JP4249330B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:PDP)、それを用いた表示装置及びその製造方法並びに製造装置に係わり、特に、誘電体保護膜として酸化マグネシウム膜を採用している交流駆動型のプラズマディスプレイパネル、それを用いた表示装置及びその製造方法並びに製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル(PDP)は自己発光により表示を行うため、視野角が広く、表示が見やすい。また、薄型のものが作製できることや大画面を実現できるなどの特長を持っており、情報端末機器の表示装置や高品位テレビジョン受像機に広く使用されるようになってきた。
【0003】
PDPは主として、交流駆動型と直流駆動型の二型式に分類できる。このうち交流駆動型PDPでは、電極を覆っている誘電体層のメモリー作用を利用して、以下の駆動方法により画像表示を行っている。
【0004】
まず表示させたいセルを選択するために、前記当するセル内を通過している電極間でライン順次のアドレス放電を生じさせ、このセル内に壁電荷と呼称される電荷を蓄積する。アドレス放電後、表示を維持させる放電(サステイン放電)を発生させるために全てのセルに対して一斉に交流極性の所定の電圧(アドレス放電)を印加すると、壁電荷が蓄積されたセルにおいてのみ壁電荷の電圧とサステイン電圧とが重畳される。その結果、セル内の実効電圧が放電開始電圧を上回り、サステイン放電が生じる。このサステイン放電で生じる紫外線により蛍光体層を発光させて表示を行う。一方、アドレス放電が行われなかったセルでは壁電荷が形成されていないため、サステイン電圧を印加しても主放電は発生しない。すなわち、PDPでは、セル内の壁電荷の有無により発光させるべきセルを選択している。
【0005】
現在、一般に使用されているPDPの例を図2と図3に示す。
図2はプラズマディスプレイパネルの構造を示す斜視図である。図を見易くするため、図2においては、前面基板1を背面基板2と放電空間領域3より離して図示した。前面基板1は、前面ガラス基板4上にITO(Indium TinOxide)などの透明導電材料からなる表示電極6a、6b(通常表示電極はX電極6a、Y電極6bから構成されている)と、低抵抗材料からなるバス電極7a、7b(Xバス電極7a、Yバス電極7b)と、透明な絶縁材料からなる誘電体層8、酸化マグネシウム(MgO)などの材料からなる保護膜9が形成された構造となっている。保護膜9は、放電ガスが誘電体層8をスパッタリングしてしまうのを防止するだけでなく、その高い二次電子放出比により放電開始電圧を低減する役割も有している。背面基板2は、背面ガラス基板5上にアドレス電極10とバリアリブ11、蛍光体層12が形成された構造となっている。そして、前面基板1と背面基板2を表示電極6とアドレス電極10がほぼ直交するように張合わせることにより、放電空間領域3が前面基板1と背面基板2の間に形成されている。
【0006】
図3は図2に示したプラズマディスプレイパネルの断面図であり、図3(a)はアドレス電極に平行な断面図であり、図3(b)は図3(a)のA−B断面図である。図3において、図2と同じ構成要素については同一の参照番号をつけてその説明を省略する。図3(a)、図3(b)から明らかなように、PDPは、前面基板1と背面基板2との間にバリアリブ11により区画された画素となる多数のセルを備えた構造を有している。
【0007】
以下、図4を用いて、図2と図3に示した従来のPDPの製造工程の一例を簡単に説明する。
図4は従来のプラズマディスプレイの製造工程を説明するためのフロー図である。
まず、前面基板1の製造工程について説明する。
ガラス基板受け入れ工程80でソーダライムガラス等からなる前面ガラス基板4をラインに入れて洗浄し、透明電極形成工程81でガラス基板4の一方の主表面上に透明な表示電極パターン6を形成する。透明電極材料として、ITO(Indium Tin Oxide)を用いた場合、透明な表示電極パターン6の形成は、スパタッタリング法等を用いてITOを成膜した後に、周知のフォトエッチング法によって不要な部分を取り除く。次に、バス電極形成工程42に移行し、バス電極7を形成する。バス電極7には銀(Ag)ペーストを用いた印刷膜や、銅(Cu)膜をクロム(Cr)膜でサンドイッチしたCr/Cu/Cr積層膜が用いられることが多く、前者はスクリーンを用いた印刷法により、また後者は成膜後に周知のフォトエッチングを行うことによって形成される。次に、誘電体形成工程83に移行し、透明電極6とバス電極7を形成した前面ガラス基板4上に、鉛ガラスを主成分とする誘電体ペーストを印刷し、乾燥、焼結を行うことによって透明な誘電体層8を形成する。さらに、保護膜形成工程84で誘電体層8上に真空蒸着法等によって酸化マグネシウム膜の保護膜9が形成される。これで前面基板1が完成する。
