JP2007528448A - 酸化アルミニウム被膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム前駆体とカルボン酸エステルを含む流体混合物を高温の基板の表面上に接触させることにより、酸化アルミニウム被膜を基板に蒸着する。
【選択図】図1
Description
3 被膜形成器
5 排気管
7 注入管
9 4方弁
11,13,15,27,29,31,33,35,37 管
17,19,21 bubblers
23,25 電動加熱シリンジ
Claims (24)
- アルミニウム前駆体を含む流体混合物を高温の基板の表面に接触させることによって、酸化アルミニウム被膜を前記高温の基板の表面上に被着させる方法であって、
前記流体混合物がカルボン酸エステルを含むことを特徴とする方法。 - 前記アルミニウム前駆体が無機アルミニウム化合物であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記アルミニウム化合物が一般式AlX3(式中、Xはハロゲン原子を表す)で表される3ハロゲン化アルミニウムであることを特徴とする請求項2に記載の製造方法。
- 前記エステルの濃度が前記ハロゲン化アルミニウムの濃度に対して約1−9倍であることを特徴とする請求項2に記載の製造方法。
- 前記アルミニウム化合物が3塩化アルミニウムであることを特徴とする請求項1−4のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記基板がシリカ被膜され、前記酸化アルミニウム被膜が前記シリカ被膜の上に被着されることを特徴とする請求項1−5のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記酸化アルミニウム被膜の400−800nmの電磁スペクトルにおける平均屈折率がおおよそ1.5−1.65であることを特徴とする請求項1−6のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記アルミニウム前駆体が有機アルミニウム化合物であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記アルミニウム前駆体が一般式RnAl2(OR1)6−n(式中、RとR1は同一もしくは異なる1−5個の炭素原子を含むアルキル基を表し、nは1−5の整数である)で表されるアルキルジアルミニウムアルコキシドであることを特徴とする請求項8に記載の製造方法。
- 前記アルミニウム化合物が一般式RnAlX3−n(式中、Rは1−5個の炭素原子からなるアルキル基を表し、Xはハロゲン原子を表し好ましくは塩素原子であり、nは1または2の整数である)で表されるアルキルアルミニウムハロゲン化物であることを特徴とする請求項9に記載の製造方法。
- 前記アルミニウム化合物がジエチルアルミニウム塩化物であることを特徴とする請求項10に記載の製造方法。
- 前記カルボン酸エステルが一般式R−C(O)−C−(X)(X1)−C(Y)(Y1)−R1(式中、RとR1は同一もしくは異なる水素原子または1−8個の炭素原子からなるアルキル基を表し、X,X1,Y,Y1は同一もしくは異なる水素原子または1−4個の炭素原子からなるアルキル基を表す)で表される化合物であることを特徴とする請求項1−11のいずれか一つの項に記載の、製造方法。
- 前記エステルが3−18個の炭素原子を含むことを特徴とする請求項1−12のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記エステルが、ギ酸エチル、酢酸エチル、プロピオン酸エチル、酪酸エチル、ギ酸−n−プロピル、酢酸−n−プロピル、プロピオン酸−n−プロピル、酪酸−n−プロピル、ギ酸イソプロピル、酢酸イソプロピル、プロピオン酸イソプロピル、酪酸イソプロピル、ギ酸−n−ブチル、酢酸−n−ブチル、酢酸−sec−ブチル、酢酸−t−ブチルからなる群から選ばれることを特徴とする請求項1−13のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記エステルが酢酸エチルであることを特徴とする請求項1−14のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記基板がガラス基板であることを特徴とする請求項1−15のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記ガラス基板がフロートガラス製造工程において製造される連続したガラス基板であることを特徴とする請求項16に記載の製造方法。
- 前記基板の温度が350℃−700℃であることを特徴とする請求項1−17のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記基板の温度が550℃−700℃であることを特徴とする請求項18に記載の製造方法。
- 前記基板がフロート法において製造される連続したガラスリボン基板であり、前記流体混合物が移送されフロートバス内部で前記リボンと接触することを特徴とする請求項1−19のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記流体混合物が前記基板の前記表面にスズを含む酸化アルミニウム被膜を被着するスズ前駆体を含むことを特徴とする請求項1−20のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記スズ前駆体がモノブチルスズ3塩化物であることを特徴とする請求項21に記載の製造方法。
- 前記流体混合物が前記基板の前記表面に亜鉛を含む酸化アルミニウム被膜を被着する亜鉛前駆体を含むことを特徴とする請求項1−22のいずれか一つの項に記載の製造方法。
- 前記亜鉛前駆体がジエチル亜鉛であることを特徴とする請求項23に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/797,426 US7160578B2 (en) | 2004-03-10 | 2004-03-10 | Method for depositing aluminum oxide coatings on flat glass |
US10/797,426 | 2004-03-10 | ||
GB0420391A GB0420391D0 (en) | 2004-09-14 | 2004-09-14 | Coatings |
GB0420391.5 | 2004-09-14 | ||
PCT/US2005/007716 WO2005087678A1 (en) | 2004-03-10 | 2005-03-09 | Process for the deposition of aluminium oxide coatings |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007528448A true JP2007528448A (ja) | 2007-10-11 |
JP4824011B2 JP4824011B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=34962138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007502950A Expired - Fee Related JP4824011B2 (ja) | 2004-03-10 | 2005-03-09 | 酸化アルミニウム被膜の製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1730087B1 (ja) |
JP (1) | JP4824011B2 (ja) |
AT (1) | ATE374735T1 (ja) |
