JP2005529318A - 少なくとも1つの生物学的溶液を、能動的に制御しかつ局在化して堆積するための装置 - Google Patents
少なくとも1つの生物学的溶液を、能動的に制御しかつ局在化して堆積するための装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005529318A JP2005529318A JP2004504625A JP2004504625A JP2005529318A JP 2005529318 A JP2005529318 A JP 2005529318A JP 2004504625 A JP2004504625 A JP 2004504625A JP 2004504625 A JP2004504625 A JP 2004504625A JP 2005529318 A JP2005529318 A JP 2005529318A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lever
- deposition
- reservoir
- silicon
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/02—Burettes; Pipettes
- B01L3/0241—Drop counters; Drop formers
- B01L3/0244—Drop counters; Drop formers using pins
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/02—Burettes; Pipettes
- B01L3/0241—Drop counters; Drop formers
- B01L3/0244—Drop counters; Drop formers using pins
- B01L3/0248—Prongs, quill pen type dispenser
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
- B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/16—Surface properties and coatings
- B01L2300/161—Control and use of surface tension forces, e.g. hydrophobic, hydrophilic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0415—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0433—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces vibrational forces
- B01L2400/0439—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces vibrational forces ultrasonic vibrations, vibrating piezo elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49995—Shaping one-piece blank by removing material
- Y10T29/49996—Successive distinct removal operations
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Steroid Compounds (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
- Peptides Or Proteins (AREA)
- Micro-Organisms Or Cultivation Processes Thereof (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
- Infusion, Injection, And Reservoir Apparatuses (AREA)
Abstract
Description
このような研究費を減少させる新規な分析方法が必要である。
- 新規な、より感度の高い検出方法の開発を可能にし;
- 反応物のより少ない容量を必要とするので、より少ない費用となり;
- その小さい寸法のために、より迅速な分析手法を可能にし;そして
- いずれかの1つの表面に多数の異なる溶液が存在するために、スクリーニングまたは診断の研究を行うことを可能にする。
- または第二の場合において、金属(ステンレス鋼、タングステンなど)でできた割りピンからなる受動機構(この第二の場合において、液体は毛細管効果により吸引され、ピンの末端をガラススライドと接触させることにより堆積される) (コンタクト堆積システム)
のいずれかに基づいている。我々は、その作動原理が割りピンからなる機構で用いられる原理と同様であるピン-リングシステムについても言及する(この場合、リングは液体貯蔵部として作用する)。
"Dip-pen Nanolithography" R.D. Piner、J. Zhu、F. Xu、S. HongおよびC.A. Mirkin、Science、第283巻、第661〜663頁、1999年1月29日;
"Multiple Ink Nanolithography : toward a Multiple-Pen Nano-Plotter"、S. Hong、J. ZhuおよびC.A. Mirkin、Science、第286巻、第523〜525頁、1999年10月15日;
"Surface organization and nanopatterning of collagen by dip-pen nanolithography"、D.L. Wilson、R. Martin、S. Hong、M. Cronin-Golomb、C.A. MirkinおよびD.L. Kaplan、Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America、第98巻、第24号、2001年11月20日、第13660〜13664頁;ならびに
"Dip-Pen nanolithography on semiconductor surfaces"、A. IvanisevicおよびC.A. Mirkin、Journal of the American Chemical Society、第123巻、第32号、2001年8月15日、第7887〜7889頁。
"Micromachined needle arrays for drug delivery or fluid extraction"、IEEE Engineering in Medicine and Biology Magazine:the Quarterly Magazine of the Engineering in Medicine & Biology Society、第18巻、第6号、1999年11月〜12月、第53〜58頁、J. Brazzle、I. PapautskyおよびA.B. Frazier。
"Electrospray deposition as a method for a mass fabrication of mono and multicomponent microarrays of biological and biologically active substances"、V.N. MorozovおよびT. Ya. Morozova、Analytical Chemistry、第71巻、第15号、1999年8月1日、第3110〜3117頁;ならびに
"Atomic force microscopy of structures produced by electrospraying polymer solutions"、Victor N. Morozov、Tamara Ya MorozovaおよびNeville R. Kallenbach、International Journal of Mass Spectrometry、第178巻、第3号、1998年11月9日、第143〜159頁。
"Electrowetting and electrowetting-on-dielectric for microscale liquid handling"、J. Lee、H. Moon、J. Fowler、T. SchoellhammerおよびC.J. Kim、Sensors and Actuators、A 95、第259〜268頁、2002;ならびに
"Dielectrophoretic liquid actuation and nanodroplet formation"、T.B. Jones、M. Gunji、M. WashizuおよびM.J. Feldman、Journal of Applied Physics、第89巻、第2号、第1441〜1448頁、2001。
まして、このような液滴が、ブリッジ、ビームまたはメンブレンタイプの微小構造上に、精密かつ能動的に制御された方法で堆積されるのを許容する公知の堆積システムはなかった。
本発明の別の主題は、異なる生物学的分子の堆積のための堆積装置である。
本発明の別の主題は、構造または微小構造の完全性を維持する条件下で、構造または微小構造との接触により微小液滴を堆積するための堆積装置である。
有利には、該金属通路は、該貯蔵部と少なくとも部分的に並んで走る。
別の実施形態によると、貯蔵部は、中心体の2つの対向する主要面の間に備えられた貫通開口部(emergent opening)からなる。
有利には、本装置は少なくとも1つの打込み(implanted)圧電抵抗体を有する。
好ましい実施形態によると、該アクチュエータは、該レバーの表面上に堆積された圧電層を含む。
別の好ましい実施形態によると、該アクチュエータは、バイメタルストリップと、該レバーの表面上に堆積された加熱抵抗体とを含む。
a) 埋込み絶縁層を有するシリコン-オン-インシュレータ(SOI)基板の前面上に酸化シリコンを堆積させる、少なくとも1つの工程;
b) 各レバーについて、少なくとも1つの金属通路の作製;
c) レバーおよび少なくとも1つのスリットもしくは溝の輪郭を区画するために、シリコン基板の前面から行われる少なくとも1つの化学またはイオンエッチング工程であって、レバーの輪郭は、埋込み絶縁層にまで至る(down to)化学またはイオンエッチングにより、区画される工程;
d) 埋込み絶縁層を含む基板の裏面を除去し、かつ少なくとも1つのレバーを解放するために、基板の裏面から行われる化学またはイオンエッチング工程
を含むことを特徴とする上記の装置を組み立てる方法にも関する。
b1) 少なくとも1つの金属通路を隔離するために、前面上に酸化物を堆積させる第二の工程
も含むことを特徴とすることができる。
有利には、a)の前に、少なくとも1つの圧電抵抗体の打込み工程が行われる。
好ましい実施形態によると、該一体型アクチュエータの堆積工程は、スパッタリングによるPbZrO3/PbTiO3の圧電フィルムの堆積を含む。
有利には、該圧電フィルムは、次の:酸化シリコン、「テフロン(登録商標)」PTFE、ポリマーから選択される材料の層により液体から隔離される。
