JP2008019473A - プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置 - Google Patents

プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置 Download PDF

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裕一 中上
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雅史 森田
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Abstract

【課題】水蒸気により保護膜の膜質の改善を十分に図るとともに、保護膜の電子放出性能をプラズマディスプレイパネル(PDP)基板全面で均一にするPDPの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】成膜装置200には、金属製ハース205内のMgOペレット204が加熱、蒸発により消費されるため、所定水分量のMgOペレット204を補給するための材料補給系を備えている。材料補給系は、MgOペレット204を所定水分量に管理する密閉容器である材料補給チャンバ219、加熱機能を備えた材料容器220、およびMgOペレット204を金属製ハース205へ導く材料補給路222から構成される。
【選択図】図2

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置に関し、特に前面基板に形成する金属酸化膜の成膜方法、成膜装置に関する。
プラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」と記す)の製造工程において、真空技術を利用した薄膜形成技術がデバイス性能を左右するキーテクノロジーとなっている。中でも前面板に形成される金属酸化膜からなる保護膜は、PDPの表示性能や寿命に大きな影響を与えるキー工程である。以下に、PDPの保護膜として、一般的に使用されている酸化マグネシウム(MgO)膜の形成工程を例にとり、背景技術を説明する。
PDPは、前面板と背面板との2枚の基板を貼り合わせた構造であり、前面板側には、電極、誘電体層、保護膜が、背面板側には電極、蛍光体層、これらを赤色、緑色、青色のセルに区分けする隔壁層が形成されている。前面板および背面板の貼り合わせにおいて、パネル内を真空排気した後、希ガスを含むガスを減圧状態で封入、密閉している。前面板および背面板に形成された各電極に信号電圧を印加し、セル内に放電を起こすことで、放電中の紫外線に励起された蛍光体が発光し、ディスプレイとして機能する。
このように保護膜は、前面板の最上層に形成され、放電中に存在するイオンの衝撃から誘電体層が劣化しないように保護することが本来の役割であり、耐スパッタ性能の高いことが要求される。さらに、上述のように前面板の最上層にある保護膜には、耐スパッタ性としての役割の他に、放電のしやすさや放電の安定性を左右する重要な役割が存在する。
すなわち、PDPは放電を起こす最も初期の状態において、電極に印加された電気エネルギーが誘電体層の誘電分極を経て、保護膜から初期電子を放出し、これを保護膜表面に維持するという高い電子放出性能(二次電子放出効率)が強く要求される。この電子放出性能の優劣によって、個々のセルにおいて連続的に放電が持続できるのか、もしくは放電が開始されないかといった制御性、輝度やちらつきなどパネルとしての基本的な出来映えが左右されることになる。そして、この電子放出性能は、保護膜の構造や結晶性、含有不純物など膜質と大きな関係があるため、高品質のMgO膜を安定に形成するPDPの製造技術は極めて重要となる。
そこで保護膜の電子放出性能を向上させるために、MgO膜の膜質を積極的に制御する方法が多数開発されているが、水素(H)や水蒸気(HO)を導入し、その活性な性質を成膜に利用し、膜質の改善を図る例が報告されている(例えば特許文献1、特許文献2参照)。
ここでMgO膜の電子放出性能を改善するには、Mg原子とO原子の未結合手を補償することが必要であると考えられている。MgO膜内に未結合手があると、MgOのエネルギーバンドに影響を与え、二次電子放出の状態が変化する。そこで水素や水蒸気を導入することでH原子、OH分子がMgO膜内の未結合手を補償して、MgO膜の電子放出性能を改善すると考えられる。
図4は、特許文献1による従来のPDPのMgO膜の成膜装置の説明図である。蒸着室1の上部には、基板ホルダー2に保持された基板8が位置し、底部には粒状MgOの蒸着材6が入った坩堝5が配置されている。MgO膜の成膜は、蒸着室1内を真空排気した後、圧力勾配型プラズマガン3の放電ガス供給口10から、アルゴン(Ar)ガスを供給する。そして、圧力勾配型プラズマガン3と坩堝5との間に電圧を印加した後、反応ガス供給口9または放電ガス供給口10から水蒸気または水素ガスを導入する。この状態でプラズマ流7を坩堝5部分に収束させて蒸着材6を加熱、蒸発させ、基板8上にMgO膜を形成する。なお、11は基板加熱用ヒーター、12は真空排気口を示す。
特開平9−295894号公報 特開平10−106441号公報
しかしながら、水蒸気は酸素などの気体元素と違って、蒸着室1へ導入しても、蒸着粒子が基板8側へ向かって飛翔する蒸着流の中へは拡散しにくい。本発明者らの検討によれば、導入されたHO分子は蒸着流と衝突、もしくは蒸着流により分解をさせられ、その蒸着流周辺でブロックされる。
さらに水蒸気は、平均自由行程が酸素や水素に比べて小さく、蒸着室1に拡がることが制限される。また、水蒸気は反応ガス供給口9などに通じる管壁や蒸着室1の壁への吸着性が大きく、導入した水蒸気はMgO膜の膜質向上に寄与できない部分が大きい。
このように単に水蒸気を導入しても、基板8の面内に一様に拡散しないと、基板8の面内で未結合手の補償が偏り膜質ばらつきを発生し、電子放出性能のばらつきとなる。このことは、PDPの面内特性ばらつきの原因になるという課題を生じさせる。
本発明は上記の課題を解決するもので、水蒸気により保護膜の膜質の改善を十分に図るとともに、保護膜の電子放出性能をPDP基板全面で均一にするPDPの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために本発明は、電極および誘電体層が形成された基板の誘電体層が形成された面に金属酸化膜となる原材料を真空槽で蒸着して金属酸化膜を成膜するPDPの製造方法であって、真空槽に所定水分量を吸着させた原材料を供給しながら金属酸化膜を成膜する製造方法である。
このようなPDPの製造方法とすると、金属酸化膜となる原材料が所定水分量を吸着させているため、原材料が蒸着する際に同時に含有している水分も蒸発する。このように原材料に水分を吸着させているため、蒸着の際に水分も基板に均一に拡がる。そのためH原子、OH分子が金属酸化膜内の未結合手を補償し、保護膜である金属酸化膜の電子放出特性をPDP全面で均一にできる。
また、本発明のPDPの製造方法の原材料の所定水分量は、原材料の重量の0.1重量%〜0.6重量%としてもよい。
このような範囲の原材料の水分含有量とすると、より均一に基板に水分が拡がり金属酸化膜の電子放出特性をPDP全面で均一にできる。
また、本発明のPDPの製造方法は、原材料が吸着している水分を離脱させた後、水蒸気分圧を0.001Pa〜0.05Paの環境として所定水分量を吸着させた原材料としてもよい。
このような水蒸気分圧の範囲であると、原材料への水分吸着を容易に制御できる。
また、本発明のPDPの製造方法の原材料はペレット材としてもよい。
ペレット材は、焼結した粒塊であるためその内部は適度な空隙を有し、水分を効果的に吸着させることができる。
さらに本発明は、電極および誘電体層が形成された基板の誘電体層が形成された面に金属酸化膜となる原材料を真空槽で蒸着して金属酸化膜を成膜するPDPの製造装置であって、真空槽に接続されるとともに所定水分量を吸着させた原材料にするための水蒸気導入部と水蒸気排気部とを含む密閉容器を備えた構成である。
このような構成のPDPの製造装置とすると、水蒸気導入部と水蒸気排気部とで密閉容器の水分管理を精度よく行えるため、原材料に所定水分量を吸着させることができる。そのため、原材料の蒸着の際に水分も基板に均一に拡がりH原子、OH分子が金属酸化膜内の未結合手を補償し、保護膜である金属酸化膜の電子放出特性をPDP全面で均一にできる。
また本発明のPDPの製造装置は、密閉容器内の水蒸気量を計測する計測手段を備え、計測手段を質量分析装置としてもよい。
このような質量分析装置を用いると、元素毎の分圧比率を計測でき、水蒸気分圧を容易に計測できる。
以上のように本発明によれば、金属酸化膜(保護膜)となる原材料を蒸着して成膜する際に、水蒸気(HO)が原材料の蒸着粒子とともに連続的に発生するため、HO分子により保護膜の電子放出性能が改善され、PDP基板全面で均一な保護膜となるPDPの製造方法および製造装置を提供できる。
以下、本発明の実施の形態のPDPの製造方法および製造装置について図面を用いて説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態のPDPの製造方法により製造したPDPの主要部の構造を示す断面斜視図である。PDPの基本構造は、一般的な交流面放電型PDPと同様である。図1に示すように、PDP100は前面ガラス基板103などよりなる前面パネル102と、背面ガラス基板111などよりなる背面パネル110とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着部材によって気密封着している。封着されたPDP100内部の放電空間116には、ネオン(Ne)およびキセノン(Xe)などの放電ガスが53200Pa〜79800Paの圧力で封入されている。
前面パネル102の前面ガラス基板103の一主面上には、走査電極104および維持電極105よりなる一対のストライプ状の表示電極106と遮光層(ブラックストライプ)107が互いに平行にそれぞれ複数列配置されている。さらにこれらの表示電極106と遮光層107とを覆うようにPb−B系ガラスなどからなりコンデンサとしての働きをする誘電体層108が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム(MgO)などからなる金属酸化膜の保護膜109が形成されている。
また、背面パネル110の背面ガラス基板111の一主面上には、走査電極104および維持電極105と直交する方向に、複数のストライプ状のアドレス電極112が互いに平行に配置され、これを下地誘電体層113が被覆している。さらに、アドレス電極112間の下地誘電体層113上には放電空間116を区切る所定の高さの隔壁114が形成されている。隔壁114間の溝にアドレス電極112毎に、紫外線によって赤色、緑色、および青色にそれぞれ発光する蛍光体層115が順次塗布されている。走査電極104および維持電極105とアドレス電極112とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極106方向に並んだ赤色、緑色、および青色の蛍光体層115を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。
次に、このPDP100の製造方法について説明する。まず、前面ガラス基板103の一主面上に、走査電極104および維持電極105と遮光層107とを形成する。走査電極104と維持電極105は、インジウムスズ酸化物(ITO)や酸化スズ(SnO)などからなる透明電極と、その上に形成した銀ペーストなどからなる金属バス電極とによって構成されている。これらの電極は、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。これらの電極材料層は所望の温度で焼成固化される。また、遮光層107も同様に、黒色顔料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や黒色顔料をガラス基板の全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングし、焼成固化することにより形成される。
次に、走査電極104、維持電極105および遮光層107を覆うように前面ガラス基板103上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層(誘電体材料層)を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することにより塗布された誘電体ペースト表面がレベリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極104、維持電極105および遮光層107を覆う誘電体層108が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、バインダおよび溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層108上に酸化マグネシウム(MgO)からなる保護膜9を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面ガラス基板103上に所定のパネル構造物(走査電極104、維持電極105、遮光層107、誘電体層108、保護膜109)が形成され、前面パネル102が完成する。
一方、背面パネル110は以下のようにして形成される。まず、背面ガラス基板111の一主面上に、銀ペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などによりアドレス電極112用の構成物となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成固化することによりアドレス電極112を形成する。次に、アドレス電極112が形成された面の背面ガラス基板111上にダイコート法などによりアドレス電極112を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層113を形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだ塗料である。
