JP4924796B2 - 半導体レーザおよび光素子の製造方法 - Google Patents
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光が出射または入射する上面を有する柱状部と、
前記柱状部の上面に形成された第1電極と、
前記第1電極の上方に形成された第2電極と、を含み、
前記第1電極は、前記柱状部の上面においてリング形状に形成され、
前記第2電極は、前記柱状部の上面において中央部から外方向に開口する開口部を有するオープンリング形状に形成されている。
前記第2電極の縁は、前記開口部からオープンリング形状の外側または内側にかけて曲線形状を有することができる。
前記第2電極の縁は、前記開口部からオープンリング形状の外側にかけて曲線形状を有する、光素子。
前記第2電極は、前記第1電極より厚く形成されることができる。
前記第2電極は、前記開口部を挟んで対向する縁の少なくとも一部が平行に形成されていることができる。
前記第1電極は、下記式(1)を満たす膜厚D1を有することができる。
(式(1)において、iは整数、λは発振波長、nは電極の材質の屈折率を示す。)
本発明にかかる光素子において、
前記第2電極は、0.2μm以上の膜厚を有することができる。
前記第1電極の内側の端部は、柱状部の上面において前記第2電極の端部より内側に形成されていることができる。
前記第2電極は、下記式(2)を満たす膜厚D2を有することができる。
(式(2)において、Aは出射面の径と第2電極の内側の径との差、θは放射角を示す。)
本発明にかかる光素子において、
前記第2電極は、前記柱状部の外方向に延出する配線部を有することができる。
前記開口部は、前記配線部が延出する方向と異なる外方向に開口することができる。
前記第2電極の上方に形成された第4電極をさらに含み、
前記第4電極は、前記第2電極の開口部とは異なる外方向に開口する開口部を有するオープンリング形状に形成されていることができる。
光が出射または入射する上面を有する柱状部を形成する工程と、
前記柱状部の上面に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極の上方に第2電極を形成する工程と、
を含み、
前記第1電極は、前記柱状部の上面においてリング形状に形成され、
前記第2電極は、前記柱状部の上面において中央部から外方向に開口する開口部を有するオープンリング形状に形成されている。
まず、本実施の形態にかかる面発光型半導体レーザの構造について説明する。図1は、本発明を適用した面発光型半導体レーザの平面図である。図2は、本実施の形態に係る面発光型半導体レーザの断面図であり、図1のI−I線断面図である。
また第1電極122が薄く形成されることにより、第2電極123の断線を防止することができる。第1電極122は、下記式(1)の範囲の膜厚Dを有していることが好ましい。
(式(1)において、iは整数、λは発振波長、nは電極の材質の屈折率を示す。nは図5においては空気の屈折率、1をとる。)
ここで、上記範囲の膜厚を有する利点について、図5を参照しつつ説明する。図5(A)、(B)において、横軸は電極の膜厚を示し、縦軸はレーザ光の放射角を示す。図5(A)は、電極の膜厚とレーザ光の放射角との関係を示す図であり、図5(B)は、電極の膜厚Dが0<D≦λ/2nの範囲内の電極の膜厚とレーザ光の放射角との関係を示す図である。なお、図5(A)および図5(B)の結果は、時間領域差分法(FDTD法)により放射角を求めた結果である。本願発明者は、図5(A)に示すように、レーザ光の放射角が電極の膜厚に対して、ほぼ一定の周期をもって変動していることを見出した。具体的には、λ/2nの周期で放射角が変動している。さらに、放射角が最小となる電極の膜厚は、(λ(発振波長)/4n)を中心として、一定の範囲内で変動していることを見出した。そして、電極の膜厚Dが0<D≦λ/2nの範囲で放射角の最小値がどの範囲で変動するかを調べた。その結果を図5(B)に示す。図5(B)から分かるように、放射角が最小となる位置は、電極の膜厚Dがλ/8n≦D≦3λ/8nの範囲内で変動していることが分かった。以上のシミュレーションの結果より、第1電極122の膜厚が上記式(1)の範囲内にあるように設計することで、レーザ光の放射角を小さくできる。その結果、特性の良好な面発光型半導体レーザを提供することができる。
(式(2)において、Aは出射面の径と第2電極の内側の径との差、θは放射角を示す。)
図4を参照しながら式(2)について説明する。図4は、図2の領域IIの拡大図である。レーザ光の放射角をθとすると、露出部127の大きさである出射面の径と第2電極の内側の径との差AがD2×tan(θ/2)以上であれば、理論的にレーザ光が第2電極123にかからない。よって、このように出射面の径と第2電極の内側の径との差AがD2×tan(θ/2)以上とすると、第2電極123の電磁界によるレーザ光の放射パターンへの影響を低減することができる。
本実施の形態の面発光型半導体レーザ100の一般的な動作を以下に示す。なお、下記の面発光型半導体レーザ100の駆動方法は一例であり、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。
