JP2008026435A - 半透過型液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
半透過型液晶表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
各画素領域に設けられた透過電極と反射電極の間にバリアメタル膜が配置されている半透過型液晶表示装置において、AlまたはAl合金膜からなる反射電極とITO膜からなる透過電極の間で生じる電池反応を抑制して、透過電極の断線を防止する。
【解決手段】
反射電極16は、感光性層間絶縁膜15及びバリアメタル膜を介してガラス基板上に配置されていると共に、バリアメタル膜23を介して透過電極14に電気的に接続される。各画素領域Pにおいて、透過電極14とそれに対応する走査線11とが離れて配置されていると共に、透過電極14とそれに対応する走査線11との距離が2μm以上、好ましくは3μm以上に設定される。
【選択図】 図1
Description
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm以上に設定されていることを特徴とするものである。
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが部分的に重なって配置されているか、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm未満に設定されており、
前記層間絶縁膜が、前記走査線を覆うように形成されていて、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が前記層間絶縁膜で覆われていることを特徴とするものである。
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が半導体膜で覆われており、その半導体膜は、前記走査線と重ねられていると共に当該走査線に沿って延在していることを特徴とするものである。
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上で複数の前記走査線の各々に隣接して当該走査線に沿って延在する複数の共通電極線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極と、
前記共通電極線に沿って延在する第1部分と、前記信号線と重ねて配置されると共に当該信号線に沿って延在する第2部分とを持つ共通電極と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記層間絶縁膜が、前記透過電極を露出させて透過領域を画定する窓を除いて、前記基板の全面を覆っており、
前記層間絶縁膜の前記共通電極の前記第2部分と重なる領域の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、且つ前記第2部分の幅に等しいかそれよりも小さく設定されており、
前記共通電極の前記第2部分の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、それらの幅の差は前記第2部分の両側においてそれぞれ2μm以上に設定されていることを特徴とするものである。
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置を製造する方法において、
前記基板上に前記透過電極用の導電膜を形成する工程と、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm以上に設定されるように、前記導電膜をパターン化する工程と
を備えたことを特徴とするものである。
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置を製造する方法において、
前記基板上に前記透過電極用の導電膜を形成する工程と、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが部分的に重なって配置されているか、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm未満に設定されるように、前記導電膜をパターン化する工程と、
前記走査線を覆うように前記層間絶縁膜を形成し、もって前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間を前記層間絶縁膜で覆う工程と
を備えたことを特徴とするものである。
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置の製造方法において、
前記基板上に半導体膜を形成する工程と、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が前記半導体膜で覆われ、且つその半導体膜が前記走査線と重なると共に当該走査線に沿って延在するように、前記半導体膜をパターン化する工程とを備えたことを特徴とするものである。
基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上で複数の前記走査線の各々に隣接して当該走査線に沿って延在する複数の共通電極線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極と、
前記共通電極線に沿って延在する第1部分と、前記信号線と重ねて配置されると共に当該信号線に沿って延在する第2部分とを持つ共通電極と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置の製造方法において、
前記基板上に前記共通電極用の導電膜を形成する工程と、
前記共通電極線に沿って延在する第1部分と、前記信号線と重ねて配置されると共に当該信号線に沿って延在する第2部分とを持つように、前記共通電極用の導電膜をパターン化する工程と、
前記基板上に前記層間絶縁膜用の絶縁膜を形成する工程と、
前記透過電極を露出させて透過領域を画定する窓を除いて前記基板の全面を覆うように、前記層間絶縁膜用の絶縁膜をパターン化する工程とを備え、
前記共通電極用の導電膜をパターン化する工程では、前記層間絶縁膜の前記共通電極の前記第2部分と重なる領域の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、且つ前記第2部分の幅に等しいかそれよりも小さく設定され、
