JP2008021292A - センサ装置 - Google Patents
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Abstract
温度、歪み、ガス等の検出データを、MEMS光変調器により変調光として送出できるセンサ装置を提供する。
【解決手段】
センサ端末回路10と、2つのセンサ131,132を備え、光ファイバFAを介して遠隔の監視装置に検出信号を送出するセンサ装置であって、センサ端末回路10は、処理回路112と、MEMS光変調器70と、駆動回路113と、電源回路110とからなる。処理回路112は、2つのセンサからの検出情報を取得・処理して時系列データを生成し、当該時系列データに基づき駆動回路112に送出し、駆動回路112は、信号に応じた駆動信号によりMEMS光変調器70を駆動し、MEMS光変調器70は、光ファイバFAを介して監視装置から送られた定常的な光を駆動信号にしたがって変調して時系列データに対応する光信号を生成し、当該光信号を監視装置に向けて送出する。
【選択図】 図1
Description
また、特許文献1に示すデータ収集処理システムでは、給電用照射光の光源とデータ伝送用の光信号の光源とを別々に設け、これらの光源に対応する光電変換器もそれぞれ別のものを設け、別々の光源から出た2つの光は給電用光学部で同軸にまとめて出射することで受光の調整を容易にすることができる。
しかし、特許文献1のシステムは、センサ装置(データ転送装置)側に発光器を設けなければならず、したがって給電用の光源を備えたホスト(データ収集装置)側からセンサ装置側に向けて送出するべき電力が大きく、データ収集装置およびセンサ装置の構造が大掛かりとなるうえ、
しかし、特許文献2に示すシステムは、情報機器に光による信号を送信することはできても、当該情報機器からセンサにより検出した信号を極めて低い消費エネルギーで送信元にに戻すことはできない。
(1) センサ端末回路と、少なくとも1つのセンサとを備え、光ファイバを介して遠隔の監視装置に検出信号を送出するセンサ装置であって、
前記センサ端末回路は、処理回路と、MEMS光変調器と、該MEMS光変調器を駆動するための駆動回路と、これらに電力を供給するための電源回路および/または外部電源端子とからなり、
前記処理回路は、前記少なくとも1つのセンサからの検出情報を取得・処理して前記時系列データを生成し、当該時系列データに基づき前記駆動回路に送出し、
前記駆動回路は、前記信号に応じた駆動信号により前記MEMS光変調器を駆動し、
前記MEMS光変調器は、前記光ファイバを介して前記監視装置から送られた定常的な光を前記駆動信号にしたがって変調して前記時系列データに対応する光信号を生成し、当該光信号を前記監視装置に向けて送出する、
ことを特徴とするセンサ装置。
(2) 前記処理回路は、前記時系列データのヘッダに、自己センサ装置の識別情報を書き込むことを特徴とする(1)に記載のセンサ装置。
(3) 前記電源回路は、電圧,電流の安定化回路(定電圧回路または定電流回路)を含むことを特徴とする(1)または(2)に記載のセンサ回路。
(4) 前記電源回路は、(i)前記監視装置から光ファイバを介して送られる光を受光して該センサ端末回路の動作に必要な電力を生成する光電変換素子と二次電源、(ii)前記光電変換素子と二次電源、(iii)二次電源からなる
ことを特徴とする(1)から(3)の何れかに記載のセンサ装置。
(5)前記電源回路が前記光電変換素子と前記二次電源とを含む場合において、前記電源回路は、
前記全要素の電力消費量が小さいときは、前記光電変換素子が生成する電力により前記二次電源の充電を行い、
前記全要素の電力消費量が大きいときまたは前記光電変換素子が生成する電力が低下したときは、前記二次電源に蓄積した電力を前記全要素に供給する、
ことを特徴とする(4)に記載のセンサ装置。
(6) 外部電源端子を備え、かつ前記電源回路が前記光電変換素子を含まないが前記二次電源を含む場合において、
前記全要素の電力消費量が小さいときは、前記外部電力端子から入力する電力により前記二次電源の充電を行うことを特徴とする(4)に記載のセンサ装置。
(7) 前記少なくとも1つのセンサが、前記センサ端末回路の内部または外部に設けられている
ことを特徴とする(1)から(6)の何れかに記載のセンサ装置。
(8) 前記MEMS変調器により変調されたレーザ光が、当該レーザ光が送られて来た光路に戻される
ことを特徴とする(1)から(7)の何れかに記載のセンサ装置。
(9) 前記光電変換素子が前記監視装置から受け取るレーザ光と、前記MEMS変調器が前記監視装置から受け取るレーザ光とが別々の光路で前記センサ端末回路に入射される
ことを特徴とする(1)から(8)の何れかに記載のセンサ装置。
(10) 前記光電変換素子が前記監視装置から受け取るレーザ光と前記MEMS変調器が前記監視装置から受け取るレーザ光とが共通の光路で前記センサ端末回路に入射される
ことを特徴とする(1)から(9)の何れかに記載のセンサ装置。
(11) 前記センサ端末回路は、前記処理回路と、前記駆動回路と、前記MEMS光変調器とがシリコン基板上に集積されてなることを特徴とする(1)から(10)の何れかに記載のセンサ装置。
(12) 前記シリコン基板上にマイクロハーフミラーを備え、当該マイクロハーフミラーにより、前記共通の光路から入射したレーザ光が、前記光電変換素子側と、前記MEMS変調器側とに分離されることを特徴とする(11)に記載のセンサ装置。
(13) 光ファイバを介して他のセンサ装置と情報交換することを特徴とする(1)から(12)に記載のセンサ装置。
電源回路110は、二次電池(静電容量型電池であってもよい)を含み、電池の出力電圧や電流を一定に制御する回路(安定化回路)を備えることができる。
時計回路1125は、CPU1121により参照されて、センサ131,132(図1参照)による検出時刻が設定され、さらに光信号の送信時刻が設定される。
図5において、センサ装置41は、MEMS光変調器70と、センサ端末回路10と、光ファイバFA、およびセンサ端末回路10に接続されたセンサ131,132とからなる。
センサ端末回路10上には、処理回路112と、MEMS光変調器70を駆動するための駆動回路113と、外部センサ接続端子116と、これらに電力を供給するための電源回路110とが搭載されている。電源回路110は、太陽電池モードで動作する光電変換素子1101と電池の出力電圧や電流を一定に制御する回路(図示せず)からなる。
光ファイバFAを介して監視装置42(図4参照)より供給された光は光分岐素子117により分岐され、一方の光は光電変換素子1101に入射してセンサ装置41を動作させる電力を生成する。すなわちこの電力は全要素(すなわち、処理回路112、MEMS駆動回路113、MEMS光変調器70等)に供給されるとともに、必要に応じてセンサ接続端子116を介してセンサ131,132にも供給される。
図6において、センサ端末集積回路1は、基板11上に、光電変換素子を含む電源回路111と処理回路112とMEMS駆動回路113とMEMSによるマイクロミラー114と温度センサ115とが集積されている。また、図6ではセンサ端末集積回路1には、外部センサ接続端子116が設けられている。
光電変換素子含む電源回路111は光La(図4参照)の供給を受け、回路動作電力Pcdを生成する。光Laはたとえば光路を伝播してきたレーザ光とすることができる。この回路動作電力Pcdは全要素(すなわち、処理回路112、MEMS駆動回路113、温度センサ115等)に供給されるとともに、外部センサ接続端子116を介して外部センサ(例えば歪センサ131,ガスセンサ132)にも供給される。
RAM1123には、CPU1121の作業領域が確保される。センサインタフェース124は、温度センサ115、歪みセンサ131,ガスセンサ132のインタフェース回路であり、本実施形態ではアナログ・デジタル(A/D)変換回路および入出力(I/O)インタフェースを含んでいる。
時計回路1125は、CPU1121により参照されて、温度センサ115、歪みセンサ131,ガスセンサ132による検出時刻が設定され、さらに光信号の送信時刻が設定される。
CPU1121は、時系列データDATAに対応する信号をマイクロミラー駆動回路113に送出する。
図7において、センサ端末回路1は基板11上に、図6に示した光電変換素子含む電源回路111、処理回路112、マイクロミラー駆動回路113、マイクロミラー114、温度センサ115に加えて二次電池(静電容量型電池であってもよい)117が設けられている。
また、処理回路112には、図示はしないが、図2に示したCPU1121、ROM1122、RAM1123、センサインタフェース1124、時計回路1125に加えて充電制御回路が備えられている。
図8(A)において、センサ端末集積回路2は、シリコン基板21内に、光電変換素子211と処理回路212とMEMS変調器駆動回路213とMEMS変調器214と温度センサ215とが集積され、図8(A)では集積回路2には外部センサ接続端子216が設けられており、外部センサ接続端子216には、歪みセンサ231,ガスセンサ232が接続されている。
図8(A)に示した光電変換素子を含む電源回路211、温度センサ215,歪みセンサ231,ガスセンサ232は、図7に示した光電変換素子を含む電源回路111,温度センサ115、歪みセンサ131,ガスセンサ132と同じである。図8(A)の処理回路212は、基本的には図7の処理回路112と同じであり、図示しないCPU、ROM、RAM、センサインタフェース、時計回路(図2参照)を備えており、処理回路112と同様に機能する。
図12は、センサ端末回路1のシリコン基板21内に、MEMSによるマイクロハーフミラー118が備えられた例を示しており、マイクロハーフミラー118により、共通の光路から入射した光(ここではレーザ光Lc)が、光電変換素子111側とマイクロミラー114側とに分離される様子を示す図である。なお、センサ端末集積回路2のシリコン基板21内にも上記と同様な構成を構築することができる。