【0008】
次に、背面基板2の製造工程について説明する。まず、ガラス基板受け入れ工程85でソーダライムガラス等からなる背面ガラス基板5を洗浄した後、アドレス電極形成工程86で、背面ガラス基板5の一方の主表面上に銀(Ag)ペーストを用いた厚膜印刷法により、アドレス電極パターン10を形成する。次に、バリアリブ形成工程87でアドレス電極10を形成した背面ガラス基板5上に、厚膜印刷と乾燥を繰り返すことによって、バリアリブ11を形成する。次いで、蛍光体層形成工程88に移行し、厚膜印刷法によって各々の放電セルに塗り分けられた赤、緑及び青の蛍光体層12を形成する。蛍光体形成の完了後、シール層形成工程89で背面ガラス基板5の周辺部分に、印刷法によって真空封止を行うためのシール層17が形成されることによって背面基板2が完成する。
【0009】
次に、この前面基板1と背面基板2の組み立て工程90に移行する。この工程90では、完成した前面基板1と背面基板2を、位置合わせをしながら組み立てる。その後、封止・排気・ガス封入工程91に移行する。この工程91では、排気や封入ガス導入を行う排気管(図示せず)を取り付け、その後、封着炉で基板同士のシールと排気管の固定を行う。基板同士のシールは、基板工程で形成したシール層17(低融点ガラス、フリット)により溶融固着させる。次に、排気装置にパネルを取り付け、パネルをベーキング(例えば、酸化マグネスウムからなる保護膜9上に吸着している不要なガスを除去するために加熱)しながら排気管で真空排気する。この後、例えばネオン(Ne)とキセノン(Xe)の混合ガスを封入する。次に、エージング工程92で排気管のチップオフとエージングを行うことにより、図3と図4に示した従来のプラズマディスプレイ装置が完成する。ここで示したプラズマディスプレイ装置の従来例は、たとえば、フラットパネルディスプレ1996(日経マイクロデバイス編、1995年)の第208頁から215頁に記載されている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
酸化マグネシウムは水(H2O)や二酸化炭素(CO2)などのガスを吸収し、水酸化化合物や炭酸化合物を容易に形成するという性質がある。上記従来技術では、前面基板1の最も表層側に酸化マグネシウムの保護膜9が形成されており、保護膜9は誘電体層8上に形成された後は組立工程までの期間、大気雰囲気(H2O、CO2)に曝されるという問題があった。また、組立工程では、前面基板1と背面基板2のシール工程、ベーキングしながらの真空排気工程などの加熱工程があり、パネルの加熱処理中に蛍光体12やバリアリブ11、シール層17といった背面基板2の構成材料から放出されるガスに酸化マグネシウムが曝されるという問題があった。
【0011】
なお真空排気工程ではパネル外部の排気装置によりパネル内部を排気しているが、放電空間領域3の断面積がおよそ0.01〜0.02mm2と狭い。一方、バリアリブ11の長さは500〜1000mm(放電空間断面積およびバリアリブ長さはパネルのサイズや画素数によって異なるが、ここでは商品化されているPDPでの一般的な値を用いた)と長いため、コンダクタンスが小さく、特にパネル中央部で発生したガスを排気することは困難であると考えられている。
【0012】
このように、PDP製造工程中のガス吸収により形成された酸化マグネシウムの水酸化化合物や炭酸化合物は、酸化マグネシウムに比べて二次電子放出比が低いため放電開始電圧を上昇させてしまい、PDPの駆動マージンを狭めてしまうという問題があった。また膜表面の水(H2O)が表面電気抵抗を低下させるために、アドレス放電で蓄積した壁電荷が移動消滅してしまい、表示させたいセルを正確に表示させることができないという問題があった。
【0013】
本発明の目的は、プラズマディスプレイパネルの製造工程中での酸化マグネシウムのガス吸収を低減したプラズマディスプレイパネル、それを用いた表示装置及びその製造方法並びに製造装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明によるプラズマディスプレイパネル及びそれを用いた表示装置は、酸化マグネシウム膜上に絶縁性かつ可視光透過性の膜を形成し、PDP製造工程中での酸化マグネシウム膜のガス吸収を防止し、これにより電気的特性の劣化を防止することで上記目的を達成するものである。