次に、図1および図2に示す面発光型半導体レーザ100の製造方法の一例について、図6〜図10を参照しつつ説明する。図6〜図9は、図1および図2に示す本実施の形態の面発光型半導体レーザ100の製造工程を模式的に示す断面図であり、それぞれ図2に示す断面に対応している。図10は、面発光型半導体レーザ100の製造工程を模式的に示す平面図であり、図1に対応している。
本実施の形態の面発光レーザは、上述の実施の形態に限定されることなく、本発明の要旨の範囲内において、様々な変形が可能である。以下にその変形例の一例について説明する。
上述した第1電極及び第2電極を含む面発光型半導体レーザについて、以下のような実験を行った。
図13および図14は、第1の実験例にかかる面発光型半導体レーザを示す図であり、図14は、図13における領域IVを示す。第1の実験例にかかる面発光型半導体レーザは、第1電極と、第1電極の上面に形成された第2電極と、第2電極の上面に形成された第4電極とを含み、第1電極、第2電極、および第4電極は、すべて開口部を有する。即ち、第1の実験例にかかる面発光型半導体レーザは、第1電極がオープンリング形状である点で、リング形状の第1電極を有する面発光型半導体レーザ100と異なる。
図15は、上述した本実施の形態にかかる面発光型半導体レーザ100を示す図である。第1電極がリング形状であるため、柱状部と直接接する電極が均一に電流を注入することができ、コンタクト状況にも偏りがないため、第1の実験例においてみられた構造破壊がなく良好な状態であった。
Claims (11)
- 光が出射する上面を有する柱状部と、
前記柱状部の上面に形成された第1電極と、
前記第1電極の上方に形成された第2電極と、を含み、
前記第1電極は、前記柱状部の上面においてリング形状に形成され、
前記第2電極は、前記柱状部の上面において中央部から外方向に開口する開口部を有するオープンリング形状に形成され、
前記第1電極は、下記式(1)を満たす膜厚D1を有し、
前記第2電極は、前記第1電極より厚く形成される、半導体レーザ。
(4i+1)λ/8n≦D1≦(4i+3)λ/8n・・・(1)
(式(1)において、iは整数、λは発振波長、nは電極の材質の屈折率を示す。) - 請求項1において、
前記第2電極の縁は、前記開口部からオープンリング形状の外側または内側にかけて曲線形状を有する、半導体レーザ。 - 請求項2において、
前記第2電極の縁は、前記開口部からオープンリング形状の外側にかけて曲線形状を有する、半導体レーザ。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記第2電極は、前記開口部を挟んで対向する縁の少なくとも一部が平行に形成されている、半導体レーザ。 - 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
前記第2電極は、0.2μm以上の膜厚を有する、半導体レーザ。 - 請求項1ないし5のいずれかにおいて、
前記第1電極の内側の端部は、柱状部の上面において前記第2電極の端部より内側に形
成されている、半導体レーザ。 - 請求項1ないし6のいずれかにおいて、
前記第2電極は、下記式(2)を満たす膜厚D2を有する、半導体レーザ。
A≧D2×tan(θ/2)・・・(2)
(式(2)において、Aは出射面の径と第2電極の内側の径との差、θは放射角を示す。) - 請求項1ないし7のいずれかにおいて、
前記第2電極は、前記柱状部の外方向に延出する配線部を有する、半導体レーザ。 - 請求項8において、
前記開口部は、前記配線部が延出する方向と異なる外方向に開口する、半導体レーザ。 - 請求項1ないし9のいずれかにおいて、
前記第2電極の上方に形成された第4電極をさらに含み、
前記第4電極は、前記第2電極の開口部とは異なる外方向に開口する開口部を有するオープンリング形状に形成されている、半導体レーザ。 - 光が出射または入射する上面を有する柱状部を形成する工程と、
前記柱状部の上面に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極の上方に第2電極を形成する工程と、
を含み、
前記第1電極を形成する工程は、
前記柱状部の上面に所定の形状にパターニングされた第1レジスト層を形成する工程と、
前記第1レジスト層の上面および前記柱状部の上面に第1金属層を成膜する工程と、
リフトオフ法により、前記第1レジスト層および前記第1レジスト層の上面に形成された前記第1金属層を除去する工程と、
を有し、
前記第1金属層の膜厚は、前記第1レジスト層の膜厚よりも薄く形成され、
前記第1電極は、前記柱状部の上面においてリング形状に形成され、
前記第2電極を形成する工程は、
前記第1電極の上面に所定の形状にパターニングされた第2レジスト層を形成する工程と、
前記第2レジスト層の上面および前記第1電極の上面に第2金属層を成膜する工程と、
リフトオフ法により、前記第2レジスト層および前記第2レジスト層の上面に形成された前記第2金属層を除去する工程と、
を有し、
前記第2金属層の膜厚は、前記第1金属層の膜厚よりも厚く形成され、
前記第2電極は、前記柱状部の上面において中央部から外方向に開口する開口部を有するオープンリング形状に形成されている、光素子の製造方法。
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