JP2008014932A - 検出装置、ジャイロセンサ及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】不要信号を効率的に除去できる検出装置、ジャイロセンサ、電子機器等の提供。
【解決手段】検出装置は駆動回路と検出回路を含む。検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路と、増幅後の信号に対して、参照信号に基づいて同期検波を行う同期検波回路と、離散時間型フィルタを有し同期検波後の信号のフィルタ処理を行うフィルタ部を含む。駆動回路又は検出回路は、離散時間型フィルタのサンプリング用のクロックの位相を調整し、離散時間型フィルタでのサンプリング点を調整するサンプリング点調整回路を含む。サンプリング点調整回路は、同期検波回路による同期検波により2fdの周波数帯域に現れる不要信号のゼロクロス点に、サンプリング点を設定する。
【選択図】図13
【解決手段】検出装置は駆動回路と検出回路を含む。検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路と、増幅後の信号に対して、参照信号に基づいて同期検波を行う同期検波回路と、離散時間型フィルタを有し同期検波後の信号のフィルタ処理を行うフィルタ部を含む。駆動回路又は検出回路は、離散時間型フィルタのサンプリング用のクロックの位相を調整し、離散時間型フィルタでのサンプリング点を調整するサンプリング点調整回路を含む。サンプリング点調整回路は、同期検波回路による同期検波により2fdの周波数帯域に現れる不要信号のゼロクロス点に、サンプリング点を設定する。
【選択図】図13
Description
本発明は、検出装置、ジャイロセンサ及び電子機器に関する。
デジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話機、カーナビゲーションシステム等の電子機器には、外的な要因で変化する物理量を検出するためのジャイロセンサ(物理量トランスデューサ)が組み込まれている。このようなジャイロセンサは、角速度等の物理量を検出し、いわゆる手振れ補正、姿勢制御、GPS自律航法などに用いられる。
近年、ジャイロセンサの軽量小型化と共に高い検出精度も要求され、ジャイロセンサの1つとして圧電型の振動ジャイロセンサが注目されている。そのなかでも、圧電材料として水晶が用いられる水晶圧電振動ジャイロセンサは、多くの装置への組み込み向けに最適なセンサとして期待が寄せられている。この振動ジャイロセンサでは、回転によって発生するコリオリ力に対応した物理量を検出している。
このような振動ジャイロセンサでは、振動子の軽量小型化に伴い、振動子からの出力信号(出力電流)は非常に微弱な信号になっている。従って、このような微弱な出力信号に基づき所望信号(コリオリ力等の物理量に応じた信号)を検出する検出装置には、無歪み・低ノイズで、且つできるだけ大きなゲインで所望信号を検出できる性能が要求される。
また振動ジャイロセンサでは、同期検波により、駆動側共振周波数2fd等の周波数領域に不要信号の強いスペクトラムが現れ、この不要信号により所望信号の品質が劣化するおそれがある。従って、このような不要信号を如何にして効率的に除去するかが課題になる。
特開2005−127978号公報
本発明は、以上のような技術的課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、不要信号を効率的に除去できる検出装置、ジャイロセンサ及び電子機器を提供することにある。
本発明は、振動子を駆動して振動子を励振させる駆動回路と、振動子からの出力信号を受け、所望信号を検出する検出回路とを含み、前記検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路と、前記増幅回路による増幅後の信号に対して、参照信号に基づいて同期検波を行う同期検波回路と、離散時間型フィルタを有し、同期検波後の信号のフィルタ処理を行うフィルタ部とを含み、前記駆動回路又は前記検出回路は、前記離散時間型フィルタのサンプリング用のクロックの位相を調整し、前記離散時間型フィルタでのサンプリング点を調整するサンプリング点調整回路を含む検出装置に関係する。
本発明では、同期検波後の信号のフィルタ処理を行うフィルタ部が、離散時間型フィルタを含む。そして駆動回路又は検出回路が含むサンプリング点調整回路が、離散時間型フィルタのサンプリング用のクロックの位相を調整する。具体的には例えば参照信号の位相とクロックの位相が異なるように位相差を調整する。このようにすれば、同期検波により現れる不要信号を任意のサンプリング点でサンプリングでき、不要信号を簡素な構成の回路で除去できるようになる。
本発明では、前記離散時間型フィルタは、前記離散時間型フィルタのサンプリング周波数をfspとし、振動子の駆動側共振周波数である同期検波用の前記参照信号のクロック周波数をfdとした場合に、fsp=fdとなる周波数のクロックでサンプリング動作を行い、前記サンプリング点調整回路は、前記同期検波回路による同期検波により周波数2fdの周波数帯域に現れる不要信号のゼロクロス点に、サンプリング点を設定するための調整を行うようにしてもよい。
このようにfsp=fdに設定してサンプリング動作を行えば、離散時間型フィルタの周波数特性と同期検波との関係が簡素化され、設計の容易化等を図れる。そして2fdの不要信号のゼロクロス点(ゼロクロス点に対応する点)にサンプリング点を設定すれば、同期検波により現れた2fdの不要信号をfspでサンプリングすることにより生じる折り返し雑音を除去でき、S/N比の劣化を防止できる。
また本発明では、前記駆動回路が、前記サンプリング点調整回路と、第1、第2の2値化回路を含み、前記第1の2値化回路は、駆動信号の2値化処理を行い、2値化処理により得られた前記参照信号を前記同期検波回路に出力し、前記サンプリング点調整回路は、前記駆動信号の位相調整を行い、位相調整後の信号を前記第2の2値化回路に出力し、前記第2の2値化回路は、前記位相調整後の信号の2値化処理を行い、2値化処理により得られたクロックを前記離散時間型フィルタに出力するようにしてもよい。
このようにすれば、参照信号とクロックの位相をずらして、位相が調整されたクロックを離散時間型フィルタに供給できるようになる。また離散時間型フィルタに供給するクロックの精度の高い位相調整も可能になる。
また本発明では、前記検出回路が、前記サンプリング点調整回路を含み、前記サンプリング点調整回路は、前記参照信号を受け、前記参照信号の遅延処理を行い、遅延処理により位相が調整されたクロックを前記離散時間型フィルタに出力するようにしてもよい。
このようにすれば、簡素な回路構成で、参照信号とクロックの位相をずらして、位相が調整されたクロックを離散時間型フィルタに供給できるようになる。
また本発明では、前記離散時間型フィルタは、振動子の駆動側共振周波数fdと検出側共振周波数fsとの差に対応する離調周波数Δf=|fd−fs|の成分を除去し、所望信号の周波数成分を通過させる周波数特性を有するようにしてもよい。
このようにすれば、周波数fdに対して離調周波数Δfが十分に小さいような場合にも、離調周波数Δfの不要信号の成分を、確実且つ容易に除去できる。
また本発明では、前記フィルタ部は、前記離散時間型フィルタの前段側に設けられた連続時間型フィルタを含み、前記同期検波回路による同期検波により周波数2fdの周波数帯域に現れる不要信号が、前記連続時間型フィルタにより減衰され、前記サンプリング点調整回路は、前記連続時間型フィルタの減衰による2fdの不要信号の残留成分が、所望信号の振幅以下になるように、前記離散時間型フィルタでのサンプリング点を調整するようにしてもよい。
このようにすれば、連続時間型フィルタにより除去できなかった不要信号の残留成分を除去することができる。従って、残留成分の折り返し雑音が所望信号に悪影響を及ぼしてS/N比が劣化する事態を防止できる。
また本発明では、検出装置の出力信号のオフセット電圧を除去するための調整を行うオフセット調整回路を含むようにしてもよい。
このようなオフセット調整回路を設ければ、検出装置の出力電圧を基準出力電圧に一致させる調整が可能になる。
また本発明では、前記オフセット調整回路は、オフセットの調整データをオフセットの調整電圧に変換するD/A変換回路と、入力信号の電圧に対して、前記D/A変換回路からの前記調整電圧を加算する加算回路を含むようにしてもよい。
このようにすれば、オフセット(初期オフセット)の調整データをD/A変換回路に入力することで、オフセットの調整電圧が、入力信号(例えば同期検波前の信号やフィルタ処理後の信号)の電圧に加算(加減算)されるようになる。従って、例えば検出装置の出力信号の電圧をモニタして、オフセット電圧が除去されるような調整データをD/A変換回路に入力するだけで、オフセット調整が可能になる。