【0015】
また、この発明においては、パネル完成後にサステイン放電を行ってこのガス吸収防止膜をスパッタリングにより除去し、主放電電極直上の放電空間領域に、水(H2O)や二酸化炭素(CO2)、背面基板からの放出ガスに汚染されていない安定な表面を持つ酸化マグネシウムを露出させることで上記目的を達成するものである。
【0016】
また、この発明においては、ガス吸収防止膜の材料としてH2OやCO2といったガスを吸収しにくく化合物を形成しにくい、除去のためのサステイン放電が行い易いよう二次電子放出比が高い、サステイン放電により除去しやすいようスパッタリングされやすい、すなわち低融点である、という条件を満たすフッ化物材料を使用することで上記目的を達成するものである。またフッ化物材料はPDPで使用する真空紫外線をよく透過させるため、本ガス吸収防止膜がサステイン放電によりスパッタリングされて蛍光体上に付着しても、放電で発生した紫外線を効率よく蛍光体に吸収させることが可能である。
【0017】
本発明による製造装置は、酸化マグネシウム膜への大気雰囲気ガスの吸収を防ぐため、酸化マグネシウム膜の形成とガス吸収防止膜の形成を連続して行うことで上記目的を達成するものである。膜形成の方法としては、スパッタリング法や蒸着法などが挙げられるが、その他の形成手法を使用しても差し支えない。
【0018】
本発明により製造方法は、ガス吸収が少なく放電を起こしやすいガス吸収防止膜の膜質を得るために、成膜装置内にガスを意図的に導入することで上記目的にを達成するものである。導入するガスは膜組成を含めた膜質を制御するために、その組成や流量、成膜用真空槽に導入されたときの圧力などが重要となる。
【0019】
上記目的を達成するために、本発明によるプラズマディスプレイパネルは、表示用の放電を発生させるための表示電極を覆うように誘電体層が形成され、前記誘電体層上に保護膜が形成された第1の基板と、表示画素を選択するためのアドレス電極が設けられた第2の基板とを張り合わせてなるプラズマディスプレイパネルにおいて、前記保護膜上にガス吸収防止用のガス吸収防止膜を設ける。
【0020】
また、上記目的を達成するために、本発明によるプラズマディスプレイパネルは、表示用の放電を発生させる表示電極を覆うように誘電体層が形成され、前記誘電体層が前記表示電極と接する面と並向する面上に酸化マグネシウム膜を設けた第1の基板と、少なくとも表示画素を選択するためのアドレス電極を設けた第2の基板とを貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルにおいて、前記酸化マグネシウム膜上に、絶縁性のガス吸収防止膜を設ける。
【0021】
このプラズマディスプレイパネルにおいて、前記表示電極は第1と第2の電極から構成され、前記第1と前記第2の電極間の放電により、前記ガス吸収防止膜の一部もしくは全てを除去する。
このプラズマディスプレイパネルにおいて、前記ガス吸収防止膜の主成分がフッ化物材料である。前記ガス吸収防止膜の主成分がフッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウムのいずれかを用いると好適である。要は、前記ガス吸収防止膜は、酸化マグネシウムよりも水酸化化合物および炭酸化合物を生成し難い性質を有する材料を主成分とすると好適である。
【0022】
本発明の目的を達成するために、本発明によるプラズマディスプレイパネルを用いた表示装置は、表示用の放電を発生させるための表示電極を覆うように誘電体層が形成され、前記誘電体層上に保護膜が形成され、更に前記保護膜上にガス吸収防止用のガス吸収防止膜を設けた第1の基板と、表示画素を選択するためのアドレス電極が設けられた第2の基板とを張り合わせてなる。
【0023】
また、本発明によるプラズマディスプレイパネルを用いた表示装置は、表示用の放電を発生させる表示電極を覆うように誘電体層が形成され、前記誘電体層が前記表示電極と接する面と並向する面上に酸化マグネシウム膜を設け、前記酸化マグネシウム膜上に、絶縁性のガス吸収防止膜を設けた第1の基板と、少なくとも表示画素を選択するためのアドレス電極を設けた第2の基板とを貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルを用いる。
