JP2008004284A - 照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置 - Google Patents
照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008004284A JP2008004284A JP2006170042A JP2006170042A JP2008004284A JP 2008004284 A JP2008004284 A JP 2008004284A JP 2006170042 A JP2006170042 A JP 2006170042A JP 2006170042 A JP2006170042 A JP 2006170042A JP 2008004284 A JP2008004284 A JP 2008004284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- incident
- inspected
- light source
- emitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0856—Catadioptric systems comprising a refractive element with a reflective surface, the reflection taking place inside the element, e.g. Mangin mirrors
- G02B17/086—Catadioptric systems comprising a refractive element with a reflective surface, the reflection taking place inside the element, e.g. Mangin mirrors wherein the system is made of a single block of optical material, e.g. solid catadioptric systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Planar Illumination Modules (AREA)
Abstract
【解決手段】 光源手段と、該光源手段から射出した光を入射させる入射面と、該入射面を介した光を被照射面側へ出射させる出射面とを含む導光光学系と、
該導光光学系の出射面と該被照射面との間であって、被照射基準面に平行で出射光軸を挟んで対向配置した反射手段とを有し、
該反射手段は、該光源手段からの光であって、該導光光学系の出射面から出射し、該被照射基準面に対し垂直方向の成分を持つ方向に出射した光を該被照射面方向に反射させること。
【選択図】図1
Description
◎光源手段と、該光源手段から射出した光を入射させる入射面と、該入射面を介した光を被照射面側へ出射させる出射面とを含む導光光学系と、
該導光光学系の出射面と該被照射面との間であって、被照射基準面に平行で出射光軸を挟んで対向配置した反射手段とを有し、
該反射手段は、該光源手段からの光であって、該導光光学系の出射面から出射し、該照射基準面に対し垂直方向の成分を持つ方向に出射した光を該被照射面方向に反射させることを特徴としている。
1L・・・左側プリズム
1R・・・右側プリズム
2・・・光源
2L・・・左側光源
2R・・・右側光源
3F・・・ミラー
3B・・・ミラー
4・・・被検査物体
4a・・・被検査面
5・・・撮影手段
6・・・円筒形状ミラー
O・・・光源位置
2L´・・・左側2次光源
2L´´・・・左側3次光源
2L´´´・・・左側4次光源
2L´´´´・・・左側5次光源
RL・・・プリズムから出射し、被検査物体左側に入射する光線
RR・・・プリズムから出射し、被検査物体右側に入射する光線
Claims (6)
- 光源手段と、該光源手段から射出した光を入射させる入射面と、該入射面を介した光を被照射面側へ出射させる出射面とを含む導光光学系と、
該導光光学系の出射面と該被照射面との間であって、被照射基準面に平行で出射光軸を挟んで対向配置した反射手段とを有し、
該反射手段は、該光源手段からの光であって、該導光光学系の出射面から出射し、該被照射基準面に対し垂直方向の成分を持つ方向に出射した光を該被照射面方向に反射させることを特徴とする照明装置。 - 前記導光光学系はプリズム部材より成り、該プリズム部材は、光が入射する1以上の入射面と、該入射面からの光が全反射する1以上の面と、全反射した面からの光が出射する出射面とを有することを特徴とする請求項1の照明装置。
- 前記導光光学系は、プリズム部材より成り、該プリズム部材は、前記光源手段からの光束のうち、前記出射光軸近傍方向に出射した光が入射する第1の入射面と、該光源手段からの光束のうち、該射出光軸近傍より大きな角度で射出した一部の光束を入射させる第2の入射面と、
該第1の入射面から入射した出射光軸近傍の光が全反射する第1の全反射面と、該第2の入射面から入射した光を該第1の全反射面方向へ全反射させる第2の全反射面と、
該第1の全反射面からの光が出射する出射面とを有していることを特徴とする請求項1の照明装置。 - 請求項1から3のいずれか1項の照明装置と、該照明装置からの光で照明させ、被照射面に配置された被検査物体上の被検査面を撮像する撮像手段と、を有することを特徴とする物体表面検査装置。
- 前記照明装置における出射光軸と、前記撮像手段の光軸とのなす角θは
65°<θ<85°
であることを特徴とする請求項4の物体表面検査装置。 - 前記被検査物体表面の撮像領域と前記撮像手段の間には屈折部材がない事を特徴とする請求項4又は5に記載の物体表面検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006170042A JP4717731B2 (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | 照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置 |
US11/764,555 US7965917B2 (en) | 2006-06-20 | 2007-06-18 | Illuminating apparatus and surface inspection system using illuminating apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006170042A JP4717731B2 (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | 照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008004284A true JP2008004284A (ja) | 2008-01-10 |
JP2008004284A5 JP2008004284A5 (ja) | 2009-07-30 |
JP4717731B2 JP4717731B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=38861658
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006170042A Expired - Fee Related JP4717731B2 (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | 照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7965917B2 (ja) |
JP (1) | JP4717731B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009289697A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 光源装置および照明器具 |
