JP2007523758A - 薄膜及びウェーハを結合した封入したマイクロ電気機械システム用のアンチ・スティクション技術 - Google Patents

薄膜及びウェーハを結合した封入したマイクロ電気機械システム用のアンチ・スティクション技術 Download PDF

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Abstract

【課題】 本明細書中には多くの発明が記載してあり且つ例示してある。一つの特徴では、本発明は薄膜又はウェーハで封入したMEMS、及び薄膜又はウェーハで封入したMEMSを本発明のアンチ・スティクション技術を使用して製造する技術に関する。
【解決手段】 一実施例では、MEMSの封入後、アンチ・スティクション・チャンネルを形成することにより、MEMSの機械構造の作用部材即ち電極の幾つか又は全てを含むチャンバへの「アクセス」を提供する。その後、アンチ・スティクション・チャンネルを介してアンチ・スティクション流体(例えばガス又はガス蒸気)をチャンバに導入する。アンチ・スティクション流体は、機械構造の作用部材即ち電極の一つ、幾つか、又は全てに付着し、これによってアンチ・スティクション層(例えば、単層コーティング又は自己組み立て単層)及び/又はアウトガッシング分子をこのような部材又は電極上に形成する。アンチ・スティクション流体の導入及び/又は適用後、アンチ・スティクション・チャンネルをシール、キャップ、プラグ、及び/又は閉鎖し、チャンバ内の機械的減衰環境を画成し制御する。これに関し、チャンバをシール、キャップ、及び/又は閉鎖することにより、機械構造を収容したチャンバ内にこの環境を画成する。この環境は、機械構造の所定の、所望の、及び/又は選択された機械的減衰並びに適当な気密性を提供する。機械構造が作動する最終的に封入された流体(例えばガス又はガス蒸気)のパラメータ(例えば圧力)は、所望の及び/又は所定の作動環境を提供するように選択され及び/又は設計されていてもよい。
【選択図】 図1

Description

本発明は、電気機械システム及びマイクロ電気機械システム及び/又はナノ電気機械システムを製造するための技術に関し、更に詳細には、一つの特徴では、薄膜又はウェーハボンディング封入技術を使用して封入された、適当なアンチ・スティクション特性を含む機械構造を含むマイクロ電気機械システム及び/又はナノ電気機械システムの製造に関する。
マイクロ電気機械システム(「MEMS」)、例えばジャイロスコープ、共振器、及び加速時計は、機械的構成要素を全体としてマイクロ電子装置に適合する規模に小型化するためにマイクロ機械加工技術(即ちリソグラフ技術及び他の精密製造技術)を使用する。MEMSは、代表的には、例えばシリコン基板から又はその上にマイクロ機械加工技術を使用して製造した機械構造を含む。
MEMSは、多くの場合、特定のエレメント又は電極を機械構造の固定電極即ち定置電極に対して移動することによって作動する。この移動により、移動電極と定置電極即ち固定電極との間の隙間距離(例えば、向き合った電極間の隙間)を変化させる。(例えば、米国特許第6,240,782号、米国特許第6,450,029号、米国特許第6,500,328号、米国特許第6,577,040号、米国特許第6,624,726号、及び米国特許出願第2003/0089394号、米国特許出願第2003/0160539号、及び米国特許出願第2003/0173864号を参照されたい。)例えば、MEMSは、機械構造の撓むことができる即ち移動自在の電極の定置電極に対する位置に基づいていてもよい。
米国特許第6,240,782号 米国特許第6,450,029号 米国特許第6,500,328号 米国特許第6,577,040号 米国特許第6,624,726号 米国特許出願第2003/0089394号 米国特許出願第2003/0160539号 米国特許出願第2003/0173864号 機械構造は、代表的には、チャンバ内にシールされる。壊れ易い機械構造は、例えば、機械構造を収容し又はカバーするためのチャンバを持つ半導体又はガラス様基板に結合された気密封止された金属容器(例えば、TO−8「缶」、例えば米国特許第6,307,615号を参照されたい)内にシールされていてもよく(例えば、米国特許第6,146,917号、米国特許第6,352,935号、米国特許第6,477,901号、及び米国特許第6,507,082号を参照されたい)、又は、例えば機械構造のウェーハレベルパッケージ中にマイクロ機械加工技術を使用して薄膜によって封入されていてもよい。(例えば、国際特許出願第WO 01/77008 A1号、及び第WO 01/77009 A1号を参照されたい) 米国特許第6,307,615号 米国特許第6,146,917号 米国特許第6,352,935号 米国特許第6,477,901号 米国特許第6,507,082号 国際特許出願第WO 01/77008 A1号 国際特許出願第WO 01/77009 A1号 気密封止された金属容器に関し、上側又は内側に機械構造を備えた基板を金属容器に配置し、取り付けてもよい。気密封止された金属容器は、更に、主パッケージとしても役立つ。
半導体又はガラス様基板パッケージング技術に関し、機械構造の基板を別の基板に結合してもよく、これによって結合された基板がチャンバを形成し、このチャンバ内に機械構造が置かれる。このようにして、機械構造の作動環境を制御し、構造自体を例えば不時の接触から保護してもよい。結合された二つの基板がMEMSの主パッケージであってもよいし、そうでなくてもよい。
薄膜ウェーハレベルパッケージングは、例えば、従来技術(低温技術(LTO)、テトラエトキシシラン(TEOS)等を使用した酸化)を使用して付着した又は形成した従来の酸化物(SiO2)を使用して機械構造をチャンバ内に封入するのにマイクロ機械加工技術を使用する。例えば、WO 01/77008 A1の図2乃至図4を参照されたい)。この技術を使用する場合、機械構造は、集積回路のパッケージング及び/又は一体化の前に封入される。
特定の状況では、例えば、作動中、撓むことのできる即ち移動自在の電極が定置の即ち固定された電極と接触し、これらの電極がスタックしてしまうことがある。これは、例えば、MEMSの迅速な、突然の、及び/又は荒っぽい移動によって起こることがある。機械構造の電極がスタックする場合、これは一般的には、スティクション(stiction)として周知である。スティクションはMEMSで一般的であり、例えばファンデルワールス力、冷間溶接、電弧の発生、分子又は原子結合、表面張力、例えば接触部品に形成された液体、及び/又は表面の帯電による静電力によって生じる。スティクションは、代表的には、MEMSを作動不能にしてしまう。
スティクションの弱化効果に対処し、最小にし、解決し、及び/又は回避するための多くの様々な技術/アプローチがある。(例えば、米国特許第6,621,392号、米国特許第6,625,047号、及び米国特許第6,625,342号、及び米国特許出願第2003/0155643号及び第2003/0178635号を参照されたい)。一つの方法は、潤滑剤又はパシベーション層、例えばペルフルオロデカン酸(「PFDA」)を、可動電極及び固定電極を含む機械構造に適用することである。これに関し、PFDAを単層をなして、代表的には蒸着によって付着し、極めて低エネルギの表面を形成してもよい。(例えば、米国特許出願第2003/0161949号を参照されたい)。この方法は、基板パッケージング技術で極めて一般的である。
米国特許第6,621,392号 米国特許第6,625,047号 米国特許第6,625,342号 米国特許出願第2003/0155643号 米国特許出願第2003/0178635号 米国特許出願第2003/0161949号 しかしながら、機械構造のウェーハレベルパッケージングでは、多くの場合、薄い封入膜を高温で付着する。更に、追加の又は別の加工、例えば電子回路とMEMSとの一体化は、多くの場合、高温プロセスを(例えば、集積回路の形成中又は製造中に)使用することを必要とする。従来の潤滑剤又はパシベーション層は、薄膜封入体又は集積回路の製造に必要なこうした温度が作用した場合に破壊され易い。かくして、封入後、機械構造の後処理により、機械構造が更にスティクションを生じ易くなる。
とりわけ、薄膜封入技術及び/又はウェーハボンディング技術に適しており且つ従来のアンチ・スティクション技術の問題点の一つ、幾つか、又は全てを解決するアンチ・スティクション技術を使用するMEMSが必要とされている。とりわけ、適当なアンチ・スティクション技術を有し、従来のアンチ・スティクション技術の費用、設計、作動、及び/又は製造上の問題点を解決する、薄膜封入技術及び/又はウェーハボンディング技術を使用して機械構造が封入されたMEMSが必要とされている。ウェーハレベル薄膜技術及び/又はウェーハボンディング封入技術を使用して封入された接着エネルギが低い機械構造を持つMEMSが必要とされている。
本明細書中、多くの発明が記載されており且つ例示されている。第1の主要な特徴では、本発明は、少なくとも一部が封入層によって形成された密封チャンバ内に機械構造が配置された電気機械装置の製造方法を提供する。この方法は、封入層を通して少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する工程、及び機械構造の少なくとも一部に単層又は自己組み立て層を形成するアンチ・スティクション流体(例えば、DDMS、OTS、PFOCTS、PFDA、FDTS、PFPE、及びFOTS)をアンチ・スティクション・チャンネルを介してチャンバに導入する工程を含む。本方法は、アンチ・スティクション・プラグ(例えば、スピンオンポリマー、SOG、又は金属材料)をアンチ・スティクション・チャンネル上に又は内に付着し、チャンネルを再シールする工程を更に含む。
アンチ・スティクション・チャンネルは、異方性エッチングを使用して(例えば反応性イオンエッチングを使用して)形成してもよい。アンチ・スティクション・プラグは、シルクスクリーン、シャドーマスク技術、分配されたシール−ガラス、プラスチック、又はエポキシを使用して付着されてもよい。
一実施例では、電気機械装置はコンタクト領域を更に含み、本方法は、コンタクト領域の周囲にトレンチを形成する工程を更に含み、コンタクト領域は少なくとも部分的に前記チャンバの外側に配置され、更に、第1絶縁体をトレンチに付着し、コンタクト領域を電気的に絶縁する工程を含む。本方法は、更に、トレンチの少なくとも一部の上に第2絶縁層を付着する工程、及び封入層を通して少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する前に絶縁層にアンチ・スティクション・ウインドウを形成する工程を含んでもよい。高導電性材料をコンタクト領域に及び第2絶縁層上に付着し、コンタクト領域に対して電気接続部を形成してもよい。アンチ・スティクション・プラグの少なくとも一部が高導電性材料でできている。
