JP2008000870A - マイクロ揺動デバイス及び光学素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学素子1は、可動板2と、可動板2を揺動可能に保持する梁4を支持する支持部3aを備えている。梁4は、2本の梁片4aからなる捻り梁40と、それらの端部を支持する可動電極部4b及び支持梁4cとを有している。可動板2の端部とそれに対向するフレーム部には垂直静電コム5が形成され、可動電極部4bとそれに対向するフレーム部には水平静電コム6が形成されている。可動板2は、垂直静電コム5が発生する駆動力により、捻り梁40をねじりながら揺動する。水平静電コム6は、垂直静電コム5の駆動に応じて駆動力を発生し、周期的に2本の梁片4aの端部間の間隔を変更し、捻り梁40の捻り剛性を変化させる。可動板2はパラメトリック共振を伴い揺動し、揺動角が大きくなる。
【選択図】図2
Description
2 可動板
2a ミラー膜
2b,3b (垂直静電コムを構成する)電極
3 フレーム部
3c,4d (水平静電コムを構成する)電極
4a 梁片
5 垂直静電コム
6 水平静電コム
40 捻り梁
Claims (3)
- 可動板と、この可動板を揺動自在に保持して該可動板の回転軸となる捻り梁と、前記捻り梁を支持するフレーム部と、前記可動板の自由端及びそれに対向する前記フレーム部に互いに噛み合うように形成された櫛歯形状の電極を有し、それらの電極間に電圧が印加されることにより、前記可動板に対し略垂直方向の力を発生させる垂直静電コムと、を備えたマイクロ揺動デバイスにおいて、
前記捻り梁は、少なくとも2本の梁片を有しており、
これらの梁片のうち少なくとも2本の梁片の各々の端部近傍とそれに対向する前記フレーム部とに互いに噛み合うように形成された櫛歯形状の電極を有し、それらの電極間に電圧が印加されることにより、それぞれの梁片に、その長手方向に対して略直交する方向の力を発生させる水平静電コムを備え、
前記水平静電コムにより前記梁片に発生される力により、前記捻り梁の捻り剛性を変化させ、前記垂直静電コムによる可動板の揺動を補助するように構成されていることを特徴とするマイクロ揺動デバイス。 - 前記捻り梁及び前記可動板により構成される振動系の共振周波数の略整数倍となる周波数の電圧を、前記水平静電コムの電極間に印加するように構成したことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ揺動デバイス。
- 請求項1又は請求項2に記載のマイクロ揺動デバイスを備え、
前記可動板には、ミラー膜が設けられており、
前記可動板が揺動することにより、前記ミラー膜に入射した光ビームをスキャン動作させることを特徴とする光学素子。
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WO2011133815A2 (en) * | 2010-04-21 | 2011-10-27 | Mezmeriz, Inc. | Composite scanning mirror systems |
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JP2005141229A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 周波数変調可能な共振型スキャナー |
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