上記したセンサ装置41(図4参照)同士が、光ファイバを介して情報交換することもできる。たとえば、複数のセンサ装置から特定のセンサ装置に検出データを送信し、当該特定のセンサ装置から多数のセンサ装置の情報をまとめて監視装置に送信するようにしてもよい。
2 センサ端末集積回路
4 遠隔監視システム
10 センサ端末回路
11 基板
21 シリコン基板
41(k)(k=1,2,・・・,n) センサ装置
42 監視装置
70 MEMS光変調器
110,111,211 電源回路
112 処理回路
113 光変調器の駆動回路
131,132 センサ
112,212 処理回路
113 MEMS駆動回路
114 MEMSマイクロミラー
115,215 温度センサ
116,216 外部センサ接続端子
131,231 歪みセンサ
132,232 ガスセンサ
213 変調器駆動回路
214 MEMS変調器
1121 CPU
1122 ROM
1123 RAM
1124 センサインタフェース
1125 時計回路
FA 光ファイバ
La,Lb,Lc センサ装置に供給されるレーザ光
PS センサ装置から戻されるレーザ光
Pcd 回路動作電力
Claims (13)
- センサ端末回路と、少なくとも1つのセンサとを備え、光ファイバを介して遠隔の監視装置に検出信号を送出するセンサ装置であって、
前記センサ端末回路は、処理回路と、MEMS光変調器と、該MEMS光変調器を駆動するための駆動回路と、これらに電力を供給するための電源回路および/または外部電源端子とからなり、
前記処理回路は、前記少なくとも1つのセンサからの検出情報を取得・処理して前記時系列データを生成し、当該時系列データに基づき前記駆動回路に送出し、
前記駆動回路は、前記信号に応じた駆動信号により前記MEMS光変調器を駆動し、
前記MEMS光変調器は、前記光ファイバを介して前記監視装置から送られた定常的な光を前記駆動信号にしたがって変調して前記時系列データに対応する光信号を生成し、当該光信号を前記監視装置に向けて送出する、
ことを特徴とするセンサ装置。 - 前記処理回路は、前記時系列データのヘッダに、自己センサ装置の識別情報を書き込むことを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記電源回路は、電圧,電流の安定化回路を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ回路。
- 前記電源回路は、(i)前記監視装置から光ファイバを介して送られる光を受光して該センサ端末回路の動作に必要な電力を生成する光電変換素子と二次電源、(ii)前記光電変換素子と二次電源、(iii)二次電源の何れかを含むことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記電源回路が前記光電変換素子と前記二次電源とを含む場合において、前記電源回路は、
前記全要素の電力消費量が小さいときは、前記光電変換素子が生成する電力により前記二次電源の充電を行い、
前記全要素の電力消費量が大きいときまたは前記光電変換素子が生成する電力が低下したときは、前記二次電源に蓄積した電力を前記全要素に供給する、
ことを特徴とする請求項4に記載のセンサ装置。 - 外部電源端子を備え、かつ前記電源回路が前記光電変換素子を含まないが前記二次電源を含む場合において、
前記全要素の電力消費量が小さいときは、前記外部電力端子から入力する電力により前記二次電源の充電を行うことを特徴とする請求項4に記載のセンサ装置。 - 前記少なくとも1つのセンサが、前記センサ端末回路の内部または外部に設けられている
ことを特徴とする請求項1から6の何れかに記載のセンサ装置。 - 前記MEMS変調器により変調されたレーザ光が、当該レーザ光が送られて来た光路に戻される
ことを特徴とする請求項1から7の何れかに記載のセンサ装置。 - 前記光電変換素子が前記監視装置から受け取るレーザ光と、前記MEMS変調器が前記監視装置から受け取るレーザ光とが別々の光路で前記センサ端末回路に入射される
ことを特徴とする請求項1から8の何れかに記載のセンサ装置。 - 前記光電変換素子が前記監視装置から受け取るレーザ光と前記MEMS変調器が前記監視装置から受け取るレーザ光とが共通の光路で前記センサ端末回路に入射される
ことを特徴とする請求項1から9の何れかに記載のセンサ装置。 - 前記センサ端末回路は、前記処理回路と、前記駆動回路と、前記MEMS光変調器とがシリコン基板上に集積されてなることを特徴とする請求項1から10の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記シリコン基板上にマイクロハーフミラーを備え、当該マイクロハーフミラーにより、前記共通の光路から入射したレーザ光が、前記光電変換素子側と、前記MEMS変調器側とに分離されることを特徴とする請求項11に記載のセンサ装置。
- 光ファイバを介して他のセンサ装置と情報交換することを特徴とする請求項1から請求項12に記載のセンサ装置。
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