一実施例では、本方法は、アンチ・スティクション・プラグに拡散障壁を付着する工程を含む。拡散障壁は、例えば、ポリシリコン、ゲルマニウム、シリコン/ゲルマニウム、シリコン酸化物、シリコンナイトライド、BPSG、PSG、SOG、又は金属担体材料(metal bearing material)でできている。確かに、コンタクト領域及び絶縁層に付着した高導電性材料及びアンチ・スティクション・プラグは、チャンバについて拡散に対する障壁を提供し、コンタクト領域について電気的相互接続を提供する。
着目すべきことには、封入層を通してアンチ・スティクション・チャンネルを形成すると同時にトレンチを形成してもよい。
第2の主要な特徴では、本発明は、機械構造が基板上に、及び少なくとも一部が封入構造によって形成された密封チャンバ内に配置された電気機械装置を製造方法を提供する。この方法は、基板を通して少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する工程(例えば異方性エッチングを使用する)、及びアンチ・スティクション流体(DDMS、OTS、PFOTCS、PFDA、FDTS、PFPE、又はFOTS)を少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを介してチャンバに導入する工程を含み、アンチ・スティクション流体は機械構造の少なくとも一部上に単層又は自己組み立て層を形成する。本発明のこの特徴の方法は、更に、アンチ・スティクション・プラグ(スピンオンポリマー、SOG、又は金属材料)をアンチ・スティクション・チャンネル上に又は内に付着し、チャンバを再シールする工程を含む。
この方法は、更に、陽極ボンディングを使用して封入構造を機械構造上に固定する工程を含む。封入構造は、陽極シールド及び絶縁層を含み、キャップウェーハ上に配置される。陽極シールドは、絶縁層に配置されていてもよい。
アンチ・スティクション・プラグは、シルクスクリーン、シャドーマスク技術、又は分配されたシール−ガラス、プラスチック、及び/又はエポキシを使用して付着されていてもよい。
本発明のこの特徴の一実施例では、電気機械装置はコンタクト領域を含んでいてもよく、本方法は、コンタクト領域の周囲にトレンチを形成する工程を更に含み、コンタクト領域は、少なくとも一部がチャンバの外側に配置されており、第1絶縁体をトレンチに付着し、コンタクト領域を電気的に絶縁する工程を更に含む。本方法は、第2絶縁層をトレンチの少なくとも一部に付着する工程、及び封入層を通して少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する前に絶縁層にアンチ・スティクション・ウインドウを形成する工程を更に含む。高導電性材料をコンタクト領域に及び第2絶縁層に付着し、コンタクト領域への電気接続部を提供してもよい。アンチ・スティクション・プラグの少なくとも一部は高導電性材料で形成されている。
一実施例では、本方法は、拡散障壁をアンチ・スティクション・プラグに付着する工程を含む。拡散障壁は、例えば、ポリシリコン、ゲルマニウム、シリコン/ゲルマニウム、二酸化シリコン、シリコンナイトライド、BPSG、PSG、SOG、又は金属担体材料でできている。確かに、コンタクト領域に及び絶縁層上に付着した高導電性材料及びアンチ・スティクション・プラグは、チャンバについて拡散に対する障壁を提供し、コンタクト領域について電気的相互接続を提供する。
第3の主要な特徴では、本発明は、基板、基板上に配置された、単層又は自己組み立て層がその少なくとも一部に配置された機械構造、及びこの機械構造上に配置され、チャンバを画成しシールする薄膜封入構造を含む電気機械装置を提供する。更に、本電気機械装置は、チャンバ内に配置された機械構造の少なくとも一部へのアクセスを提供するため、薄膜封入構造にエッチングによって形成したアンチ・スティクション・チャンネル、及びアンチ・スティクション・チャンネル上に又は内に配置され、チャンバを再シールするアンチ・スティクション・プラグ(例えばスピンオンポリマー、SOG、又は金属材料)を含んでいてもよい。
一実施例では、薄膜封入構造は、第1及び第2の封入層を含んでもよい。第1封入層は、多晶質シリコン、多孔質多晶質シリコン、非晶質シリコン、シリコンカーバイド、シリコンナイトライド、シリコン/ゲルマニウム、ゲルマニウム、又はガリウム砒素でできていてもよい。第2封入層は、多晶質シリコン、多孔質多晶質シリコン、非晶質シリコン、ゲルマニウム、シリコン/ゲルマニウム、ガリウム砒素、又はシリコンカーバイドでできていてもよい。
別の実施例では、電気機械装置は、アンチ・スティクション・チャンネルと機械構造との間に配置されたトラップを更に含んでいてもよい。トラップは、実質的に垂直なトラップであってもよいし、実質的に水平なトラップであってもよい。
電気機械装置は、更に、アンチ・スティクション・プラグ上に配置された拡散障壁を含んでいてもよい。拡散障壁は金属材料で形成されていてもよい。
第4の主要な特徴では、本発明は、基板、基板上に配置された、単層又は自己組み立て層がその少なくとも一部に配置された機械構造、及び機械構造上に配置され、チャンバを画成しシールするウェーハボンデッド封入構造を含む電気機械装置を提供する。本発明のこの特徴の電気機械装置は、更に、チャンバ内に配置された機械構造の少なくとも一部へのアクセスを提供するため、エッチングによって基板内に形成されたアンチ・スティクション・チャンネル、及びアンチ・スティクション・チャンネル上に又は内に配置され、チャンバを再シールするアンチ・スティクション・プラグ(例えばスピンオンポリマー、SOG、又は金属材料)を含んでいてもよい。
封入構造は、陽極ボンディングを使用して前記機械構造上に固定されていてもよい。このように、封入構造は、陽極シールドを含んでいてもよい。更に、封入構造は、キャップウェーハに配置された絶縁層を含んでいてもよく、この場合、陽極シールドが絶縁層に配置される。
一実施例では、この特徴の電気機械装置は、アンチ・スティクション・チャンネルと前記機械構造との間に配置されたトラップを更に含んでいてもよい。トラップは、実質的に垂直なトラップであってもよいし、実質的に水平なトラップであってもよい。
電気機械装置は、更に、アンチ・スティクション・プラグ上に配置された拡散障壁を含んでいてもよい。拡散障壁は金属材料で形成されていてもよい。
ここでも、本明細書中、多くの発明が記載されており且つ例示されている。この本発明の概要は、本発明の範囲を述べ尽くすものではない。更に、この概要は、本発明を限定しようとするものではなく、そのように解釈されるべきではない。本発明の特定の実施例、特徴、属性、及び利点をこの概要に説明したけれども、本発明の多くの他の並びに異なる及び/又は同様の実施例、特徴、属性、及び利点が以下の説明、例示、及び特許請求の範囲から明らかであるということは理解されるべきである。
以下の詳細な説明において、添付図面を参照する。これらの図は本発明の様々な特徴を示し、適当である場合には、異なる図面の同様の構造、構成要素、材料、及び/又はエレメントに同じ参照番号が付してある。特定的に示した以外の構造、構成要素、材料、及び/又はエレメントの様々な組み合わせが考えられ、これらは本発明の範囲内に含まれるということは理解されよう。
以下に多くの発明を説明し且つ例示する。一つの特徴では、本発明は、薄膜又はウェーハで封入したMEMS、及び薄膜又はウェーハで封入したMEMSを本発明のアンチ・スティクション技術を使用して製造する技術に関する。一実施例では、MEMSの封入後、アンチ・スティクション・チャンネルを封入層及び/又は基板に形成することにより、MEMSの機械構造の能動部材又は電極の幾つか又は全てを含むチャンバへの「アクセス」を提供する。その後、アンチ・スティクション・チャンネルを介してアンチ・スティクション流体(例えばガス又はガス−蒸気)をチャンバに導入する。アンチ・スティクション流体は、機械構造の能動部材又は電極のうちの一つに、幾つかに、又は全てに付着させてもよく、これによって、このような部材又は電極にアンチ・スティクション層(例えば単層コーティング又は自己組み立て単層)及び/又はアウトガッシング分子を提供する。このようにして、機械構造は、適当なアンチ・スティクション特性を含む。
アンチ・スティクション流体の導入及び/又は適用後、アンチ・スティクション・チャンネルをシールし、キャップを装着し、塞ぎ、及び/又は閉鎖し、チャンバ内の機械的減衰環境を画成し、制御してもよい。これに関し、チャンバをシールし、キャップを装着し、及び/又閉鎖することにより、機械構造を含む及び/又は収容するチャンバ内に環境を画成する。この環境は、適当な気密性を備えているばかりでなく、機械構造の所定の所望の及び/又は選択された機械的減衰を提供する。機械構造が内部で作動する最終的に封入された流体(例えばガス又はガス蒸気)のパラメータ(例えば圧力)は、所望の及び/又は所定の作動環境を提供するように制御され、選択され、及び/又は設計される。
図1を参照すると、一つの例示の実施例では、MEMS10は、基板14に配置されたマイクロ機械加工された機械構造12を含む。基板14は、例えば、ドーピングしていない半導体等の材料、ガラス等の材料、絶縁体等の材料である。マイクロ機械加工された機械構造12は、加速時計、ジャイロスコープ、及び/又は他のトランスジューサー(例えば、圧力センサ、歪センサ、触感センサ、磁気センサ、及び/又は温度センサ)、フィルタ、及び/又は共振器であってもよい。マイクロ機械加工された機械構造12は、更に、例えば一つ又はそれ以上の加速時計、ジャイロスコープ、圧力センサ、触感センサ、及び温度センサを含む複数のトランスジューサー又はセンサの機械構造を含んでいてもよい。
図2を参照すると、一実施例では、マイクロ機械加工された機械構造12は、基板14上に、上方に、及び/又は内に配置された機械構造16a−dを含む。詳細には、機械構造16a、16c、及び16dは、「移動自在」の機械部材18a及び18bの「移動自在」の電極であってもよい。機械構造16bは「固定」機械部材20の「固定」電極であってもよい。マイクロ機械加工された機械構造12が加速時計である場合には、機械構造16a−dは、加速時計の検出装置を含むインターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの一部であってもよい(例えば米国特許第6,122,964号参照)。
