JP2008026910A - アクティブマトリクス型表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、プラスチック基板と、前記プラスチック基板上に接着層を介して設けられる薄ガラス層と、前記薄ガラス層上に画素毎に設けられるアクティブ素子と、前記薄ガラス層上に設けられ前記アクティブ素子によって駆動され画素毎に表示可能な表示部と、前記表示部上に設けられる対向基板とを具備し、前記薄ガラス層の少なくとも前記アクティブ素子に対応する領域の厚みがその他の領域の厚みよりも大きいことを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置を提供する。
【選択図】図1
Description
て、クラックの存在により曲げ強度等の物性値は約1/10以下に低減してしまう。
本発明の第1の実施形態について説明する。図1は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置を示す図であり、(a)は平面図、(b)はA−A’間の断面図である。図2〜図6は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置のアクティブ素子を形成する工程を示す断面図であり、図7〜図10は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置の転写工程を示す断面図である。なお、図1(a)では表示装置中の2×2の素子、図1(b)、図7〜図10では2つの素子、図2〜図6では1つの素子のみを示しているが、実際は、これらの素子が多数、2次元アレイ状に配置されている。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図19は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置を示す断面図である。図20〜図23は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置の製造方法を示す断面図である。なお、図19では2つの素子、図20〜図23では1つの素子のみを示しているが、実際はこれらの素子が多数、2次元アレイ状に配置されている。本実施形態については、第1の実施形態と異なる点のみ説明し、同様の部分は省略する。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。図24は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置を示す断面図である。図27〜図29は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置の製造方法を示す断面図である。なお、図24、図26〜図29では2つの素子のみを示しているが、実際はこれらの素子が多数、2次元アレイ状に配置されている。また、薄膜トランジスタの詳細は省略している。本実施形態については、第1の実施形態と異なる点のみ説明し、同様の部分は省略する。
Al)をスパッタ法により約100nm程度成膜して圧縮応力印加層501とす
る。このとき、基板温度を100℃程度とする。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。図30は本実施形態のアクティブマトリクス型表示装置を示す断面図である。図30では、2つの素子のみを示しているが、実際はこれらの素子が多数、2次元アレイ状に配置されている。また、アクティブ素子の詳細は省略している。本実施形態については、第1の実施形態と異なる点のみ説明し、同様の部分は省略する。
102…接着層
103…薄ガラス層
104…アンダーコート層
105…薄膜トランジスタ
106…液晶層
107…対向電極
108…対向基板
110…活性層
111…ゲート絶縁膜
112…ゲート電極
113…層間絶縁膜
114…ソース・ドレイン電極
115…画素電極
201…ガラス基板
202…ゲート線群
203…信号線群
204…仮着層
205…中間基板
301…クラック
302…凹凸
401…薄ガラス層の厚い領域
402…薄ガラス層の薄い領域
403…レジスト
501…圧縮応力印加層
601…水酸基侵入防止層
Claims (1)
- プラスチック基板と、
前記プラスチック基板上に接着層を介して設けられる膜厚5μm以上、100μm以下の薄ガラス層と、
前記薄ガラス層上に画素毎に設けられるアクティブ素子と、
前記薄ガラス層上に設けられ前記アクティブ素子によって駆動され画素毎に表示可能な表示部と、
前記表示部上に設けられる対向基板と
を具備し、
前記薄ガラス層の少なくとも前記アクティブ素子に対応する領域の厚みがその他の領域の厚みよりも大きいことを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。
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