Au、Pd、Ni及びPtからなる群から選ばれた何れか一種の金属からなることを特徴とする、本発明(6)〜本発明(13)の何れか1発明のスイッチング素子の製造方法である。
本発明(15)は、前記第1電極と前記第2電極が、同種又は異種の材料であって、それぞれ、Ti、Cu、Co、Mn及びそれらの珪化物からなる群から選ばれた何れか一種の金属からなることを特徴とする、本発明(6)〜本発明(13)の何れか1発明のスイッチング素子の製造方法である。
本発明(16)は、本発明(6)〜本発明(15)の何れか1発明のスイッチング素子の製造方法により製造された、基板上に、第1電極と第2電極間に挟まれた金属酸化物薄膜を有し、両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子である。
本発明(17)は、本発明(1)〜本発明(5)又は本発明(16)の何れか1発明のスイッチング素子を不揮発性メモリのデータ蓄積部に用いたことを特徴とする、不揮発性メモリである。
V 電圧計
Claims (17)
- 遷移金属と酸素からなる定比化合物から、以下の(a)〜(c)のうち何れか1つ若しくは複数を変化させた、該遷移金属と酸素からなる金属酸化物を、第1電極と第2電極との間に形成したスイッチング素子。
(a)結晶構造
(b)金属元素イオンの価数
(c)不定比性 - 前記金属酸化物が、Co1-xO(但し、式中xは、定比組成からのずれであって、0<x≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、請求項1記載のスイッチング素子。
- 前記金属酸化物が、酸化コバルトであって、酸素の原子濃度が50〜100×(4/7)%の範囲内にある、請求項1記載のスイッチング素子。
- 前記金属酸化物が、Cu1-yO或いはCu2O1+y(但し、式中yは、定比組成からのずれであって、0<y≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、請求項1記載のスイッチング素子。
- 前記金属酸化物が、酸化銅であって、酸素の原子濃度が100×(1/3)〜50%の範囲内にある、請求項1記載のスイッチング素子。
- 以下の(i)〜(iii)の工程を含む、
(i)第1電極と第2の電極を、同時乃至順次、又は次の(ii)の工程若しくは(ii)及び(iii)の工程を挟んで順に、基板上に成膜する工程、
(ii)第1電極及び第2電極の間に、組成ゆらぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜を成膜する工程、
(iii)金属酸化物薄膜を400〜800°Cの温度範囲で熱処理する工程、
両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子の製造方法。 - 少なくとも、以下の(i)〜(iii)の工程を含む、
(i)基板上に組成ゆらぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜を成膜する工程、
(ii)該金属酸化物薄膜を、少なくとも対向する一対の表面を露出させるようにエッチングする工程、
(iii)少なくとも該金属酸化物薄膜の対向する一対の表面に、第1電極と第2の電極を同時乃至順次に成膜する工程、
両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子の製造方法であって、
(ii)の工程と(iii)の工程の間に、(iv)金属酸化物薄膜を400〜800°Cの温度範囲で熱処理する工程を、さらに含むことを特徴とする、スイッチング素子の製造方法。 - 少なくとも、以下の(i)〜(iii)の工程を含む、
(i)基板上に、酸化により組成ゆらぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜を構成する中心金属元素からなる金属薄膜を成膜する工程、
(ii)金属薄膜の少なくとも一部を膜厚に亘って酸化する工程、
(iii)少なくとも酸化された領域を400〜800°Cの温度範囲で熱処理する工程、
両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子の製造方法。 - 前記金属酸化物薄膜における中心金属元素が、Co、Cu、Fe、Mn、Ni及びTiからなる群より選ばれた何れか一種の金属である、請求項6〜8の何れか1項記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記金属酸化物薄膜が、Co1-xO(但し、式中xは、定比組成からのずれであって、0<x≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、請求項6〜8の何れか1項記載のスイッチング素子製造方法。
- 前記金属酸化物薄膜が、酸化コバルトであって、酸素の原子濃度が50〜100×(4/7)%の範囲内にある、請求項6〜8の何れか1項記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記金属酸化物薄膜が、Cu1-yO或いはCu2O1+y(但し、式中yは、定比組成からのずれであって、0<y≦0.1の関係を満たすものに限る。)である、請求項6〜8の何れか1項記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記金属酸化物薄膜が、酸化銅であって、酸素の原子濃度が100×(1/3)〜50%の範囲内にある、請求項6〜8の何れか1項記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記第1電極と前記第2電極が、同種又は異種の材料であって、それぞれ、W、Au、Pd、Ni及びPtからなる群から選ばれた何れか一種の金属からなることを特徴とする、請求項6〜13の何れか1項記載のスイッチング素子の製造方法。
- 前記第1電極と前記第2電極が、同種又は異種の材料であって、それぞれ、Ti、Cu、Co、Mn及びそれらの珪化物からなる群から選ばれた何れか一種の金属からなることを特徴とする、請求項6〜13の何れか1項記載のスイッチング素子の製造方法。
- 請求項6〜15の何れか1項記載のスイッチング素子の製造方法により製造された、基板上に、第1電極と第2電極間に挟まれた金属酸化物薄膜を有し、両電極間への電力の印加履歴による可逆的な可変抵抗特性を有するスイッチング素子。
- 請求項1〜5又は請求項16の何れか1項記載のスイッチング素子を不揮発性メモリのデータ蓄積部に用いたことを特徴とする、不揮発性メモリ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006203025A JP5263856B2 (ja) | 2006-07-26 | 2006-07-26 | スイッチング素子及びその製造方法 |
US11/881,575 US7923711B2 (en) | 2006-07-26 | 2007-07-26 | Switching elements and production methods thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006203025A JP5263856B2 (ja) | 2006-07-26 | 2006-07-26 | スイッチング素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008034434A true JP2008034434A (ja) | 2008-02-14 |
JP5263856B2 JP5263856B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=39123577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006203025A Expired - Fee Related JP5263856B2 (ja) | 2006-07-26 | 2006-07-26 | スイッチング素子及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7923711B2 (ja) |
JP (1) | JP5263856B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100963828B1 (ko) * | 2008-03-13 | 2010-06-16 | 한국과학기술연구원 | 셋 전압 윈도우가 좁은 저항 변화 기억 소자용 박막 구조물및 그 제조 방법 |
US8390124B2 (en) | 2009-02-17 | 2013-03-05 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device including wiring via and switch via for connecting first and second wirings |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4854233B2 (ja) * | 2005-08-15 | 2012-01-18 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | スイッチング素子 |
US8143092B2 (en) * | 2008-03-10 | 2012-03-27 | Pragati Kumar | Methods for forming resistive switching memory elements by heating deposited layers |