機械構造16a−dは、例えば、周期表のIV族の材料、例えばシリコン、ゲルマニウム、炭素、及びこれらの組み合わせ、例えばシリコンゲルマニウム、又はシリコンカーバイド;及びIII−V族化合物、例えばガリウム燐、アルミニウムガリウム燐、又は他のIII−V族の組み合わせ;更にIII族、IV族、V族、又はVI族の材料、例えばシリコンナイトライド、シリコン酸化物、アルミニウムカーバイド、又はアルミニウム酸化物;更に金属シリサイド、ゲルマナイド、及びカーバイド、例えばニッケルシリサイド、コバルトシリサイド、タングステンカーバイド、又はプラチナゲルマニウムシリサイド;更に、ドーピングを施したもの、例えば燐、砒素、アンチモン、硼素、又はアルミニウムでドーピングしたシリコン、又はゲルマニウム、炭素、又はシリコンゲルマニウム等の組み合わせ;更に単晶構造、多晶質構造、ナノ結晶質構造、又は非晶質構造を含む様々な結晶構造のこれらの材料;更に、結晶構造の組み合わせ、例えば単晶構造領域及び多晶質構造領域の組み合わせ(ドーピングした又はドーピングしていない)でできていてもよい。
図2を参照し続けると、マイクロ機械加工された機械構造12は、更に、基板14上に又は基板14内に配置されたフィールド領域22及びコンタクト領域24を含む。フィールド領域22は、電子素子又は電気部品又は集積回路(例えばトランジスタ、抵抗器、コンデンサー、インダクター、及び他の受動素子又は能動素子)用の基板の材料を提供してもよい。コンタクト領域24は、マイクロ機械加工された機械構造12と、一体化された電子装置又は外部電子装置、インターフェース集積回路、及び/又は外部装置(図示せず)との間に電路を提供してもよい。コンタクト領域24は、例えば、シリコン(ドーピングした又はドーピングしていない)、ゲルマニウム、シリコン/ゲルマニウム、シリコンカーバイド、及びガリウム砒素、及び組み合わせ、及び/又はこれらの組み合わせでできていてもよい。
マイクロ機械加工された機械構造12は、更に、内部に雰囲気28を「収容」したチャンバ26を含む。チャンバ26は、少なくとも一部が封入層30によって形成されている。これに関し、MEMS10は、従来の薄膜封入技術及び構造を使用してチャンバ26内にシールされていてもよい。(例えば、WO 01/77008 A1及びWO 01/77009 A1を参照されたい)。この他の薄膜封入技術が適している。確かに、全ての薄膜封入技術が、現在周知であろうと後に開発されようと、本発明の範囲内に含まれる。
例えば、2003年6月4日に出願され且つ譲受された「トレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム及びその製造方法」という表題の米国非仮特許出願第10/455,555号を本発明のアンチ・スティクション技術と関連して使用してもよい。
簡潔性を図る目的で、ここに説明し且つ例示する本発明と関連して実施されるトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム特許出願を繰り返さないが、簡単に述べる。しかしながら、例えば全ての発明の特徴、属性、変更、材料、技術、及び利点を含むトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム特許出願の全内容は本明細書中に含まれたものとする。
本発明のマイクロ機械加工された機械構造12は、封入プロセス(即ち、封入層30の付着、形成、及び/又は成長)の完了後にチャンバ26内の機械構造16a−dとの流体連通を容易にするため及び/又はこれらの機械構造へのアクセス即ち通路を提供するため、例えば封入層30を通して形成されたアンチ・スティクション・チャンネル32を更に含む。これに関し、機械構造16a−dの封入及びチャンバ26の形成後、例えば異方性エッチング技術(例えばディープ反応性エッチング)を使用してアンチ・スティクション・チャンネル32を形成してもよい。一実施例では、アンチ・スティクション・チャンネル32の「直径」又は「幅」は、100nm乃至50μmであってもよく、好ましくは200nm乃至10μmであってもよい。着目すべきことには、アンチ・スティクション・チャンネル32の「直径」又は「幅」は、封入層30の厚さで決まる。
その後、アンチ・スティクション流体(例えばジクロロジメチルシラン(「DDMS」)、オクタデシルトリクロロシラン(「OTS」)、ペルフルオロシトイルトリクロロシラン(「PFOTCS」)、ペルフルオロデカン酸(「PFDA」)、ペルフルオロデシル−トリクロロシラン(「FDTS」)、ペルフルオロポリエーテル(「PFPE」)、及び/又はフルオロアルキルシラン(「FOTS」))を例えば蒸着法(例えばAPCVD、LPCVD、又はPECVD)によってチャンバ26に導入してもよい。アンチ・スティクション流体をMEMS12の機械構造16a−dの一つ、幾つか、又は全てに付着することによって、アンチ・スティクション層、例えば単層コーティング及び/又はアウトガッシング分子を機械構造上に形成してもよい。このようにして、機械構造16a−dは適当なアンチ接着特性を得る。
アンチ・スティクション流体導入のパラメータは、例えば、機械構造16a−d上のアンチ・スティクション層(例えば単層又は自己組み立て単層)の特性に影響を及ぼす。例えば、比較的高温のアンチ・スティクション流体を導入することには、流体の拡散性を高める傾向があり、これに対し、比較的低温のアンチ・スティクション流体を導入することには、流体のアンチ・スティクション特性を高める傾向がある。かくして、一実施例では、アンチ・スティクション流体は、20℃乃至600℃、好ましくは100℃乃至300℃で導入される。
更に、アンチ・スティクション流体を比較的高圧で導入することには、機械構造16a−d上でのアンチ・スティクション層(例えば単層又は自己組み立て単層)の付着速度を高める傾向がある。これとは対照的に圧力が比較的低いと、アンチ・スティクション・チャンネル32を通る分子の平均自由経路が大きくなるため、チャンバ26内に更に深く進入する分子の数が増大する。かくして、一実施例では、アンチ・スティクション流体は100μTorr乃至1Torrで導入される。
アンチ・スティクション層を更に形態と一致するように形成するアンチ・スティクション層の付着パラメータを使用するのが有利である。このようにして、アンチ・スティクション・チャンネル32は、十分なアンチ・スティクション層が機械構造16a−d上に形成する前にアンチ・スティクション・チャンネル32内又はその上方にアンチ・スティクション材料が「堆積」するため、閉鎖するのが困難である。着目すべきことには、アンチ・スティクション流体は、例えば機械構造16a−dの表面の非反応性及び/又は非接着性を高める任意の材料であってもよい。
アンチ・スティクション・チャンネル32は、チャンネルプラグ34によって「閉鎖」及び/又は「シール」されていてもよい。これに関し、チャンネルプラグ34は、アンチ・スティクション・チャンネル32をシールし、塞ぎ、及び/又は閉鎖する任意の材料であってもよい。例えば、チャンネルプラグ34は、スピンオンポリマー、スピンオンガラス(「SOG」)、金属材料(例えばスパッタリングした、必要であればパターンを付けた金属)であってもよい。更に、チャンネルプラグ34は、シール−ガラス、プラスチック、及び/又はエポキシのシルクスクリーン又は分配を使用して形成できる。更に、シャドーマスク技術を使用してアンチ・スティクション・チャンネル32のシール、閉塞、及び/又は閉鎖を行ってもよい。確かに、任意の材料(及び対応する製造技術)を実施でき、一実施例では、チャンバ26内に適当な環境を維持するための障壁を提供し、(1)アンチ・スティクション流体が提供するアンチ・スティクション効果を破壊し及び/又はなくす(例えば機械構造に設けられた単層コーティングの破壊)、及び/又は(2)本発明のアンチ・スティクション技術が適当なアンチ・スティクション特性を提供しないといったことがないパラメータ(例えば温度)を使用して形成され、適用され、及び/又は成長する。このようにして、アンチ・スティクション・チャンネル32のシール及び/又は閉鎖後、機械構造16a−dは、適当なアンチ・スティクション性及び/又は特性を保持する。
上述のように、薄膜封入MEMS10の例示の製造方法は、トレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム特許出願に記載されている。簡単にする目的のため、議論及び例示を繰り返さないが、簡単に述べる。しかしながら、例えば全ての発明の特徴、属性、変更、材料、技術、及び利点を含むトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム特許出願の全内容は本明細書中に含まれたものとする。
図3のAを参照すると、MEMS10を、機械構造16a−d及びコンタクト領域24が第1犠牲層36、例えば二酸化シリコン又はシリコンナイトライド上に配置された部分的に形成したSOI基板装置で開始してもよい。機械構造16a−d及びコンタクト領域24は、周知の付着、リソグラフィー技術、エッチング技術、及び/又はドーピング技術、並びに周知の材料(例えば、シリコン、ゲルマニウム、シリコン−ゲルマニウム、又はガリウム砒素等の半導体)を使用して形成されていてもよい。更に、フィールド領域22及び第1犠牲層36は、絶縁体層上にシリコン層を形成する周知のSOI(silicon−on−insulator)製造技術(図3のA参照)、又は標準的な又はオーバーサイズ(「厚い」)のウェーハ(図示せず)を使用する周知の形成技術、リソグラフィー技術、エッチング技術、及び/又は付着技術を使用して形成されていてもよい。
図3のBを参照すると、機械構造16a−d及びコンタクト領域24の形成後、続いて行われる、封入プロセスを含むプロセス中に第2犠牲層38、例えば二酸化シリコン又はシリコンナイトライドを付着し及び/又は形成し、機械構造16a−dを固定し、離間し、及び/又は保護する。更に、開口部40を第2犠牲層38にエッチング及び/又は形成し、続いて行われる電気接点の形成の準備を行う。開口部40は、例えば、第2犠牲層38の付着及び/又は形成の前又はその最中に周知のマスキング技術(ナイトライドマスク等)を使用して形成されていてもよいし、第2犠牲層38の付着及び/又は形成の後に周知のリソグラフ技術及びエッチング技術を使用して形成されていてもよい。