次に、下地誘電体層113上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定の形状にパターニングし、隔壁材料層を形成した後、焼成固化することにより隔壁114を形成する。ここで、下地誘電体層113上に塗布した隔壁用ペーストをパターニングする方法としては、フォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いることができる。
次に、隣接する隔壁114間の下地誘電体層113上および隔壁114側面に蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成固化することにより蛍光体層115が形成される。以上の工程により、背面ガラス基板111上に所定の構造部材を有する背面パネル110が完成する。
このようにして所定の構造部材を備えた前面パネル102と背面パネル110とを走査電極104とアドレス電極112とが直交するように対向配置して、その周囲をガラスフリットで封着し、放電空間116にネオン、キセノンなどを含む放電ガスを封入することによりPDP100が完成する。
次に、PDP100のMgOの保護膜109の成膜装置および成膜方法について説明する。図2は、本発明の第1の実施の形態のPDPの製造装置である保護膜の成膜装置の主要断面を示す説明図である。
成膜装置200は、真空成膜方法の一種である原材料を電子ビームで加熱、溶融して蒸着する電子ビーム(EB)蒸着法が用いられている。そして成膜装置200は、真空槽である真空チャンバ201の内部に、蒸着材料であるMgOペレット204を満たした金属製ハース205が配置されている。真空チャンバ201の側壁には電子ビーム源206が設置され、電子ビーム源206から、電子ビーム206aを金属製ハース205内のMgOペレット204に照射する。電子ビーム206aの照射は、金属製ハース205のサイドに配置された図示していない磁気回路による電磁石を制御することにより、その照射位置を制御することが可能である。
真空チャンバ201内のMgOペレット204および金属製ハース205の上方には、基板202が配置されている。基板202は、上述したように、表面に電極層および誘電体層を形成したガラス基板である。さらに基板202の上方にはヒーター203が設置され、基板202への蒸着を行う前に、ヒーター203に通電し、基板202の温度を上昇させる。
また、基板202とMgOペレット204および金属製ハース205との間には、シャッター板208を設け、蒸着時間以外のタイミングで蒸着粒子が不用意に基板202に付着することを防止する。そして基板202に蒸着されるMgOの膜厚は、膜厚モニター210で管理される。
また真空チャンバ201には、酸素ガスボンベ211の酸素ガスが流量調整器212aで流量を調整して流入するように接続されている。そして、真空チャンバ201の大気パージ用の窒素ガスを供給する窒素ガスボンベ215が真空チャンバ201に接続されている。さらに真空チャンバ201には、真空排気を行う排気ポンプ225、真空度を計測する真空計207、真空チャンバ201内の雰囲気を計測する四重極型質量分析装置209が接続されている。
また成膜装置200には、金属製ハース205内のMgOペレット204が加熱、蒸発により消費されるため、所定水分量のMgOペレット204を補給するための材料補給系を備えている。材料補給系は、MgOペレット204を所定水分量に管理する密閉容器である材料補給チャンバ219、加熱機能を備えた材料容器220、およびMgOペレット204を金属製ハース205へ導く材料補給路222から構成される。
また材料補給チャンバ219と真空チャンバ201とは、開閉バルブ223を介して接続されており、MgOペレット204を供給するときのみ、開閉バルブ223が開放される。なお、材料補給路222は、電子ビーム206aとの干渉がないよう、電子ビーム源206とは対向する側へ設置し、金属製ハース205上にMgOペレット204を供給するようにしている。