前記層間絶縁膜用の絶縁膜をパターン化する工程では、前記共通電極の前記第2部分の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、それらの幅の差は前記第2部分の両側においてそれぞれ2μm以上に設定されることを特徴とするものである。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半透過型液晶表示装置に使用されるTFTアレイ基板の概略構成を示す部分平面図であり、図2はそのA1−A1線に沿った部分断面図である。図3〜図9は、それぞれ、当該TFTアレイ基板の製造工程を示す、図1と同様の部分平面図である。図10は、バリアメタル膜と反射電極を形成する工程を示すA1−A1線に沿った部分断面図である。図11〜図12は、それぞれ、バリアメタル膜と反射電極を形成する工程を示すA1−A1線に沿った部分断面図である。これらの図はいずれも、一つの画素領域Pについてのみ示している。
図14〜図17は、それぞれ、本発明の第2実施形態に係る半透過型液晶表示装置に使用されるTFTアレイ基板の製造方法を示す部分平面図であり、図18は、図17のA2−A2線に沿った部分断面図である。これらの図も、一つの画素領域Pについてのみ示している。
図19〜図20は、それぞれ、本発明の第3実施形態に係る半透過型液晶表示装置に使用されるTFTアレイ基板の製造方法を示す部分平面図である。これらの図も、一つの画素領域Pについてのみ示している。この第3実施形態は、第2実施形態の変形例に相当するものであるが、第1実施形態の変形例ということもできる。
図21〜図22は、本発明の第4実施形態に係る半透過型液晶表示装置に使用されるTFTアレイ基板の製造方法を示す部分平面図であり、図23は図22のA4−A4線に沿った部分断面図である。これらの図も、一つの画素領域Pについてのみ示している。
図24〜図30は、本発明の第5実施形態に係る半透過型液晶表示装置に使用されるTFTアレイ基板の製造方法を示す部分平面図であり、図31は図30のC−C線に沿った部分断面図である。これらの図はいずれも、一つの画素領域Pについてのみ示している。この半透過型液晶表示装置は、いわゆるIPS(In-Plane Switching)型(横電界型ともいう)である点で、上述した第1〜第4実施形態とは異なる。
上述した第1〜第5の実施形態は本発明を具体化した例を示すものである。したがって、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を外れることなく種々の変形が可能であることは言うまでもない。
11 走査線
11a ゲート電極
12、12a、12b、12c 半導体膜
13 信号線
13s ソース電極
13d ドレイン電極
14、14A 透過電極
15、15A、15B、15C、15D 感光性層間絶縁膜
15Aa、15Da 感光性層間絶縁膜の窓
15Ba 感光性層間絶縁膜の透孔
16 反射電極
16a 反射電極用金属膜
17 共通電極線
18 共通電極
21 ゲート絶縁膜
22 パッシベーション膜
22a、22b パッシベーション膜のコンタクトホール
23 バリアメタル膜
23a バリアメタル膜用金属膜
24 フォトレジスト膜
25 TFT
30 クラック
110 ガラス基板
111 走査線
111a ゲート電極
112、112a 半導体膜
113 信号線
113s ソース電極
113d ドレイン電極
114 透過電極
115 感光性層間絶縁膜
116 反射電極
116a 反射電極用金属膜
121 ゲート絶縁膜
122 パッシベーション膜
122a パッシベーション膜のコンタクトホール
123 バリアメタル膜
123a バリアメタル膜用金属膜
124 フォトレジスト膜
125 TFT
130 クラック
140 透過電極の消失箇所
T 透過領域
R 反射領域
P 画素領域
Claims (20)
- 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm以上に設定されていることを特徴とする半透過型液晶表示装置。 - 前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が3μm以上に設定されている請求項1に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記透過電極とそれに対応する前記信号線との距離も2μm以上に設定されている請求項1または2に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記層間絶縁膜が前記走査線を覆うように形成されていて、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が前記層間絶縁膜で覆われている請求項1〜3のいずれか1項に記載の半透過型液晶表示装置。
- 前記層間絶縁膜が、前記透過電極を露出させる透過領域に相当する幅を有していると共に、前記走査線に沿って延在する帯状の透孔を有している請求項4に記載の半透過型液晶表示装置。
- 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが部分的に重なって配置されているか、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm未満に設定されており、
前記層間絶縁膜が、前記走査線を覆うように形成されていて、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が前記層間絶縁膜で覆われていることを特徴とする半透過型液晶表示装置。 - 前記層間絶縁膜が、前記透過電極を露出させて透過領域を画定する窓を除いて、前記基板の全面を覆っている請求項6に記載の半透過型液晶表示装置。
- 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が半導体膜で覆われており、その半導体膜は、前記走査線と重ねられていると共に当該走査線に沿って延在していることを特徴とする半透過型液晶表示装置。 - 前記層間絶縁膜が前記走査線を覆うように形成されていて、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が前記層間絶縁膜で覆われている請求項8に記載の半透過型液晶表示装置。
- 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上で複数の前記走査線の各々に隣接して当該走査線に沿って延在する複数の共通電極線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極と、
