JP2008004670A - 電極構造及び光半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上面がp型を示すコンタクト層5Aと、上面がn型を示すn型半導体層14と、コンタクト層5Aの上面の辺縁の少なくとも一部及びn型半導体層14の上面の辺縁の少なくとも一部を覆うと共に、コンタクト層5Aの上面に向かうにしたがって下降する傾斜部25aが形成された絶縁層21と、一端がコンタクト層5A上に形成されると共に、他端が傾斜部25a上に形成された電極11と、n型半導体層14上に形成されると共に、両端が絶縁層21上に形成された電極16と、コンタクト層5Aに電圧を印加するためのパッド部31aと、電極11、16と絶縁層21上に形成されて電極16を介して電極11とパッド部31aとを接続する配線31とを備える。
【選択図】図3
Description
そして、絶縁層103は、例えばポリイミド樹脂などの絶縁材料で構成されており、レーザ共振器102の周囲と上面の辺縁とを覆うように設けられている。すなわち、絶縁層103は、レーザ共振器102の辺縁近傍の領域において、緩やかな斜面部103aを有するほぼ丘陵形状となっており、レーザ共振器102から離間するにしたがって緩やかな傾斜を伴って平坦化されている。
また、レーザ共振器102の上面から出射されたレーザ光は、リング状電極104の中央に形成された開口104aを通って外部に射出される。開口104a近傍のリング状電極104の厚さが厚いほど、外部に出射するレーザ光のモードへ影響を与えることから、リング状電極104は薄くする必要がある。一方、リング状電極104における電気抵抗を低減してレーザ共振器に効率よく電流を注入することを目的としてリング状電極104は厚くする必要があり、その代わりとして、リング状電極104及び絶縁層103上には、厚肉の引出電極105が形成されている。そして、この引出電極105が、リング状電極104とレーザ共振器102への駆動信号を印加するためのパッド電極(図示略)とを接続している。
すなわち、第1導体層の上面に向かうにしたがって下降する傾斜部上に第1電極の一端が形成されることにより、この一端部が順テーパ形状となる。これにより、例えば第1電極をリフトオフ法によって形成した場合において、第1電極を形成する金属材料のバリの発生を抑制することができる。したがって、第1電極上に形成される第3電極の断線が回避される。そして、電極構造の形成工程における歩留まりの低下を抑制することができる。
ここで、第1導体層と端子電極とが第2電極を介して接続されており、第2導体層の上面が第1導体層の上面と異なる導電型を示している。また、第1電極の導電型は、第1導体層の導電型である第1導電型となっている。もし、第1導体層と端子電極とを第1電極によって接続すると共に、第1電極によって第1導体層の上面と第2導体層の上面とを接続すると、第2導体層の上面が第1導電型とは異なる第2導電型を示していることから、第1電極と第2導体層の上面との間で拡散が発生して導体層の機能の思わぬ低下を招く場合がある。そのため、第1電極を第2導体層の上面に直接接続することは困難である。これにより、第1導体層の上面と端子電極とを第2導体層の上面を介して導通させる場合には、導電型を示さない第3電極によって接続する必要がある。そこで、本発明によれば、このような場合における第3電極の断線を有効に防止できる。
この発明では、上述と同様に、第2電極の周縁端が逆テーパ形状となることを防止して第2電極上に形成される第3電極の断線を回避できる。そして、電極構造の形成工程における歩留まりの低下をより確実に抑制することができる。
ここで、上述と同様に、第1柱状構造物の上面と端子電極とを第1電極によって接続すると共に、第1電極によって第1柱状構造物の上面と第2柱状構造物の上面とを接続すると、第1電極と第2柱状構造物の上面との間で拡散が発生して柱状構造物の機能の思わぬ劣化を招く場合がある。そのため、第1電極を第2柱状構造物の上面に直接接続することは困難である。これにより、第1柱状構造物の上面と端子電極とを第2柱状構造物の上面を介して導通させる場合には、導電型を示さない第3電極によって接続する必要がある。そこで、本発明によれば、このような場合における第3電極の断線を有効に防止できる。