また本発明では、前記オフセット調整回路は、前記同期検波回路の前段側に設けられ、前記同期検波回路は、第1のスイッチング素子と、その一端が前記第1のスイッチング素子の一端に接続され、その他端に前記入力信号と同相の信号が入力され、前記第1のスイッチング素子がオン状態の場合にオフ状態になり、前記第1のスイッチング素子がオフ状態の場合にオン状態になる第2のスイッチング素子を含み、前記オフセット調整回路の前記加算回路は、前記入力信号の電圧と前記調整電圧の加算により得られた信号であって、前記入力信号と逆相の信号を、前記第1のスイッチング素子の他端に出力するようにしてもよい。
このようすれば、入力信号の電圧と調整電圧の加算により得られた信号であって、入力信号と逆相の信号が、同期検波回路の第1のスイッチング素子の他端に入力されるようになる。従って、同期検波回路に必要な反転増幅器の機能を、オフセット調整回路が含む加算器による信号反転機能により代用できる。従って増幅器の個数を減らすことができるため、回路を小規模化できる。また、ノイズ源となる回路ブロックの数が減るため、S/N比を向上できる。
また本発明では、前記離散時間型フィルタは、スイッチト・キャパシタ・フィルタであってもよい。
また本発明は、上記のいずれかに記載の検出装置と、前記振動子とを含むジャイロセンサに関係する。
また本発明では、前記振動子は、その固有共振周波数が駆動側共振周波数fdとなる駆動用振動子と、その固有共振周波数が検出側共振周波数fsとなる検出用振動子とを有するようにしてもよい。
また本発明は、上記に記載のジャイロセンサと、前記ジャイロセンサにより検出された角速度情報に基づいて処理を行う処理部とを含む電子機器に関係する。
以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
1.電子機器、ジャイロセンサ
図1に本実施形態の検出装置30を含むジャイロセンサ510と、ジャイロセンサ510を含む電子機器500の構成例を示す。なお電子機器500、ジャイロセンサ510は図1の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。また本実施形態の電子機器500としては、デジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話機、カーナビゲーションシステム、ロボット、ゲーム機、携帯型情報端末等の種々のものが考えられる。
図1に本実施形態の検出装置30を含むジャイロセンサ510と、ジャイロセンサ510を含む電子機器500の構成例を示す。なお電子機器500、ジャイロセンサ510は図1の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。また本実施形態の電子機器500としては、デジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話機、カーナビゲーションシステム、ロボット、ゲーム機、携帯型情報端末等の種々のものが考えられる。
電子機器500はジャイロセンサ510と処理部520を含む。またメモリ530、操作部540、表示部550を含むことができる。処理部(CPU、MPU等)520はジャイロセンサ510等の制御や電子機器500の全体制御を行う。また処理部520は、ジャイロセンサ(物理量トランスデューサ)510により検出された角速度情報(物理量)に基づいて処理を行う。例えば角速度情報に基づいて、手ぶれ補正、姿勢制御、GPS自律航法などのための処理を行う。メモリ(ROM、RAM等)530は、制御プログラムや各種データを記憶したり、ワーク領域やデータ格納領域として機能する。操作部540はユーザが電子機器500を操作するためのものであり、表示部550は種々の情報をユーザに表示する。
ジャイロセンサ510は振動子10、検出装置30を含む。図1の振動子10は、水晶などの圧電材料の薄板から形成される音叉型の圧電振動子であり、駆動用振動子11、12と、検出用振動子16、17を含む。駆動用振動子11、12には駆動端子2、4が設けられ、検出用振動子16、17には検出端子6、8が設けられている。
検出装置30が含む駆動回路40は、駆動信号(駆動電圧)を出力して振動子10(広義には物理量トランスデューサ)を駆動し、振動子10からフィードバック信号を受ける。これにより振動子10を励振させる。検出回路60は、駆動信号により駆動される振動子10から検出信号(検出電流、電荷)を受け、検出信号から所望信号(コリオリ力信号)を検出(抽出)する。
具体的には、駆動回路40からの交流の駆動信号(駆動電圧)が駆動用振動子11の駆動端子2に印加される。すると逆電圧効果によって駆動用振動子11が振動を開始し、音叉振動により駆動用振動子12も振動を開始する。この時、駆動用振動子12の圧電効果によって発生する電流(電荷)が、駆動端子4からフィードバック信号として駆動回路40にフィードバックされる。これにより振動子10を含む発振ループが形成される。
駆動用振動子11、12が振動すると、検出用振動子16、17が図1に示す方向で振動速度vで振動する。すると、検出用振動子16、17の圧電効果によって発生する電流(電荷)が、検出信号として検出端子6、8から出力される。すると、検出回路60は、この振動子10からの検出信号を受け、コリオリ力に応じた信号である所望信号(所望波)を検出する。即ち、検出軸19を中心に振動子10(ジャイロセンサ)が回転すると、振動速度vの振動方向と直交する方向にコリオリ力Fcが発生する。例えば検出軸19を中心に回転したときの角速度をωとし、振動子の質量をmとし、振動子の振動速度をvとすると、コリオリ力はFc=2m・v・ωと表される。従って検出回路60が、コリオリ力に応じた信号である所望信号(センサ信号)を検出(抽出)することで、ジャイロセンサ(振動子)の回転角速度ωを求めることができる。そして求められた角速度ωを用いることで、処理部520は、手振れ補正、姿勢制御、或いはGPS自律航法等のための種々の処理を行うことができる。
なお振動子10には、駆動側共振周波数fdと検出側共振周波数fsがある。具体的には、駆動用振動子11、12の固有共振周波数(駆動振動モードの固有共振周波数)がfdであり、検出用振動子16、17の固有共振周波数(検出振動モードの固有共振周波数)がfsである。この場合に、駆動用振動子11、12と検出用振動子16、17とが不要な共振結合を起こさないように、fdとfsの間に一定の周波数差を持たせている。この周波数差である離調周波数Δf=|fd−fs|は、fd、fsに比べて十分に小さな周波数に設定されている。
なお図1では、振動子10が音叉型である場合の例を示しているが、本実施形態の振動子10はこのような構造に限定されない。例えばT字型やダブルT字型等であってもよい。また振動子10の圧電材料は水晶以外であってもよい。
2.検出装置
図2に本実施形態の検出装置30の構成例を示す。なお検出装置30は図2の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
図2に本実施形態の検出装置30の構成例を示す。なお検出装置30は図2の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
検出装置30は、振動子10を駆動して振動子を励振させる駆動回路40と、振動子10からの出力信号(電荷、電流)を受け、所望信号(所望波)を検出する検出回路60を含む。
駆動回路(発振回路)40は、電流を電圧に変換するI/V変換回路42と、自動ゲイン制御を行うAGC(Automatic Gain Control)回路44と、第1、第2の2値化回路(コンパレータ)46、48を含む。また駆動回路40はサンプリング点調整回路47(位相調整回路)を含む。
駆動回路40では、ジャイロセンサの感度を一定に保つために、振動子10(駆動用振動子)に供給する駆動電圧の振幅を一定に保つ必要がある。このため、駆動振動系の発振ループ内に、ゲインを自動調整するためのAGC回路44が設けられる。具体的にはAGC回路44は、入力信号IDの振幅(振動子の振動速度v)が一定になるように、ゲインを可変に自動調整する。なお、発振ループでの位相シフトが0度になるように位相が調整される。また発振起動時には、高速な発振起動を可能にするために、発振ループのゲインは1よりも大きなゲインに設定される。
I/V変換回路42は、振動子10からの信号IDである電流(電荷)を電圧に変換して、駆動信号VD1として出力する。このI/V変換回路42は、キャパシタ、抵抗、オペアンプにより実現できる。
AGC回路44は、駆動信号VD1を監視して、発振ループのゲインを制御する。このAGC回路44は、発振ループ内の発振振幅を制御するためのゲインコントロールアンプ(GCA)や、発振振幅に応じてゲインコントロールアンプのゲインを調整するための制御電圧を出力するゲイン制御回路を含むことができる。また、このゲイン制御回路は、I/V変換回路42からの交流の駆動信号VD1を直流信号に変換する整流回路(全波整流回路)や、整流回路からの直流信号の電圧と基準電圧との差分に応じた制御電圧を出力する回路などを含むことができる。
2値化回路46(第1の2値化回路)は、正弦波である駆動信号VD1の2値化処理を行い、2値化処理により得られた参照信号(同期信号)RSを同期検波回路100に出力する。この2値化回路46は、I/V変換回路42からの正弦波(交流)の信号VD1が入力されて、矩形波の参照信号RSを出力するコンパレータにより実現できる。なおI/V変換回路42と2値化回路46の間や2値化回路46と同期検波回路100の間に他の回路を設けてもよい。例えばハイパスフィルタや移相回路(位相シフタ)などを設けてもよい。
サンプリング点調整回路47は、フィルタ部110のSCF114(広義には離散時間型フィルタ)に供給するサンプリング用のクロックCK(動作クロック)の位相を調整し、SCF114でのサンプリング点(サンプリング点の位置)を調整する。具体的にはSCF114は、サンプリング周波数をfspとし、参照信号RSのクロック周波数(振動子の駆動側共振周波)をfdとした場合に、fsp=fdとなる周波数のクロックCKでサンプリング動作を行う。そしてサンプリング点調整回路47は、同期検波回路100による同期検波により周波数2fdの周波数帯域に現れる不要信号(機械振動漏れ)のゼロクロス点(ゼロクロス点に対応する点)に、サンプリング点を設定するための調整を行う。
サンプリング点調整回路47は、例えばI/V変換回路42からの正弦波の駆動信号VD1を受け、駆動信号VD1の位相調整を行う。そして位相調整後の信号VD3を2値化回路48(第2の2値化回路)に出力する。2値化回路48は、位相調整後の信号VD3の2値化処理を行い、2値化処理により得られたクロックCKをフィルタ部110のSCF114(離散時間型フィルタ)に出力する。この2値化回路48は、サンプリング点調整回路47からの正弦波(交流)の信号VD3が入力されて、矩形波のクロックCKを出力するコンパレータにより実現できる。そしてSCF114は、位相が調整されたクロックCKに基づいて、信号をサンプリングする。
検出回路60は、増幅回路70、同期検波回路100、フィルタ部110を含む。なお検出回路60に、オフセットを除去するオフセット調整回路や、ゲインを可変に制御して感度を調整する感度調整回路や、ハイパスフィルタなどを含ませてもよい。
増幅回路70は、振動子10からの出力信号ISP、ISMを増幅する。この増幅回路70は、Q/V変換回路72、74、差動増幅回路76を含む。Q/V変換回路72、74は、振動子10からの信号ISP、ISMを受け、振動子10で発生した電荷(電流)を電圧に変換する。差動増幅回路76は、Q/V変換回路72、74からの信号VS1P、VS1Mの差動増幅を行う。
図3(A)にQ/V(I/V)変換回路72、74の構成例を示す。Q/V変換回路72、74は、ノードNA1とNA2の間に設けられる帰還キャパシタCA1及び帰還抵抗RA1と、オペアンプ(演算増幅器)OPAを含み、ローパスフィルタの周波数特性を有する。オペアンプOPAの反転入力端子(−)には入力ノードNA1が接続され、非反転入力端子(+)には基準電源電圧AGND(アナロググランド)のノードが接続される。
図3(A)の回路をQ/V変換回路として機能させる場合には、カットオフ周波数fc=1/2πCRが共振周波数fdよりも十分に小さくなるように、CA1の容量値とRA1の抵抗値を設定する。これにより共振周波数fdにおいて位相が約−90度だけ変化するようになる。一方、図3(A)の回路をI/V変換回路として機能させる場合には、カットオフ周波数fc=1/2πCRが共振周波数fdよりも十分に大きくなるように、CA1の容量値とRA1の抵抗値を設定する。この場合には位相がほとんど変化しないため、参照信号RSの位相を+90度又は−90度だけ変化させるための移相回路が必要になる。
図3(B)に差動増幅回路76の構成例を示す。差動増幅回路76は、抵抗RB1、RB2、RB3、RB4とオペアンプOPBを含む。RB1、RB2の抵抗比とRB3、RB4の抵抗比を等しくすることで、図3(B)の差動増幅回路76は、互いに逆相の信号である第1、第2の入力信号(VS1P、VS1M)の差分成分を増幅する差動増幅を行う。これにより、センサ信号(所望信号)と同相の不要信号(妨害信号)である静電結合漏れ信号を除去できる。
図2の同期検波回路(検波回路、検波器)100は、増幅後の信号VS5に対して、参照信号(参照クロック)RSに基づいて同期検波(検波)を行う。この同期検波により、センサ信号に対して90度の位相差がある不要信号である機械振動漏れ信号を除去できる。
図4に同期検波回路100の構成例を示す。この同期検波回路100は、反転増幅器102と、非反転増幅器104と、インバータ106と、スイッチング素子SE1、SE2を含む。スイッチング素子SE1の一端とスイッチング素子SE2の一端は、出力信号Q(VS6)のノードNE4に接続される。そして、入力信号IN(VS5)は反転増幅器102により反転増幅され、入力信号INと逆相の信号IN1がスイッチング素子SE1の他端に入力される。また入力信号INは非反転増幅器104により増幅され、入力信号INと同相の信号IN2がスイッチSE2の他端に入力される。MOSトランジスタにより構成されるスイッチング素子SE1は、参照信号RSの反転信号RSXによりオン・オフ制御され、スイッチング素子SE2は参照信号RSによりオン・オフ制御される。即ちスイッチング素子SE1、SE2が交互にオンになることで、同期検波が行われる。
図2のフィルタ部110は、同期検波後の信号VS6のフィルタ処理を行う。具体的には、高周波成分を除去するローパスフィルタ処理を行う。
図5に検出装置30の動作を説明するための信号波形例を示す。駆動信号VD1は、その周波数が駆動側固有周波数fdとなる正弦波である。この駆動信号VD1を2値化回路46により2値化することで、矩形波の参照信号RSが得られる。同期検波回路100に入力される信号VS5(センサ信号)は、コリオリ力の大きさ(角速度)に応じて振幅変調(AM変調)されている。この信号VS5を、参照信号RSにより同期検波し、得られた信号VS6をフィルタ部110により平滑化することで、所望信号のDC成分が信号VSQとして出力されるようになる。即ち信号VSQの電圧レベルが、コリオリ力の大きさに応じた電圧レベルになり、この電圧レベルを求めることでジャイロセンサの回転角速度を得ることができる。
3.不要信号
センサ信号には、所望信号(所望波)と不要信号(不要波)が混在している。また不要信号の振幅は一般的に所望信号の振幅に比べて非常に大きいため、検出装置30に対する要求性能は高くなる。この不要信号には、機械振動漏れや、静電結合漏れや、離調周波数Δfや、2fd(2ωd)や、DCオフセットなどに起因するものがある。
センサ信号には、所望信号(所望波)と不要信号(不要波)が混在している。また不要信号の振幅は一般的に所望信号の振幅に比べて非常に大きいため、検出装置30に対する要求性能は高くなる。この不要信号には、機械振動漏れや、静電結合漏れや、離調周波数Δfや、2fd(2ωd)や、DCオフセットなどに起因するものがある。
機械振動漏れの不要信号は、振動子10の形状のアンバランス等に起因して発生する。信号ISPに重畳される機械振動漏れの不要信号と信号ISMに重畳される機械振動漏れの不要信号は互いに逆相になるため、差動増幅回路76によっては除去できない。しかしながら、信号VS5に重畳される機械振動漏れの不要信号は、所望信号と90度の位相差を持つため、同期検波回路100により除去できる。一方、静電結合漏れの不要信号は、駆動信号VD2が寄生容量を通じて信号ISP、ISMの入力端子等に漏洩することで生じる。信号ISPに重畳される静電結合漏れの不要信号と信号ISMに重畳される静電結合漏れの不要信号は互いに同相になるため、差動増幅回路76により除去できる。2fdの不要信号は、何らかの原因で振動子が、2fdの高調波の周波数で振動することにより発生する。DCオフセットの不要信号は、入力リーク、静電結合漏れのアンバランス、センサ信号と参照信号との間に存在する位相ずれ、参照信号のデューティのずれ、回路ブロックが有するDCオフセットなどに起因して発生する。
次に、図6(A)〜図6(C)の周波数スペクトラムを用いて不要信号の除去について詳細に説明する。図6(A)は同期検波前の周波数スペクトラムである。図6(A)に示すように、同期検波前のセンサ信号では、DCの周波数帯域にはDCオフセットの不要信号が存在する。またfdの周波数帯域には、機械振動漏れの不要信号と所望信号が存在する。
図6(B)は同期検波後の周波数スペクトラムである。図6(A)のfdの周波数帯域の所望信号は、図6(B)に示すように同期検波後はDCの周波数帯域に現れる。また図6(A)のDCの周波数帯域の不要信号(DCオフセット)は、図6(B)に示すように同期検波後はfdの周波数帯域に現れる。また図6(A)のfdの周波数帯域の不要信号(機械振動漏れ)は、図6(B)に示すように同期検波後は2fdの周波数帯域に現れる。なお図6(A)において2fdの周波数帯域に不要信号が存在した場合には、同期検波後は3fd及びfdの周波数帯域に現れるようになる。また検波後の混入ノイズは、同期検波回路100の後段の回路が発生するノイズなどである。
図6(C)はフィルタ処理後の周波数スペクトラムである。同期検波後の信号をフィルタ部110で平滑化(LPF)することで、fd、2fd等の周波数帯域の不要信号の周波数成分が除去されている。
所望信号は、図5で説明したように振幅変調されているため、A(t)sin(ωd×t)と表すことができる。また機械漏れ振動の不要信号(妨害波)は、所望信号と位相が90度ずれているため、Bsin(ωd×t+π/2)と表すことができる。また、センサ信号は所望信号と不要信号の和であるため、A(t)sin(ωd×t)+Bsin(ωd×t+π/2)と表すことができる。また駆動信号は、Csin(ωd×t)と表すことができる。なおA(t)、B、Cは振幅であり、ωd=2πfdである。
同期検波は、センサ信号と駆動信号(参照信号)の乗算とみなすことができる。従って、センサ信号のうち所望信号については、
A(t)sin(ωd×t)×Csin(ωd×t)
={(A(t)×C)/2}×{1−cos(2ωd×t)}
となる。従って図6(B)に示すように、同期検波後に所望信号はDC並びにfdの周波数帯域に現れるようになる。
A(t)sin(ωd×t)×Csin(ωd×t)
={(A(t)×C)/2}×{1−cos(2ωd×t)}
となる。従って図6(B)に示すように、同期検波後に所望信号はDC並びにfdの周波数帯域に現れるようになる。
一方、センサ信号のうち機械振動漏れの不要信号については、
Bsin(ωd×t+π/2)×Csin(ωd×t)
={−(B×C)/2}×cos(2ωd×t+π/2)
となる。従って図6(B)に示すように、同期検波後に機械振動漏れの不要信号は2fd(2ωd)の周波数帯域に現れ、DCには現れない。
Bsin(ωd×t+π/2)×Csin(ωd×t)
={−(B×C)/2}×cos(2ωd×t+π/2)
となる。従って図6(B)に示すように、同期検波後に機械振動漏れの不要信号は2fd(2ωd)の周波数帯域に現れ、DCには現れない。
次に、図7(A)〜図7(D)の模式図を用いて同期検波について説明する。なお実際には、不要信号(機械漏れ振動)の振幅Bは所望信号の振幅A(t)に比べて非常に大きいが、図面の都合上、振幅A(t)とBを等しくしてある。
図7(A)のように所望信号の位相と参照信号(駆動信号)の位相が完全に揃っている場合には、同期検波後に所望信号と不要信号は図7(B)のようになる。即ち所望信号は、完全な全波整流波形になり、不要信号は、正の部分と負の部分の面積が等しい波形になる。従って、フィルタ部110で平滑化することにより、所望信号のDC成分が信号VSQとして出力されるようになり、不要信号の成分が信号VSQとして現れることはない。
一方、図7(C)のように所望信号の位相と参照信号(駆動信号)の位相がγだけずれている場合には、同期検波後に所望信号と不要信号は図7(D)のようになる。即ち所望信号は、完全な全波整流波形ではなく、負の成分を含む。また、不要信号は、正の部分と負の部分の面積が等しくならない。従って、フィルタ部110での平滑化で得られる信号VSQにおいて、所望信号のDC成分が図7(B)の場合よりも小さくなると共に、不要信号の成分が信号VSQとして現れるようになる。
4.離調周波数
不要信号のうち、離調周波数Δf=|fd−fs|に起因する不要信号は、センサ信号に検出側共振周波数fsの信号が混入し、このセンサ信号が同期検波回路100により同期検波されることにより発生する。例えばジャイロセンサの応答を良くするために、検出用振動子をアイドリング的に微少振幅で固有共振周波数fsにて振動させる場合がある。或いは、ジャイロセンサの外部からの外部振動が振動子に加わることで、検出用振動子が固有共振周波数fsにて振動してしまう場合がある。そしてこのように検出用振動子が周波数fsで振動すると、同期検波回路100に入力される信号VS5に周波数fsの信号が混入される。そして同期検波回路100は、周波数fdの参照信号RSに基づき同期検波を行うため、周波数fdとfsの差に相当する離調周波数Δf=|fd−fs|の不要信号が生成されてしまう。
不要信号のうち、離調周波数Δf=|fd−fs|に起因する不要信号は、センサ信号に検出側共振周波数fsの信号が混入し、このセンサ信号が同期検波回路100により同期検波されることにより発生する。例えばジャイロセンサの応答を良くするために、検出用振動子をアイドリング的に微少振幅で固有共振周波数fsにて振動させる場合がある。或いは、ジャイロセンサの外部からの外部振動が振動子に加わることで、検出用振動子が固有共振周波数fsにて振動してしまう場合がある。そしてこのように検出用振動子が周波数fsで振動すると、同期検波回路100に入力される信号VS5に周波数fsの信号が混入される。そして同期検波回路100は、周波数fdの参照信号RSに基づき同期検波を行うため、周波数fdとfsの差に相当する離調周波数Δf=|fd−fs|の不要信号が生成されてしまう。
例えば、混入される周波数fsの信号はDsin(ωs×t)と表すことができる。なおωs=2πfsである。そして同期検波は、センサ信号と駆動信号(参照信号)の乗算とみなすことができるため、センサ信号のうち周波数fsの信号については、
Csin(ωd×t)×Dsin(ωs×t)
={−(D×C)/2}×[cos{(ωd+ωs)t}−cos{(ωd−ωs)t}]
となる。上式から明らかなように、周波数fsの信号が混入されることにより、同期検波後に、離調周波数Δf=|fd−fs|の不要信号が生成されてしまう。
Csin(ωd×t)×Dsin(ωs×t)
={−(D×C)/2}×[cos{(ωd+ωs)t}−cos{(ωd−ωs)t}]
となる。上式から明らかなように、周波数fsの信号が混入されることにより、同期検波後に、離調周波数Δf=|fd−fs|の不要信号が生成されてしまう。
ここで、離調周波数Δf=|fd−fs|は、fd、fsに比べて十分に小さい。従って、この離調周波数Δfの成分の不要信号を除去するためには、図8に示すような急峻な減衰特性が必要になる。従って、従来のような連続時間型のローパスフィルタだけでは、このような離調周波数Δfの成分の不要信号の除去が難しい。
そこで図9では、フィルタ部110に、離散時間型フィルタであるSCF(スイッチト・キャパシタ・フィルタ)114を設けている。このSCF114は、振動子の駆動側共振周波数fdと検出側共振周波数fsとの差に対応する離調周波数Δf=|fd−fs|の成分を除去し、所望信号の周波数成分(DC成分)を通過させる周波数特性を有する。またフィルタ部110は、SCF114の前段側に設けられたプリフィルタ(前置フィルタ)112と、SCF114の後段側に設けられたポストフィルタ(後置フィルタ)116を含む。これらのプリフィルタ112、ポストフィルタ116は連続時間型フィルタになっている。
図9に示すように、フィルタ部110に、SCF114(広義には離散時間型フィルタ)を設ければ、図8に示すような急峻な減衰特性の実現も容易になる。従って、離調周波数Δfが、周波数fdに比べて極めて小さい場合にも、離調周波数Δfの周波数帯の不要信号の成分を、通過帯域の所望信号に悪影響を与えることなく、確実且つ容易に除去できる。
また連続時間型フィルタでは、フィルタを構成するキャパシタの容量値C、抵抗の抵抗値Rがばらつくと、フィルタの周波数特性もばらついてしまい、安定した周波数特性を得ることが難しいという不利点がある。例えばC、Rの絶対値は±20パーセント程度ばらつき、連続時間型フィルタ(RCフィルタ)のカットオフ周波数はC×Rで決まるため、ばらつきが大きくなる。そしてカットオフ周波数がばらつくと、通過帯域にある所望信号の振幅が減衰してしまったり位相が変化してしまい、信号品質が劣化する。
