JP3877707B2 - 薄膜装置のプラスチック基板への転写方法及びこれを用いた可撓性液晶ディスプレイの製造方法 - Google Patents
薄膜装置のプラスチック基板への転写方法及びこれを用いた可撓性液晶ディスプレイの製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラスチックディスプレイ工程(plastic display process)に関するもので、特に、薄膜トランジスタ(thin film transistor;TFT)等の薄膜装置を、プラスチック基板に転写する転写方法及びこれを用いた可撓性液晶ディスプレイの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ(liquid crystal display;LCD)は、計算機、時計、ビデオゲーム、オーディオ、ビデオ機器、携帯用コンピューター、車のダッシュボード等、の情報ディスプレイとして幅広く採用されている。LCDは、モバイル機器に幅広く用いられ、特に、軽量は好ましい特徴である。
【0003】
このような装置に用いられる基板は、0.7〜1.1mmの厚さのガラス基板である。ガラスは単位体積の重量が大きいため、ディスプレイの総重量は使用されるガラス基板の大きさと厚さにより決定される。更に、ガラス基板は、折り曲げにくく、LCDは可撓性が得られなくなる。このことから、基板に用いられる材料の軽量化、可撓性を研究することが重要となる。
【0004】
あるアプリケーションにおいて、プラスチック基板は、LCDの低重量基板として用いられる。プラスチックの高い強度と可撓性は、可撓性ディスプレイの製造を可能にする。しかし、TFT装置を直接プラスチック基板に形成する等、アクティブ装置を製造する高温処理間、プラスチック基板は、応力と張力を受ける。つまり、プラスチック基板とTFTの薄膜間の膨張率(expansion coefficient)の差は相当大きく、薄膜は熱サイクル工程を繰り返す間、分離或いは亀裂が生じ、装置の信頼性と歩留まり率に深刻な影響を与える。
【0005】
これを改善する第1の手法として、アジアディスプレイ国際ワークショップ/IDW2001の339〜342ページの“Low Temperature Poly−Si TFT LCD Transferred onto Plastic Substrate Using Surface Free Technology by Laser Ablation/Annealing”という論説中、下田氏らにより、高エネルギーレーザーにより、ガラス基板から薄膜装置を剥離する手法が開示されている。同様の手法は、例えば特許文献1にも記載されている。
【0006】
【特許文献1】
国際公開WO98/09333号パンフレット(明細書第2−4頁参照)
【0007】
また、第2の手法として、情報ディスプレイ学会SID DIGEST2002の、P1196〜P1199の“Low Temperature Polycrystalline−silicon TFT color LCD Panel Made of Plastic Substrate”中、浅野氏らにより、HFエッチングによりガラス基板を除去する手法が開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した第1の手法では、高価なレーザー装置を必要とし、コストの上昇という問題がある。一方、上記した第2の手法では、強酸と危険な作業環境により、薄膜装置の損傷を招くという問題がある。
【0009】
そこで、本発明は、可撓性LCDの提供を可能にすることを目的とする。さらに、TFT工程中、過熱によるダメージを受けることなく、薄膜トランジスタTFT等の薄膜装置を、プラスチック基板に転写する方法を提供することをもう一つの目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明は、薄膜装置をプラスチック基板に転写する転写方法を提供する。
【0011】
その方法によれば、含銀のバッファ層がガラス基板上に形成される。薄膜装置を含む転写層は、含銀のバッファ層の一部上に形成され、少なくとも一つの第一ホールが前記転写層を貫通して、含銀バッファ層を露出し、含銀バッファ層のエッジも露出される。少なくとも一つの第二ホールを備える第一プラスチック層は、リムーバブルゲルにより、前記転写層に接着し、前記第二ホールは前記第一ホールに対応し、前記第一プラスチック層の一部は、含銀バッファ層のエッジ上に配置される。含銀バッファ層は酸化されて膨張し、含銀バッファ層と転写層とを分離する。第二プラスチック層は転写層に接着する。リムーバブルゲルが取り除かれ、第一プラスチック層を除去する。
【0012】
本発明は、銀の膨張特性により、TFT工程の過熱によりダメージを受けることなく、薄膜装置をガラス基板からプラスチック基板に転写する。よって、本発明は、可撓性LCD製造に適用できる。さらに、本発明の方法は、高価なレーザー装置、強酸によるガラス基板の除去を必要とせず、コスト削減、作業場の安全等、公知技術の欠点を改善する。
【0013】
【発明の実施の形態】
上述した本発明の目的、特徴、及び長所をいっそう明瞭にするため、以下に本発明の好ましい実施の形態を挙げ、図面を参照しながらさらに詳しく説明する。
【0014】
本発明は、薄膜トランジスタTFT、薄膜ダイオードTFDなどの薄膜装置を、プラスチック基板に転写する方法を提供する。以下では、例として、TFTアレイを画素駆動素子アレイとして、プラスチックシートに転写する方法について説明する。
【0015】
図1〜図7は、本発明による転写方法を示す断面図である。
【0016】