【0024】
これらの表示装置において、前記表示電極は第1と第2の電極から構成され、前記第1と前記第2の電極間の放電により、前記ガス吸収防止膜の一部もしくは全てを除去する。前記ガス吸収防止膜の主成分はフッ化物材料が好適である。
【0025】
本発明によるディスプレイパネルの製造装置は、真空槽と、前記真空槽内に設けられ膜を形成するための材料を載置する容器と、表示電極と絶縁体層が設けられた基板を保持する手段と、前記材料を気相化させる手段と、第1の材料を気相化させて前記絶縁基板の一面に酸化マグネシウム膜を堆積させる手段と、第2の材料を気相化させて前記酸化マグネスウム膜上にガスの吸収を防止するガス吸収防止膜を堆積させる手段とを備える。
【0026】
また、本発明によるディスプレイパネルの製造装置は、真空槽と、前記真空槽内に配置され、表示電極および前記絶縁体層を配した基板と膜を形成するための材料とを対峙させる手段と、第1の材料を気相化させて前記基板上に輸送し、前記基板上に前記酸化マグネシウム膜と堆積させる手段と、第2の材料を気相化させて、前記酸化マグネシウム膜の上にガスの吸収を防止するガス吸収防止膜が成膜される位置あるいは順序に前記第2の材料を設置する。
【0027】
これらの製造装置において、ガス導入機構を設け、前記ガス導入機構によって前記真空槽内にガスを導入し、前記ガスの放電により前記材料を気相化させる。又は、電子銃を設け、前記電子銃から放出される電子ビームを前記材料に照射して加熱蒸発させ、気相化させる。
【0028】
これらの製造装置において、仕切り板を設け、前記真空層を仕切り板により複数の部屋に分離し、前記酸化マグネシウム膜を成膜するための材料を設置した部屋と、前記ガス吸収防止膜を成膜するための材料を設置した部屋と備えると好適である。
【0029】
本発明によるプラズマディスプレイパネルの製造方法において、真空槽内で表示電極と絶縁体層が設けられた基板の一面に酸化マグネシウム膜を設ける工程と、フッ化物を気相化して前記酸化マグネシウム膜上にガス吸収防止膜を堆積させる工程とを備える。前記ガス吸収防止膜を堆積させる工程は、真空槽内にガスを導入して膜質の制御を行う工程を備える。又は、前記ガス吸収防止膜を堆積させる工程は、前記真空槽内に導入したガスの組成とガスの圧力とガスの流量とにより膜質の制御を行う工程を備える。また、前記ガス吸収防止膜を堆積させる工程は、電子ビームを前記フッ化物に照射して前記フッ化物を気相化させる工程を備える。
【0030】
これらの製造方法において、前記表示電極間の放電により、前記ガス吸収防止膜の一部もしくは全てを除去する工程を含む。また、前記ガス吸収防止膜を堆積させる工程は、前記真空槽内に導入したガスの組成とガスの圧力とガスの流量とにより膜質の制御を行う工程を備えると好適である。
【0031】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による実施の形態を実施例を用い、図面を参照して説明する。
【0032】
図1は本発明によるプラズマディスプレイパネルの一実施例を示すを断面図であり、図1(a)はアドレス電極に平行な断面図であり、図1(b)は図1(a)のA−B断面である。図においてい、1は前面基板、2は背面基板、3は放電空間領域、4は前面ガラス基板、5は背面ガラス基板、6a、6bは表示電極、7a、7bはバス電極、8は誘電体層、9は保護膜、10はアドレス電極、11はバリアリブ、12は蛍光体層、100は主放電空間、200はガス吸収防止膜である。まお、前述した図面に示したものと同じ物は同一の参照番号を付けてその説明を省略する。
【0033】
図に示すように、誘電体層8上に酸化マグネシウムの保護膜9が形成されており、更にその上にガスの吸収を防止するためのガス吸収防止膜200が形成されている。図の実施例では酸化マグネシウムで形成された保護膜9上にガスの吸収を防止するガス吸収防止膜200を設けることによって、酸化マグネシウムのガスの吸収を低減し放電開始電圧を低減することができる。よって、プラズマディスプレイパネル(PDP)の放電の安定化及び高性能化を図ることができる。
【0034】
次に、図1に示したPDPの製造方法について説明する。