そして材料補給チャンバ219には、真空チャンバ201の排気とは別系統の排気ポンプ224が接続された水蒸気排気部226と真空計230を備えられている。また材料補給チャンバ219には、水分タンク218、水分タンク218の水分を水蒸気化する気化器216、および水分供給量を制御するための流量調整器217が接続された水蒸気導入部227が備えられている。さらに酸素ガスボンベ211、および酸素ガスボンベ211の酸素ガス量を調整するための流量調整器212bからなる酸素導入系と、真空チャンバ201が真空で稼働中の場合でも、大気パージが可能なように窒素ガスを供給する窒素ガスボンベ215とが接続されている。
また材料補給チャンバ219には、MgOペレットに水分を吸着させるときの希釈ガスとして不活性ガスを供給する不活性ガスボンベ213、およびその流量を調整する流量調整器214が接続されている。さらに、材料補給チャンバ219には、水蒸気量を計測する計測手段である四重極型質量分析装置229、真空計230が接続されている。
次に、上述のPDPの保護膜の成膜装置を用いた成膜方法を説明する。
真空チャンバ201内に基板202を設置し、排気ポンプ225により、真空排気を行う。約数時間後、真空チャンバ201内の圧力が10−3Pa〜10−4Paとなった時点で、ヒーター203に通電を行い、基板202の温度を300℃に設定する。そして、酸素ガスを流量調整器212aで5sccm〜50sccmに設定して導入し、真空チャンバ201内の圧力を0.01Paに設定する。その後、電子ビーム源206を起動し、電子ビーム206aをMgOペレット204に照射する。徐々に、電子ビーム206aの出力を増加させ、MgOペレット204の加熱、昇華を加速させる。このとき、シャッター板208は閉じており、基板202上に蒸着粒子が到達することはない。
一方、材料補給チャンバ219には、補給用のMgOペレットを材料容器220に投入し、材料補給チャンバ219内を排気ポンプ224で真空排気する。このとき、投入する補給用のMgOペレットは、温度・湿度管理を行っている箇所に保管してあるものを使用する。これらの補給用のMgOペレットは、粉体や粒子を焼き固めた焼結材料を使用することが望ましい。その理由は、焼結体を用いることにより、MgOペレットが適度な空隙を有するために、水分を効果的に吸着させることができるためである。
材料補給チャンバ219に投入された補給用のMgOペレットは、材料容器220の加熱機能によって、300℃まで加熱を行った後、120℃まで温度を下げ、以後その温度を維持する。
MgOに吸着したHO分子の離脱は、温度120℃付近と260℃付近とにピークがあるため、材料容器220投入時にMgOに吸着した水分は、300℃までの昇温により、水分の多くを離脱させることができる。同時に材料補給チャンバ219の加熱により、材料補給チャンバ219内に存在するHO分圧を、0.001Pa未満まで排気する。この操作により、材料補給チャンバ219に投入される以前の環境で、補給用のMgOペレットに吸着した水分、その他の不純物ガス成分を放出させる。
そして四重極型質量分析装置229および真空計230での計測により、材料補給チャンバ219内の真空度が安定するのを待った後、水分タンク218より水蒸気を、また酸素ガスボンベ211より酸素を導入する。水蒸気を流量調整器217により、約5sccm〜10sccm供給し、材料補給チャンバ219内の圧力を真空チャンバ201内の圧力と同じ0.01Paに合わせる。この操作により、補給用のMgOペレットへ水蒸気が一定量吸着され、真空チャンバ201内の金属製ハース205に供給されるタイミングまで待機する。なお酸素ガスに代えて、不活性ガスボンベ213より不活性ガスを導入してもよい。
四重極型質量分析装置229の酸素ガスと水蒸気との比率から、全圧力に対する水蒸気の分圧としては、0.001Pa〜0.05Paとなることが望ましい。これは、水蒸気分圧が0.001Paよりも小さくなると、水分が微量となり水蒸気がMgOペレットに再吸着するのに時間を要する。また、0.05Paを超えると、MgOへのHOの吸着量が飽和してしまい、これ以上水蒸気分圧を増加しても変化しない。したがって、水蒸気分圧が上述の範囲を保つとき、MgOペレットへのHOの吸着量を制御できる。
このような操作により材料補給チャンバ219内のMgOペレット204は、所定水分量である原材料のMgOの重量の0.1重量%〜0.6重量%を吸着させることができる。ここでMgOの重量の0.6重量%を超えた水分は、吸着させることができないとともに、0.1重量%より少ない水分量では、未結合手を補償するには不足する。なおMgOペレットを300℃まで加熱した後の水分量は、MgOの重量の0.015重量%程度である。
そして真空チャンバ201内では、MgOペレット204に出力を増加した電子ビーム206aが照射され、徐々にMgOペレット204の消費が進む。MgOペレット204は昇華性であるため、消費された部分のみがくぼみを生じるため、この箇所へ補給用のMgOペレットを供給する。