図3のC、D、及びEを参照すると、その後、第1封入層30aを第2犠牲層38に付着、形成、及び/又は成長してもよい(図3のC参照)。一実施例では、第2犠牲層38と重なった領域での第1封入層30aの厚さは、0.1μm乃至5.0μmであってもよい。第2犠牲層38をエッチングした後の、第1封入層30aに作用する外部環境応力及び第1封入層30aの内部応力が第1封入層30aの厚さに影響を及ぼす。僅かな引張応力が加わった薄膜は、圧縮力が加わった薄膜よりも良好な自己支持性を備えている。圧縮力が加わった薄膜は挫屈してしまう場合がある。
第1封入層30aにエッチングを施し、通路又はベントを形成してもよい(図3のD参照)。一つの例示の実施例では、ベント42の直径即ち孔径は0.1μm乃至2μmである。ベント42により第1及び第2の犠牲層36及び38の夫々の少なくとも選択された部分をエッチング及び/又は除去できる(図3のE参照)。
トレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム特許出願で言及されているように、コンタクト24は、第1及び第2の犠牲層36及び/又は38の部分によって、部分的に、実質的に、又は全体に取り囲まれていてもよい。例えば、図3のEを参照すると、機械構造20a−dは、それらの夫々の下側の酸化物コラムから解放されているけれども、犠牲層38の一部44(即ち電気コンタクト領域24と隣接した部分)は、第2犠牲層38のエッチング及び/又は除去後に残っていてもよい。
図3のFを参照すると、機械エレメント16a−dの解放後、第2封入層30bを付着、形成、及び/又は成長してもよい。第2封入層30bは、例えば、シリコンを基材とした材料(例えば、多晶質シリコン又はシリコン−ゲルマニウム)であり、例えば、エピタキシャル、スパッタリング、又はCVDを用いる反応器(例えばAPCVD、LPCVD、及びPECVD)を使用して付着される。付着、形成、及び/又は成長は、形態一致プロセスによって行われてもよいし又は非形態一致プロセスによって行われてもよい。材料は、第1封入層30aと同じであってもよいし異なっていてもよい。
その後、マイクロ機械加工された機械構造12のコンタクト領域24を周囲の導体層及び/又は半導体層から誘電体で絶縁する。図3のG及びHを参照すると、誘電絶縁領域48a及び48bの形成を促すため、トレンチ46a及び46bには僅かなテーパが付けてある。これに関し、絶縁体をトレンチ46a及び46bに付着し、誘電絶縁領域48a及び48bの夫々を形成してもよい。絶縁体は、例えば、二酸化シリコン、シリコンナイトライド、BPSG、PSG、又はSOGであってもよい。
絶縁層50を第2封入層30bの露呈された表面上で付着、形成、及び/又は成長させ、様々な周囲導体層及び半導体層と続く導体層との間を絶縁してもよい。かくして、絶縁層50の付着、形成、及び/又は成長中、トレンチもまた充填され、誘電絶縁領域48a及び48bを形成してもよい(図3のH参照)。その後、コンタクト開口部52にエッチングを施し、コンタクト領域24に対する電気的接続を促してもよい。次いで、導電層54を付着及び/又は形成し、コンタクト24に対する適切な電気的接続を提供してもよい(図3のI参照)。
その後、図3のKを参照すると、アンチ・スティクション・チャンネル32の位置を決定するため、従来のエッチング技術を使用して絶縁層50にアンチ・スティクション・チャンネルィンドウ56を形成及び/又はエッチングしてもよい。アンチ・スティクション・チャンネル32は、封入層30を通して形成され、機械構造16a−dに対するアクセスを提供する(図3のK参照)。アンチ・スティクション・チャンネル32は、例えば、周知の異方性エッチング技術(例えばディープ反応イオンエッチング)を使用して形成されていてもよい。
アンチ・スティクション・チャンネル32の形成後、アンチ・スティクション流体をチャンバ26に導入してもよい。アンチ・スティクション流体は、例えば、DDMS、OTS、PFOTCS、PFDA、FDTS、PFPE、及び/又はFOTSであってもよい。確かに、続いて行われるプロセスによってアンチ・スティクション特性が破壊されたり及び/又はMEMS12の機械構造16a−d上のアンチ・スティクション付着物を壊したりなくしたりしない場合には、任意のアンチ・スティクション流体を使用してもよい。このようにして、アンチ・スティクション層58、例えば機械構造16a−d上に形成された単層コーティングが比較的無傷で残り、機械構造16a−dは、MEMS10の隣接した構造又はエレメントの接着力に打ち勝つ適当なアンチ接着性を備える。
図3のLを参照すると、アンチ・スティクション・チャンネル32をチャンネルプラグ34で閉鎖してもよい。例えば、チャンネルプラグ34は、スピンオンポリマー、スピンオンガラス(「SOG」)、スパッタリングにより付着された金属材料であってもよく、必要であればパターンをなして付けられる。更に、チャンネルプラグ34は、シールガラス、プラスチック、及び/又はエポキシをシルクスクリーン印刷することによって形成してもよい。更に、シャドーマスク技術を使用してアンチ・スティクション・チャンネル32をシール、プラグ、及び/又は閉鎖してもよい。確かに、チャンネルプラグ34を形成するプロセスが、(1)アンチ・スティクション流体により提供されるアンチ・スティクション効果を破壊及び/又はなくす(例えば機械構造上の単層コーティングの破壊)、及び/又は(2)本発明のアンチ・スティクション技術が適当なアンチ・スティクション性即ちアンチ接着性を提供しないようにすることがないようにするパラメータを使用する場合には、任意の材料(及び対応する製造技術)を使用してチャンネルプラグ34を形成してもよい。
着目すべきことには、アンチ・スティクション流体は、チャンネルプラグ34の形成中に使用された材料のガス又はガス蒸気であってもよい。確かに、アンチ・スティクション流体は、MEMS10の材料とチャンネルプラグ34の形成中に使用される材料のガス又はガス蒸気との反応副生物であってもよい。例えば、DDMS等の適当な分子を発生する溶剤及び/又はポリマーの混合物であってもよい。
チャンネルプラグ34の付着及び/又は形成後のチャンバ26内の流体の状態(例えば圧力)は、従来の技術を使用して及び/又は2003年3月20日に出願された「制御された雰囲気を持つ電気機械システム及びその製造方法」という表題の米国非仮特許出願第10/392,528号(以下、「制御された雰囲気を持つ電気機械システム特許出願」と呼ぶ)に記載され且つ例示された技術を使用して決定してもよい。簡潔化を図るため、制御された雰囲気を持つ電気機械システム特許出願に記載されており且つ例示されたチャンバ26内の雰囲気の制御に関する全ての発明はここでは繰り返さない。しかしながら、例えば全ての発明の例えば特徴、属性、変更、材料、技術、及び利点を含む制御された雰囲気を持つ電気機械システム特許出願の全内容は本明細書中に含まれたものとする。
図4を参照すると、特定の実施例では、アンチ・スティクション流体の導入及び/又はチャンネルプラグ34の形成により、アンチ・スティクション層58、例えば薄い及び/又は単層コーティングが機械構造16a−dに形成される。薄い及び/又は単層コーティングは、MEMS10の隣接した構造又はエレメントの接着力に打ち勝つ適当なアンチ接着性を提供する。着目すべきことには、アンチ・スティクション層58、例えば薄い及び/又は単層コーティングは、MEMS10の機械構造12の作動に悪影響を及ぼさない。
本発明の別の実施例では、アンチ・スティクション・チャンネル32の近くに垂直及び/又は水平トラップを形成する。トラップ60は、アンチ・スティクション・チャンネル32と機械構造16a−dとの間に位置決めされていてもよい。このようにして、特定の材料(即ちチャンネルプラグ34を形成するのに使用された材料)を使用してアンチ・スティクション・チャンネル32をシール、プラグ、及び/又は閉鎖し、この材料がアンチ・スティクション・チャンネル32から漏出する場合、機械構造16a−dがあるチャンバ26の部分に材料が進入する前にトラップ60がこの材料を「捕捉」する。この状況では、チャンバ26に進入するチャンネルプラグ材料は機械構造16a−dから迂回されることにより機械構造16a−dと接触し及び/又は機械構造の作動に影響を及ぼすことが「阻止」される。例えば、図5を参照すると、トラップ60は実質的に垂直なトラップであってもよく、アンチ・スティクション・チャンネル32と機械構造16a−dとの間に配置される。
図6のAを参照すると、トラップ60を持つMEMS10の例示の実施例は、機械構造16a−d、コンタクト領域24、及びトラップ60を含む部分的に形成された装置が第1犠牲層36、例えば二酸化シリコン又はシリコンナイトライド上に配置されたSOI基板装置で開始してもよい。機械構造16a−d、コンタクト領域24、及びトラップ60は、周知の付着技術、リソグラフ技術、エッチング技術、及び/又はドーピング技術を使用して並びに周知の材料(例えば、シリコン、ゲルマニウム、シリコン−ゲルマニウム、又はガリウム砒素等の半導体)から形成できる。
その後、トラップ60を持つMEMS10を上文中に図3B乃至3Lに関して説明したのと同じ方法で加工する。これに関し、トラップ60を含むMEMS10の例示の製造プロセスを図6B乃至6Lに示す。プロセスは、上文中に図3B乃至3Lに関して論じたのと実質的に同様であり、簡潔にするため、ここでは説明を繰り返さない。
上文中に説明したように、図5のトラップ60は、アンチ・スティクション・チャンネル32をシール、プラグ、及び/又は閉鎖するために付着した材料が機械構造16a−dの作動に悪影響を及ぼさないように設計されている。図7のA及びBを参照すると、一実施例では、トラップ60は、チャンネルプラグ34の付着及び/又は形成中にアンチ・スティクション・チャンネル32から漏れた及び/又は漏出した材料62を機械構造16a−dから遠ざかるように導くように位置決め及び/又は配置されている。これに関し、トラップ60は、機械構造16a−dがあるチャンバ26の部分に材料62が進入する前に材料62を「捕捉」する。この場合、チャンバ26に進入した材料62が機械構造16a−dと接触してこの機械構造の作動に悪影響を及ぼすことが「阻止」される。
図8のA及びBを参照すると、別の実施例では、チャンネルプラグ34の製造後、アンチ・スティクション・チャンネル32の「シール」を高めるため、及びこれによってチャンバ26内(又は外)の流体の拡散に対する障壁を高める(例えばMEMS10の気密性を高める)ため、拡散障壁64をアンチ・スティクション・チャンネル32及び/又はチャンネルプラグ34上に付着し、及び/又は形成してもよい。かくして、拡散障壁64単独で、又はチャンネルプラグ34と組み合わさって流体(選択された、所望の、及び/又は所定の状態を有する)をチャンバ26内に「捕捉」する。