JPWO2011043448A1 (ja) * | 2009-10-09 | 2013-03-04 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2011158703A1 (en) * | 2010-06-18 | 2011-12-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US8241944B2 (en) | 2010-07-02 | 2012-08-14 | Micron Technology, Inc. | Resistive RAM devices and methods |
JP6782211B2 (ja) * | 2017-09-08 | 2020-11-11 | 株式会社東芝 | 透明電極、それを用いた素子、および素子の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003094227A1 (en) * | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Japan Science And Technology Agency | Solid electrolyte switching device, fpga using same, memory device, and method for manufacturing solid electrolyte switching device |
JP2004363604A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Samsung Electronics Co Ltd | 一つのスイッチング素子と一つの抵抗体とを含む不揮発性メモリ装置およびその製造方法 |
JP2005199376A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ドット体とドットマスク及びその製造方法 |
JP2009521099A (ja) * | 2005-11-23 | 2009-05-28 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | ナノスケール電子スイッチングデバイスのための制御層 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4854233B2 (ja) | 2005-08-15 | 2012-01-18 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | スイッチング素子 |
-
2006
- 2006-07-26 JP JP2006203025A patent/JP5263856B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-07-26 US US11/881,575 patent/US7923711B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003094227A1 (en) * | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Japan Science And Technology Agency | Solid electrolyte switching device, fpga using same, memory device, and method for manufacturing solid electrolyte switching device |
JP2004363604A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Samsung Electronics Co Ltd | 一つのスイッチング素子と一つの抵抗体とを含む不揮発性メモリ装置およびその製造方法 |
JP2005199376A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ドット体とドットマスク及びその製造方法 |
JP2009521099A (ja) * | 2005-11-23 | 2009-05-28 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | ナノスケール電子スイッチングデバイスのための制御層 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100963828B1 (ko) * | 2008-03-13 | 2010-06-16 | 한국과학기술연구원 | 셋 전압 윈도우가 좁은 저항 변화 기억 소자용 박막 구조물및 그 제조 방법 |
US8390124B2 (en) | 2009-02-17 | 2013-03-05 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device including wiring via and switch via for connecting first and second wirings |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5263856B2 (ja) | 2013-08-14 |
US7923711B2 (en) | 2011-04-12 |
US20080054243A1 (en) | 2008-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5263856B2 (ja) | スイッチング素子及びその製造方法 | |
JP4854233B2 (ja) | スイッチング素子 | |
US7796416B2 (en) | Variable resistance element, its manufacturing method and semiconductor memory device comprising the same | |
KR101171065B1 (ko) | 기억소자 및 기억장치 | |
JP4805865B2 (ja) | 可変抵抗素子 | |
TWI459552B (zh) | 富含鍺的gst-212相變記憶體材料 | |
KR101058856B1 (ko) | 기억소자 및 이를 이용한 기억장치 | |
CN102013455A (zh) | 用于相变存储器的具有复合掺杂的相变结构 | |
JP4613478B2 (ja) | 半導体記憶素子及びこれを用いた半導体記憶装置 | |
JP2008192995A (ja) | 抵抗変化素子とその製造方法ならびにそれを用いた抵抗変化型メモリ | |
CN101257086B (zh) | 具有环形顶终端底电极的存储装置及其制作方法 | |
JP2011009739A (ja) | 低電力で動作可能なニッケル酸化層を含む抵抗スイッチングメモリセルの製造方法およびそのメモリセル | |
JP2009218260A (ja) | 抵抗変化型素子 | |
CN101159309A (zh) | 一种低功耗电阻存储器的实现方法 | |
US11825755B2 (en) | Non-volatile memory device and method of fabricating the same | |
TW201946308A (zh) | 開關元件及記憶裝置以及記憶體系統 | |
JP2007288016A (ja) | メモリ素子およびメモリ素子の製造方法 | |
Liu et al. | Interfacial resistive switching properties in Ti/La0. 7Ca0. 3MnO3/Pt sandwich structures | |
JP4465969B2 (ja) | 半導体記憶素子及びこれを用いた半導体記憶装置 | |
KR20170089726A (ko) | 스위칭 소자, 이의 제조 방법, 스위칭 소자를 선택 소자로서 포함하는 저항 변화 메모리 장치 | |
JP2007157941A (ja) | 記憶素子及び記憶装置 | |
JP5476686B2 (ja) | 抵抗変化型素子および抵抗変化型素子製造方法 | |
KR100785509B1 (ko) | ReRAM 소자 및 그 제조 방법 | |
JP7255853B2 (ja) | 非線形抵抗素子、スイッチング素子、および非線形抵抗素子の製造方法 | |
Goux et al. | Self-limited filament formation and low-power resistive switching in CuxTe1-x/Al2O3/Si CBRAM cell |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20090306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130415 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130425 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5263856 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |