JP2008012601A - 内圧防爆構造のロボット - Google Patents

Abstract

【課題】内圧防爆構造のロボットにおいて、モータ及び位置検出器部内部に粉塵が入らない構造にするとともに、確実に掃気できる構成を開示することを目的とする。
【解決手段】気密室に内蔵する複数のモータ１の各々は、その内部がモータ部と位置検出部とに隔離され、モータフレーム６には、モータ部が存在するモータ部空間に貫通する第１の貫通穴部（１８）と、位置検出部が存在する位置検出部空間に貫通する第２の貫通穴部（１８）とを備えるよう構成し、保護気体が、第１の貫通穴部と、第２の貫通穴部とのそれぞれに供給されるように配管した。
【選択図】図３

Description

本発明は、内圧防爆構造のロボットに使用する各関節を駆動するモータの構造と、それを使用したロボットの構造に関するものである。

内圧防爆構造のロボットは、主に塗装場など爆発性の気体が存在する危険雰囲気に設置されるため、内部にほぼ密閉された気密室を有し、この気密室にロボットの各関節を駆動するモータを配置している。一方、ロボットの外部から、気密室に空気などの清浄な気体を送出し、気密室内部の気体を、爆発性の気体でない気体（保護気体）へと置換し、更に気密室内の圧力を周囲の危険雰囲気よりも高く維持することで、気密室内部への爆発性気体の侵入を防いでいる。気密室に侵入した恐れがある爆発性気体を、保護気体に置換することによって、確実に気密室の外部へ排出させる作業は、掃気動作と呼ばれ、これは旧労働省産業安全研究所公表の工場電気設備防爆指針などに記載されている。
この掃気動作が、特に爆発性の危険が高いモータに対して有効に効果を奏するような構成が、従来からいくつか開示されている。
例えば特許文献１では、ロボットの各関節を駆動するモータに、気密室へ流入させた保護気体が侵入するような穴を設け、モータ（複数）内の保護気体を排出させる管路を統合させている。
また、特許文献２にも特許文献１と同様な構成が開示されている。特許文献２は特許文献１の先願である。
また、特許文献３にも気密室の保護気体をモータに侵入させ、保護気体が不要な箇所には流出しないような構成を開示している。
特開平４−２１７４８９号公報 実用新案登録公報第２５１６６１８号 特開平９−１４９６００号公報

上記特許文献１乃至３に記載されたモータ及びロボットの構造は、モータのフレームから気密室内の保護気体を流入させ、モータ内部の全体を循環した保護気体を再びフレームから排出させる構成であったため、気密室に粉塵等が入っていた場合、これがモータ内部に侵入してモータを故障させる原因となってしまう可能性があった。
また、モータ内部の、例えばブレーキ部から発塵した粉塵が、保護気体によってモータ内部を循環し、モータのセンサ部に侵入して、同じくモータを故障させる原因となっていた。特に、センサ部はモータの回転位置を検出するため、昨今、精密な基板や微小な隙間を介して検出する位置検出器が設けられており、特にブレーキ部からの発塵による故障が問題となることが多い。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、内圧防爆構造のロボットにおいて、各関節を駆動するモータの内部空間を、確実に掃気できるとともに、モータの信頼性を向上させるモータを開示する。また、そのモータを使用したロボットの構造について開示する。

上記問題を解決するため、本発明は以下のように構成した。
請求項１記載の発明は、各関節軸を駆動する複数のモータと、前記複数のモータが内蔵され、保護気体が導入されて周囲の雰囲気よりも高い圧力で維持される気密室と、を備えた内圧防爆構造のロボットにおいて、前記複数のモータの各々は、その内部が、モータ部と位置検出部とに隔離され、モータフレームには、前記モータ部が存在するモータ部空間に貫通する第１の貫通穴部と、前記位置検出部が存在する位置検出部空間に貫通する第２の貫通穴部とを備え、前記保護気体が、前記第１の貫通穴部と、前記第２の貫通穴部とのそれぞれに直接供給されるようにした。
請求項２記載の発明は、前記モータフレームには、前記モータ部空間に貫通する第３の貫通穴部と、前記位置検出部空間に貫通する第４の貫通穴部と、を更に備え、前記第３の貫通穴部と前記第４の貫通穴部とから、前記保護気体が前記気密室に開放されるようにした。
請求項３記載の発明は、前記複数のモータの各々の前記位置検出部空間が、各々の前記第１および第３の貫通穴部を介して互いに管で接続され、前記複数のモータのうちの少なくとも１つの前記第１の貫通穴部から、前記複数のモータの全ての前記位置検出部空間に、順次前記保護気体が供給されるようにした。
請求項４記載の発明は、前記複数のモータの各々の前記モータ部空間が、各々の前記第２および第４の貫通穴部を介して互いに管で接続され、前記複数のモータのうちの少なくとも１つの前記第２の貫通穴部から、前記複数のモータの全ての前記モータ部空間に、順次前記保護気体が供給されるようにした。
請求項５記載の発明は、請求項３と請求項４との両方に記載された構成を備え、前記位置検出部空間と前記モータ部空間とに供給される前記保護気体とは別に、前記ロボットのアーム先端の前記気密室内で前記保護気体が開放される配管を設けるようにした。
請求項６記載の発明は、前記気密室に接続され、該気密室の空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第１の気体排気部とは別に、前記互いに管で接続された位置検出部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第２の気体排気部を備えるようにした。
請求項７記載の発明は、前記気密室に接続され、該気密室の空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第１の気体排気部とは別に、前記互いに管で接続されたモーター部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第３の気体排気部を備えるようにした。
請求項８記載の発明は、前記気密室に接続され、該気密室の空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第１の気体排気部と、前記互いに接続された位置検出部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第２の気体排気部と、前記互いに接続されたモータ部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第３の気体排気部と、をそれぞれ設けるようにした。
請求項９記載の発明は、前記第１の貫通穴部と、前記第２の貫通穴部との、少なくとも一方にフィルタを設けるようにした。
請求項１０記載の発明は、前記フィルタは、メッシュサイズが２〜７ｍｌ／ｃｍ^２・ｓｅｃであるようにした。
請求項１１記載の発明は、請求項１記載の内圧防爆構造のロボットを備えたことを特徴とするロボットシステムとした。

本発明によると、モータ内部にエアを直接供給する構造なので、モータ内を確実に掃気できるとともに、気密室内の粉塵をモータ内に入らないように構成できる。このため、防爆に関して非常に安全な内圧防爆構造のロボットとすることができる。
また、本発明の他の実施例によれば、モータの位置検出部を循環する保護気体を、位置検出部以外のモータ内を循環する保護気体から分けて供給するようにしたので、更にモータの信頼性および掃気の確実性が向上する。
また、本発明の他の実施例によれば、モータの位置検出部を循環する保護気体と、位置検出部以外のモータ内を循環する保護気体と、に分けてそれぞれ供給できるようにしたので、モータへ、効果的に多くの保護気体を流すことが可能となり、掃気時間の短縮がはかれるとともに、モータの信頼性も向上する。

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。

まず、本発明の内圧防爆構造のロボットを使用したシステムの概略構成について説明する。図２はシステムの概略構成図である。
図２において、２１は本発明の内圧防爆構造のロボットで、２２はロボット２１を制御するコントローラである。コントローラ２２にはロボット２１内部のほぼ密閉された気密室３７（後述する）へ保護気体を供給する気体供給部２３が取り付けられている。気密室３７には、ロボットの各関節を駆動するモータ１（後述する）が複数設置されている。また、ロボット２１には、気密室３７から排出される気体を制御する気体排気部２４が取り付けられている。コントローラ２１と気体供給部２３は、非危険雰囲気に設置されており、ロボット２１と気体排気部２４は、塗装場などの、爆発性気体が存在する危険雰囲気に設置されている。また、ロボット２１とコントローラ２２は、制御ケーブル２５で接続されており、ロボット２１の各関節を駆動するモータ１を、コントローラ２２が制御できる。また、気体供給部２３とロボット２１とは管路２６で接続されており、気体供給部２３から、ロボット２１内の気密室３７へ保護気体が供給される。また、ロボット２１と気体排気部２４は管路２７で接続されており、気体排気部２４は、気密室３７から排出される気体を検出したり、封止させたりする。このため、気体排気部２４は、通信ケーブル２９によってコントローラ２２に接続されている。また、気体排気部２４の内部には、後述する開放弁が設置されており、これを制御するための制御気体を送出する管路２８が、気体供給部２３から気体排気２４に接続されている。

次に、本発明に適用するモータの構造について詳しく説明する。本発明では、図１のような構成のモータを使用する。本モータを、図２に記載しているように、ロボット２１の各関節を駆動するモータとして使用する。ここでは、本モータを、ＡＣサーボモータの構造にて説明する。図１において、２は回転軸、３は回転子、４は固定子、５はセンサ部、６はモータフレーム、７はベアリング、８はマグネット、９は巻線、１０はディスク、１１はブレーキ巻線、１２はブレーキ、１３はブレーキ部、１４は円盤、１５はシール、をそれぞれ示している。即ち、本発明に適用するモータは、回転軸２、回転子３、固定子４、ブレーキ部１３らが存在するモータ部空間と、センサ部５が存在する位置検出部空間とに隔てるシール１５を有するモータを使用する。なお、モータの各部については、既知のものであるから説明は省略する。
そして、本発明では、以上で構成されたモータに対して、モータフレーム６に、複数の貫通穴１８を設けている。複数の貫通穴１８の１つは、上述のモータ部空間へ貫通しており、接続部４５ａがモータフレーム６に設けられている。また、別の貫通穴１８の１つは、同じく上述のモータ部空間へ貫通しており、開放部４５ｂがモータフレーム６に設けられている。
また、上述の位置検出器部へ通じる貫通穴１８には、同様に接続部４７ａが設けられている。また、位置検出部へ通じる別の貫通穴１８が設けられていて、モータフレーム６には、同じく開放部４７ｂが設けられている。
貫通穴１８の直径は、本実施例では１０ｍｍ程度としている。そして、接続部４５ａと接続部４７ａは、パッキン４９を取り付けたブロック５０がモータフレーム６に固定され、更に、貫通穴１８に対してフィルタ１６が固定されている。また、ブロック５０には、継手５１が接続されている。開放部４５ｂと開放部４７ｂは、フィルタ１６と、それをモータフレーム６に固定するカバ１７とで構成されている。
フィルタ１６は、貫通穴１８からモータ内部に異物が侵入することを防ぐものであるが、フィルタ１６によって、上記の掃気動作による気体置換が妨げられないよう、メッシュサイズに留意している。ここでは、２〜７ｍｌ／ｃｍ^２・ｓｅｃのサイズを使用している。図１記載のモータでは、上記のメッシュサイズのフィルタを、１８の４箇所の貫通穴に設置している。

以上で説明したモータを使用したときの、図２における系統図が図３である。図３において保護気体の流れについて詳しく説明する。気体供給部２３には、図示しない外部の圧力気体発生源より圧縮空気（保護気体）が導入され、保護気体はフィルタ３１を通って、三経路に分岐され、それぞれ圧力調整器３２と３３と３４に送出されている。保護気体は圧力調整弁３２により、ロボット２１は周囲の危険雰囲気の圧力より若干高い圧力に調整される。また、同じく、保護気体は圧力調整器３３により、圧力調整器３２よりも更に高い圧力に調整される。これら圧力調整器３２と３３で調整された保護気体は、電磁弁３５から管路２６と４３を介して、ロボット２１内のモータ１に送出される。
ロボット２１は、気密室３７を備えており、気密室にはモータ１が複数個設置されている。この実施例では、ロボット２１が６個のモータを備える場合について説明する。各々のモータ１ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆは、ロボット２１の各関節を駆動する。管路２６は、分岐されて、ロボット２１下部の管路接続部３０を介してロボット２１内部の管路４３に接続される。分岐されたうちの１つの管路４３ａは、複数の継手４４で更に分岐され、モータ１ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆの各々のモータ部へ通じる接続部４５ａに接続され、開放部４５ｂより気密室３７内に開放される。一方、もう１つの管路４３ｂは、同じく複数の継手４８で更に分岐され、モータ１ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆの各々の位置検出器部へ通じる接続部４７ａに接続され、開放部４７ｂより気密室３７に開放される。
また、管路接続部３０には管路２７の一端が接続され、管路２７の他端はエア排気部２４に設置されている開放弁３８へと接続されている。開放弁３８までの管路２７の途中には、フロースイッチ３９（取り付けられない場合もある）と、圧力検出器４０と、圧力調整弁４１が接続されている。フロースイッチ３９と圧力検出器４０とには通信ケーブル２９の一端が接続され、その他端はコントローラ２２に接続されている。通信ケーブル２９は、これらフロースイッチ３９と圧力検出器４０の信号をコントローラ２２へ伝達している。圧力検出器４０は、気密室３７の圧力が所定値よりも低くなるとコントローラ２２に信号を伝達する。また、フロースイッチ３９は、所定の気体流量が通過すると、コントローラ２２に信号を伝達する。また、圧力調整弁４１は、管路２７の圧力、すなわち気密室３７の内部圧力が、所定値よりも高くなった場合に、気体を排出し、気密室３７の内部圧力を軽減させる。
また、フィルタ３１を通過した保護気体の３経路のうち更に１経路の保護気体は、圧力調整器３４により、電磁弁３６を動作させることができる程度の圧力に調整され、電磁弁３６と管路２８を介して開放弁３８に接続されている。開放弁３８は、電磁弁３６から送出されてくる保護気体によって空圧作動し、管路２７から排出されてくる気密室３７内部の気体を排出させるか、または封止することができる。

以上によって構成される、本発明のモータを使用した内圧防爆機構のロボットにおいて、まず通常運転について説明する。通常運転は、ロボットが塗装作業などを行う運転状態を示す。通常運転は、後述する掃気動作が終了してから行われる。つまり、気密室３７の内部から、危険雰囲気の爆発性気体を排除したのちに通電され、運転が開始される。通常運転の場合、開放弁３８は、閉の状態であって、気密室３７には、圧力調整器３２によって調整された危険雰囲気よりも若干高い圧力の空気が導入されている。このため、ロボット２１の気密室３７は、危険雰囲気より若干高い圧力に保たれる。また、管路２７に接続された圧力検出器４０は、気密室３７の圧力が危険雰囲気より若干高い圧力より低くなった場合を検知する。
次に掃気動作について説明する。まず、コントローラ２２の電源を供給すると、コントローラ２２より電磁弁３６の切り換え命令がだされ、圧力調整器３３により通常運転時の圧力より更に高い圧力に調整された保護気体が、管路２６を介して、気密室３７に導入される。このとき、コントローラ２２内の図示しないタイマーは時間のカウントを開始する。また、このとき開放弁３８は閉の状態である。
管路２６は、上述のように、各々のモータの内部へフィルタを介して保護気体を開放しているため、モータ内部空間の気体は確実に保護気体に置換される。
そして、タイマーが所定の時間を計測し終わると、コントローラ２２から電磁弁３６に切り換え命令がだされ、開放弁３８を開の状態にする。なお、タイマーの計測する時間は、気密室の圧力が所定の圧力になるまでの時間であって、予め試験等で計測しておく。そして、開放弁３８の開放と同時にフロースイッチ３９により、気密室３７から排出される気体の流量測定を開始する。所定量の流量が流出すると、フロースイッチ３９の信号によって、コントローラ２２は電磁弁３６へ切り換え命令を送出し、開放弁３８が閉の状態になり、掃気が完了する。そして、モータへの電源供給が可能となり、上述した通常運転状態としてロボット動作が可能となる。
なお、圧力検出器４０は、これら掃気動作中においても、気密室３７の圧力が危険雰囲気より若干高い圧力より低くなった場合を検知し、圧力調整弁４１は、気密室の圧力が高くなりすぎた場合に圧力を開放する。フロースイッチ３９が設けられない場合には、圧力検出器４０の掃気動作時の圧力監視において、気密室３７の圧力が危険雰囲気より若干高い圧力より低くならないことで代用する場合も有る。

本実施例では図５のような構成のモータを使用する。図１のモータ構成とほぼ同一であるが、図５においては、位置検出部が存在する空間へ貫通する貫通穴１８の開放部４７ｂにもブロック５０および継手５１が設けられている。

図４は、上記のモータを使用したときのロボットの系統図である。図３と同等個所については、同番号を付している。同等部分については、説明を省略する。
本実施例においては、主に管路４３ｂの系統が図３と異なる。管路４３ｂは、モータ１ａの位置検出器部へ通じる接続部４７ａに接続され、開放部４７ｂが管路４６ｃに接続される。そして管路４６ｃは、モータ１ｂの位置検出器部へ通じる接続部４７ａに接続され、開放部４７ｂが管路４６ｄに接続される。そして管路４６ｄは、モータ１ｃの位置検出器部へ通じる接続部４７ａに接続され、開放部４７ｂが管路４６ｅに接続される。そして管路４６ｅは、モータ１ｄの位置検出器部へ通じる接続部４７ａに接続され、開放部４７ｂが管路４６ｆに接続される。そして管路４６ｆは、モータ１ｅの位置検出器部へ通じる接続部４７ａに接続され、開放部４７ｂが管路４６ｇに接続される。そして管路４６ｇは、モータ１ｆの位置検出器部へ通じる接続部４７ａに接続され、開放部４７ｂが管路４６ｈの一端に接続される。すなわち、複数のモータ１の位置検出部が存在する空間が１系統で直列に接続されており、モータ部が存在する空間とは別に保護気体が流入される構成となっている。
一方、管路接続部３０には管路２７ａが接続されており、また、管路４６ｈの他端が、管路２７ｂの一端が接続されている。そして、管路２７ａおよび２７ｂのそれぞれの他端が、エア排気部２４に設置されている開放弁３８へ接続されている。管路２７ａおよび２７ｂの途中の構成は、図３で説明した構成とそれぞれ同等である。
なお、本実施例では位置検出部の空間を全て直列に接続したが、気密室３７において、管路４３ｂを更に適当な箇所で分岐させて接続部４７ａに接続し、各々の開放部４７ｂから管路を適当な箇所で集約させて、管路２７ｂに至るように構成しても良い。すなわち、位置検出部が存在する空間に供給される保護気体が、モータ部が存在する空間に供給される保護気体と分離されていれば良い。

本実施例では図７のような構成のモータを使用する。図１のモータ構成とほぼ同一であるが、図７においては、位置検出部が存在する空間へ貫通する貫通穴１８の開放部４７ｂにもブロック５０および継手５１が設けられているのに加えて、更に、モータ部が存在する空間へ貫通する貫通穴１８の開放部４５ｂにもブロック５０および継手５１が設けられている。