この発明では、上述と同様に、第2電極の周縁端が逆テーパ形状となることを防止して第2電極上に形成される第3電極の断線を回避できる。そして、電極構造の形成工程における歩留まりの低下をより確実に抑制することができる。
ここで、上述と同様に、レーザ共振器の上面と端子電極とを第1電極によって接続すると共に、第1電極によってレーザ共振器の上面と付加素子の上面とを接続すると、第1電極と付加素子の上面との間で拡散が発生して付加素子の劣化を招く場合がある。そのため、第1電極を付加素子の上面に直接接続することは困難である。これにより、レーザ共振器の上面と端子電極とを付加素子の上面を介して導通させる場合には、導電型を示さない第3電極によって接続する必要がある。そこで、本発明によれば、このような場合における第3電極の断線を有効に防止できる。
この発明では、上述と同様に、第2電極の周縁端が逆テーパ形状となることを防止して第2電極上に形成される第3電極の断線を回避できる。そして、光半導体素子の製造工程における歩留まりの低下をより確実に抑制できる。
この発明では、端子電極とレーザ共振器との間に整流素子をレーザ共振器と並列になるように接続することによって、逆バイアス電圧が端子電極に印加されてもこの逆バイアス電圧による電流がレーザ共振器に流れずに整流素子に流れる。このため、レーザ共振器の逆バイアスに対する静電破壊耐圧を著しく向上させることができる。
この発明では、面発光型半導体レーザとすることにより、基板に対して平行な壁界面を有する端面発光型の半導体レーザと比較して、直接変調や低閾値動作、単一縦モード発振が可能となったり、二次元レーザアレイ構造を容易に形成できたりするなどの利点がある。
〔光半導体素子の構成〕
まず、本発明の第1の実施形態を、図面に基づいて説明する。ここで、図1は光半導体素子を模式的に示す平面図であり、図2は図1のA−A矢視断面図、図3は図1のB−B矢視断面図、図4は図3の部分拡大図、図5は図1の等価回路図である。
光半導体素子Dは、図1から図3に示すように、面発光型半導体レーザVと、整流ダイオード(付加素子)Eとを備えている。
面発光型半導体レーザVは、図1から図3に示すように、例えばn型GaAs基板などの半導体基板である基板1上に形成されている。そして、面発光型半導体レーザVは、垂直共振器を有しており、垂直共振器を構成する一方の分布反射型多層膜ミラーが第1柱状部(第1柱状構造物)P1に形成されている。すなわち、面発光型半導体レーザVは、その一部が第1柱状部P1に含まれた構成となっている。
第1ミラー層2は、例えばn型Al0.9Ga0.1As層とn型Al0.15Ga0.85As層とを交互に40ペア積層した分布反射型多層膜ミラーであり、例えばSi(珪素)がドーピングされることによりn型にされている。
活性層3は、例えばGaAsウェル層とAl0.3Ga0.7Asバリア層からなってウェル層が3層で構成される量子井戸構造を有している。
第2ミラー層4Aは、例えばp型Al0.9Ga0.1As層とp型Al0.15Ga0.85As層とを交互に25ペア積層した分布反射型多層膜ミラーであり、例えばC(炭素)がドーピングされることによりp型にされている。
コンタクト層5Aは、例えばp型GaAsで構成されており、例えばCがドーピングされることによりp型(第1導電型)にされている。
また、面発光型半導体レーザVは、コンタクト層5A上に形成されて平面視でリング状の電極(第1電極)11と、第1ミラー層2上に形成された電極12とを有する。
また、電極12の一端は、電極11と同様に、後述する絶縁層21上に形成されている。
整流ダイオードEは、図1から図3に示すように、基板1上に形成されており、第1柱状部P1が形成された位置とは異なる位置に形成された柱状の第2柱状部(第2柱状構造物)P2によって構成されている。
そして、整流ダイオードEは、面発光型半導体レーザVと同様に、第1ミラー層2と、活性層3と、第2ミラー層4Bと、コンタクト層5Bとを順次積層し、さらにi型半導体層13及びn型半導体層(第2導体層)14をコンタクト層5B上に順次積層した多層構造となっている。