拡散障壁64は、例えば、半導体(例えば、ポリシリコン、ゲルマニウム、又はシリコン/ゲルマニウム)、絶縁体(例えば、二酸化シリコン、シリコンナイトライド、BPSG、PSG、又はSOG)、又は金属担体(例えばシリサイド)であってもよい。拡散障壁64は、例えば、エピタキシャル、スパッタリング、又はCVDを用いる反応器(例えばAPCVD、LPCVD、及びPECVD)を使用して付着、形成、及び/又は成長してもよい。付着、形成、及び/又は成長は、形態一致プロセスによって行われてもよいし又は非形態一致プロセスによって行われてもよい。拡散障壁64を構成する材料は、チャンネルプラグ34と同じであってもよいし異なっていてもよい。しかしながら、アンチ・スティクション障壁、層及び/又は本発明のアンチ・スティクション製造プロセスが提供する効果を保存し及び/又は保護するため、低温付着プロセス(及びこのような付着プロセスに合わせて補正できる材料)を使用するのが有利である。
拡散障壁64は、導電層54の形成及び/又は付着前、導電層54の形成及び/又は付着中(例えば、図8のAを参照されたい)、又は導電層54の形成及び/又は付着後(例えば、図8のBを参照されたい)に形成及び/又は付着されてもよい。
着目すべきことには、拡散障壁64は、本明細書中に記載した任意の実施例、例えば図3のA乃至Lに示す実施例で実施できる。簡潔にするため、ここでは説明を繰り返さない。
上述のように、本発明は、2003年6月4日に出願された「マイクロ電気機械システム及びその封入及び製造方法」という表題の米国非仮特許出願第10/454,867号(以下、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願という)に記載され且つ例示された封入技術を含む様々な薄膜封入技術と関連して実施できる。これに関し、ここに記載された任意の及び全ての実施例をマイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願のMEMS10に組み込むことができる(例えば、図9、図10のA乃至C、及び図11のA乃至Cを参照されたい)。簡潔にするため、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願に記載され且つ例示され、本明細書中に記載し且つ例示するアンチ・スティクション発明と関連して実施される発明の説明は繰り返さない。しかしながら、特に、例えば全ての実施例及び/又は発明の特徴、属性、変更、材料、技術、及び利点を含む、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願の内容は全て本明細書中に含まれたものとするということに着目されたい。
本発明は、マイクロ機械加工された機械構造並びにデータ処理電子装置及び/又はインターフェース回路を含むMEMSで実施できるということに着目すべきである。図12を参照すると、一つの例示の実施例では、MEMS10は、基板14上に配置されたマイクロ機械加工された機械構造12を含む。基板14は、例えばドーピングしていない半導体様材料、ガラス様材料、又は絶縁体様材料である。MEMS10は、マイクロ機械加工された機械構造12が発生した情報を演算処理し且つ分析し、及び/又はマイクロ機械加工された機械構造の作動を制御し又は監視するため、データ処理電子装置16を更に含む。更に、MEMS10は、マイクロ機械加工された機械構造12及び/又はデータ処理電子装置16から情報を外部装置、例えばコンピュータ、インジケータ/ディスプレー及び/又はセンサに提供するためのインターフェース回路18を含む。
データ処理電子装置70及び/又はインターフェース回路72は、基板14内又は基板上に一体化されていてもよい。これに関し、MEMS10は、機械構造12、データ処理電子装置70、及びインターフェース回路72を含むモノリシック構造であってもよい。データ処理電子装置70及び/又はインターフェース回路72は、更に、別体の別個の基板上に設けられていてもよく、この別個の基板は、組み立て後に基板14に又は基板14上に結合される。
例えば、図13のA及びBを参照すると、集積回路74は、例えば、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願及び/又はトレンチ分離コンタクト特許出願に記載され且つ例示された技術を使用して機械構造12を画成した後、従来の技術を使用して製造されてもよい(例えば、図13のBを参照されたい)。これに関し、機械構造12の製造及び封入後、従来の技術を使用して集積回路74を形成し、導電層54によってコンタクト領域24に相互接続する。詳細には、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願(例えばその図12のA乃至C)及び/又はトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム及びその製造方法特許出願(例えばその図14のA乃至E)に例示され且つ記載されているように、集積回路74は、低抵抗電路(即ち導電層54)を介してコンタクト領域に直接アクセスし、これにより良好に電気的に接続する。絶縁層50を付着、形成、及び/又は成長し、パターン付けした後、導電層54(例えば高度にドーピングしたポリシリコン、又はアルミニウム、クロム、金、銀、モリブデン、プラチナ、パラジウム、タングステン、チタニウム、及び/又は銅等の金属)を形成する。
図13のA及びBを参照し続けると、これに続いて、本発明のアンチ・スティクション技術を実施してもよい。即ち、アンチ・スティクション・チャンネルィンドウ56を絶縁層50にエッチング及び/又は形成してもよく、アンチ・スティクション・チャンネル32を封入層30にエッチング及び/又は形成してもよい。アンチ・スティクション流体をアンチ・スティクション・チャンネル32を介してチャンバ26に導入することにより、例えば機械構造16上にアンチ・スティクション層58を形成してもよい。その後、又はこれと同時に、アンチ・スティクション・チャンネル32をチャンネルプラグ34及び/又は拡散障壁64によって閉鎖及び/又はシールしてもよい。
着目すべきことには、アンチ・スティクションプロセスを絶縁層50及び導電層54の付着及び/又は形成後に実施されるものとして説明したが、図13のA及びBに示すMEMS10のアンチ・スティクションプロセスは別の順序で行ってもよい。即ち、コンタクト開口部52及びアンチ・スティクション・チャンネルィンドウ56を連続して又は同時に形成してもよい。更に、アンチ・スティクション製造/プロセスは、導電層54の付着後に行ってもよいし、導電層45の付着前に行ってもよい。更に、チャンネルプラグ34は、導電層54の形成及び/又は付着と同時に形成及び/又は付着してもよい。
別の特徴では、本発明は、上文中に説明したアンチ・スティクション技術と関連してウェーハ−ボンディング封入技術を使用する。これに関し、図14を参照すると、一実施例では、MEMS10は、マイクロ機械加工された機械構造12及びウェーハ−ボンデッド封入構造76を含む。マイクロ機械加工された機械構造12は、本明細書中に記載し且つ例示した任意の技術を使用して、又は従来の技術を使用して製造できる。
ウェーハ−ボンデッド封入構造76は、例えば、陽極ボンディングを使用して結合及び/又は「取り付け」されていてもよい。一実施例では、ウェーハ−ボンデッド封入構造76は、キャップウェーハ78(例えばシリコン)、絶縁層80(例えばSOG又はパイレックス)、及び陽極シールド82(例えば金属)を含む。着目すべきことには、ウェーハ−ボンデッド封入構造76は、従来の技術を使用して結合及び/又は「取り付け」されていてもよい。
一実施例では、上文中に説明し且つ例示したアンチ・スティクション技術は、基板14の露呈された表面に「適用」される。これに関し、上文中に説明したようにアンチ・スティクション・チャンネル32を基板14に形成した後、アンチ・スティクション流体をチャンバ26に導入する。次いで、アンチ・スティクション・プラグ34を付着し、及び/又は「再シール」チャンバ26を形成する。
例えば、図15のAを参照すると、MEMS10を、「解放」した機械構造16a−d及びコンタクト領域24が第1犠牲層36、例えば二酸化シリコン又はシリコンナイトライド上に配置された部分的に形成したSOI基板装置で開始してもよい。マイクロ機械加工された機械構造12の構造の製造及び/又は形成は、本明細書中に説明し且つ例示した技術又は任意の従来の技術を使用して行ってもよい。確かに、機械構造12の製造及び/又は形成に使用される全ての技術及び材料は、現在知られていようと後に開発されようと、本発明の範疇に含まれる。
図15のBを参照すると、その後、ウェーハ−ボンデッド封入構造76をマイクロ機械加工された機械構造12に「適用」及び/又は結合してもよい。例えば、一実施例では、陽極技術を使用してウェーハ−ボンデッド封入構造76を結合する。着目すべきことには、ウェーハ−ボンデッド封入構造76は従来の技術を使用してマイクロ機械加工された機械構造に「結合」されていてもよい。更に、ウェーハ−ボンデッド封入構造76の製造及び/又は形成に使用される全ての技術及び材料は、現在知られていようと後に開発されようと、本発明の範疇に含まれる。
図15のC及びDを参照すると、基板14は、コンタクト領域24へのコンタクト即ち相互接続を容易にするために薄く(例えば20μm乃至200μmの厚さまで)できる。これに関し、コンタクト領域24を、上文中に詳細に説明したように、異方性エッチング技術を使用してトレンチ46a及び46bによって絶縁できる(図15のC参照)。その後、コンタクト領域24を例えば集積された又は外部の電子装置及び/又は回路に相互接続するため、電路を付着し及び/又は形成してもよい。これに関し、絶縁層50の付着後に導電層54を付着及び/又は形成してもよい。(図15のD参照)
図15のE及びFを参照すると、アンチ・スティクション・チャンネル32を形成し(図15のE参照)、アンチ・スティクション流体をチャンバ26に導入してもよい。ここでは、上文中に説明し且つ例示した技術を適用してもよい。アンチ・スティクション流体の導入後(又は導入と同時に)、チャンネルプラグ34を付着及び/又は形成し、アンチ・スティクション・チャンネル32を「シール」してもよい。上文中に言及したように、チャンネルプラグ34は、スピンオンポリマー、SOG、金属材料であってもよい。更に、チャンネルプラグ34は、シール−ガラス、プラスチック、及び/又はエポキシのシルクスクリーン又は分配を使用して形成できる。確かに、任意の材料(及び対応する製造技術)を実施でき、一実施例では、チャンバ26内に適当な環境を維持するための障壁を提供し、(1)アンチ・スティクション流体が提供するアンチ・スティクション効果を破壊し及び/又はなくす(例えば機械構造に設けられた単層コーティングの破壊)、及び/又は(2)本発明のアンチ・スティクション技術が適当なアンチ・スティクション特性を提供しないといったことがないパラメータ(例えば温度)を使用して形成され、適用され、及び/又は成長する。