圧電抵抗体を有する装置を用いる場合、採取された生物学的溶液の量を測定するために、有利には該圧電抵抗体の電気抵抗の変動の測定をサンプリングの後に行う。
圧電抵抗体を有する装置を用いる場合、堆積された生物学的溶液の量を測定するために、有利には該圧電抵抗体の電気抵抗の変動の測定を堆積の後に行う。
- 図1Aおよび1B、2Aおよび2B、3Aおよび3B、ならびに4Aおよび4Bは、本発明によるレバーの実施形態を説明し;
- 図5は、一体型圧電抵抗体を有するレバーの実施形態のVI-VIでの断面図を説明し;
- 図6Aおよび6Bは、一体型アクチュエータを有する2つのその他のレバーの実施形態のVI-VIでの断面図を説明し;
- 図8A〜8Jは、本発明によるレバーの組立方法を説明し;
- 図9A〜9Dは、液体を採取し、そしてそれを堆積させる種々の方法を説明する。
レバー長さ: 1〜2 mm
幅: 100〜300μm、例えば210μm
厚さ: 1〜20μm (当初のSOI基板の厚みによる)
レバー間の間隙: 450μm (例えば)
チャネル長さ: 200〜400μm、例えば250μm (貯蔵部を設けた場合);200〜1000μm、例えば550μm (貯蔵部なし)
チャネル幅: 2〜20μm、例えば5μm
貯蔵部長さ: 200〜600μm、例えば250μm
貯蔵部幅: 50〜150μm、例えば80μm
導電路幅: 1〜40μm、例えば20μm。
圧電抵抗体31も、レバーの裏面上に一体化されることができる(図5)。
圧電抵抗体31およびアクチュエータ33−35−37または38の両方は、パッシベーション膜32により液体から隔離される。
a) 堆積される容量の減少:本発明のシステムにより作られる堆積は、例えば10ミクロンのオーダーの径(ピコリットル)を有し、この特徴はパラメータで表示可能である;直径1μmのオーダーの微小液滴(フェムトリットル)を得て、本装置を現在用いられているナノテクノロジーのアプローチ(特にナノセンサー上への液滴の堆積)に適合させることが考えられる;ならびに
b) エレクトロウェッティング、誘電泳動およびエレクトロスプレーを活用するための電極として用いられる金属通路8および/または9を介して液体の採取ならびに堆積の操作を能動的に制御できる可能性;および/または
d) 非常に少ない容量の使用可能性、およびそれによる単回のレバー採取での多数のドットの作製(1回の採取で直径20ミクロンの液滴が100またはそれより多くつくられる);および/または
f) マイクロレバー上でひずみゲージとして働く圧電抵抗体を一体化することにより、力および接触時間を能動的に制御すると共に、コンタクト堆積段階の間にレバーの列を堆積表面に関して整列させることができる可能性;および/または
h) 非常に感度の高いはかりとして作動する、該圧電抵抗体により採取され堆積される液体の量の測定;および/または
j) マイクロエレクトロニクスに由来する集合的組立技術の使用おかげで大幅に減少されたコスト;例を挙げると、市販のステンレス鋼のピンは300〜400ドルかかるが、本発明によるシリコンマイクロレバーの組立費用は、顕著に低減された全体の費用を予想させる
を許容する。
"Translating Biomolecular Recognition into Nanomechanics"、J. Fritz、M.K. Baller、H.P. Lang、H. Rothuizen、P. Vettiger、E. Meyer、H.-J. Guentherodt、Ch. GerberおよびJ.K. Gimzewski、Science、第288巻、第316〜318頁(2000);ならびに
フランス特許出願第2 823 998号
を参照。
圧電作動に関しては"Piezoelectric properties of PZT films for microcantilevers"、E. Cattan、T. Haccart、G. Velu、D. Remiens、C. BergaudおよびL. Nicu、Sensors and Actuators 74、第60〜64頁(1999);および
熱機械(バイメタルストリップ)作動に関しては"Micromachined arrayed dip-pen nanolithography probes for sub-100 nm direct chemistry patterning"、D. Bullen、X. Wang、J. Zou、S. Hong、S.-W. Chung、K. Ryu、Z. Fan、C. MirkinおよびC. Liu、IEEE 16th International Conference on Microelectromechanical Systems、January 19〜23、2003、Kyoto、Japan、第4〜7頁
を参照。
第一の工程(図8A)は、埋込み酸化物層30を有するシリコン基板20の前面21上へのLPCVD (減圧化学気相蒸着)による酸化シリコン22の堆積である。酸化物層22は、基板とそれに続く金属被覆との間の絶縁体として働く。
"PZT Polarization effects on off-centered PZT patch actuating silicon membranes"、M. Guirardel、C. Bergaud、E. Cattan、D. Remiens、B. Belier、S. PetitgrandおよびA. Bosseboeuf、16th European Conference on Solid State Transducers (EUROSENSORS XVI)、Prague (Czech Republic)、September 15〜18、2002、第697〜700頁
に記載されるようにスパッタリングにより堆積されていてもよい。
"High-speed atomic force microscopy in liquid"、T. Sulchek、R. Hsieh、S.C. Minne、C.F. QuateおよびD.M. Adderton、Review of Scientific Instruments 71、第2097〜2099頁(2000)。
まず、特性が知られているので、シリコンから誘導される材料を変更することができる:つまり、酸化シリコンは親水性化合物として用いられ、単結晶シリコンは疎水性材料として用いられる。
三軸(X、Y、Z)マイクロロボットにより、本発明のマイクロレバーを充填段階および堆積段階のために用いることが可能になる。
堆積段階については、マイクロロボットを用いて、堆積を受けようとする表面に関して非常に精密に微小構造を配置する。次いで、表面との直接接触、またはコンタクトレス電界効果により堆積が起こる。印加される電界が生体分子のスプレーの発生および微粒化(atomization)を起こすのに充分なほど高い場合、スプレー堆積技術を考慮することも可能である。
各軸に沿った移動は、ステッピングモータにより与えられる。AC電流を供給される各モータは、リニア位置センサと連携して閉回路位置制御を許容する。
第一工程(図9A)は、レバーの軸に沿って機械加工されたチャネルおよび貯蔵部(存在する場合)を充填することにある。これを行うために、制御ソフトウェアは、堆積される液体を含む貯蔵部の上にレバーを位置させ、そしてそれらをこの液体中に浸漬させる。次いで、レバー上の機械加工された電極と液体との間に電圧を印加することにより、電界がつくられる。次に、レバーを液体から外に移動させ、そしてロボットが、堆積される最初のスポットの位置の上方にそれらを配置する。
2 末端
3 先端
4 溝(チャネル)
5 スリット(チャネル)
6 貯蔵部
7 貯蔵部
8 金属通路
9 金属通路
10 面
11 面
12 面
20 基板
21 前面
22 酸化物層
25 金属通路
26 酸化物層
27 シリコン層
29 シリコン層
30 酸化物層
31 圧電抵抗体
32 酸化物層
33 アクチュエータ(Si3N4層)
35 アクチュエータ(クロム層)
37 アクチュエータ(金層)
38 圧電層
Claims (26)
- 中心体と、スリットまたは溝を備えてなる先端を形成する末端領域とを有する少なくとも1つの平坦シリコンレバーを含み、中心体の1つの面に備えられかつ前記スリットまたは溝と少なくとも部分的に並んで走る少なくとも1つの金属通路を有することを特徴とする生物学的溶液を堆積させる装置。
- スリットまたは溝が、先端から、中心体に備えられた貯蔵部まで延びることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 単独または複数の金属通路が、貯蔵部と少なくとも部分的に並んで走ることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- 貯蔵部が、中心体の1つの主要面内に備えられた非貫通陥没部であることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- 貯蔵部が、中心体の2つの対向する主要面の間に備えられた貫通開口部からなることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- スリットもしくは溝および/または貯蔵部および/または金属通路が、SiO2で被覆されていることを特徴とする、先行する請求項の1つに記載の装置。
- レバーが、シリコンまたは代わりに疎水性シランで被覆された酸化シリコンでできた少なくとも1つの疎水性領域を有することを特徴とする、先行する請求項の1つに記載の装置。
- 少なくとも1つの打込み圧電抵抗体を有することを特徴とする、先行する請求項の1つに記載の装置。
- 少なくとも1つのレバーまたは各レバーが、その曲げを調節するための少なくとも1つの一体型アクチュエータを有することを特徴とする、先行する請求項の1つに記載の装置。
- アクチュエータが、レバーの表面上に堆積された圧電層を含むことを特徴とする、請求項9に記載の装置。
- アクチュエータが、バイメタルストリップと、レバーの表面上に堆積された加熱抵抗体とを含むことを特徴とする、請求項9に記載の装置。
- a) 埋込み絶縁層を有するシリコン-オン-インシュレータ基板の前面上に酸化シリコンを堆積させる少なくとも1つの工程;
b) 各レバーについて、少なくとも1つの金属通路の作製;
c) レバーおよび少なくとも1つのスリットもしくは溝の輪郭を区画するために、シリコン基板の前面から行われる少なくとも1つの化学またはイオンエッチング工程であって、レバーの輪郭は、埋込み絶縁層にまで至る化学またはイオンエッチングにより区画される工程;
d) 埋込み絶縁層を含む基板の裏面を除去し、かつ少なくとも1つのレバーを解放するために、基板の裏面から行われる化学またはイオンエッチング工程
を含むことを特徴とする、先行する請求項の1つに記載の装置を組み立てる方法。 - b)が:
b1) 少なくとも1つの金属通路を隔離するために、前面上に酸化物を堆積させる第二の工程
も含むことを特徴とする、請求項12に記載の方法。 - c)が、レバーの輪郭に加えて、少なくとも1つのレバーについてスリットおよび/または貯蔵部を構成する貫通開口部を区画するために、埋込み絶縁層にまで至る化学またはイオンエッチングを含むことを特徴とする、請求項12および13のいずれかに記載の方法。
- c)が、基板の第一の化学またはイオンエッチング(この操作は、少なくとも1つのレバーについて、貯蔵部を形成する非貫通陥没部および/または少なくとも1つの溝を区画するために、埋込み絶縁層の前で停止される)、ならびに少なくともレバーの輪郭を区画するために、埋込み絶縁層にまで至る基板の第二の化学またはイオンエッチングを含むことを特徴とする、請求項12〜14の1つに記載の方法。