図5は本発明によりプラズマディスプレイパネルの製造方法の一実施例を説明するための製造装置の概略の構成図である。図において、製造装置101は、真空槽70とガス導入機構47aおよび47b、電子銃52a、52bから構成されている。真空槽70の内部には、基板保持機構61、ヒーター33a〜33b、真空計40aおよび40b、蒸発ユニット55a、55bなどから構成されている。また、真空槽70は、仕切り板72により酸化マグネシウム膜9成膜用の部屋70aとガス吸収防止膜200成膜用の部屋70bに仕切られている。蒸発ユニット55aは蒸発源50a、例えば酸化マグネシウム50aを収納する耐熱容器51a、電子銃52aから発生された電子ビームEBを偏向して蒸発源50に導く磁束発生部53aから構成されており、蒸発ユニット55bは蒸発源53b、例えば、フッ化物材料50bを収納する耐熱容器51b、電子銃52bから放射された電子ビームEBを偏向して蒸発源50に導く磁束発生部53aなどから構成されている。なお図5では基板保持機構61は成膜時に水平方向に移動する形式となっているが、つり下げ形式のものでも差し支えない。ガス導入機構47a、47bはそれぞれガスボンベ44a、44b、マスフローコントローラ(流量調整機構)42a、42bから構成されている。
【0035】
まず、前面基板1の成膜面1aが、成膜時に蒸発源50aと対向するように、前面基板1を基板保持機構61に固定する。続いて、真空ポンプ(図示せず)により真空槽70の排気を行い、真空槽70内を1×10-5[Pa]程度の真空状態とする。この真空状態の形成と並行して、もしくは真空状態形成後にヒーター33によって前面基板1を加熱する。
【0036】
前面基板1の表面温度が250℃程度に達したら、電子銃52aと磁束発生部53aを作動させて、部屋70a内で酸化マグネシウム膜用の蒸発源50aを蒸発させる。電子線のエネルギーによって加熱蒸発された蒸発源50a、例えば酸化マグネシウムは、蒸気流MBとなって矢印で示すように開口部71を通過し、前面基板1の成膜面1a上に堆積する。このとき、例えば滞積速度が25オングストローム/秒となるように電子銃52aの制御を行う。
【0037】
これと並行して、部屋70aに設けられているガス導入機構47aを利用して、ガスボンベ44aから部屋70a内へ反応ガス43として酸化性ガス、例えば酸素ガス43aを導入し、この反応ガス43を放電させて、蒸発源50aの気相化を促進する。このときマスフローコントローラ42aによって酸素ガス43aの供給量を調節し、部屋70aの圧力を真空計40aにより所定値、例えば2×10-2[Pa]に保つ。これによって膜質を制御することができる。
酸化マグネシウム膜9が所定の膜厚、例えば7000Åになり、成膜が終了したら、電子銃52aおよび磁束発生部53aの作動を停止する。
【0038】
続いて酸化マグネシウム膜9の場合と同様の手法でガス吸収防止膜200の成膜を行う。まず、基板保持機構61を部屋70b上に移動させて前面基板1の成膜面1aを蒸発源50bと対向するように配置する。電子銃52bと磁束発生部53bを作動させて、ガス吸収防止膜用の蒸発源50b、例えば、フッ化マグネスウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウム等のフッ化物を蒸発させる。電子銃52bから発生された電子線のエネルギーによって加熱蒸発された蒸発源50bは、前面基板1の酸化マグネシウム膜9上に堆積する。このとき、例えば滞積速度が5オングストローム/秒となるように電子銃52bの制御を行う。また必要に応じて、部屋70bに設けられているガス導入機構47bにより、ガスボンベ44bから部屋70b内へ反応ガス43、例えば、フッ素ガス、塩素ガス、臭素ガス等のハロゲン系ガスを導入する。或いはこの反応ガスを放電させることにより、蒸発源50bの膜質を制御する。
【0039】
ガス吸収防止膜200が所定の膜厚、例えば300Å、となり成膜が終了したら、電子銃52bおよびヒーター33などの作動を停止し、前面基板1の表面温度がある程度下がるのを待って真空槽70から取り出し、取り出した前面基板1を組立工程に送る。そして組立工程においてPDPを完成した後、サステイン放電によりガス吸収を防止するためのガス吸収防止膜200を除去する。
【0040】
図5の実施例において、反応ガス43の放電によって蒸発源50a、50bを気相化させるいわゆるスパッタ法で製造する場合、反応ガス43がプラスイオンを帯び、負の電圧がかけられている蒸発源50a、50b、即ち成膜材料に衝突する。この衝突の際に蒸発源50a、50bに原子にエネルギーを与えてこの蒸発源50a、50bを気相化させることができる。この際反応ガス43の圧力を変化させると、膜質も変化する。また、酸化マグネシウムをスパッタ法で成膜する場合、反応ガス中に酸素(O2)ガスを混合すると、反応ガスと酸素の組成(存在比率)により、膜中の金属原子(Mg)と酸素原子(O)の比率を制御することができる。このように、導入した反応ガス、又は圧力を変化させることによって、気相化、膜質制御の両方を行うことができる。