JP2010112786A (ja) * | 2008-11-05 | 2010-05-20 | Canon Inc | 照明装置及びそれを有する外観検査装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2344863A2 (en) | 2008-10-21 | 2011-07-20 | Bayer HealthCare LLC | Optical auto-calibration method |
WO2013014046A1 (en) * | 2011-07-25 | 2013-01-31 | Osram Ag | A light source, for example for lighting surfaces |
US10030846B2 (en) | 2012-02-14 | 2018-07-24 | Svv Technology Innovations, Inc. | Face-lit waveguide illumination systems |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002310626A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Omron Corp | 照明装置 |
JP2004301912A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Canon Inc | 照明装置 |
JP2004354047A (ja) * | 2000-08-22 | 2004-12-16 | Ccs Inc | 表面検査用照明装置及び表面検査装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4023903A (en) * | 1975-08-11 | 1977-05-17 | Bell & Howell Company | Light composer for providing even field illumination and diffuse light |
JPH04138438A (ja) | 1990-09-29 | 1992-05-12 | Canon Inc | 照明装置 |
JP3437309B2 (ja) | 1995-02-23 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 撮影用照明装置 |
US5813743A (en) * | 1995-03-27 | 1998-09-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Lighting unit |
JP3685516B2 (ja) | 1995-03-27 | 2005-08-17 | 富士写真フイルム株式会社 | 照明装置 |
JP3774621B2 (ja) * | 2000-09-01 | 2006-05-17 | キヤノン株式会社 | 照明装置および撮影装置 |
US20040151008A1 (en) * | 2003-02-03 | 2004-08-05 | Artsyukhovich Alexander N. | Variable spot size illuminators with enhanced homogeneity and parfocality |
-
2006
- 2006-06-20 JP JP2006170042A patent/JP4717731B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-06-18 US US11/764,555 patent/US7965917B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004354047A (ja) * | 2000-08-22 | 2004-12-16 | Ccs Inc | 表面検査用照明装置及び表面検査装置 |
JP2002310626A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Omron Corp | 照明装置 |
JP2004301912A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Canon Inc | 照明装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009289697A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 光源装置および照明器具 |
JP2010112786A (ja) * | 2008-11-05 | 2010-05-20 | Canon Inc | 照明装置及びそれを有する外観検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070292100A1 (en) | 2007-12-20 |
US7965917B2 (en) | 2011-06-21 |
JP4717731B2 (ja) | 2011-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5006584B2 (ja) | 照射装置及びそれを有する照射システム | |
US7957636B2 (en) | Illumination apparatus and appearance inspection apparatus including the same | |
CN109804238B (zh) | 光学检查装置 | |
TWI428636B (zh) | 光學元件、聚光總成、照明單元及總成、用以對一物體進行光學檢驗之系統、及用以製造一光學元件之方法 | |
US20130147943A1 (en) | Lighting system | |
JP4717731B2 (ja) | 照明装置及びそれを用いた物体表面検査装置 | |
JP2017134992A (ja) | 照明装置、パターン照射装置およびシステム | |
JP2007187658A (ja) | 鏡面検査装置および面照射装置 | |
US20090079972A1 (en) | Method and device for the detection of surface defects of a component | |
JP2002340815A (ja) | パターン検査装置 | |
KR101447857B1 (ko) | 렌즈 모듈 이물 검사 시스템 | |
JP2019120540A (ja) | 欠陥検査装置、及び、欠陥検査装置の製造方法 | |
KR20110125906A (ko) | 레티클 검사장치 | |
JP2002214144A (ja) | 疵検査用照明装置 | |
JP5938981B2 (ja) | 投射システム | |
JP2000295639A (ja) | 固体撮像素子検査用照明装置及びそれに用いる調整工具 | |
KR20160081144A (ko) | 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법 | |
JP2006269199A (ja) | 光照射装置 | |
KR20080023183A (ko) | 기판 표면 에러를 광학적으로 검출하기 위한 장치 | |
JP4117789B2 (ja) | 表面検査用面光源装置 | |
JP4944506B2 (ja) | 照明装置および撮像システム | |
JP4575225B2 (ja) | 外形検査装置 | |
JP2002214146A (ja) | 疵検査用照明装置 | |
JP2014074801A (ja) | 光整形器、照明光学系および撮像装置 | |
JP2003057192A (ja) | 画像取得装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090616 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110329 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110330 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140408 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |