JP7167451B2 - 面発光型半導体レーザ、および面発光型半導体レーザの製造方法 - Google Patents
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Description
図1を参照して、本実施の形態に係る面発光型半導体レーザ10の構成の一例について説明する。図1(a)は本実施の形態に係る面発光型半導体レーザ10の断面図であり、図1(b)は面発光型半導体レーザ10の平面図である。図1(a)に示す断面図は、図1(b)に示す平面図においてX-X’で切断した断面図である。面発光型半導体レーザ10は、本発明に係る面発光型半導体レーザの製造方法によって製造された面発光型半導体レーザの一例である。
出射面保護層38は、一例としてシリコン窒化膜を着膜して形成される。
また、図2(e)は、メサ構造体Mの上面のp側配線62についてリング状の部分をなくし、p側配線62の端部だけでp側電極36と接している例である。どの程度の非閉形状とするか(どの程度配線を閉じさせるか)は、許容されるp側配線62の抵抗値と、レジスト倒れの予防の程度(確実性)とを勘案して、最適な形状とされる。一例として、リング状のp側電極36の周方向の長さのうち、1/4以上かつ3/4以下の長さの範囲にp側配線62を形成すれば、素子の抵抗成分の低減とレジスト倒れの抑制とのバランスをとりやすい。言い換えれば、素子の抵抗成分の低減と、出射面に所望の形状の配線を形成することとのバランスがとりやすい。特に、図2(a)に示す形状のように、リング状のp側電極36の周方向の長さのうち、略半分の長さの範囲にp側配線62を形成すれば、そのバランスが最もよくなる。ここで、「略半分の長さ」とは、リング状のp側電極36の周方向の長さのうち、2/5以上かつ3/5以下の長さをいう。
さらに、上部DBR26中には、後述の工程において酸化狭窄層32を形成するためのAlAs層40が含まれている。
本実施の形態は、メサ構造体Mの上面のp側配線62の形状を非閉形状ではなく、従来技術と同じように閉形状、例えばリング形状とする。そして、上述したレジストの倒れを回避するために、p側配線62を2回の工程で形成する。すなわち、マスクパターンを分割し、メサ構造体Mの上面のp側配線(以下、「第1の配線」)を形成する工程(以下、「第1の配線工程」)と、第1の配線と連続するp側配線(パッド電極42aを含む。以下「第2の配線」)を形成する工程(以下、「第2の配線工程」)とに分ける。このことにより、第1の配線を形成する工程と、第2の配線を形成する工程とで分けることができるので、第1の配線用の薄い膜厚のレジストと、第2の配線用の厚い膜厚のレジストとで各々の露光時間を最適化することができる。その結果、第1の配線用のレジストが過剰な逆テーパ形状となることが抑制され、第1の配線が閉形状(例えばリング形状)であっても(メサ構造体Mの上面のレジストが孤立しても)、レジストの倒れが抑制される。
<第1のリフトオフ工程>
(1)レジストを塗布する。
(2)第1の配線を形成する上で適切な露光時間でレジストを露光し、レジストをパターニングする。
(3)金属膜を成膜する。
(4)レジストおよびレジスト上の金属膜を除去して、第1の配線を形成する。
<第2のリフトオフ工程>
(1)レジストを塗布する。
(2)第2の配線を形成する上で適切な露光時間でレジストを露光し、レジストをパターニングする。
(3)金属膜を成膜する。
(4)レジストおよびレジスト上の金属膜を除去して、第2の配線を形成する。
むろん、第1の工程と第2の工程の順序は逆でもよい。
(1)レジストを塗布する。
(2)第1の配線用の露光を行う。
(3)第2の配線用の露光を行う。
(4)レジストのパターニングを行う。
(5)金属膜を成膜する。
(6)レジストおよびレジスト上の金属膜を除去して、第1の配線、および第2の配線を形成する。
むろん、第1の配線用の露光と、第2の配線用の露光の順序は逆であってもよい。また、第1の配線用の露光、第2の配線用の露光を行う場合は、各々の目的とする露光領域以外の領域は遮光する。
12 基板
14 コンタクト層
16 下部DBR
24 活性領域
26 上部DBR
28 コンタクト層
30 n側電極
32 酸化狭窄層
32a 電流注入領域
32b 選択酸化領域
34 層間絶縁膜
36 p側電極
38 出射面保護層
40 AlAs層
42、42a、42b 電極パッド
60 出射口
62 p側配線
64 n側配線
CMp、CMn コンタクトメタル
M メサ構造体
M1、M2、M3 メサ
R1、R2、R3 レジスト
θ 傾斜角
Claims (6)
- 基板上に形成された第1の導電型の第1の半導体多層膜反射鏡、前記第1の半導体多層膜反射鏡上に形成された活性層、前記活性層上に形成された第2の導電型の第2の半導体多層膜反射鏡、および第2の半導体多層膜反射鏡の上面に形成された閉形状の電極を備えるとともに、前記第1の半導体多層膜反射鏡の底面に達する深さのメサ構造体と、
前記閉形状の電極上に形成された非閉形状の配線部分によって前記電極と接続され、前記メサ構造体の側面を介して前記基板上まで延伸された配線と、
を含み、
前記非閉形状の配線部分は、前記閉形状の電極の周方向の長さのうち、1/4以上かつ3/4以下の長さの範囲(ただし、前記閉形状の電極の周方向の長さの1/2の長さを除く)に設けられている
面発光型半導体レーザ。 - 前記基板のおもて面に形成された前記第1の導電型の半導体層をさらに含み、
前記メサ構造体は前記半導体層上に形成され、
前記配線は、前記基板上の前記半導体層を含まない領域まで延伸された
請求項1に記載の面発光型半導体レーザ。 - 前記電極が円環形状であり、
前記配線部分の形状が円環の一部を除いた形状である
請求項1または請求項2に記載の面発光型半導体レーザ。 - 前記メサ構造体の形状が円柱形状である
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の面発光型半導体レーザ。 - 基板上に形成された、第1の導電型の第1の半導体多層膜層、前記第1の半導体多層膜層上の活性層、および前記活性層上の第2の導電型の第2の半導体多層膜層を含む半導体層を、前記基板が露出するまでエッチングして前記半導体層の柱状構造体を形成する工程と、
前記柱状構造体の上面に形成された閉形状の電極に接続される閉形状の配線部分を含む第1の配線を第1のリフトオフで形成する工程と、
前記第1の配線に連続するとともに前記基板上まで延伸された第2の配線を第2のリフトオフで形成する工程と、を含む
面発光型半導体レーザの製造方法。 - 基板上に形成された、第1の導電型の第1の半導体多層膜層、前記第1の半導体多層膜層上の活性層、および前記活性層上の第2の導電型の第2の半導体多層膜層を含む半導体層を、前記基板が露出するまでエッチングして前記半導体層の柱状構造体を形成する工程と、
前記柱状構造体の上面に閉形状の電極を形成する工程と、
フォトレジストを塗布した後、前記電極上に閉形状の配線部分を含む第1の配線を形成するための第1の露光、および前記第1の配線に連続するとともに前記基板上まで延伸された第2の配線を形成するための第2の露光を行う工程と、
前記フォトレジストをパターニングしてマスクを形成する工程と、
前記第1の配線、および前記第2の配線をリフトオフで形成する工程と、を含む
面発光型半導体レーザの製造方法。
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