これに対してSCF114では、容量比やサンプリング周波数(クロック周波数)によりフィルタ特性を決めることができる。例えば容量比の精度は0.1パーセント以下であるため、カットオフ周波数のばらつきも少ない。従って、SCF114によれば、通過帯域の所望信号を通過させながら離調周波数Δfの不要信号を確実に除去するという急峻な減衰特性を、容易に実現できる。
図10にSCF114の構成例を示す。図10のSCF114は、ノードNG1、NG2の間に設けられたスイッチト・キャパシタ回路210と、ノードNG2、NG5の間に設けられたスイッチト・キャパシタ回路212及びキャパシタCG5を含む。またノードNG2,NG3間、ノードNG4、NG5間、ノードNG1、NG4間に設けられたキャパシタCG4、CG6、CG7を含む。また、その反転入力端子がノードNG2に接続され、その非反転入力端子がAGNDのノードに接続されるオペアンプOPG1と、その反転入力端子がノードNG4に接続され、その非反転入力端子がAGNDのノードに接続されるオペアンプOPG2を含む。ここで、スイッチト・キャパシタ回路210、212、214のスイッチング素子SG1〜SG6は、MOSトランジスタ(トランスファーゲート)により構成できる。なおSCF114は図10の構成に限定されず、種々の変形実施が可能である。
5.サンプリング点の調整
図9のようにフィルタ部110にSCF114を設けた場合、SCF114では離散時間で信号をサンプリングするため、サンプリングによる周波数の折り返し現象であるエイリアシングが生じる。例えばサンプリング周波数をfspとした場合に、図11のフィルタ部110の周波数特性図に示すように、fsp/2(=fd/2)の高調波周波数の信号がDCの周波数領域等に折り返し、S/N比が劣化する。
図9のようにフィルタ部110にSCF114を設けた場合、SCF114では離散時間で信号をサンプリングするため、サンプリングによる周波数の折り返し現象であるエイリアシングが生じる。例えばサンプリング周波数をfspとした場合に、図11のフィルタ部110の周波数特性図に示すように、fsp/2(=fd/2)の高調波周波数の信号がDCの周波数領域等に折り返し、S/N比が劣化する。
このようなエイリアシングの悪影響を防止するために、図9では、SCF114の前段側にアンチエイリアシング用のプリフィルタ112(広義には連続時間型フィルタ)を設けている。即ちサンプリング周波数をfsp(=fd)とした場合に、プリフィルタ112に、fsp/2(=fd/2)以上の周波数成分を除去するアンチエイリアシングの周波数特性を持たせている。このようにすれば、図11の周波数特性図に示すように、2fdの不要信号を、ある程度減衰させることができる。
しかしながら、ジャイロセンサのように微少信号を扱うセンサでは、一般的なアンチエイリアシング用のプリフィルタ112だけでは、不要信号を十分に除去できないおそれがある。即ちジャイロセンサのセンサ信号では、不要信号の振幅は所望信号の振幅に比べて非常に大きい。従って、一般的なアンリエイリアシングの減衰特性では、不要信号の振幅が所望信号(DC成分)の振幅よりも大きくなってしまい、SCF114のサンプリングによるDC成分への折り返し等により、S/N比が劣化してしまう。
例えば通常のアンチエイリアシング用プリフィルタは、下記(A1)の課題を解決するために設けられる。
(A1)ランダム雑音や回路中で発生するパルス性ノイズなどの不要信号が、SCFの通過帯域に折り返す。
(A1)ランダム雑音や回路中で発生するパルス性ノイズなどの不要信号が、SCFの通過帯域に折り返す。
これに対して、ジャイロセンサのように微少信号を扱うセンサでは、上記(A1)の課題に加えて、下記(A2)の課題がある。
(A2)同期検波によって生じ、2fdなどのk×fdに必ず存在する不要信号(妨害波)が、SCF114でのサンプリングによりDCに折り返し、DCに存在する所望信号(コリオリ力信号)の品質(S/N比)を劣化させる。
(A2)同期検波によって生じ、2fdなどのk×fdに必ず存在する不要信号(妨害波)が、SCF114でのサンプリングによりDCに折り返し、DCに存在する所望信号(コリオリ力信号)の品質(S/N比)を劣化させる。
上記(A2)は、ジャイロセンサに特有の下記(B1)〜(B3)の事情に起因する。(B1)ジャイロセンサでは同期検波が行われる。
(B2)同期検波により2fdなどに不要信号の強いスペクトラムが現れる。
(B3)SCFのサンプリング周波数がfsp=fdとなるため、2fdなどの不要信号が、所望信号が存在するDCに折り返す。
(B2)同期検波により2fdなどに不要信号の強いスペクトラムが現れる。
(B3)SCFのサンプリング周波数がfsp=fdとなるため、2fdなどの不要信号が、所望信号が存在するDCに折り返す。
例えば同期検波後に2fd等に現れる不要信号(図6(B)参照)の振幅は、所望信号に比べて極めて大きい。また、システム構成の簡素化のためには、SCF114のサンプリング周波数をfsp=fdとすることが望ましい。そしてfsp=fdにすると、SCF114でのサンプリングにより、2fd等の不要信号が、ぴったりとDCに折り返してしまう。
一方、同期検波前にfdに存在した所望信号(図6(A)参照)は、同期検波によりDCに現れる(図6(B)参照)。従って、何ら対策を施さないと、2fd等に存在する振幅の大きい不要信号の折り返しにより、DCの所望信号の品質が極めて劣化する。具体的には、2fd等の不要信号が折り返して、所望信号の最小分解能よりも大きい不要信号がDCに重畳されると、ジャイロセンサが静止状態であっても、あたかもジャイロセンサが一定の角速度で回転しているかのような偽情報を与えてしまう。
そこで本実施形態では、このような課題を解決するために図2に示すようなサンプリング点調整回路47を設けている。このサンプリング点調整回路47は、SCF114に供給するクロックCKの位相を調整し、SCF114でのサンプリング点を調整する。例えば同期検波用の参照信号RSの位相とクロックCKの位相が異なるようにその位相差を調整する。更に具体的にはサンプリング点調整回路47は、図12のE1、E2に示すように、2fd等の不要信号(サンプリング対象となる信号)のゼロクロス点にサンプリング点SP1、SP2が設定されるように、クロックCKの位相を調整する。これにより参照信号RSに対してクロックCKの位相が例えば90度程度遅れるようにする。図7(B)を例にとれば、F1、F2、F3に示す点がサンプリング点に設定されるように、クロックCKの位相を調整する。
即ち本実施形態では、サンプリング周波数をfspとし、参照信号RSのクロック周波数(振動子の駆動側共振周波)をfdとした場合に、SCF114はfsp=fdとなる周波数のクロックCKでサンプリング動作を行う。具体的には例えばクロックCKにより、互いにノン・オーバラップの2相のクロック(サンプリングクロック)が生成される。そして生成された2相のクロックに基づき図10のスイッチング素子SG1〜SG6をオン・オフ制御して、SCF114のサンプリング動作を実現する。
このようにすれば、駆動回路で生成されたクロックを有効活用して、SCF114のサンプリング動作を実現できるため、回路の小規模化を図れる。また参照信号RSの周波数である駆動側共振周波数fdと、SCF114のサンプリング周波数fspが一致するため、フィルタの周波数特性の設計を容易化できる。また駆動側共振周波数fdが、環境変化(温度変化)や経時変化によって変動した場合に、この変動に応じてSCF114のサンプリング周波数fspも変動するようになる。従って、周波数fdの変化に応じて、SCF114のカットオフ周波数も変化させて調整できるようになる。従って、環境変化や経時変化が生じた場合にも、離調周波数fdの不要信号を確実に除去することが可能になる。
ところが、このようにfsp=fdに設定し、参照信号RSにより同期検波を行うと、前述した下式から明らかなように、図6(B)に示すように2fd(2ωd)の周波数帯域に強いスペクトラムの不要信号が現れる。
Bsin(ωd×t+π/2)×Csin(ωd×t)
={−(B×C)/2}×cos(2ωd×t+π/2)
この2fdの不要信号(妨害信号)は、図11に示すようにフィルタ部110のプリフィルタ112により減衰するものの、その残留分は、周波数fsp=fdのクロックCKでサンプリングされて、SCF114に取り込まれる。そして取り込まれた不要信号の残留分は、SCF114の通過帯域(所望信号が存在するDC成分)に対して、雑音として折り返す。
={−(B×C)/2}×cos(2ωd×t+π/2)