そして、材料補給チャンバ219内に供給してあった水蒸気の導入を停止し、代わりに酸素ガスボンベ211より酸素ガスの供給を始める。酸素ガスを約10sccm供給して、材料補給チャンバ219内の圧力を真空チャンバ201内の圧力と同じ0.01Paに調整する。
ここで材料補給チャンバ219と真空チャンバ201との間の開閉バルブ223を開放し、MgOペレット204の供給を始める。約1分後、MgOペレット204の供給を停止する。MgOペレット204が供給されると、電子ビーム206aの照射によって、吸着した水分や分解した水素、炭酸ガスなどその他のガス成分が発生する。真空チャンバ201に接続された四重極型質量分析装置209の計測により、真空チャンバ201内の雰囲気が安定するのを待ち、シャッター板208を開ける。
蒸着粒子は、水分および水分から分解された水素、炭酸ガスなどその他のガス成分の雰囲気中を飛翔し、基板202上に到達する。真空チャンバ201内に設けられた膜厚モニター210により、600nmの膜厚までMgO膜の成膜を行い、シャッター板208を閉じる。この後、電子ビーム源206の出力を低下させ、蒸着処理を終了する。
このように成膜材料を所定水分量としたMgOペレット204とすると、MgOの昇華とともに水分も同時に蒸発する。そのためMgOの蒸着粒子と、水蒸気とが分布をもつことなく、一体となって基板202上に到達する。その結果、基板202の全面に渡って未結合手の少ないMgO膜を成膜できる。
また、従来のように特定のタイミングに水蒸気を導入する方法では、水蒸気の導入時はHO分子が基板全面に分布するが、MgOの蒸着が始まるとともにMgOの蒸着流によりHO分子が基板面に対して分布をもつ。しかし本発明の第1の実施の形態によれば、所定水分量の成膜材料を連続的に加熱、昇華するため、HO分子が蒸着流に妨げられることがない。そのためHO分子が、基板202の全面に行き渡り、MgO膜の未結合手を少なくすることができる。
その結果、上述の成膜装置および成膜方法でPDPの保護膜を形成すると、水蒸気により保護膜の膜質の改善を十分に図ることができ、保護膜の電子放出性能をPDP基板全面で均一にするPDPの製造方法および製造装置を提供できる。
(第2の実施の形態)
図3は、本発明の第2の実施の形態のPDPの製造装置である保護膜の成膜装置の主要断面を示す説明図である。本発明の第2の実施の形態のPDP100の保護膜109の成膜装置300は、基板302を搬送方向371に搬送させながら蒸着を行う形式の装置である。
成膜装置300は、真空槽である真空チャンバ301の前後に蒸着前室351と取り出し室361が開閉バルブ323a、323b、323c、323dを備えて接続、構成されている。真空チャンバ301に開閉バルブ323eを介して接続される材料補給系は、すべて本発明の第1の実施の形態と同様の材料補給系を設置した。すなわち、材料補給系は密閉容器である材料補給チャンバ319、材料容器320、およびMgOペレット304を金属製ハース305へ導く材料補給路322から構成されている。
また材料補給チャンバ319には、水分タンク318、気化器316、および水分供給量を制御するための流量調整器317が接続された水蒸気導入部327が備えられている。そして真空排気を行う排気ポンプ324が接続された水蒸気排気部326、水蒸気分圧を計測する計測手段である四重極型質量分析装置329、および真空計330が備えられている。さらに流量調整器314が接続された不活性ガスボンベ313、および流量調整器312dが接続された酸素ガスボンベ311が備えられている。
一方、真空チャンバ301内に設置されているMgOペレット304を入れる金属製ハース305には回転機構が導入されている。そして電子ビーム源306からの電子ビーム306aの照射点に対して、金属製ハース305が回転し、局所的な材料消費に伴うくぼみを避ける構成となっている。
また、MgOペレット304の上方には、蒸着粒子が基板302に成膜される領域を規制するシャッター板308が設けられ、蒸着開口領域372を形成している。例えば蒸着開口領域372の搬送方向371の長さは1400mmであり、金属製ハース305から基板302までの高さは600mmである。
さらに、真空チャンバ301の上部には基板302を加熱するためのヒーター303a、真空チャンバ301の真空排気を行う排気ポンプ325、真空チャンバ301の真空度を計測する真空計307、真空チャンバ301内の雰囲気を計測する四重極型質量分析装置309が接続されている。