【0041】
本実施例において、真空槽内における酸素(O2)の割合を反応ガスの1%、ガスの全圧力が0.7Pa、全ガス流量を標準状態(0℃、1気圧)で1分間に90ccとすると好適である。
【0042】
図6はガス吸収防止膜の有無と、単位膜厚あたりの酸化マグネシウムのMg−OHおよびMg−CO振動赤外吸収強度の相関関係を示す特性図である。第1の縦軸は単位膜厚あたりのMg−OH振動赤外吸収強度を示し、第2の縦軸は単位膜厚あたりのMg−CO振動赤外吸収強度を示し、横軸はガス吸収防止膜の有無を示す。なお、図において、ガス吸収防止膜200が無い場合の単位膜厚あたりのMg−OHの振動赤外吸収強度を三角形(△)で示し、単位膜厚あたりのMg−CO振動赤外吸収強度を四角形(□)で示し、本発明によりガス吸収防止膜を設けた場合の単位膜厚あたりのMg−OH振動赤外吸収強度を逆三角形(▽)で示し、単位膜厚あたりのMg−CO振動赤外吸収強度を菱形(◇)で示す。
【0043】
この図より明らかなように、本実施に示すように、製造過程でガス吸収防止膜200として酸化マグネシウム膜を設けた場合と、ガス吸収防止膜200が無い場合と比較すると、水(H2O)および異二酸化炭素(CO2)の吸収が少ないことがわかる。すなわち上述した製造装置および成膜方法を用いることにより、酸化マグネシウムのガスの吸収を低減することが可能である。
【0044】
図7は本発明によるガス吸収防止膜の適用の有無と、PDP放電開始電圧の時間変化との相関関係を示す特性図である。なお、このガス吸収防止膜200はPDPの製造後短時間のサステイン放電により充分に除去されている。図において、横軸は放電時間tを示し、縦軸は放電開始電圧Vd(V)を示し、製造工程でガス吸収防止膜200を設け場合の放電開始電圧Vd(V)を白丸を結んだ曲線151で示し、ガス吸収防止膜200を設けない場合の放電開始電圧Vd(V)を黒丸結んだ曲線152で示す。この特性図より明らかなように、本実施によって製造したPDPのほうが放電に必要な電圧が低く、経時変化も少ないことがわかる。すなわち上述した製造装置および成膜方法を用いることにより、放電が安定で高性能なPDPを製造することが可能である。
【0045】
上述の記述例において、真空槽70の構造、蒸発ユニット55の形式、反応ガス導入機構47の形式、蒸発の制御条件、成膜時の条件は、適宜変更することができる。
【0046】
ガス吸収防止膜として、フッ化マグネスウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウム等のフッ化物を例示したが、本発明の保護膜としては酸化マグネシウムよりも水酸化化合物および炭酸化合物を生成し難い性質を有するものであり、絶縁性を有するものであればどのようなものであってもよい。
【0047】
本発明の実施例においては、真空槽に仕切り板を設け、基板保持機構を移動させて、酸化マグネシウム膜上にガス吸収防止膜を堆積させているが、仕切り板を取り去り、基板保持機構を移動させずに、耐熱容器を移動、例えば図5に向かって垂直方向に耐熱容器を回転させても良い。又は、耐熱容器を一つとし、蒸発源を入れ替えても良い。
【0048】
また、本発明においては、真空槽内に導入されたガスによって酸化マグネシウム膜やガス吸収防止膜の膜質の制御を行うことができる。特に、真空槽内に導入したガスの組成とガスの圧力とガスの流量とにより膜質の制御を行うと好適である。
【0049】
【発明の効果】
本発明によれば、酸化マグネシウム膜上に連続してガス吸収防止膜を成膜することにより、酸化マグネシウムのガスの吸収を低減し、放電開始電圧を低減することができる。従って、PDPの放電の安定化及び高性能化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるプラズマディスプレイパネルの一実施例を示すを断面図である。
【図2】プラズマディスプレイパネルの構造を示す斜視図である。
【図3】図2に示したプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図4】従来のプラズマディスプレイの製造工程を説明するためのフロー図である。