この2fdの不要信号(妨害信号)は、図11に示すようにフィルタ部110のプリフィルタ112により減衰するものの、その残留分は、周波数fsp=fdのクロックCKでサンプリングされて、SCF114に取り込まれる。そして取り込まれた不要信号の残留分は、SCF114の通過帯域(所望信号が存在するDC成分)に対して、雑音として折り返す。
本実施形態ではこの折り返し雑音を極小化するために、図12に示すように、2fdの不要信号をfsp=fdのクロックCKでサンプリングする際に、2fdの不要信号のゼロクロス点をサンプル・ホールドするように、クロックCKの位相を調整する。このようにすれば、プリフィルタ112では除去できなかった不要信号の残留分を、更に減衰させることができる。或いは、本実施形態のサンプリング点調整手法を併用することにより、プリフィルタ112に対する減衰量の要求を、従来構成において要求されていた減数量よりも小さくすることができる。つまり、プリフィルタ112の次数を例えば2次から1次にすることなどが可能になり、プリフィルタ112の構成を簡略化・小規模化できる。そしてSCF114でのサンプリングによる折り返し雑音によりS/N比が劣化してしまう事態を防止でき、微少信号を扱うジャイロセンサに最適な検出装置を提供できる。
特に、図7(A)(B)に示すように、同期検波により2fdに現れる機械振動漏れの不要信号と、参照信号RS及びクロックCKとの位相関係は決まっており、明確に把握できる。従って、クロックCKの位相を調整することで、2fdの不要信号のゼロクロス点にサンプリング点を設定して、不要信号の残留成分を除去することが可能になる。
また駆動側共振周波数である参照信号RSの周波数fdが、環境変化や経時変化によって変動した場合に、この変動に応じてクロックCKの周波数fsp=fdも変動する。従って、参照信号RSとクロックCKの位相差については変化しないようになるため、不要信号の安定した除去が可能になる。
なお、サンプリング点はゼロクロス点と完全に一致している必要はなく、ゼロクロス点に対応する点にサンプリング点が設定されていればよい。
即ち、理想的には、SCF114のサンプリングクロックCKのエッジ(立ち下がりエッジ)が図12のE1、E2に示す位置になるように調整を行えば、機械振動漏れの不要信号のゼロクロス点を取り込むことができる。しかしながら実際には、2値化回路48におけるサンプリングクロックの遅延や、同期検波回路100及びプリフィルタ112における信号並びに不要信号の遅延が存在する。また、SCF114を構成するスイッチング素子(図10のSG1〜SG6)のオン抵抗(トランジスタのオン抵抗)がゼロにならないことによる信号並びに不要信号の遅延が存在する。このため、実際のサンプリングクロックCKのエッジは、図12のE1、E2に一致しなくてもよい。具体的には、不要信号のゼロクロス点よりも時間的に例えば少しだけ遅らせた点にサンプリング点を設定すれば、実質的に不要信号のゼロクロス点でサンプリングすることが可能になり、2fdの不要信号によるS/N比の劣化を最小限に抑えることができる。更に具体的には、後述する図22(A)に示すように、サンプリング点調整回路47での調整量(遅延量)をスイープし、出力電圧が極小となる最適のサンプリング点を探し出す。
また本実施形態ではSCF114(離散時間型フィルタ)の前段側に設けられたプリフィルタ112(連続時間型フィルタ)により、2fdの不要信号が減衰される。従って、サンプリング点調整回路47は、プリフィルタ112の減衰による2fdの不要信号の残留成分が、所望信号の振幅以下になるように、SCF114でのサンプリング点を調整することが望ましい。ここで、所望信号の振幅は、所望信号の最小分解能に対応する振幅であり、本実施形態の検出装置の検出対象である角速度(単位dps:degree per second)に対応する振幅値である。また所望信号の振幅は、DCの周波数領域での所望信号の振幅である。
このようにすれば、所望信号よりも振幅が大きい不要信号が周波数2fdに現れた場合にも、この不要信号を、プリフィルタ112による減衰とサンプリング点調整回路47の調整の両方により除去できるようになる。また、プリフィルタ112に、それほど急峻な減衰特性を持たせなくても、2fd等に現れる不要信号を確実に除去できるようになるため、プリフィルタ112の回路の小規模化を図りながらS/N比を向上できる。なお、プリフィルタ112は、1次のフィルタであってもよいし、2次のフィルタであってもよい。
6.サンプリング点調整回路の構成
図13(A)にサンプリング点調整回路47の構成例を示す。このサンプリング点調整回路47は、ノードNJ1とNJ2の間に設けられる抵抗RJ1と、ノードNJ2とAGND(アナロググランド)のノードの間に設けられるキャパシタCJ1を含む。
図13(A)にサンプリング点調整回路47の構成例を示す。このサンプリング点調整回路47は、ノードNJ1とNJ2の間に設けられる抵抗RJ1と、ノードNJ2とAGND(アナロググランド)のノードの間に設けられるキャパシタCJ1を含む。
図13(A)のサンプリング点調整回路47は、図13(B)に示すようにローパスフィルタの周波数特性を有する。そしてキャパシタCJ1の容量値や抵抗RJ1の抵抗値を、サンプリング点の調整データDAS[m:0]を用いて可変に調整することで、SCF114のクロックCKの位相を調整できる。例えば図13(A)の回路では、図13(B)に示すように周波数fdの時に位相がαだけ遅れる。これにより、SCF114のクロックCKの位相もαだけ遅らせることができる。従って、図12のサンプリング点SP1、SP2がゼロクロス点に一致するように、調整データDAS[m:0]を用いてαを調整することで、位相調整を実現できる。
なおサンプリング点調整回路47は図13(A)の構成に限定されず、種々の変形実施が可能であり、例えば図14(A)のような構成にしてもよい。図14(A)のサンプリング点調整回路47は、ノードNK1とNK2の間に設けられるキャパシタCK1と、ノードNK2とAGNDのノードの間に設けられる抵抗RK1を含み、ハイパスフィルタの周波数特性を有する。そしてキャパシタCK1の容量値や抵抗RK1の抵抗値を、サンプリング点の調整データDAS[m:0]を用いて可変に調整することで、SCF114のクロックCKの位相を調整できる。例えば図14(A)の回路では、図14(B)に示すように周波数fdの時に位相がβだけ進む。これにより、SCF114のクロックCKの位相もβだけ進ませることができる。従って、図12のサンプリング点SP1、SP2がゼロクロス点に一致するように、調整データDAS[m:0]を用いてβを調整することで、位相調整を実現できる。
7.変形例
図15に本実施形態の第1の変形例を示す。図15ではサンプリング点調整回路49が、2値化された矩形波の参照信号RSを受け、参照信号RSの遅延処理を行う。そして、遅延処理により得られた信号を、位相調整されたクロックCKとしてフィルタ部110のSCF114に出力する。そしてSCF114は、位相が調整されたクロックCKを用いてサンプリング動作を行う。
図15に本実施形態の第1の変形例を示す。図15ではサンプリング点調整回路49が、2値化された矩形波の参照信号RSを受け、参照信号RSの遅延処理を行う。そして、遅延処理により得られた信号を、位相調整されたクロックCKとしてフィルタ部110のSCF114に出力する。そしてSCF114は、位相が調整されたクロックCKを用いてサンプリング動作を行う。
このサンプリング点調整回路49は、例えば複数のバッファ(インバータ)を直列に接続した遅延回路により実現できる。そしてバッファの出力信号を取り出すための出力タップを選択することで、遅延時間を調整して、クロックCKの位相を可変に調整できる。
図16にサンプリング点調整回路49の構成例を示す。サンプリング点調整回路49は、直列に接続されたバッファBF1、BF2、BF3・・・・BFj、バッファBFQ、選択回路120を含む。各バッファBF1〜BFj、BFQは例えば2段のインバータにより構成できる。初段のバッファBF1には参照信号RSが入力され、選択回路120には、バッファBF1〜BFjの出力信号DS1〜DSjが出力タップTP1〜TPjを介して入力される。そして選択回路120は、サンプリング点(遅延時間)の調整データDAS[m:0]を用いて出力信号DS1〜DSjのいずれを選択して、選択遅延信号DSQを出力する。この選択遅延信号DSQは、バッファBFQによりバッファリングされてクロックCKとしてフィルタ部110のSCF114に出力される。図16の構成によれば、調整データDAS[m:0]により、参照信号RSに対するクロックCKの遅延時間を任意に調整して、参照信号RSとクロックCKの位相差を調整できる。