図1において、酸化ケイ素層(SiOx)110と含銀(silver(Ag)−containing)バッファ層120とが、ガラス基板100に連続して形成される。ガラス基板100と含銀バッファ層120との間の接着強度は、その間に形成された酸化ケイ素層110により改善される。ガラス基板100は、好ましくは耐熱ガラス基板であるのがよい。
【0017】
ここで、酸化ケイ素層110は、厚さが200〜1000ÅのSiO2で、化学気相蒸着(chemical vapor deposition;CVD)により形成される。含銀バッファ層120は、厚さが2000〜5000Åの銀(Ag)で、スパッタリングにより形成される。
【0018】
図2において、複数のTFTアレイ240を備える転写層220は、含銀バッファ層120の一部上に形成される。少なくとも一つの第一ホール(スルーホール)210は転写層220を貫通して、ホール210内で、転写層220を露出する。また、転写層220のエッジ125も露出する。好ましくは、転写層220のエッジ125の幅“W”は、約10〜20mmである。さらに好ましくは、Wは15mmである。
【0019】
TFTアレイ240の形成工程の例が記述される。つまり、TFT構造はボトムゲート型、或いはトップゲート型である。図3は、トップゲート型の製造工程を示すが、これに限定されるものではない。CVDにより、SiO2、或いは、SiNのバッファ層(図示しない)が、含銀バッファ層120上に形成される。その後、チャネル層となる半導体層222がバッファ層(図示しない)の一部に形成される。半導体層222は、蒸着、或いはパターンにより形成されるシリコン層である。
【0020】
次に、ゲート絶縁層224が、半導体層222と含銀バッファ層120上に形成される。ゲート絶縁層224は、CVDにより形成されたSiO2層である。その後、ゲート226が蒸着とパターンにより、ゲート絶縁層224の一部上に形成される。ゲート226はドープポリシリコン、金属、或いは合金層である。ゲート226をマスクとして、イオン注入(ion−implantation)が半導体層222で実行される。ソース領域228とドレイン領域230がゲート226両側の半導体層222に形成される。
【0021】
次に、SiO2層などの絶縁層232が、ゲート226とゲート絶縁層224上に蒸着する。その後、フォトリソグラフィ、エッチング、蒸着により、ソース電極234はソース領域228に電気的に接続され、ドレイン電極236はドレイン領域230に電気的に接続する。これにより、TFTアレイ240が得られる。
【0022】
次に、パッシベーション層238が、TFTアレイ240と絶縁層232上に形成される。パッシベーション層238は、蒸着により形成されたSiN、SiO2、リン珪酸ガラス(phosphosilicate glass;PSG)、或いはボロンドープPSG(boron doped PSG)層である。更に、平坦化工程(planarization procedure)が実行されて、パッシベーション層238の表面を滑らかにする。よって、図3で示されるように、TFTアレイ240を備える転写層220は、絶縁材(絶縁層224、232、238)からなる。
【0023】
ここで注意すべきことは、含銀バッファ層120を露出するホール210は、各絶縁層(絶縁層224、232、パッシベーション層238)を蒸着した後、前もって、形成されていることである。しかし、ホール210も、フォトリソグラフィを実行することにより、転写層220を蒸着した後形成される。つまり、本工程の目的は、ホール210を形成して、含銀バッファ層120を露出することである。なお、ホール210を形成する方法は、上述した本発明の方法に限定されるものではない。
【0024】
さらに、ホール210の位置は、好ましくは、LCDパネルの所定のスクライブライン(scribe line)で、画素領域のダメージを避ける。
【0025】
図4において、少なくとも一つの第二ホール310を備える第一プラスチック層320は、リムーバブルゲルにより、転写層220に接着される。第一プラスチック層320の厚さは、約0.4mmである。リムーバブルゲルは、例えば、日本化薬株式会社のKAYATORON ML−3600P5A水溶性ゲルである。第二ホール310は、第一ホール210に対応し、第一プラスチック層320の一部は、含銀バッファ層120のエッジ125上に位置する。好ましくは、転写層220と第一プラスチック層320上に、少なくとも一つのアライメントマスク(alignment mask)(図示しない)があり、互いに正確に対応している。注意すべきことは、リムーバブルゲルを塗布する時、第一ホール210と第二ホール310にかからないようにすることである。
【0026】
図5において、含銀バッファ層120(エッジ125とホール120の一部)は、酸化されて膨張し、含銀バッファ層120と転写層220を分離する。酸化方法は例えば、酸素プラズマ(oxygen plasma)工程410である。これにより、図6に示されるように、転写層220はガラス基板100から分離される。
【0027】
図5において、酸化中、含銀バッファ層120のエッジ125が膨張し、推力“F”を生じて、転写層220と第一プラスチック層320を押す。ホール210中の含銀バッファ層120も、酸化中に膨張し、剥離を加速する。さらに、酸素プラズマ工程410は、含銀バッファ層120内で、内部応力/張力を生じ、剥離を加速する。酸素プラズマ工程410は、100〜150℃、1〜2Pa及び、RFパワー(RF power)は、3000〜5000Wの環境下で実施される。
【0028】