また蒸着前室351には、その上部にヒーター303b、蒸着前室351の真空排気を行う排気ポンプ352が接続されている。取り出し室361には、取り出し室361の真空排気を行う排気ポンプ362が接続されている。
そして蒸着前室351、真空チャンバ301および取り出し室361には、それぞれ大気パージ用の窒素ガスを供給する窒素ガスボンベ315が接続されている。さらに蒸着前室351、真空チャンバ301および取り出し室361には、それぞれ酸素ガスを供給する酸素ガスボンベ311が酸素ガス量を調整する流量調整器312a、312b、312cを介して接続されている。
次に、本発明の第2の実施の形態のPDPの製造装置である保護膜の成膜装置を用いた成膜手順について説明する。
まず、蒸着前室351に基板302を投入し、排気ポンプ352によって真空排気を行う。その後、ヒーター303bに通電を行い、基板302の温度を250℃まで上昇させる。さらに真空排気を行い基板302、蒸着前室351内の部材に吸着した不純物ガス成分を排除した後、酸素ガスボンベ311より酸素ガスを流量調整器312cで調整して20sccm〜30sccm導入し、蒸着前室351内の圧力を0.01Paに調整する。
一方、真空チャンバ301内には酸素ガスボンベ311より酸素ガスを流量調整器312bで調整して30sccm〜50sccm導入され、圧力を0.01Paに調整する。このことにより、蒸着前室351と真空チャンバ301との間の基板302の受け渡しを圧力の変動なく行うことができる。真空チャンバ301の下部に設置された金属製ハース305内には原材料である所定水分量を吸着しているMgOペレット304が配置されており、電子ビーム源306から電子ビーム306aを照射する。そして、電子ビーム306aの出力により蒸着レートを調整している。
また、材料補給チャンバ319には、補給用のMgOペレットを材料容器320に投入し、材料補給チャンバ319内を排気ポンプ324で真空排気する。このとき、投入する補給用のMgOペレットは、本発明の第1の実施の形態と同じく、温度・湿度管理を行っている箇所に保管してあるものを使用する。材料補給チャンバ319に投入された補給用のMgOペレットは、材料容器320の加熱機能によって300℃まで加熱を行った後、120℃まで温度を下げ、以後その温度を維持する。この操作により、材料補給チャンバ319に投入される以前の環境で、MgOペレットに吸着した水分、その他の不純物ガス成分を放出させて、MgOペレットの初期状態を合わせることにした。
次に、四重極型質量分析装置329および真空計330により、材料補給チャンバ319内の真空度が安定するのを待った後、水分タンク318から水蒸気を、また酸素ガスボンベ311より酸素ガスを合わせて導入した。水蒸気は流量調整器317により、5sccm〜10sccm供給し、材料補給チャンバ319内の圧力を真空チャンバ301内の圧力と同じ0.01Paと合わせた。
四重極型質量分析装置329の酸素ガスと水蒸気との比率から、全圧力に対する水蒸気の分圧としては、0.001Pa〜0.05Paとなることが望ましい。これは、水蒸気分圧がこれよりも小さくなると、水分が微量となりMgOペレットに再吸着するのに時間を要する。また、0.05Paを超えると、MgOペレットへのHOの吸着量が飽和してしまい、これ以上水蒸気分圧を増加しても変化しない。したがって、水蒸気分圧が上述の範囲を保つとき、MgOペレットへのHOの吸着量を制御できる。この操作により、補給用のMgOペレットへの水蒸気成分が所定水分量であるMgOペレットの重量の0.1重量%〜0.6重量%吸着され、真空チャンバ301内の金属製ハース305に供給されるタイミングまで待機する。
そして基板302の搬送速度を480mm/分とし、所定水分量のMgOペレット304を電子ビーム306aで加熱、溶融する。蒸着レートを調整し、基板302上に形成されるMgOの膜厚を600nmとする。蒸着が完了した基板302は、取り出し室361に搬送され一定時間の冷却の後、取り出される。
このように基板を搬送する方式の保護膜の成膜装置であっても、成膜材料を所定水分量としたMgOペレット304とすると、MgOの昇華とともに水分も同時に蒸発する。そのためMgOの蒸着粒子と、水蒸気とが分布をもつことなく、一体となって基板302上に到達する。その結果、基板302の全面に渡って未結合手の少ないMgO膜を成膜できる。その結果、上述の成膜装置および成膜方法でPDPの保護膜を形成すると、水蒸気により保護膜の膜質の改善を十分に図ることができ、保護膜の電子放出性能をPDP基板全面で均一にするPDPの製造方法および製造装置を提供できる。
なお本発明の実施の形態では、材料補給チャンバの水蒸気分圧の調整はHOの導入量によっていたが、例えばアルゴン(Ar)、窒素(N)などの不活性ガスを加え、雰囲気中のHOの分圧を調整してもよい。