着目すべきことには、上文中に説明したように、チャンバ26の「シール」を高めるため、拡散障壁を組み込んでもよい。拡散障壁単独で又はチャンネルプラグ34と組み合わせ、流体(選択された、所望の、及び/又は所定の状態の流体)をチャンバ26内に「捕捉」する。かくして、アンチ・スティクション・チャンネル32のシール及び/又は閉鎖後、機械構造16a−dは適当なアンチ・スティクション性及び/又は特性を保持する。
更に、薄膜ウェーハの製造(例えば、図2、図5、図8のA及びB)と関連して説明し且つ例示した全てのアンチ・スティクション技術をウェーハ−ボンデッド封入実施例に適用できるということに着目すべきである。簡潔にするため、ここでは議論を繰り返さない。
本明細書中、多くの発明を説明し且つ例示した。これらの発明の特定の実施例、特徴、材料、形体、属性、及び利点を説明し且つ例示したけれども、本発明の多くの他の並びに異なる及び/又は同様の実施例、特徴、材料、形体、属性、構造、及び利点は、説明、図面、及び特許請求の範囲から明らかであるということは理解されるべきである。このように、本明細書中に説明し且つ例示した発明の実施例、特徴、材料、形体、属性、構造、及び利点は網羅的ではなく、本発明のこのような他の、同様の、並びに異なる実施例、特徴、材料、形体、属性、構造、及び利点は、本発明の範疇に含まれるということは理解されるべきである。
例えば、本発明の例示の実施例及び/又はプロセスを特定の順序に従って上文中に説明したが、この順序は、限定であると解釈されるべきではない。例えば、コンタクト開口部52及びアンチ・スティクション・チャンネルィンドウ56は、連続的に(例えば、図3のI乃至K及び図16のB乃至Eを参照されたい)又は同時に(例えば、図20のBを参照されたい)形成できる。更に、アンチ・スティクション製造/プロセスは、導電層54の付着後(例えば、図3のJ乃至Lを参照されたい)、又は導電層54の付着前(例えば、図17のA乃至Fを参照されたい)に行ってもよい。
確かに、アンチ・スティクション・チャンネル32は、基板14にエッチングで形成した複数のチャンネル、封入層30及び/又はウェーハ−ボンデッド封入構造76を含んでもよい。これらのチャンネルは、アンチ・スティクション流体をチャンバ内に更に効率的に、完全に、及び/又は均等に提供することにより、マイクロ機械加工された機械構造12上にアンチ・スティクション層(例えば、単層コーティング又は自己組み立て単層)を更に効率的に、完全に、及び/又は均等に/形態と一致するように形成するため、選択された箇所に配置されていてもよい。これに関し、アンチ・スティクション・チャンネル32は、例えば、基板14、封入層30、及び/又はウェーハ−ボンデッド封入構造76の周囲に均等に配置されていてもよく、又は構造16の相対濃度に従って分配される(例えば、稠密機械構造の領域に更に多くのチャンネル32が集中し及び/又は機械構造が比較的少なく「集中した」領域でチャンネル32の集中が少ない)。
更に、機械構造がマイクロ機械加工された機械構造12の他の構造又はエレメントと接触し易い領域及び/又はスティクションの弱化効果を受け易い領域に従ってアンチ・スティクション・チャンネル32を配置するのが有利である。このようにして、アンチ・スティクション流体は、更に効率的に、完全に、及び/又は均等に/形態と一致してアンチ・スティクション層(例えば、単層コーティング又は自己組み立て単層)をマイクロ機械加工された機械構造12のこのような機械構造に提供する。
更に、チャンネルプラグ34を導電層54の形成及び/又は付着と同時に形成及び/又は付着してもよい。この実施例では、チャンネルプラグ34は、金属又は高度にドーピングした半導体(例えば高度にドーピングしたポリシリコン)であってもよい。(例えば、図18を参照されたい)。こうした場合、チャンネルプラグ34が金属製である場合には、金属材料がチャンバ26に進入した場合にマイクロ機械加工された機械構造12を「保護」するためにトラップ60を使用するのが有利である(例えば、図19のA及びBを参照されたい)。
更に、トラップ60は、マイクロ機械加工された機械構造12の一つ又はそれ以上の層で任意の垂直方向及び/又は水平方向形状をとってもよい。例えば、トラップ60を、チャンバ26にアクセスする前に蛇行形状を含む実質的に水平方向のトラップとして封入層30内に形成してもよい(例えば、図20のA及びBを参照されたい)。
更に、上述のように、本明細書中に説明したアンチ・スティクション技術は、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願及び/又はトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム及びその製造方法特許出願に示されているように垂直方向及び/又は水平方向に積み重ねられた又は相互接続された多数の層をそれ自体含んでいてもよい一つ又はそれ以上のトランスジューサー又はセンサを持つマイクロ機械加工された機械構造12と関連して実施してもよい。従って、本明細書中に例示し且つ説明した任意の及び全てのアンチ・スティクション発明は、垂直方向及び/又は水平方向に積み重ねられた又は相互接続された機械構造、コンタクト領域、及び剥き出しのコンタクトの多数の層を含む、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願及び/又はトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム及びその製造方法特許出願で実施してもよい(例えば、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願の図11のB、C、及びDのマイクロ機械加工された機械構造12、及び/又はトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム及びその製造方法特許出願の図13のB、C、及びDのマイクロ機械加工された機械構造12を参照されたい)。この状況では、MEMSは、機械構造が、垂直方向及び/又は横方向に積み重ねられた又は相互接続された多数の層を提供する一つ又はそれ以上のプロセス工程を含む、本願に記載したアンチ・スティクション技術を使用して製造されてもよい(例えば、図21のA及びB参照)。
かくして、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願及び/又はトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム及びその製造方法特許出願に記載された、マイクロ機械加工された機械構造12の製造及び/又は封入の技術、材料、及び/又は実施例のうちの任意のものを、本明細書中に説明した実施例及び/又は発明で使用してもよい。
更に、本発明は、2003年7月25日に出願された「SOI基板を持つマイクロ電気機械システム用アンカー及びその製造方法」という表題の米国特許出願第10/627,237号(以下、マイクロ電気機械システム用アンカー特許出願と呼ぶ)に記載されており且つ例示されたアンカー及び機械構造16を基板14(並びにMEMS10の他のエレメント、例えばコンタクト24)に固定する技術を実施してもよい。これに関し、図19のA及びBを参照すると、一実施例では、アンカー66及び/又は68は、機械構造の解放プロセスによる影響を受け難い材料で形成されていてもよい。これに関し、エッチ解放プロセスは、アンカー66を形成する材料に関して機械構造16を固定する材料に対し、選択的又は優先的である。更に、アンカー66及び/又は68は、絶縁層50を除去することにより、基板14への機械構造16の固定に影響がほとんど又は全く及ぼされないように、基板14に固定されていてもよい。
本明細書中に説明した実施例は、マイクロ電気機械システム用アンカー特許出願に記載され且つ例示されたMEMS10に組み込むことができるということに着目されるべきである。簡潔にするため、本明細書中に説明し且つ例示したアンチ・スティクション発明と関連して実施したマイクロ電気機械システム用アンカー特許出願に記載され且つ例示された発明及び/又は実施例について、ここでは議論を繰り返さない。しかしながら、例えば実施例及び/又は発明の特徴、属性、変形例、材料、技術、及び利点を含む、マイクロ電気機械システム用アンカー特許出願の内容全体は本明細書中に含まれたものとするということに着目されたい。
特許請求の範囲中の「付着」という用語及び他の形態の用語(即ち、付着物、付着、及び付着した)は、とりわけ、反応器(例えばAPCVD、LPCVD、及びPECVD)を使用して材料層を付着、発生、形成、及び/又は成長することを意味する。
更に、特許請求の範囲において、「接触」という用語は、一部又は全部がチャンバの外側に付着された導電性領域、例えばコンタクト領域及び/又はコンタクトビアを意味する。
マイクロ機械構造又はエレメントを含むマイクロ電気機械システムに関して本発明を説明したが、本発明はこれに限定されないということに着目されるべきである。というよりはむしろ、本明細書中に説明した発明は、例えばナノ電気機械システムを含む他の電気機械システムに適用できる。かくして、本発明は、マイクロ電子装置と全体に適合できる規模にまで機械的構成要素を小型化するリソグラフィー及び他の精密製造技術等の製造技術に従って形成された電気機械システム、例えばジャイロスコープ、共振器、温度センサ、及び/又は加速時計に関する。確かに、薄膜パッケージ技術又はウェーハボンディング技術を使用して封入され、次いで「開放」され、及びアンチ・スティクション流体の適用又は導入後、「再シール」される任意のMEMS構造は、本発明の範囲内に含まれる。最後に、上文中に言及したように、本明細書中に説明し且つ例示した本明細書の全ての実施例は、マイクロ電気機械システム及び封入方法特許出願及び/又はトレンチ分離コンタクトを持つマイクロ電気機械システム特許出願及び/又はマイクロ電気機械システム用アンカー特許出願の実施例で実施できる。簡潔にするため、これらの組み合わせを繰り返さないが、これらに触れたことにより、開示された内容は本明細書中に含まれたものとする。
マイクロ機械構造の一部、例えば「移動自在」の電極及び「固定」電極を持つ、加速時計のインターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの一部の、とりわけコンタクト領域と関連した平面図である。 本発明の特定の特徴による、インターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの部分、図1のコンタクト領域、及びトレンチ絶縁コンタクトの、アンチ・スティクション・プラグ又はキャップの(図1の破線a−a’に沿った)断面図である。 A乃至Lは、本発明の特定の特徴による、アンチ・スティクション・プラグ即ちキャップを含む図2のMEMSの製造のプロセスの様々な段階での断面図である。 本発明の特定の特徴による、図2のマイクロ構造に付着したアンチ・スティクション層の断面図である。 本発明の特定の特徴による、インターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの部分、コンタクト領域、及びトレンチ絶縁コンタクトの、トラップ及びアンチ・スティクション・プラグ又はキャップの(図1の破線a−a’に沿った)断面図である。 A乃至Lは、本発明の特定の特徴による、図5のアンチ・スティクション・プラグ又はキャップの製造のプロセスの様々な段階での断面図である。 A及びBは、本発明の特定の特徴による、トラップによって「捕捉」されたアンチ・スティクション・プラグの材料と関連した、図5の断面図である。 A及びBは、本発明の特定の特徴による、マイクロ構造、及び拡散障壁を含むアンチ・スティクション・プラグ又はキャップの製造の断面図である。 別のマイクロ機械構造の一部、例えば「移動自在」の電極及び「固定」電極を持つ、加速時計のインターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの一部の、とりわけ複数のコンタクト領域と関連した平面図である。 A乃至Cは、本発明の特定の特徴による、図1のインターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの部分、コンタクト領域の、アンチ・スティクション・プラグ又はキャップと関連した、(図1の破線a−a’に沿った)断面図である。 A乃至Cは、本発明の特定の特徴による、図1のインターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの部分、コンタクト領域の、アンチ・スティクション・プラグ又はキャップと関連した、(図1の破線a−a’に沿った)断面図である。 基板に配置したマイクロ電気機械システムの、インターフェース回路及び電極処理電子装置と関連したブロックダイヤグラムである。 A及びBは、マイクロ機械加工された機械構造部分及び集積回路部分を含み、これらの部分の両方が共通の基板上に又は内に配置され又は一体化された、本発明の特定の特徴によるMEMSの断面図である。 本発明の特定の特徴による、アンチ・スティクション・プラグ又はキャップ及びウェーハ−ボンデッド封入構造と関連した図1のインターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイ及びコンタクト領域の部分の(図1の破線a−a’に沿った)断面図である。 A乃至Fは、本発明の特定の特徴による、図14のアンチ・スティクション・プラグ又はキャップを含むMEMSの製造の、プロセスの様々な段階での断面図である。 A乃至Fは、本発明の別の特徴による、インターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの部分、コンタクト領域、及びトレンチ絶縁コンタクトの、アンチ・スティクション・プラグ又はキャップと関連した、プロセスの様々な段階での(図1の破線a−a’に沿った)断面図である。 A乃至Eは、本発明の別の特徴による、インターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイ、コンタクト領域、及びトレンチ絶縁コンタクトの、アンチ・スティクション・プラグ又はキャップと関連した、プロセスの様々な段階での(図1の破線a−a’に沿った)断面図である。 本発明の別の特徴による、インターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイ、コンタクト領域、及びトレンチ絶縁コンタクトの、前記コンタクト領域の上方に配置されており且つ接触した導電層と同じ材料で形成されたアンチ・スティクション・プラグ又はキャップと関連した断面図である。 A及びBは、トラップと関連した、本発明の特定の特徴による、図18の断面図である。 本発明の特定の特徴による、インターディジタル電極アレイ即ち櫛状フィンガ電極アレイの部分の、実質的に水平なトラップと関連した(図1の破線a−a’に沿った)部分断面図である。 実質的に水平なトラップの蛇行形状を示す、(破線A−A’に沿った)図20Aの(横)断面図である。 A及びBは、本発明の特定の特徴による、複数のマイクロ構造及びコンタクトがMEMSの基板上に又は内にモノリシックに一体化されたマイクロ機械構造の断面図である。
符号の説明
10 MEMS
12 機械構造
14 基板
16 機械構造
18 機械部材
20 機械部材
22 フィールド領域
24 コンタクト領域
26 チャンバ
30 封入層

Claims (62)

  1. 少なくとも一部が封入層によって形成された密封チャンバ内に機械構造が配置された電気機械装置の製造方法において、
    前記封入層を通して少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する工程と、
    前記機械構造の少なくとも一部に単層又は自己組み立て層を形成するアンチ・スティクション流体を前記アンチ・スティクション・チャンネルを介して前記チャンバに導入する工程と、
    前記アンチ・スティクション・チャンネル上に又は内にアンチ・スティクション・プラグを付着し、前記チャンバを再シールする工程と
    を含む、方法。
  2. 請求項1に記載の方法において、前記アンチ・スティクション流体は、DDMS、OTS、PFOTCS、PFDA、FDTS、PFPE、又はFOTSを含む、方法。
  3. 請求項1に記載の方法において、前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルは、異方性エッチングを使用して前記封入層を通して形成される、方法。
  4. 請求項3に記載の方法において、前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルは、反応性イオンエッチングを使用して前記封入層を通して形成される、方法。
  5. 請求項1に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグは、スピンオンポリマー、SOG、又は金属材料を含む、方法。
  6. 請求項1に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグは、シルクスクリーンを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、方法。
  7. 請求項1に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグは、分配されたシール−ガラス、プラスチック、又はエポキシを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、方法。
  8. 請求項1に記載の方法において、前記電気機械装置は、コンタクト領域を更に含み、前記方法は、
    少なくとも部分的に前記チャンバの外側に配置された前記コンタクト領域の周囲にトレンチを形成する工程、及び
    前記トレンチに第1絶縁材料を付着し、前記コンタクト領域を電気的に絶縁する工程を更に含む、方法。
  9. 請求項8に記載の方法において、
    第2絶縁層を前記トレンチの少なくとも一部上に付着する工程、及び
    高導電性材料を前記コンタクトに及び前記第2絶縁層上に付着し、前記コンタクト領域に対する電気的接続を提供する工程を更に含む、方法。
  10. 請求項8に記載の方法において、
    第2絶縁層を前記トレンチの少なくとも一部の上に付着する工程、及び
    前記封入層を通して前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する前に前記第2絶縁層にアンチ・スティクション・ウインドウを形成する工程を更に含む、方法。
  11. 請求項10に記載の方法において、高導電性材料を前記コンタクトに及び前記第2絶縁層上に付着し、前記コンタクト領域に対する電気的接続を提供する工程を更に含み、前記アンチ・スティクション・プラグの少なくとも一部は、前記高導電性材料でできている、方法。
  12. 請求項10に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグに拡散障壁を付着する工程を更に含む、方法。
  13. 請求項12に記載の方法において、前記拡散障壁は、ポリシリコン、ゲルマニウム、シリコン/ゲルマニウム、シリコン酸化物、シリコンナイトライド、BPSG、PSG、SOG、又は金属担体材料でできている、方法。
  14. 請求項10に記載の方法において、高導電性材料を前記コンタクトに及び前記第2絶縁層及びアンチ・スティクション・プラグ上に付着する工程を更に含み、前記高導電性材料は、前記チャンバに対し、拡散に対する障壁を提供し、前記コンタクト領域に対して電気的相互接続を提供する、方法。
  15. 請求項8に記載の方法において、前記トレンチは、前記封入層を通して前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成するのと同時に形成される、方法。
  16. 機械構造が基板上に、及び少なくとも一部が封入構造によって形成された密封チャンバ内に配置された電気機械装置の製造方法において、
    前記封入層を通して少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する工程と、
    前記機械構造の少なくとも一部に単層又は自己組み立て層を形成するアンチ・スティクション流体を前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを介して前記チャンバに導入する工程と、