図17(A)にサンプリング点調整回路49の他の構成例を示す。図17(A)のサンプリング点調整回路49は、直列接続された複数の遅延回路(遅延段)を含む。そして第1段目の遅延回路は、電源VDD、VSS間に直列に接続されたP型トランジスタTP1、バッファBA1、N型トランジスタTN1を含み、第2段目の遅延回路は、VDD、VSS間に直列に接続されたP型トランジスタTP2、バッファBA2、N型トランジスタTN2を含む。また最終段である第j段の遅延回路は、VDD、VSS間に直列接続されたP型トランジスタTPj、バッファBAj、N型トランジスタTNjを含む。そしてP側バイアス電圧VBPが、トランジスタTP1、TP2・・・TPjのゲートに入力され、N側バイアス電圧VBNが、トランジスタTN1、TN2・・・TNjのゲートに入力される。これらのP側、N側バイアス電圧VBP、VBNは、図17(B)のようなトランジスタTA1〜TA4により構成されるバイアス電圧生成回路により生成できる。即ち基準バイアス電圧VBを変化させることで、P側、N側バイアス電圧VBP、VBNが変化し、図17(A)の各段の遅延回路に流れる電流が制御され、バッファBA1、BA2・・・BAjの遅延量(遅延時間)が制御される。これによりサンプリング点の調整が可能になる。なおバイアス電圧VBは、図16等で説明したサンプリング点の調整データDAS[m:0」をD/A変換をすることなどにより設定できる。
図18に本実施形態の第2の変形例を示す。図18では検出回路60がオフセット調整回路90を含む。なお図15の第1の変形例において検出回路60にオフセット調整回路90を含ませてもよい。
図18では、例えば環境温度が25℃(ティピカル温度)である場合に、検出装置30の出力電圧VQ(VSQの電圧)が基準出力電圧VR(例えばVDD/2)に一致するように、オフセット調整回路90が調整を行う。例えばオフセット電圧(初期オフセット電圧)である|VQ−VR|が除去されて0になるように、オフセット調整回路90が調整を行う。具体的には、ジャイロセンサの製造後に検出装置30の出力電圧VQをモニタする。そして出力電圧VQを基準出力電圧VRに一致させるための初期オフセットの調整データを、図示しない不揮発性メモリ等に書き込む。するとオフセット調整回路90は、検出装置30の出力電圧VQがVRに一致するように、上記調整データに基づいてオフセット調整を行う。
図19にオフセット調整回路90の構成例を示す。なおオフセット調整回路90の構成は図19に限定されず、その構成要素を変更・削除したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
オフセット調整回路90は、D/A変換回路92と加算回路(加減算回路)94を含む。D/A変換回路90は、オフセット(初期オフセット)の調整データDDA[m:0]をアナログのオフセット調整電圧VAに変換する。
加算回路94は、入力信号IN(VS4)の電圧に対して、D/A変換回路92からの調整電圧VAを加算する。この加算回路94は、ノードNE5とNE6、NE1、NE2の間にそれぞれ設けられた抵抗RE1、RE2、RE3を含む。また、その反転入力端子にノードNE5が接続され、その非反転入力端子にAGNDのノードが接続されるオペアンプOPEを含む。
例えば本実施形態では、ジャイロセンサの製造後に検出装置30の出力信号VSQの電圧をモニタする。そしてVSQの電圧を基準出力電圧に一致させるためのオフセットの調整データを、図示しない不揮発性メモリ等に書き込む。そしてこの不揮発性メモリ等に書き込まれた調整データDDA[m:0]がD/A変換回路92に入力され、D/A変換回路92は、DDA[m:0]に応じたオフセットの調整電圧VAを出力する。すると、加算回路94は、この調整電圧VAを、入力信号INの電圧に加算することで、オフセット電圧を除去する調整を行う。
図19に示すように、オフセット調整回路90は、同期検波回路100の前段側に設けられる。そして同期検波回路100は、スイッチング素子SE1、SE2(第1、第2のスイッチング素子)と、インバータ106を含む。これらのスイッチング素子SE1、SE2はMOSトランジスタ(トランスファーゲート)により構成される。
スイッチング素子SE1の一端とスイッチング素子SE2の一端は、出力信号Q(VS6)のノードNE4を介して接続される。スイッチング素子SE1の他端には、加算回路94の出力が入力される。スイッチング素子SE2の他端には、非反転増幅回路104を介して、入力信号INと同相の信号IN2が入力される。そしてオフセット調整回路90の加算回路94は、入力信号INの電圧と調整電圧VAとの加算により得られた信号であって、入力信号INと逆相の信号IN1を、スイッチング素子SE1の他端に出力する。
またスイッチング素子SE1は、参照信号RSの反転信号RSXによりオン・オフ制御され、スイッチング素子SE2は参照信号RSによりオン・オフ制御される。即ちスイッチング素子SE1がオン状態の場合に、スイッチング素子SE2はオフ状態になり、スイッチング素子SE1がオフ状態の場合には、スイッチング素子SE2はオン状態になる。このようにスイッチング素子SE1、SE2が交互にオンになることで、同期検波が実現される。
例えば加算回路94の抵抗RE1、RE2、RE3の抵抗値が全て等しいとする。また入力信号INの電圧をV1とし、オフセットの調整電圧をVAとし、加算回路94の出力電圧をV2とする。すると、V2=−(V1+VA)が成り立つ。従って、参照信号RSがHレベルになり、スイッチング素子SE1がオフ状態になり、スイッチング素子SE2がオン状態になると、同期検波回路100からは、入力信号INの電圧V1が出力される。次に、参照信号RSがLレベルになり、スイッチング素子SE1がオン状態になり、スイッチング素子SE2がオフ状態になると、同期検波回路100からは、電圧V2=−(V1+VA)が出力される。即ち入力信号INの電圧V1に調整電圧VAを加算した信号の反転信号が出力されるようになる。これにより、調整電圧の加算と、同期検波を両立できる。
即ち図19では、加算回路94が、入力信号INの反転信号を出力する反転増幅器としても機能する。例えば図4の同期検波回路では反転増幅器102と非反転増幅器104が必要になる。図19の構成によれば、図4の反転増幅器102を、加算回路94が含むオペアンプOPEで代用できる。即ちオフセット調整回路90と同期検波回路100とで、オペアンプOPEを共用できる。このようにすれば、オペアンプ(増幅器)の個数を減らすことができるため、回路を小規模化できる。また、ノイズ源となる回路ブロックの数が減るため、S/N比を向上できる。
なお非反転増幅器104を設ける場所は任意である。例えば図20に示すように、オフセット調整回路90よりも前段側の回路に設けられる非反転増幅器104を、同期検波回路100用の非反転増幅器として用いるようにしてもよい。
また図18、図19、図20では、オフセット調整回路90を同期検波回路100の前段側に設けているが、オフセット調整回路90を設ける場所も任意であり、例えばフィルタ部110の後段側(最終段)にオフセット調整回路90を設けるなどの種々の変形実施が可能である。
8.調整方法
次に本実施形態の検出装置の調整方法の詳細について図21のフローチャートを用いて説明する。なお図21の一連の調整は以下のような条件で行う。
(1)振動子と検出装置は一体実装する。
(2)駆動振動子を動作状態に設定する。
(3)角速度が加えられないようにジャイロセンサを静止状態に保持する。
次に本実施形態の検出装置の調整方法の詳細について図21のフローチャートを用いて説明する。なお図21の一連の調整は以下のような条件で行う。
(1)振動子と検出装置は一体実装する。
(2)駆動振動子を動作状態に設定する。
(3)角速度が加えられないようにジャイロセンサを静止状態に保持する。
以上のような条件に設定することにより、検出装置に不要信号のみが入力され、コリオリ力によるセンサ信号が加わらない状態が実現される。
本実施形態の調整方法では図21に示すように、まずサンプリング点の調整処理を行う(ステップS1)。具体的には、検出装置の出力電圧VQをモニタする(ステップS2)。そして図13(A)、図14(A)、図16等で説明したサンプリング点調整データDAS[m:0]により、出力電圧VQが極小(極小値)になるようにサンプリング点の調整を行う(ステップS3)。例えば図22(A)に示すように、調整データDAS[m:0]によりサンプリング点調整回路での調整量(遅延量)をスイープし、サンプリング点の位置を変化させる。そして出力電圧VQ(出力電圧と基準出力電圧の差)が極小になるポイントを探し出す。これにより、図12で説明したように不要信号のゼロクロス点にサンプリング点を実質的に設定することが可能になる。そして最終的なサンプリング点調整データを不揮発性メモリに書き込み(ステップS4)、サンプリング点調整処理を終了する。