DE (1) | DE602005002733T2 (ja) |
ES (1) | ES2294693T3 (ja) |
PL (1) | PL1730087T3 (ja) |
WO (1) | WO2005087678A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010084200A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 多孔質アルミニウム酸化物膜を有する積層体 |
JP2015527957A (ja) * | 2012-06-19 | 2015-09-24 | エージーシー グラス ユーロップ | 車両ルーフ |
JPWO2016203594A1 (ja) * | 2015-06-18 | 2018-01-11 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 金属酸化膜の成膜方法 |
JP2018512361A (ja) * | 2015-03-18 | 2018-05-17 | アナドル ユニバーシテシ レクトールグ | 火炎熱分解法による、コア/シェル構造の複合スピネル粉末の製造 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080026147A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Gulbrandsen Chemicals, Inc. | Method and formulation for depositing a metal-containing coating on a substrate |
US7923063B2 (en) * | 2007-12-10 | 2011-04-12 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Method of making glass including surface treatment with aluminum chloride using combustion deposition prior to deposition of antireflective coating |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3827871A (en) * | 1971-11-23 | 1974-08-06 | United Glass Ltd | Coating process for glass containers |
US6238738B1 (en) * | 1996-08-13 | 2001-05-29 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method for depositing titanium oxide coatings on flat glass |
WO1998016667A1 (en) * | 1996-10-16 | 1998-04-23 | The President And Fellows Of Harvard College | Chemical vapor deposition of aluminum oxide |
JP4430194B2 (ja) * | 1999-05-31 | 2010-03-10 | 日本板硝子株式会社 | 透明積層体およびこれを用いたガラス物品 |
GB9913315D0 (en) * | 1999-06-08 | 1999-08-11 | Pilkington Plc | Improved process for coating glass |
JP2001214268A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-07 | Asahi Denka Kogyo Kk | 化学気相成長用アルミニウム原料及びこれを用いた薄膜の製造方法 |
JP2003136304A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Mitsubishi Materials Corp | 高速断続切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
JP4780866B2 (ja) * | 2001-07-23 | 2011-09-28 | 株式会社Adeka | 化学気相成長用原料及びこれを用いた薄膜の製造方法 |
GB0306797D0 (en) * | 2003-03-25 | 2003-04-30 | Pilkington Plc | Titania coatings |
-
2005
- 2005-03-09 AT AT05725078T patent/ATE374735T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-03-09 PL PL05725078T patent/PL1730087T3/pl unknown
- 2005-03-09 EP EP05725078A patent/EP1730087B1/en active Active
- 2005-03-09 JP JP2007502950A patent/JP4824011B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-09 DE DE602005002733T patent/DE602005002733T2/de active Active
- 2005-03-09 WO PCT/US2005/007716 patent/WO2005087678A1/en active IP Right Grant
- 2005-03-09 ES ES05725078T patent/ES2294693T3/es active Active
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JP2018512361A (ja) * | 2015-03-18 | 2018-05-17 | アナドル ユニバーシテシ レクトールグ | 火炎熱分解法による、コア/シェル構造の複合スピネル粉末の製造 |
JPWO2016203594A1 (ja) * | 2015-06-18 | 2018-01-11 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 金属酸化膜の成膜方法 |
US11555245B2 (en) | 2015-06-18 | 2023-01-17 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Metal oxide film formation method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE602005002733D1 (de) | 2007-11-15 |
PL1730087T3 (pl) | 2008-03-31 |
EP1730087B1 (en) | 2007-10-03 |
JP4824011B2 (ja) | 2011-11-24 |
EP1730087A1 (en) | 2006-12-13 |
ES2294693T3 (es) | 2008-04-01 |
DE602005002733T2 (de) | 2008-07-17 |
ATE374735T1 (de) | 2007-10-15 |
WO2005087678A1 (en) | 2005-09-22 |
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