JP2008004658A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】面内配置で不等間隔に並ぶフォトダイオードDDを有する画素を複数備えるとともに、面内配置で等間隔に並ぶ外部光を集光させるマイクロレンズMSと、かかるマイクロレンズMSを透過する光を集光させる層内レンズISと、を含む固体撮像装置39にあって、マイクロレンズMSを透過してくる外部光を、面内配置で不等間隔に並ぶ層内レンズISに透過させることで、フォトダイオードDDに導く。
【選択図】図1
Description
本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、図面によっては便宜上、部材番号等を省略する場合もあるが、かかる場合、他の図面を参照するものとする。また、理解を容易にすべくハッチングを省略している場合もある。
・隣り合うマイクロレンズMSの第1軸A1同士の間隔 =間隔Ta
・画素組内での層内レンズISの第2軸A2同士の間隔 =間隔Tb
・画素組同士での層内レンズISの第2軸A2同士の間隔 =間隔Tc
・画素組内でのフォトダイオードDDの第3軸A3同士の間隔 =間隔Td
・画素組同士でのフォトダイオードDDの第3軸A3同士の間隔 =間隔Te
本発明の実施の形態2について説明する。なお、実施の形態1で用いた部材と同様の機能を有する部材については、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
IS 層内レンズ(内部レンズ)
DD フォトダイオード(光電変換部)
A1 第1軸
A2 第2軸
A3 第3軸
11 基板
12 層間絶縁膜
13 平担化膜
21 電荷検出部
22 電荷転送部
23 信号増幅部
24 素子分離層(素子分離部)
39 固体撮像装置
Claims (12)
- 面内配置で不等間隔に並ぶ光電変換部を有する画素を備えるとともに、
面内配置で等間隔に並び外部光を集光させるマイクロレンズと、上記マイクロレンズを透過する光を集光させる内部レンズと、を含み、
上記マイクロレンズを透過してくる外部光を、
面内配置で不等間隔に並ぶ上記内部レンズに透過させることで、上記光電変換部に導いている固体撮像装置。 - 上記のマイクロレンズ、内部レンズ、および光電変換部の各々に、上記外部光に向いた基準軸を設定するとともに、マイクロレンズの基準軸を第1軸、内部レンズの基準軸を第2軸、光電変換部の基準軸を第3軸とした場合に、
第1軸に対し第3軸をずらすように光電変換部がずれて配置されていると、
第1軸に対し第2軸をずらすように内部レンズがずれて配置されることで、上記内部レンズを透過する光が、ずれて配置された光電変換部に導かれる請求項1に記載の固体撮像装置。 - 上記の第1軸に対し第2軸がずれる方向と、上記の第1軸に対し第3軸がずれる方向とが一致している請求項2に記載の固体撮像装置。
- 上記の第1軸に対し第2軸がずれているずれ量と、上記の第1軸に対し第3軸がずれているずれ量とが同量である請求項2または3に記載の固体撮像装置。
- 上記画素が各々分光特性を有している場合、
分光特性上、複数種類の上記画素が集まって、画素組を形成している請求項1〜4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 上記画素組における画素の少なくとも一部で、全色情報が取得されている請求項5に記載の固体撮像装置。
- 上記光電変換部により生成される電気信号を増幅させる信号増幅部が設けられている請求項5または6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 単数または複数の上記画素組に対応して、上記信号増幅部が単数または複数設けられている請求項5〜7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 上記信号増幅部が上記光電変換部同士の間である隙間空間に配置されていると、
上記信号増幅部の存在しない上記隙間空間には、上記光電変換部同士を電気的に絶縁する素子分離部が設けられている請求項7または8に記載の固体撮像装置。 - ずれて配置されることで密集する上記光電変換部を有する画素から成り立つ画素組では、
上記素子分離部は、上記画素組内での上記隙間空間に設けられている請求項9に記載の固体撮像装置。 - 上記素子分離部は、不純物拡散材から成っている請求項9または10に記載の固体撮像装置。
- 上記画素組の面内配置は、2行2列の配置になっている請求項5〜11のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
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