    前記アンチ・スティクション・チャンネル上に又は内にアンチ・スティクション・プラグを付着し、前記チャンバを再シールする工程と
    を含む、方法。
  17. 請求項16に記載の方法において、前記アンチ・スティクション流体は、DDMS、OTS、PFOTCS、PFDA、FDTS、PFPE、又はFOTSを含む、方法。
  18. 請求項16に記載の方法において、前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルは、異方性エッチングを使用して前記基板を通して形成される、方法。
  19. 請求項18に記載の方法において、前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルは、反応性イオンエッチングを使用して前記封入層を通して形成される、方法。
  20. 請求項16に記載の方法において、前記封入構造を陽極ボンディングを使用して前記機械構造上に固定する工程を更に含む、方法。
  21. 請求項20に記載の方法において、前記封入構造は陽極シールドを含む、方法。
  22. 請求項21に記載の方法において、前記封入構造は、キャップウェーハに配置された絶縁層を含む、方法。
  23. 請求項21に記載の方法において、前記陽極シールドは前記絶縁層に配置されている、方法。
  24. 請求項16に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグは、スピンオンポリマー、SOG、又は金属材料を含む、方法。
  25. 請求項16に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグは、シルクスクリーンを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、方法。
  26. 請求項16に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグは、分配されたシール−ガラス、プラスチック、又はエポキシを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、方法。
  27. 請求項16に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグは、シャドーマスク技術を使用して付着されている、方法。
  28. 請求項16に記載の方法において、前記電気機械装置はコンタクト領域を更に含み、前記方法は、更に、
    前記基板に前記コンタクト領域の周囲にトレンチを形成する工程、及び
    第2封入材料を前記トレンチに付着し、前記コンタクト領域を電気的に絶縁する工程を含む、方法。
  29. 請求項28に記載の方法において、
    第2絶縁層を前記トレンチの少なくとも一部上に付着する工程、及び
    高導電性材料を前記コンタクト領域に及び前記第2絶縁層上に付着し、前記コンタクト領域に対する電気的接続を提供する工程を更に含む、方法。
  30. 請求項28に記載の方法において、
    第2絶縁層を前記トレンチの少なくとも一部の上に付着する工程、及び
    前記基板を通して前記少なくとも一つのアンチ・スティクション・チャンネルを形成する前に前記第2絶縁層にアンチ・スティクション・ウインドウを形成する工程を更に含む、方法。
  31. 請求項30に記載の方法において、高導電性材料を前記コンタクトに及び前記第2絶縁層上に付着し、前記コンタクト領域に対する電気的接続を提供する工程を更に含み、前記アンチ・スティクション・プラグは、前記高導電性材料でできている、方法。
  32. 請求項30に記載の方法において、前記アンチ・スティクション・プラグに拡散障壁を付着する工程を更に含む、方法。
  33. 請求項30に記載の方法において、前記拡散障壁は、ポリシリコン、ゲルマニウム、シリコン/ゲルマニウム、シリコン酸化物、シリコンナイトライド、BPSG、PSG、SOG、又は金属担体材料でできている、方法。
  34. 請求項30に記載の方法において、前記アンチ・スティクション流体は、DDMS、OTS、PFOTCS、PFDA、FDTS、PFPE、又はFOTSを含む、方法。
  35. 請求項30に記載の方法において、高導電性材料を前記コンタクトに及び前記第2絶縁層及びアンチ・スティクション・プラグ上に付着する工程を更に含み、前記高導電性材料は、前記チャンバに対し、拡散に対する障壁を提供し、前記コンタクト領域に対して電気的相互接続を提供する、方法。
  36. 電気機械装置において、
    基板と、
    前記基板上に配置された、単層又は自己組み立て層がその少なくとも一部に配置された機械構造と、
    前記機械構造上に配置され、チャンバを画成しシールする薄膜封入構造と、
    前記チャンバ内に配置された前記機械構造の少なくとも一部へのアクセスを提供するため、エッチングによって前記薄膜封入構造内に形成されたアンチ・スティクション・チャンネルと、
    前記アンチ・スティクション・チャンネル上に又は内に配置され、前記チャンバを再シールするアンチ・スティクション・プラグと
    を含む、装置。
  37. 請求項36に記載の装置において、前記薄膜封入構造は、第1及び第2の封入層を含む、装置。
  38. 請求項37に記載の装置において、前記第1封入層は、多晶質シリコン、多孔質多晶質シリコン、非晶質シリコン、シリコンカーバイド、シリコンナイトライド、シリコン/ゲルマニウム、ゲルマニウム、又はガリウム砒素でできている、装置。
  39. 請求項37に記載の装置において、前記第2封入層は、多晶質シリコン、多孔質多晶質シリコン、非晶質シリコン、ゲルマニウム、シリコン/ゲルマニウム、ガリウム砒素、又はシリコンカーバイドでできている、装置。
  40. 請求項36に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、スピンオンポリマー、SOG、又は金属材料を含む、装置。
  41. 請求項36に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、シルクスクリーンを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、装置。
  42. 請求項36に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、分配されたシール−ガラス、プラスチック、又はエポキシを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、装置。
  43. 請求項36に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、シャドーマスク技術を使用して付着された、装置。
  44. 請求項36に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・チャンネルと前記機械構造との間に配置されたトラップを更に含む、装置。
  45. 請求項44に記載の装置において、前記トラップは実質的に垂直なトラップである、装置。
  46. 請求項44に記載の装置において、前記トラップは実質的に水平なトラップである、装置。
  47. 請求項35に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグ上に配置された拡散障壁を更に含む、装置。
  48. 請求項47に記載の装置において、前記拡散障壁は金属材料で形成されている、装置。
  49. 電気機械装置において、
    基板と、
    前記基板上に配置された、単層又は自己組み立て層がその少なくとも一部に配置された機械構造と、
    前記機械構造上に配置され、チャンバを画成しシールするウェーハボンデッド封入構造と、
    前記チャンバ内に配置された前記機械構造の少なくとも一部へのアクセスを提供するため、エッチングによって前記基板内に形成されたアンチ・スティクション・チャンネルと、
    前記アンチ・スティクション・チャンネル上に又は内に配置され、前記チャンバを再シールするアンチ・スティクション・プラグと
    を含む、装置。
  50. 請求項49に記載の装置において、前記封入構造は、陽極ボンディングを使用して前記機械構造上に固定されている、装置。
  51. 請求項49に記載の装置において、前記封入構造は陽極シールドを含む、装置。
  52. 請求項49に記載の装置において、前記封入構造は、キャップウェーハに配置された絶縁層を含む、装置。
  53. 請求項49に記載の装置において、前記陽極シールドは前記絶縁層に配置されている、装置。
  54. 請求項49に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、スピンオンポリマー、SOG、又は金属材料を含む、装置。
  55. 請求項49に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、シルクスクリーンを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、装置。
  56. 請求項49に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、分配されたシール−ガラス、プラスチック、又はエポキシを使用して付着されたスピンオンポリマー又はSOGを含む、装置。
  57. 請求項49に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグは、シャドーマスク技術を使用して付着された、装置。
  58. 請求項49に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・チャンネルと前記機械構造との間に配置されたトラップを更に含む、装置。
  59. 請求項58に記載の装置において、前記トラップは実質的に垂直なトラップである、装置。
  60. 請求項58に記載の装置において、前記トラップは実質的に水平なトラップである、装置。
  61. 請求項49に記載の装置において、前記アンチ・スティクション・プラグ上に配置された拡散障壁を更に含む、装置。
  62. 請求項49に記載の装置において、前記拡散障壁は金属材料で形成されている、装置。
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