JP2008004284A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 光源手段と、該光源手段から射出した光を入射させる入射面と、該入射面を介した光を被照射面側へ出射させる出射面とを含む導光光学系と、
   該導光光学系の出射面と該被照射面との間であって、被照射基準面に平行で出射光軸を挟んで対向配置した反射手段とを有し、
   該反射手段は、該光源手段からの光であって、該導光光学系の出射面から出射し、該被照射基準面に対し垂直方向の成分を持つ方向に出射した光を該被照射面方向に反射させることを特徴とする照明装置。
2. 前記導光光学系はプリズム部材より成り、該プリズム部材は、光が入射する１以上の入射面と、該入射面からの光が全反射する１以上の面と、全反射した面からの光が出射する出射面とを有することを特徴とする請求項１の照明装置。
3. 前記導光光学系は、プリズム部材より成り、該プリズム部材は、前記光源手段からの光束のうち、前記出射光軸近傍方向に出射した光が入射する第１の入射面と、該光源手段からの光束のうち、該射出光軸近傍より大きな角度で射出した一部の光束を入射させる第２の入射面と、
   該第１の入射面から入射した出射光軸近傍の光が全反射する第１の全反射面と、該第２の入射面から入射した光を該第１の全反射面方向へ全反射させる第２の全反射面と、
   該第１の全反射面からの光が出射する出射面とを有していることを特徴とする請求項１の照明装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項の照明装置と、該照明装置からの光で照明させ、被照射面に配置された被検査物体上の被検査面を撮像する撮像手段と、を有することを特徴とする物体表面検査装置。
5. 前記照明装置における出射光軸の光線の被検査面への入射方向と、前記撮像手段の光軸とのなす角θは
   ６５°＜θ＜８５°
   であることを特徴とする請求項４の物体表面検査装置。
6. 前記被検査物体表面の撮像領域と前記撮像手段の間には屈折部材がない事を特徴とする請求項４又は５に記載の物体表面検査装置。