【図5】本発明によりプラズマディスプレイパネルの製造方法の一実施例を説明するための製造装置の概略の構成図である。
【図6】ガス吸収防止膜の有無と、単位膜厚あたりの酸化マグネシウムのMg−OHおよびMg−CO振動赤外吸収強度の相関関係を示す特性図である。
【図7】本発明によるガス吸収防止膜の適用の有無と、PDP放電開始電圧の時間変化との相関関係を示す特性図である。
【符号の説明】
1…前面基板、2…背面基板、3…放電空間領域、4…前面ガラス基板、5…背面ガラス基板、6a、6b…表示電極、7a、7b…バス電極、8…誘電体層、9…酸化マグネシウム膜、10…アドレス電極、11…バリアリブ、12…蛍光体層、200…ガス吸収防止膜。
Claims (10)
- 表示電極を覆う絶縁体層を基板上に形成する工程と、
前記絶縁体層を覆う酸化マグネシウム膜を形成する工程と、
前記酸化マグネシウム膜を形成した後、フッ化物を気相化して前記酸化マグネシウム膜上にガス吸収防止膜を形成する工程と、を備え、
前記酸化マグネシウム膜を形成する工程と前記ガス吸収防止膜を形成する工程を、同一の真空槽内で前記基板を加熱しながら連続して行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 請求項1記載の製造方法において、前記ガス吸収防止膜を形成する工程は、真空槽内にガスを導入して膜質の制御を行う工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 請求項1記載の製造方法において、前記ガス吸収防止膜を形成する工程は、前記真空槽内に導入したガスの組成とガスの圧力とガスの流量とにより膜質の制御を行う工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 請求項1記載の製造方法において、前記ガス吸収防止膜を形成する工程は、電子ビームを前記フッ化物に照射して前記フッ化物を気相化する工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 請求項1記載の製造方法において、前記表示電極間の放電により、前記ガス吸収防止膜の一部もしくは全てを除去する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 請求項4記載の製造方法において、前記ガス吸収防止膜を形成する工程は、前記真空槽内に導入したガスの組成とガスの圧力とガスの流量とにより膜質の制御を行う工程を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 真空槽と、
前記真空槽内に設けられ膜を形成するための材料を載置する容器と、
表示電極と絶縁体層が設けられた基板を保持する保持手段と、
前記材料を気相化させる気相化手段と、
前記基板を加熱する加熱手段と、
第1の材料を気相化させて前記基板上に酸化マグネシウム膜を形成する酸化マグネシウム膜形成手段と、
前記酸化マグネシウム膜を形成した後、第2の材料を気相化させて前記酸化マグネシウム膜上にガス吸収防止膜を形成するガス吸収防止膜形成手段と、を備え、
前記酸化マグネシウム膜形成手段と前記ガス吸収防止膜形成手段は、同一の真空槽内で前記基板を加熱しながら連続して前記酸化マグネシウム膜と前記ガス吸収防止膜の形成を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。 - 請求項7記載の製造装置において、ガス導入機構を設け、前記ガス導入機構によって前記真空槽内にガスを導入し、前記ガスの放電により前記材料を気相化させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
- 請求項7記載の製造装置において、電子銃を設け、前記電子銃から放出される電子ビームを前記材料に照射して加熱蒸発させ、気相化させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
- 請求項7記載の製造装置において、仕切り板を設け、前記真空槽を仕切り板により複数の部屋に分離し、前記酸化マグネシウム膜を成膜するための材料を設置した部屋と、前記ガス吸収防止膜を成膜するための材料を設置した部屋と備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
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