図６は、上記のモータを使用したときのロボットの系統図である。図３と同等個所については、同番号を付している。同等部分については、説明を省略する。
本実施例においては、電磁弁３５からの管路２６が３つに分岐される。そして、管路４３ａと４３ｂとを介して、保護気体がモータ１の各々に送出される。そして、実施例１と比較して、実施例２のように管路４３ｂの系統が配管されるのに加えて、更に管路４３ａが管路４３ｂと同様に構成される。また、管路２６の３つのうち、１つは管路接続部３０を介して配管され、ロボット２１の気密室３７の先端（アームの先端のほう）の開放位置４２で開放される。開放位置４２で開放された保護気体は、気密室３７全体を、先端部のほうから加圧させる。
管路４３ａは、モータ１ａモータ部へ通じる接続部４５ａに接続され、開放部４５ｂを介し管路４６ｉに接続される。管路４６ｉは、モータ１ｂのモータ部へ通じる接続部４５ａに接続され、開放部４５ｂが管路４６ｊに接続される。管路４６ｊは、モータ１ｃのモータ部へ通じる接続部４５ａに接続され、開放部４５ｂが管路４６ｋに接続される。管路４６ｋは、モータ１ｄのモータ部へ通じる接続部４５ａに接続され、開放部４５ｂが管路４６ｌに接続される。管路４６ｌは、モータ１ｅのモータ部へ通じる接続部４５ａに接続され、開放部４５ｂが管路４６ｍに接続される。管路４６ｍは、モータ１ｆのモータ部へ通じる接続部４５ａに接続され、開放部４５ｂが管路４６ｎの一端に接続される。すなわち、位置検出部が存在する空間が１系統で直列に接続されているのと同様に、複数のモータ１のモータ部が存在する空間も１系統で直列に接続されており、これらの空間に対して各々に保護気体が流入される構成となっている。
一方、管路接続部３０には管路２７ａが接続されており、また、管路４６ｈの他端が、管路２７ｂの一端に接続されている。更に、管路４６ｎの他端が、管路２７ｃの一端に接続されている。そして、管路２７ａ、２７ｂおよび２７ｃのそれぞれの他端が、エア排気部２４に設置されている開放弁３８へそれぞれ接続されている。管路２７ａ、２７ｂおよび２７ｃの途中の構成は、図３で説明した構成とそれぞれ同等である。
なお、本実施例では位置検出部およびモータ部が存在する空間を、全て直列に接続し、２系統になるように接続したが、気密室３７において、管路４３ａおよび管路４３ｂを更に適当な箇所で分岐させて接続部４５ａおよび接続部４７ａに接続し、各々の開放部４７ａおよび開放部４７ｂから管路を適当な箇所で集約させて、管路２７ｂ、２７ｃに至るように構成しても良い。すなわち、位置検出部が存在する空間とモータ部が存在する空間とに供給される保護気体が別系統で分離されていれば良い。

以上、本発明の各実施例によれば、内圧防爆構造のロボットに使用するモータに、モータ部の空間と位置検出部の空間とに分かれたモータを使用し、更にそのモータのフレームに、モータ部空間へ貫通する貫通穴と、位置検出部へ貫通する貫通穴を、少なくとも２箇所ずつ設けて、保護気体の供給口と排気口として構成するとともに、これらモータに供給する前に、保護気体を少なくとも２系統に分岐させ、モータ部が存在する空間と位置検出部が存在する空間とで分けて保護気体を流入させるように構成したので、例えば、モータ部のブレーキから発生した粉塵が、保護気体によって位置検出部に運ばれることが無く、位置検出部の粉塵による故障発生を抑えることができる。また、モータの保護気体の供給口には、それぞれフィルタを設けているので、保護気体に異物があってもモータ部や位置検出部にそれが進入することが無く、モータの故障発生を更に抑えることができる。

本発明の内圧防爆ロボットに使用するモータの断面図 本発明の内圧防爆ロボットのシステム構成図 図２における系統図 第２の実施例の系統図 第２の実施例のモータ断面図 第３の実施例の系統図 第３の実施例のモータ断面図

符号の説明

１ モータ
２ 回転軸
３ 回転子
４ 固定子
５ センサ部
６ モータフレーム
７ ベアリング
８ マグネット
９ 巻線
１０ ディスク
１１ ブレーキ巻線
１２ ブレーキ
１３ ブレーキ部
１４ 円盤
１５ シール
１６ フィルタ
１７ カバー
１８ 貫通穴

２１ ロボット
２２ コントローラ
２３ 気体供給部
２４ 気体排気部
２５ 制御ケーブル
２６ 管路
２７ 管路
２８ 管路
２９ 通信ケーブル

３０ 管路接続部
３１ フィルタ
３２ 圧力調整器
３３ 圧力調整器
３４ 圧力調整器
３５ 電磁弁
３６ 電磁弁
３７ 気密室
３８ 開放弁
３９ フロースイッチ
４０ 圧力検出器
４１ 圧力調整弁
４２ 開放位置
４３ 管路
４４ 継手
４５ａ，４７ａ 接続部（供給口）
４５ｂ，４７ｂ 開放部（排気口）
４６ 管路
４８ 継手
４９ パッキン
５０ ブロック
５１ 継手

Claims (11)

1. 各関節軸を駆動する複数のモータと、前記複数のモータが内蔵され、保護気体が導入されて周囲の雰囲気よりも高い圧力で維持される気密室と、を備えた内圧防爆構造のロボットにおいて、
   前記複数のモータの各々は、その内部が、モータ部と位置検出部とに隔離され、モータフレームには、前記モータ部が存在するモータ部空間に貫通する第１の貫通穴部と、前記位置検出部が存在する位置検出部空間に貫通する第２の貫通穴部とを備え、
   前記保護気体が、前記第１の貫通穴部と、前記第２の貫通穴部とのそれぞれに直接供給されるようにしたことを特徴とする内圧防爆構造のロボット。
2. 前記モータフレームには、前記モータ部空間に貫通する第３の貫通穴部と、前記位置検出部空間に貫通する第４の貫通穴部と、を更に備え、前記第３の貫通穴部と前記第４の貫通穴部とから、前記保護気体が前記気密室に開放されるようにしたことを特徴とする請求項１記載の内圧防爆構造のロボット。
3. 前記複数のモータの各々の前記位置検出部空間が、各々の前記第１および第３の貫通穴部を介して互いに管で接続され、前記複数のモータのうちの少なくとも１つの前記第１の貫通穴部から、前記複数のモータの全ての前記位置検出部空間に、前記保護気体が順次供給されるようにしたことを特徴とする請求項２記載の内圧防爆構造のロボット。
4. 前記複数のモータの各々の前記モータ部空間が、各々の前記第２および第４の貫通穴部を介して互いに管で接続され、前記複数のモータのうちの少なくとも１つの前記第２の貫通穴部から、前記複数のモータの全ての前記モータ部空間に、前記保護気体が順次供給されるようにしたことを特徴とする請求項２記載の内圧防爆構造のロボット。
5. 請求項３と請求項４との両方に記載された構成を備え、前記位置検出部空間と前記モータ部空間とに供給される前記保護気体とは別に、前記ロボットのアーム先端の前記気密室内で前記保護気体が開放される配管が設けられたことを特徴とする内圧防爆構造のロボット。
6. 前記気密室に接続され、該気密室の空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第１の気体排気部とは別に、前記互いに管で接続された位置検出部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第２の気体排気部を備えたことを特徴とする請求項３記載の内圧防爆構造のロボット。
7. 前記気密室に接続され、該気密室の空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第１の気体排気部とは別に、前記互いに管で接続されたモーター部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第３の気体排気部を備えたことを特徴とする請求項４記載の内圧防爆構造のロボット。
8. 前記気密室に接続され、該気密室の空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第１の気体排気部と
   前記互いに接続された位置検出部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第２の気体排気部と、
   前記互いに接続されたモータ部空間に接続され、該空間の圧力を監視するとともに該空間から排出される保護気体を封止または開放させる第３の気体排気部と、をそれぞれ設けたことを特徴とする請求項５記載の内圧防爆構造のロボット。
9. 前記第１の貫通穴部と、前記第２の貫通穴部との、少なくとも一方にフィルタが設けられていることを特徴とする請求項１記載の内圧防爆構造のロボット。
10. 前記フィルタは、メッシュサイズが２〜７ｍｌ／ｃｍ^２・ｓｅｃであることを特徴とする請求項９記載の内圧防爆構造のロボット。
11. 請求項１記載の内圧防爆構造のロボットを備えたことを特徴とするロボットシステム。

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