前記共通電極線に沿って延在する第1部分と、前記信号線と重ねて配置されると共に当該信号線に沿って延在する第2部分とを持つ共通電極と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置において、
前記層間絶縁膜が、前記透過電極を露出させて透過領域を画定する窓を除いて、前記基板の全面を覆っており、
前記層間絶縁膜の前記共通電極の前記第2部分と重なる領域の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、且つ前記第2部分の幅に等しいかそれよりも小さく設定されており、
前記共通電極の前記第2部分の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、それらの幅の差は前記第2部分の両側においてそれぞれ2μm以上に設定されていることを特徴とする半透過型液晶表示装置。 - 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置を製造する方法において、
前記基板上に前記透過電極用の導電膜を形成する工程と、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm以上に設定されるように、前記導電膜をパターン化する工程と
を備えたことを特徴とする半透過型液晶表示装置の製造方法。 - 前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が3μm以上に設定される請求項11に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記透過電極とそれに対応する前記信号線との距離が2μm以上に設定される請求項11または12に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記走査線を覆うように前記層間絶縁膜を形成し、もって前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間を前記層間絶縁膜で覆う工程をさらに含む請求項11〜13のいずれか1項に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間を前記層間絶縁膜で覆う工程において、前記層間絶縁膜が、前記透過電極を露出させる透過領域に相当する幅を有すると共に前記走査線に沿って延在する帯状の透孔を有するようにパターン化される請求項14に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置を製造する方法において、
前記基板上に前記透過電極用の導電膜を形成する工程と、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが部分的に重なって配置されているか、前記透過電極とそれに対応する前記走査線とが離れて配置されていると共に、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との距離が2μm未満に設定されるように、前記導電膜をパターン化する工程と、
前記走査線を覆うように前記層間絶縁膜を形成し、もって前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間を前記層間絶縁膜で覆う工程と
を備えたことを特徴とする半透過型液晶表示装置の製造方法。 - 前記層間絶縁膜が、前記透過電極を露出させて透過領域を画定する窓を除いて、前記基板の全面を覆うようにパターン化される請求項16に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置の製造方法において、
前記基板上に半導体膜を形成する工程と、
前記画素領域の各々において、前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間が前記半導体膜で覆われ、且つその半導体膜が前記走査線と重なると共に当該走査線に沿って延在するように、前記半導体膜をパターン化する工程とを備えたことを特徴とする半透過型液晶表示装置の製造方法。 - 前記走査線を覆うように前記層間絶縁膜を形成し、もって前記透過電極とそれに対応する前記走査線との間の隙間を前記層間絶縁膜で覆う工程をさらに含む請求項18に記載の半透過型液晶表示装置の製造方法。
- 基板上に第1方向に沿って形成され且つ前記第1方向に直交する第2方向に所定間隔で配置された複数の走査線と、
前記基板上で複数の前記走査線の各々に隣接して当該走査線に沿って延在する複数の共通電極線と、
前記基板上に前記第2方向に沿って形成され且つ前記第1方向に所定間隔で配置された複数の信号線と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極と、
前記共通電極線に沿って延在する第1部分と、前記信号線と重ねて配置されると共に当該信号線に沿って延在する第2部分とを持つ共通電極と、
前記走査線と前記信号線によって前記基板上に画定された複数の画素領域の各々に配置された透過電極及び反射電極とを備え、
前記反射電極は、層間絶縁膜及びバリアメタル膜を介して前記基板上に配置されていると共に、前記バリアメタル膜を介して前記透過電極に電気的に接続されている半透過型液晶表示装置の製造方法において、
前記基板上に前記共通電極用の導電膜を形成する工程と、
前記共通電極線に沿って延在する第1部分と、前記信号線と重ねて配置されると共に当該信号線に沿って延在する第2部分とを持つように、前記共通電極用の導電膜をパターン化する工程と、
前記基板上に前記層間絶縁膜用の絶縁膜を形成する工程と、
前記透過電極を露出させて透過領域を画定する窓を除いて前記基板の全面を覆うように、前記層間絶縁膜用の絶縁膜をパターン化する工程とを備え、
前記共通電極用の導電膜をパターン化する工程では、前記層間絶縁膜の前記共通電極の前記第2部分と重なる領域の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、且つ前記第2部分の幅に等しいかそれよりも小さく設定され、
前記層間絶縁膜用の絶縁膜をパターン化する工程では、前記共通電極の前記第2部分の幅が、それと重なった前記信号線の幅よりも大きく、それらの幅の差は前記第2部分の両側においてそれぞれ2μm以上に設定されることを特徴とする半透過型液晶表示装置の製造方法。
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