次にオフセット調整処理を行う(ステップS5)。具体的には、検出装置の出力電圧VQをモニタする(ステップS6)。そして図19、図20で説明したオフセット調整データDDA[m:0]により、出力電圧VQが基準出力電圧VRに一致するように調整する(ステップS7)。これにより図22(B)のようにオフセット電圧の除去が可能になる。そして最終的なオフセット調整データを不揮発性メモリに書き込み(ステップS8)、オフセット調整処理を終了する。
次に感度調整処理を行う(ステップS9)。具体的には、検出装置の出力電圧VQをモニタする(ステップS10)。そして感度調整データにより、感度が基準値に一致するように調整する(ステップS11)。そして最終的な感度調整データを不揮発性メモリに書き込み(ステップS12)、感度調整処理を終了する。
このように図21では、通常のオフセット調整処理(ステップS5〜S8)に先だって、サンプリング点調整処理(ステップS1〜S4)を行う。このようにすれば、少なくとも2fdの機械振動漏れの不要信号を要因とするオフセット電圧を除去した後に、他の要因によるオフセット電圧を除去できるようになる。従って通常のオフセット調整処理の前段階において、全体的なオフセット電圧において支配的な機械振動漏れのオフセット電圧を予め除去しておくことができる。従って、通常のオフセット調整処理の調整範囲を少なくすることができ、効率的なオフセット調整処理を実現できる。
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語(離散時間型フィルタ、連続時間型フィルタ等)と共に記載された用語(SCF、プリフィルタ等)は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また振動子の構造、検出装置やジャイロセンサや電子機器の構成も、本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。また離散時間型フィルタをSCF以外のフィルタ(例えばデジタルフィルタ等)で実現することも可能である。
10 振動子、30 検出装置、40 駆動回路、42 I/V変換回路、
44 AGC回路、46、48 2値化回路、47、49 サンプリング点調整回路、
60 検出回路、70 増幅回路、72、74 Q/V(I/V)変換回路、
76 差動増幅回路、90 オフセット調整回路、100 同期検波回路、
110 フィルタ部、112 プリフィルタ、114 SCF、116 ポストフィルタ、500 電子機器、510 ジャイロセンサ、520 処理部、530 メモリ、
540 操作部、550 表示部
44 AGC回路、46、48 2値化回路、47、49 サンプリング点調整回路、
60 検出回路、70 増幅回路、72、74 Q/V(I/V)変換回路、
76 差動増幅回路、90 オフセット調整回路、100 同期検波回路、
110 フィルタ部、112 プリフィルタ、114 SCF、116 ポストフィルタ、500 電子機器、510 ジャイロセンサ、520 処理部、530 メモリ、
540 操作部、550 表示部
Claims (13)
- 振動子を駆動して振動子を励振させる駆動回路と、
振動子からの出力信号を受け、所望信号を検出する検出回路とを含み、
前記検出回路は、
振動子からの出力信号を増幅する増幅回路と、
前記増幅回路による増幅後の信号に対して、参照信号に基づいて同期検波を行う同期検波回路と、
離散時間型フィルタを有し、同期検波後の信号のフィルタ処理を行うフィルタ部とを含み、
前記駆動回路又は前記検出回路は、
前記離散時間型フィルタのサンプリング用のクロックの位相を調整し、前記離散時間型フィルタでのサンプリング点を調整するサンプリング点調整回路を含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項1において、
前記離散時間型フィルタは、
前記離散時間型フィルタのサンプリング周波数をfspとし、振動子の駆動側共振周波数である同期検波用の前記参照信号のクロック周波数をfdとした場合に、fsp=fdとなる周波数のクロックでサンプリング動作を行い、
前記サンプリング点調整回路は、
前記同期検波回路による同期検波により周波数2fdの周波数帯域に現れる不要信号のゼロクロス点に、サンプリング点を設定するための調整を行うことを特徴とする検出装置。 - 請求項1又は2において、
前記駆動回路が、前記サンプリング点調整回路と、第1、第2の2値化回路を含み、
前記第1の2値化回路は、
駆動信号の2値化処理を行い、2値化処理により得られた前記参照信号を前記同期検波回路に出力し、
前記サンプリング点調整回路は、
前記駆動信号の位相調整を行い、位相調整後の信号を前記第2の2値化回路に出力し、
前記第2の2値化回路は、
前記位相調整後の信号の2値化処理を行い、2値化処理により得られたクロックを前記離散時間型フィルタに出力することを特徴とする検出装置。 - 請求項1又は2において、
前記検出回路が、前記サンプリング点調整回路を含み、
前記サンプリング点調整回路は、
前記参照信号を受け、前記参照信号の遅延処理を行い、遅延処理により位相が調整されたクロックを前記離散時間型フィルタに出力することを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記離散時間型フィルタは、
振動子の駆動側共振周波数fdと検出側共振周波数fsとの差に対応する離調周波数Δf=|fd−fs|の成分を除去し、所望信号の周波数成分を通過させる周波数特性を有することを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記フィルタ部は、
前記離散時間型フィルタの前段側に設けられた連続時間型フィルタを含み、
前記同期検波回路による同期検波により周波数2fdの周波数帯域に現れる不要信号が、前記連続時間型フィルタにより減衰され、
前記サンプリング点調整回路は、
前記連続時間型フィルタの減衰による2fdの不要信号の残留成分が、所望信号の振幅以下になるように、前記離散時間型フィルタでのサンプリング点を調整することを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
検出装置の出力信号のオフセット電圧を除去するための調整を行うオフセット調整回路を含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項7において、
前記オフセット調整回路は、
オフセットの調整データをオフセットの調整電圧に変換するD/A変換回路と、
入力信号の電圧に対して、前記D/A変換回路からの前記調整電圧を加算する加算回路を含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項8において、
前記オフセット調整回路は、前記同期検波回路の前段側に設けられ、
前記同期検波回路は、
第1のスイッチング素子と、
その一端が前記第1のスイッチング素子の一端に接続され、その他端に前記入力信号と同相の信号が入力され、前記第1のスイッチング素子がオン状態の場合にオフ状態になり、前記第1のスイッチング素子がオフ状態の場合にオン状態になる第2のスイッチング素子を含み、
前記オフセット調整回路の前記加算回路は、
前記入力信号の電圧と前記調整電圧の加算により得られた信号であって、前記入力信号と逆相の信号を、前記第1のスイッチング素子の他端に出力することを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至9のいずれかにおいて、
前記離散時間型フィルタは、スイッチト・キャパシタ・フィルタであることを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の検出装置と、
前記振動子と、
を含むことを特徴とするジャイロセンサ。 - 請求項11において、
前記振動子は、
その固有共振周波数が駆動側共振周波数fdとなる駆動用振動子と、
その固有共振周波数が検出側共振周波数fsとなる検出用振動子とを有することを特徴とするジャイロセンサ。 - 請求項11又は12に記載のジャイロセンサと、
前記ジャイロセンサにより検出された角速度情報に基づいて処理を行う処理部と、
を含むことを特徴とする電子機器。
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-
2007
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