i型半導体層13は、不純物が導入されていないGaAs層で構成されている。
n型半導体層14は、例えばSiがドーピングされることによりn型(第2導電型)にされたn型GaAs層で構成されている。
また、整流ダイオードEは、コンタクト層5B上に形成された電極15と、n型半導体層14上に形成された電極(第2電極)16とを有する。
電極15は、電極11と同様にAu及びZnからなり、その辺縁部が後述する絶縁層21上に形成されている。
電極16は、図3及び図4に示す一端が後述する絶縁層21の傾斜部25d上に形成されると共に、他端がコンタクト層5B上に設けられた後述する絶縁層21上に形成されている。ここで、電極16は、Au及びGe(ゲルマニウム)から形成されている。このように電極16としてAu及びGeを用いることで、n型半導体層14と良好にオーミック接触を形成することができる。
これらコンタクト層5B、i型半導体層13及びn型半導体層14は、pinダイオードを構成しており、整流ダイオードEを形成している。
第1及び第2柱状部P1、P2の周囲を取り囲むように、活性層3、第1ミラー層2及びコンタクト層5B上に、例えばポリイミド樹脂で構成された絶縁層21が設けられている。
この絶縁層21は、第1柱状部P1を構成するコンタクト層5Aの辺縁の少なくとも一部を覆うように形成されている。また、絶縁層21は、第2柱状部P2を構成するn型半導体層14の辺縁の少なくとも一部を覆うように形成されている。そして、絶縁層21は、第2柱状部P2を構成するコンタクト層5Bの辺縁の全周を覆うように形成されている。
そして、上述した電極11の一端は、図3及び図4に示すように、傾斜部25a上に形成されている。すなわち、電極11の一端は、コンタクト層5Aの上面に近接するにしたがって下降する傾斜部25a上であって丘陵部22の頂点22aと丘陵部22の第1柱状部P1側の最下点22bとの間に形成されている。
また、上述した電極16の一端は、n型半導体層14の上面に近接するにしたがって下降する傾斜部25d上であって丘陵部23の頂点23aと第2柱状部P2側の最下点23bとの間に形成されている。すなわち、電極16の一端は、n型半導体層14の上面に近接するにしたがって下降する傾斜部25d上に形成されている。
なお、電極11の一端は、コンタクト層5Aの上面に近接するにしたがって下降する傾斜部上に形成されていればよく、傾斜部25c上であってもよい。同様に、電極16の一端は、n型半導体層14の上面に近接するにしたがって下降する傾斜部上に形成されていればよく、傾斜部25bであってもよい。
絶縁層21上には、図1から図4に示すように、電極11及び電極16を導通させる配線(第3電極)31と、電極12及び電極15を導通させる配線32とが形成されている。ここで、電極11と電極16とは、以下の理由により配線31を介して接続されている。すなわち、第1柱状部P1(コンタクト層5A)の上面がp型を示しており、第2柱状部P2(n型半導体層14)の上面がn型を示している。そして、電極11はコンタクト層5Aと接触することからp型を示しており、電極16はn型半導体層14と接触することからn型を示している。このため、電極11を直接n型半導体層14と接触させることは、互いに拡散が発生する場合があることから困難となる。以上の理由により、配線31を介して電極11と電極16とを接続する必要がある。
ここで、上述したように電極11と電極16とが異なる導電型を有していることから、電極11と電極16とは、拡散による影響を抑制するために、例えば15μm以上離間して形成されていることが望ましい。同様に、電極11、12、15、16のうち異なる導電型を有する任意の2つの電極も、例えば15μm以上離間して形成されていることが望ましい。
また、配線31、32は、電極11、12、15、16を広い面積へ引き出す機能のみを有している。このため、配線31、32を構成する材料は半導体とのオーミック接触の相性を考慮する必要がなく、粘性があって断線に強い材料、すなわち延性に富んだ材料であるAu単体などを用いることができる。そこで、配線31、32として粘性があって断線に強い材料を用いることで、断線の発生防止に寄与することができる。