図7において、第二プラスチック層620は、恒久的な接着剤610により、転写層220に接着される。第二プラスチック層620の厚さは、0.4mmである。恒久的な接着剤は、スリーボンド社のTB3021J非水溶性接着剤などである。ゲルは水溶性であるため、第一プラスチック層320はその後、除去される。第一、或いは第二プラスチック層320、620は、例えば、PET、PC、エポキシ等の感熱材である。よって、第二プラスチック620(下基板となる)上に形成される薄膜装置240が得られる。
【0029】
図8は、本発明の方法を可撓性LCDの製造に適用したものを示す図である。複数の画素電極710は、転写層220上に形成され、TFTアレイ240のソース電極234、或いはドレイン電極236に、電気的に接続されている。画素電極710はインジウムスズ酸化物ITO、或いはAl電極である。第二プラスチック層620(下基板)と反対の透明可撓性板720が提供される。透明可撓性板720は上基板となる。ITO層などのコモン電極730が透明可撓性板720の内側に形成される。その後、液晶材は第二プラスチック層620と透明可撓性板720間のスペースを充填し、ディスプレイ層740を形成する。
【0030】
従って、本発明は、高温工程で薄膜装置が高熱のダメージを受けることなく、薄膜装置(薄膜トランジスタ)をガラス基板からプラスチック基板に転写することが出来る。本発明は、可撓性LCD製造に適用することが出来る。さらに、本方法は、高価なレーザー装置や、強酸によりガラス基板を除去する必要がなく、コスト削減、作業場の安全等、公知技術の欠点を改善するものである。
【0031】
本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【0032】
【発明の効果】
以上のように、本発明の転写方法によれば、高温工程で薄膜装置が高熱のダメージを受けることなく、薄膜装置をガラス基板からプラスチック基板に転写することが出来る。そして、この転写方法により可撓性LCDを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の具体例による薄膜装置をプラスチック基板に転写する製造工程を示す図である。
【図2】本発明の具体例による薄膜装置をプラスチック基板に転写する製造工程を示す図である。
【図3】本発明の具体例による薄膜装置をプラスチック基板に転写する製造工程を示す図である。
【図4】本発明の具体例による薄膜装置をプラスチック基板に転写する製造工程を示す図である。
【図5】本発明の具体例による薄膜装置をプラスチック基板に転写する製造工程を示す図である。
【図6】本発明の具体例による薄膜装置をプラスチック基板に転写する製造工程を示す図である。
【図7】本発明の具体例による薄膜装置をプラスチック基板に転写する製造工程を示す図である。
【図8】本発明の転写方法を可撓性LCDの製造に応用した例の図である。
【符号の説明】
100…基板
110…酸化ケイ素層(SiOx)
120…含銀バッファ層
125…エッジ
210…第一ホール
220…転写層
222…半導体層
224…ゲート絶縁層
226…ゲート
228…ソース領域
230…ドレイン領域
232…絶縁層
234…ソース電極
236…ドレイン電極
238…パッシベーション層
240…TFTアレイ
310…第二ホール
320…第一プラスチック層
410…酸素プラズマ工程
610…接着剤
620…第二プラスチック層
710…画素電極
720…透明可撓性板
730…コモン電極
740…ディスプレイ層
Claims (6)
- 薄膜装置をプラスチック基板に転写する転写方法であって、
ガラス基板を提供する工程と、
酸化ケイ素層(SiOx)を前記ガラス基板に形成する工程と、
含銀バッファ層を前記酸化ケイ素層に形成する工程と、
少なくとも一つの第一ホールを有し、薄膜装置を備える転写層を、前記含銀バッファ層の一部上に形成すると共に、前記含銀バッファ層のエッジを露出する工程と、
水溶性ゲルにより、少なくとも一つの第二ホールを備える第一プラスチック層を前記転写層に接着し、前記第二ホールは前記第一ホールに対応し、前記第一プラスチック層の一部は前記含銀バッファ層のエッジ上に位置する工程と、
酸素プラズマにより、前記含銀バッファ層を酸化して膨張させ、前記含銀バッファ層を前記転写層から剥離する工程と、
非水溶性接着剤により、第二プラスチック層を前記転写層に接着する工程と、
前記水溶性ゲルを取り除いて、前記第一プラスチック層を除去する工程と、
を備えることを特徴とする薄膜装置のプラスチック基板への転写方法。 - 前記含銀バッファ層の厚さは、2000〜5000Åであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜装置のプラスチック基板への転写方法。
- 前記含銀バッファ層は絶縁層を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜装置のプラスチック基板への転写方法。
- 前記薄膜装置は薄膜トランジスタであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜装置のプラスチック基板への転写方法。
- 前記含銀バッファ層のエッジの幅は、10〜20mmであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜装置のプラスチック基板への転写方法。
- 請求項1ないし5のいずれかによる転写方法を用いて前記第二プラスチック層に接着した前記転写層上に、画素電極、ディスプレイ層、コモン電極、透明可撓性板を形成して可撓性液晶ディスプレイを製造することを特徴とする可撓性液晶ディスプレイの製造方法。
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