本発明は、保護膜である金属酸化膜の電子放出特性をPDP全面で安定させたPDPの製造方法および製造装置を提供でき、大画面で高精細なPDPの製造に適している。
本発明の第1の実施の形態のPDPの製造方法により製造したPDPの主要部の構造を示す断面斜視図 同PDPの製造装置である保護膜の成膜装置の主要断面を示す説明図 本発明の第2の実施の形態のPDPの製造装置である保護膜の成膜装置の主要断面を示す説明図 従来のPDPのMgO膜の成膜装置の説明図
符号の説明
1 蒸着室
2 基板ホルダー
3 圧力勾配型プラズマガン
5 坩堝
6 蒸着材
7 プラズマ流
8,202,302 基板
9 反応ガス供給口
10 放電ガス供給口
11 基板加熱用ヒーター
12 真空排気口
100 PDP(プラズマディスプレイパネル)
102 前面パネル
103 前面ガラス基板
104 走査電極
105 維持電極
106 表示電極
107 遮光層(ブラックストライプ)
108 誘電体層
109 保護膜(MgO膜)
110 背面パネル
111 背面ガラス基板
112 アドレス電極
113 下地誘電体層
114 隔壁
115 蛍光体層
116 放電空間
200,300 成膜装置
201,301 真空チャンバ(真空槽)
203,303a,303b ヒーター
204,304 MgOペレット(原材料)
205,305 金属製ハース
206,306 電子ビーム源
206a,306a 電子ビーム
207,230,307,330 真空計
208,308 シャッター板
209,229,309,329 四重極型質量分析装置
210 膜厚モニター
211,311 酸素ガスボンベ
212a,212b,214,217,312a,312b,312c,312d,314,317 流量調整器
213,313 不活性ガスボンベ
215,315 窒素ガスボンベ
216,316 気化器
218,318 水分タンク
219,319 材料補給チャンバ(密閉容器)
220,320 材料容器
222,322 材料補給路
223,323a,323b,323c,323d,323e 開閉バルブ
224,225,324,325,352,362 排気ポンプ
226,326 水蒸気排気部
227,327 水蒸気導入部
351 蒸着前室
361 取り出し室
371 搬送方向
372 蒸着開口領域

Claims (6)

  1. 電極および誘電体層が形成された基板の前記誘電体層が形成された面に金属酸化膜となる原材料を真空槽で蒸着して前記金属酸化膜を成膜するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記真空槽に所定水分量を吸着させた前記原材料を供給しながら前記金属酸化膜を成膜することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
  2. 前記所定水分量は前記原材料の重量の0.1重量%〜0.6重量%であることを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
  3. 前記原材料が吸着している水分を離脱させた後、水蒸気分圧を0.001Pa〜0.05Paの環境として前記所定水分量を吸着させた前記原材料とすることを特徴とする請求項1または請求項2記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
  4. 前記原材料はペレット材であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか一項記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
  5. 電極および誘電体層が形成された基板の前記誘電体層が形成された面に金属酸化膜となる原材料を真空槽で蒸着して前記金属酸化膜を成膜するプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、前記真空槽に接続されるとともに所定水分量を吸着させた前記原材料にするための水蒸気導入部と水蒸気排気部とを含む密閉容器を備えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
  6. 前記密閉容器内の水蒸気量を計測する計測手段を備え、前記計測手段が質量分析装置であることを特徴とする請求項5記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
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