次に、本実施形態における光半導体素子Dの製造方法について説明する。ここで、図6から図9は、光半導体素子Dの製造工程を示す工程図である。なお、これらの工程図は、図2に示す断面図と対応している。
なお、これらのパターニングの順序は、これに限られない。また、活性層3を、第2ミラー層4及びコンタクト層5のパターニングと同様の平面形状でこれらと同時に分離パターニングしてもよい。この場合は、第1ミラー層2の表面の一部を露出させるためにレジスト層R3を形成して活性層3の一部をエッチングする工程が不要となる。
なお、絶縁層21のパターニングには、ウエットエッチング法(溶解除去)を用いてもよい。ウエットエッチング工程は、フォトリソグラフィ技術のウエット現像工程であってもよい。ここで、ウエットエッチング工程前に、絶縁層21を例えば80〜100℃程度にプリベークして絶縁層21中の溶媒を除去することで、ウエットエッチング時の溶解速度を均一にすることができる。
以上のような構成の光半導体素子Dの一般的な動作について説明する。なお、以下の駆動方法は一例であって、本発明の範囲内で種々の変更が可能である。
まず、配線31と電極12とを電源(図示略)に接続して第2ミラー層4活性層3及び第1ミラー層2Aで構成されるpinダイオードに順方向の電圧を印加すると、面発光型半導体レーザVの活性層3において、電子と正孔との再結合が生じ発光が生じる。そして、発生した光が第2ミラー層4Aと第1ミラー層2との間を往復する間に誘導放出が起こって光の強度が増幅される。そこで、光利得が光損失を上回ることで、レーザ発振が起こり、開口11aからレーザ光が射出する。
また、第2柱状部P2(n型半導体層14)の上面に向かうにしたがって下降する傾斜部25d上に電極16の一端を形成することで、電極16の一端が逆テーパ形状となることを防止し、配線31の断線を回避できる。これにより、光半導体素子Dの製造工程における歩留まりの低下をより確実に抑制できる。
さらに、本実施形態における光半導体素子Dによれば、パッド部31aと面発光型半導体レーザVとの間に整流ダイオードEを面発光型半導体レーザVに対して並列になるように接続することで、逆バイアス電圧がパッド部31aに印加されてもこの逆バイアス電圧による電流が面発光型半導体レーザVに流れずに整流ダイオードEに流れる。このため、面発光型半導体レーザVの逆バイアスに対する静電破壊耐圧を著しく向上させることができる。
〔光半導体素子の構成〕
次に、本発明の第2の実施形態を、図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態で説明した構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。ここで、図10は光半導体素子を模式的に示す平面図であり、図11は(a)が図10のC−C矢視断面図、(b)は(a)の部分拡大図である。
第2の実施形態と第1の実施形態との異なる点は、第2の実施形態における光半導体素子D’が面発光型半導体レーザV’のみによって構成されている点である。
電極51は、第1柱状部P1’とほぼ同心円状に形成されている。そして、電極51は、図11に示すように、一端が第2ミラー層4に接触すると共に、他端が後述する絶縁層52の上に形成されている。また、電極51の中央部には開口部51aが形成されており、この開口部51aから露出した第2ミラー層4の表面が面発光型半導体レーザV’の射出面となっている。
配線55は、電極51の開口部51aから射出するレーザ光と干渉しないように電極51からあるオフセット分後退して形成されている。ここで、配線55と電極51との接続領域は、リング状となっていることが望ましく、その接続領域が開口部51aに対してほぼ同心円状となっていることが好ましい。このようにすることで、開口部51aから射出する光が、円形で広がり角の非常に小さいレーザビームとなる。
そして、配線55の電極51から離間する側の一端には、パッド部55aが形成されている。
次に、本実施形態における光半導体素子D’の製造方法について説明する。ここで、図12から図14は、光半導体素子D’の製造工程を示す工程図である。なお、これらの図は、図11(a)に示す断面図と対応している。
以上のようにして、光半導体素子D’を製造する。
