JP2008024579A - 反応焼結窒化ケイ素基複合材料及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ケイ素を含む原料を用い、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結の行程を経た後、緻密化された窒化ケイ素基複合材料であって、Zrの酸化物及び/又は窒化物が分散した状態で含まれている、かつ、粒界相が少なくともAlとSiを含む酸化物又は酸窒化物の非晶質相である、ことを特徴とする窒化ケイ素基複合材料、その製造方法、及び出発原料として、ケイ素を含む原料を用い、酸化ジルコニウム及び焼結助剤を所定の配合によって混合、成形し、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結を行った後、昇温し、緻密化させることを特徴とするβサイアロン基セラミックスを含む窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
【効果】低コストで信頼性に優れた窒化ケイ素基複合材料を提供することができる。
【選択図】図2
Description
(1)ケイ素を含む原料を用い、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結の行程を経た後、緻密化された窒化ケイ素基複合材料であって、1)Zrの酸化物及び/又は窒化物が分散した状態で含まれている、かつ、2)粒界相が少なくともAlとSiを含む酸化物又は酸窒化物の非晶質相である、ことを特徴とする窒化ケイ素基複合材料。
(2)マトリクスを形成する結晶相の主成分が、窒化ケイ素もしくは窒化ケイ素にAl2O3が固溶したβ−サイアロン(Si6−ZAlZOZN8−Z)で構成され、かつそのZ値が0.5〜3である、前記(1)に記載の窒化ケイ素基複合材料。
(3)分散しているZrの酸化物及び/又は窒化物の粒径が、大きくても20ミクロンである、前記(1)又は(2)に記載の窒化ケイ素基複合材料。
(4)分散しているZrの酸化物及び/又は窒化物の体積分率が、20vol%を越えない、前記(1)から(3)のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料。
(5)上記窒化ケイ素基複合材料において、粒界相にFeの酸化物もしくはケイ化物が分散された状態で含まれる、前記(1)から(4)のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料。
(6)焼結体の密度が、95%以上の理論密度を有する、前記(1)から(5)のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料。
(7)前記(1)から(5)のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料を使用して高強度、高靭性及び高耐食性のいずれか一つ以上を付与したことを特徴とする構造部材。
(8)ケイ素を含む原料を用い、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結の行程を経た材料であって、Zrの酸化物及び/又は窒化物が分散した状態で含まれていることを特徴とする窒化ケイ素基複合材料。
(9)出発原料として、ケイ素を含む原料を用い、酸化ジルコニウム及び焼結助剤を所定の配合によって混合、成形し、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結を行った後、昇温し、緻密化させることを特徴とする窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(10)酸化ジルコニウム2〜20重量部、スピネルを5〜10重量部をそれぞれ添加した混合粉末を、成形後、窒素を含む雰囲気中でケイ素を窒化ケイ素に転化した後、温度を上げ、緻密化する、前記(9)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(11)混合する酸化ジルコニウムが、Y、Mg又はCe元素の添加によって正方晶もしくは立方晶に少なくても90%が安定化されたジルコニアもしくは部分安定化ジルコニアである、前記(9)又は(10)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(12)酸化ジルコニウムが、酸化イットリウムにより部分的に安定化されている、前記(9)又は(10)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(13)酸化ジルコニウムが、2−3モルの酸化イットリウムの添加によって結晶相の少なくても90%が正方晶である、前記(12)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(14)窒化のための焼結温度が、1300〜1500℃の範囲であり、反応焼結後の焼成温度が、1650〜1950℃の範囲である、前記(9)又は(10)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(15)出発原料として、窒化ケイ素粉末を配合した原料を用いる、前記(9)又は(10)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(16)上記ケイ素粉末が、0.2−5%のFe元素を含む、前記(9)又は(10)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
(17)上記ケイ素粉末が、粒径30ミクロン又はそれを上回る大きさの粒子を5−40%含む、前記(9)又は(10)に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
本発明は、ケイ素を含む原料を用い、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結の行程を経た後、緻密化された窒化ケイ素基複合材料であって、Zrの酸化物及び/又は窒化物が分散した状態で含まれている、かつ、粒界相が少なくともAlとSiを含む酸化物又は酸窒化物の非晶質相である、ことを特徴とするものである。
(1)本発明は、ケイ素を主原料として用いて、構造部材としての信頼性が高く、実用構造部材として十分な特性を有する窒化ケイ素基複合材料を低コストで作製し、提供することを可能とする。
(2)本発明の窒化ケイ素基複合材料は、相対密度が95%程度においても、高強度、強靭性を有する構造部材として好適に使用することが可能な優れた特性を有している。
(3)本発明では、安価な原料を用いて、短い反応焼結時間で、省エネルギーで、高強度及び高靭性を備えた高品質の窒化ケイ素基複合材料を製造し、提供することができる。
(4)従来の窒化ケイ素粉末を原料として用いて作製される窒化ケイ素焼結体と比べて、安価な部材の提供が可能である、製造時の品質管理が容易である、等の利点が得られる。
(5)反応焼結という手法を用いているために、焼結時の収縮が従来の窒化ケイ素原料を使用した場合と比較して小さいために、製品作製時の焼成後のばらつきが減るため、歩留まりが向上する。
(6)粗大なケイ素粒子も短時間、低温で窒化可能であることから、混合時の溶媒として、アルコールではなく、水の使用も可能であるため、低環境負荷で材料を得ることが可能である。
3Si+2N2→Si3N4
この場合、質量は約1.67倍に増加する。すなわち、本試験結果は、ZrO2の添加がケイ素の窒化を促進していることを示している。
ZrNの生成量が多いことが確認されたが、いずれの場合においても、800MPa程度の高い強度を示していた。これは、ZrO2の応力誘起変態が、強靱化の主因子ではなく、マトリクスである窒化ケイ素と熱膨張差に起因する弱い界面が粒界で形成されるため、亀裂が界面に沿って進行し、強靱化を行っていることによると考えられる。
0.5N2[g]+ZrO2[sl]=O2[g]+ZrN[sl]
2SiO2[sl]+ZrN[sl]=0.5N2[g]+2SiO[g]+ZrO2[sl]
2N2[g]+3SiO[g]=1.5O2[g]+Si3N4[s]
Claims (17)
- ケイ素を含む原料を用い、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結の行程を経た後、緻密化された窒化ケイ素基複合材料であって、(1)Zrの酸化物及び/又は窒化物が分散した状態で含まれている、かつ、(2)粒界相が少なくともAlとSiを含む酸化物又は酸窒化物の非晶質相である、ことを特徴とする窒化ケイ素基複合材料。
- マトリクスを形成する結晶相の主成分が、窒化ケイ素もしくは窒化ケイ素にAl2O3が固溶したβ−サイアロン(Si6−ZAlZOZN8−Z)で構成され、かつそのZ値が0.5〜3である、請求項1に記載の窒化ケイ素基複合材料。
- 分散しているZrの酸化物及び/又は窒化物の粒径が、大きくても20ミクロンである、請求項1又は2に記載の窒化ケイ素基複合材料。
- 分散しているZrの酸化物及び/又は窒化物の体積分率が、20vol%を越えない、請求項1から3のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料。
- 上記窒化ケイ素基複合材料において、粒界相にFeの酸化物もしくはケイ化物が分散された状態で含まれる、請求項1から4のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料。
- 焼結体の密度が、95%以上の理論密度を有する、請求項1から5のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料。
- 請求項1から5のいずれかに記載の窒化ケイ素基複合材料を使用して高強度、高靭性及び高耐食性のいずれか一つ以上を付与したことを特徴とする構造部材。
- ケイ素を含む原料を用い、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結の行程を経た材料であって、Zrの酸化物及び/又は窒化物が分散した状態で含まれていることを特徴とする窒化ケイ素基複合材料。
- 出発原料として、ケイ素を含む原料を用い、酸化ジルコニウム及び焼結助剤を所定の配合によって混合、成形し、窒素中においてケイ素を窒化せしめる反応焼結を行った後、昇温し、緻密化させることを特徴とする窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 酸化ジルコニウム2〜20重量部、スピネルを5〜10重量部をそれぞれ添加した混合粉末を、成形後、窒素を含む雰囲気中でケイ素を窒化ケイ素に転化した後、温度を上げ、緻密化する、請求項9に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 混合する酸化ジルコニウムが、Y、Mg又はCe元素の添加によって正方晶もしくは立方晶に少なくても90%が安定化されたジルコニアもしくは部分安定化ジルコニアである、請求項9又は10に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 酸化ジルコニウムが、酸化イットリウムにより部分的に安定化されている、請求項9又は10に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 酸化ジルコニウムが、2−3モルの酸化イットリウムの添加によって結晶相の少なくても90%が正方晶である、請求項12に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 窒化のための焼結温度が、1300〜1500℃の範囲であり、反応焼結後の焼成温度が、1650〜1950℃の範囲である、請求項9又は10に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 出発原料として、窒化ケイ素粉末を配合した原料を用いる、請求項9又は10に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 上記ケイ素粉末が、0.2−5%のFe元素を含む、請求項9又は10に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
- 上記ケイ素粉末が、粒径30ミクロン又はそれを上回る大きさの粒子を5−40%含む、請求項9又は10に記載の窒化ケイ素基複合材料の製造方法。
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