JP2007525807A - X線源 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書に含まれ、かつその一部をなす添付図面は、説明と共に本発明の幾つかの態様を示し、本発明の原理を説明するのに役立つものである。図示の構成部材は、必ずしも縮尺で描かれてはおらず、本発明の原理を説明することに重点が置かれている。加えて、図には、全図面を通じて同じ部材には同じ符号が付されている。
本発明にしたがって、電子発生チャンバ12と、ターゲットチャンバ14と、可動ターゲット30とを含むX線源10を添付図面につき説明する。添付図面の幾つかでは、デカルト座標が説明目的のために用いられるが、その場合には、z軸が、例えば電子発生チャンバ12とターゲットチャンバ14間に延在する縦軸線と事実上平行に整合されている。
ターゲット面41を有するターゲット30は、支持構造物36内に配置されている。弾性部材38が下面37と結合されていることにより、ターゲット30が上面35と同一平面内に維持されるように、ターゲット30に対し十分な圧力が加えられる。一好適実施例では、前記弾性部材38は、必要な力を及ぼすのに十分な圧縮力を有する1個のばねである。別の実施例では、該弾性部材38を、より一様な区画にわたって必要な圧力が加わるように1組のばねにしてもよい。
弾性部材38が加える圧力をターゲットに分配するため、弾性部材38とターゲット30との間にプレート40を間挿してもよい。別の実施例では、プレート40は1組の弾性部材38に結合しても良い。該弾性部材38は、既述のばね等の1組のばね等でよい。
図3は、縦軸線方向で見たターゲットチャンバ14の断面図である。図示のように、ターゲット区画設定器32は、第2ターゲット区画設定器33に対し直角の位置で支持構造物36の周囲に配置されている。ターゲット区画設定器32は、x軸に沿ってターゲット30を移動させ、ターゲット区画設定器33はy軸に沿ってターゲット30を移動させるようにされている。したがって、ターゲット区画設定器32,33の操作により、x‐y平面内でターゲット30の移動が調整される。x‐y平面内でのターゲット30の移動により、電子の照射付与区画が最大化される。図1‐図3に示した実施例では、上面35は、ターゲット区画設定器32,33を使用してターゲット30を移動させる間、X線源の位置が変化しないように、通常、ターゲット面41と平行になっている。
ターゲット30への反復的な照射付与により、ターゲット温度が上昇し、ターゲット材料が劣化する結果、X線源10の効率が低下する。最終的には、ターゲット30、又はX線源10全体を交換せねばならなくなる。ターゲット30の寿命を延ばすために、本発明のターゲットは、電子の入射方向に対し直角の平面内を可動であり、電子照射が付与されるターゲット30の区画を変えることができ、それによって、ターゲットに対する電子の照射付与面積を拡大することができる。
以上、本発明を一好適実施例につき説明したが、当業者は、特許請求の範囲に記載された本発明の枠を逸脱することなしに前記好適実施例に対して種々の変更及び調節を加えることが可能である。
12 電子発生チャンバ
14 ターゲットチャンバ
16 シール部材
18 金属製外殻
20 絶縁材
22 電子ビーム源
24 陽極
26 磁石
28 シュート
30 ターゲット
32 ターゲット区画設定器
33 開口
34 出口開口
35 支持構造物上面
36 支持構造物
37 支持構造物下面
38 弾性部材
40 プレート
41 ターゲット面
42 選択した区画
44 次の選択区画
46 更に次の選択区画
50 両矢印
Claims (16)
- X線源において、該X線源に、
電子ビーム源を含む電子発生チャンバと、
支持構造物を含むターゲットチャンバ及び支持構造物内に配置されたターゲットとが含まれ、発生した電子が、電子発生チャンバとターゲットチャンバとの間に延在する縦軸線と事実上平行方向にターゲットへ向って移動し、ターゲットに照射を与えてX線を発生させ、該ターゲットが、電子による照射付与の間に、支持構造物に対して縦軸線と事実上直角の少なくとも1方向に変位可能であり、該X線源には、更に、
電子発生チャンバとターゲットチャンバとを連結する可とう性のシール部材が含まれ、電子発生チャンバとターゲットチャンバとの内部が周囲の汚染からシールされている、X線源。 - 更に、ターゲット区画設定器が含まれており、該ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ縦軸線と直角の少なくとも1方向にターゲットを変位させるようにされている、請求項1に記載されたX線源。
- 更に、第2ターゲット区画設定器が含まれ、該第2ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、縦軸線と事実上直角かつ第1方向と直角の少なくとも1つの第2方向に変位させるようにされている、請求項2に記載されたX線源。
- 更に、プレートとプレートに結合された弾性部材とが含まれ、該弾性部材とプレートとが、ターゲットと支持構造物との間に配置されている、請求項1に記載されたX線源。
- 更に、少なくとも1つの出口開口が含まれ、ターゲットから発せられるX線の一部が該出口開口を通過する、請求項1に記載されたX線源。
- 前記ターゲットが、縦軸線に対し事実上直角の平らな面を形成している、請求項1に記載されたX線源。
- 前記ターゲットが事実上平らな面を形成し、該平らな面が縦軸線に対し非直角の角度で傾斜している、請求項1に記載されたX線源。
- 更に、ターゲット区画設定器が含まれ、該ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ縦軸線に対して直角の少なくとも第1方向にターゲットを変位させるようにされている、請求項7に記載されたX線源。
- 更に、ターゲットに接続された第2ターゲット区画設定器が含まれ、該第2ターゲット区画設定器によって、ターゲットが、前記平らな面と事実上平行の少なくとも1つの第2方向に変位される、請求項8に記載されたX線源。
- 更に、電子ビームを集束させる集束光学素子が含まれ、該集束光学素子が、磁気集束光学素子、静電式集束光学素子、これら双方の組み合わせのいずれかから成る群から選択される、請求項1に記載されたX線源。
- X線源において、該X線源に、
電子を発出する電子ビーム源を含む電子発生チャンバと、
ターゲット及び支持構造物を含むターゲットチャンバとが含まれ、該支持構造物が下面と上面とを画成しており、前記ターゲットが、電子発生チャンバとターゲットチャンバとの間に延在する縦軸線と事実上直角の1方向に支持構造物内部を変位可能であり、発出された電子が、縦軸線と事実上平行方向にターゲットへ向って移動し、ターゲットに照射付与してX線を発生させ、
前記X線源には、更に、
前記下面に取り付けられ、電子発生チャンバとターゲットチャンバとを連結する可とう性のシール部材と、
前記ターゲットに結合され、かつ電子がターゲットに照射を与えている間に、縦軸線と直角の少なくとも1方向にターゲットを変位させるようにされた少なくとも1ターゲット区画設定器とが含まれている、X線源。 - 更に、プレートとプレートに結合された弾性部材が含まれ、該弾性部材及びプレートがターゲットと支持構造物との間に配置されている、請求項11に記載されたX線源。
- 更に、出口開口が含まれ、ターゲットから放出されるX線の一部が該出口開口を通過する、請求項11に記載されたX線源。
- 前記ターゲットが事実上平らな面を形成しており、該平らな面が、縦軸線と非直角の角度で傾斜している、請求項11に記載されたX線源。
- 更に、第2ターゲット区画設定器が含まれ、該第2ターゲット区画設定器が、ターゲットに接続され、かつ前記平らな面と事実上平行にターゲットを変位させるようにされている、請求項14に記載されたX線源。
- 更に、集束光学素子が含まれ、該光学素子が、磁気集束光学素子、静電集束光学素子、これら双方の光学素子の組み合わせのいずれかから成る群から選択される、請求項11に記載されたX線源。
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