例えば、上記実施形態では、面発光型半導体レーザについて説明したが、これに限らず、発光ダイオードなど、他の素子であってもよい。
また、整流ダイオードを面発光型半導体レーザと並列に接続しているが、面発光型半導体レーザからの出力光強度をモニタする光検出用のフォトダイオードを面発光型半導体レーザと並列に接続してもよく、他の素子を接続してもよい。
Claims (8)
- 上面が第1導電型を示す第1導体層と、
上面が前記第1導電型と異なる第2導電型を示す第2導体層と、
前記第1導体層の上面の辺縁の少なくとも一部及び前記第2導体層の上面の辺縁の少なくとも一部を覆うと共に、前記第1導体層の上面に向かうにしたがって下降する傾斜部が形成された絶縁層と、
一端が前記第1導体層上に形成されると共に、他端が前記傾斜部上に形成された第1電極と、
前記第2導体層上に形成されると共に、周縁端が前記絶縁層上に形成された第2電極と、
前記第1導体層に電圧を印加するための端子電極と、
前記第1及び第2電極と前記絶縁層上に形成されて前記第2電極を介して前記第1電極と前記端子電極とを接続する第3電極とを備えることを特徴とする電極構造。 - 前記絶縁層に、前記第2導体層の上面に向かうにしたがって下降する他の傾斜部が形成され、
前記第2電極の周縁端が、前記他の傾斜部上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電極構造。 - 上面が第1導電型を示す第1柱状構造物と、
上面が前記第1導電型と異なる第2導電型を示す第2柱状構造物と、
前記第1柱状構造物の上面の辺縁の少なくとも一部及び前記第2柱状構造物の上面の辺縁の少なくとも一部を覆うと共に、前記第1柱状構造物の上面に向かうにしたがって下降する傾斜部が形成された絶縁層と、
一端が前記第1柱状構造物の上面に形成されると共に、他端が前記傾斜部上に形成された第1電極と、
前記第2柱状構造物の上面に形成されると共に、周縁端が前記絶縁層上に形成された第2電極と、
前記第1柱状構造物に電圧を印加するための端子電極と、
前記第1及び第2電極と前記絶縁層との上に形成されて前記第1電極と前記端子電極とを前記第2電極を介して接続する第3電極とを備えることを特徴とする電極構造。 - 前記絶縁層に、前記第2柱状構造物の上面に向かうにしたがって下降する他の傾斜部が形成され、
前記第2電極の周縁端が、前記他の傾斜部上に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の電極構造。 - 上面が第1導電型を示す第1柱状構造物を有するレーザ共振器と、
上面が第2導電型を示す第2柱状構造物を有する付加素子と、
前記第1柱状構造物の上面の辺縁の少なくとも一部及び前記第2柱状構造物の上面の辺縁部の少なくとも一部を覆うと共に、前記第1柱状構造物の上面に向かうにしたがって下降する傾斜部が形成された絶縁層と、
一端が前記第1柱状構造物の上面に形成されると共に、他端が前記傾斜部上に形成された第1電極と、
前記第2柱状構造物の上面に形成されると共に、周縁端が前記絶縁層上に形成された第2電極と、
前記レーザ共振器に電圧を印加するための端子電極と、
前記第1及び第2電極と前記絶縁層との上に形成されて前記第1電極と前記端子電極とを前記第2電極を介して接続する第3電極とを備えることを特徴とする光半導体素子。 - 前記絶縁層に、前記第2柱状構造物の上面に向かうにしたがって下降する他の傾斜部が形成され、
前記第2電極の周縁端が、前記他の傾斜部上に形成されていることを特徴とする請求項5に記載の光半導体素子。 - 前記付加素子が、前記レーザ共振器の逆バイアス電圧に対して整流作用を有する整流素子であり、
前記レーザ共振器に対して並列に接続されていることを特徴とする請求項5または6に記載の光半導体素子。 - 前記レーザ共振器が、前記第1柱状構造物の上面に直交する方向にレーザ光を射出する面発光型半導体レーザであることを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載の光半導体素子。
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