JP4712671B2 - ナノピンセットおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のナノピンセットにおいて、撥水性の化学吸着単分子膜が形成されず酸化シリコン層が露出している面に、親水性の導電膜を形成したことを特徴とする。
ついては周知であるので(例えば、上述した特許文献1参照)、ここでは説明を省略する
。ナノピンセット1の形成に用いる基板としては、SOI基板の他に、ガラス基板上に単
結晶シリコン層を有する基板や、アモルファスシリコン基板やポリシリコン基板上にSOI層を有する基板なども用いることができる。いずれの場合も、シリコン層にアーム3等が形成される。
次に、ナノピンセット1に撥水性の膜を形成する方法について説明する。上述したように、ナノピンセット1のアーム3や駆動部6もシリコンによって形成されている。そのため、化学吸着単分子膜(撥水性膜)を形成するために、シリコン表面に熱酸化によりSiO2層を形成する。その後、フッ化炭素基と炭化水素基とアルコキシシリル基とを主成分とする物質を用いて、SiO2層上に化学吸着単分子膜を形成する。
上述したように、本実施の形態のナノピンセット1では、ピンセット表面に化学吸着単分子膜207が形成されているので撥水性に優れている。そのため、水分を帯びた微粒子がナノピンセット1の表面に付着し難い。物体表面に付着している微粒子の付着力はメニスカス力,静電気力,ファンデルワールス力などに起因しているが、微粒子やナノピンセット1が電荷を帯びていない場合には、大気中の水分が凝縮して形成されたメニスカス力が大きな影響を与える。
F=4πRγ(cosθ1+cosθ2) …(1)
上述した実施の形態では、ナノピンセット表面に化学吸着単分子膜207を形成することで、汚れが付き難いナノピンセットが得られるようにした。そのため、図8(a)に示すように液膜80に覆われた試料81を把持するときに、表面が撥水性であるため試料81の位置が移動しやすく把持し難い場合が生じる。そこで、変形例1のナノピンセット1では、試料を把持するグリップ部3aに化学吸着単分子膜207が形成されない非撥水領域301を設けた。
ナノピンセット1の場合、試料が非常に微小であるため、その質量に起因する重力よりも電荷に起因する静電力の方が支配的になる。そのため、ナノピンセット1が静電気を帯びているような場合、試料を把持しようとナノピンセット1を近づけたときに静電反発力によって試料が弾かれたように動いてしまって把持できない場合が生じる。そこで、変形例2では、絶縁性の化学吸着単分子膜207に代えて導電性の撥水性膜をアーム3に形成し、その導電性撥水性膜をアースすることでアーム3が帯電するのを防止するようにした。
Claims (2)
- 開閉自在な一対のアームと、
前記一対のアームの少なくとも一方に形成された櫛歯可動電極、および、該櫛歯可動電極と隙間を介して噛合するように形成された櫛歯固定電極を有し、アーム開閉動作を行わせる駆動部と、
前記アームの各々に形成された試料把持部と、を備え、
前記アームおよび前記駆動部の各々の表面には撥水性の化学吸着単分子膜が形成され、
前記試料把持部は、
シリコン基材と、
前記シリコン基材の表面に形成された酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の表面の一部領域であって前記試料把持部の互いに対向する把持面の一部を含む領域が露出するように、前記酸化シリコン層の表面に形成された前記撥水性の化学吸着単分子膜と、を有することを特徴とするナノピンセット。 - 請求項1に記載のナノピンセットにおいて、
前記撥水性の化学吸着単分子膜が形成されず前記酸化シリコン層が露出している面に、親水性の導電膜を形成したことを特徴とするナノピンセット。
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