- 第一の化学またはイオンエッチングの間に、レバーの輪郭がそれらの厚みの一部にわたって区画される、請求項12〜15の1つに記載の方法。
- a)の前に、少なくとも1つの圧電抵抗体の打込み工程が行われることを特徴とする、請求項12〜16の1つに記載の方法。
- 一体型アクチュエータの堆積工程も含むことを特徴とする、請求項12〜17の1つに記載の方法。
- 一体型アクチュエータの堆積工程が、スパッタリングによるPbZrO3/PbTiO3の圧電フィルムの堆積を含むことを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 圧電フィルムが、次の:酸化シリコン、「テフロン(登録商標)」PTFE、ポリマーから選択される材料の層により液体から隔離されることを特徴とする、請求項19に記載の方法。
- 一体型アクチュエータの堆積工程が、Si3N4層の減圧化学気相蒸着(LPCVD)と、加熱抵抗体をつくり、それによりバイメタルストリップを形成するための、その後の蒸着によるCr層およびAu層の堆積とを含むことを特徴とする、請求項18に記載の方法。
- 生物学的溶液のサンプリングおよび保持が、金属通路の間に電位差を印加することによる電界効果により補助されることを特徴とする、請求項1〜12の1つに記載の装置を用いて少なくとも1つの生物学的溶液をサンプリングする方法。
- 生物学的溶液の堆積が、同じ電位に維持されている該金属通路と、少なくとも1つの導電層を有する堆積表面との間に電位差を印加することによる電界効果により補助されることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか1つに記載の装置を用いて少なくとも1つの生物学的溶液を堆積させる方法。
- 採取された生物学的溶液の量を測定するために、圧電抵抗体の電気抵抗の変動の測定をサンプリングの後に行うことを特徴とする、請求項8に記載の装置を用いて少なくとも1つの生物学的溶液をサンプリングする方法。
- 圧電抵抗体の電気抵抗の変動の測定が、堆積された生物学的溶液の量を測定するために、堆積の後に行われることを特徴とする、請求項8に記載の装置を用いて少なくとも1つの生物学的溶液を堆積させる方法。
- 各レバーの堆積表面との接触力が、各一体型アクチュエータにより能動的に制御される各打込み圧電抵抗体の電気抵抗の変動を測定することにより決定されることを特徴とする、請求項8および9に記載の装置の列を用いる少なくとも1つの生物学的溶液の接触堆積方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0206016A FR2839662B1 (fr) | 2002-05-16 | 2002-05-16 | Dispositif de depot localise d'au moins une solution biologique |
PCT/FR2003/001481 WO2003097238A1 (fr) | 2002-05-16 | 2003-05-15 | Dispositif de depot localise et controle activement d'au moins une solution biologique. |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005529318A true JP2005529318A (ja) | 2005-09-29 |
JP2005529318A5 JP2005529318A5 (ja) | 2006-05-25 |
JP4243586B2 JP4243586B2 (ja) | 2009-03-25 |
Family
ID=29286539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004504625A Expired - Fee Related JP4243586B2 (ja) | 2002-05-16 | 2003-05-15 | 少なくとも1つの生物学的溶液を、能動的に制御しかつ局在化して堆積するための装置 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8079832B2 (ja) |
EP (1) | EP1509324B1 (ja) |
JP (1) | JP4243586B2 (ja) |
AT (1) | ATE333940T1 (ja) |
AU (1) | AU2003251044A1 (ja) |
CA (1) | CA2485749C (ja) |
DE (1) | DE60307095T2 (ja) |
DK (1) | DK1509324T3 (ja) |
FR (1) | FR2839662B1 (ja) |
WO (1) | WO2003097238A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008110436A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Aoi Electronics Co Ltd | ナノピンセットおよびその製造方法 |
JP2013078758A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-05-02 | Sharp Corp | エレクトロウェッティングおよび誘電泳動を利用した、液体制御用アクティブマトリクス装置および駆動方法 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7241420B2 (en) | 2002-08-05 | 2007-07-10 | Palo Alto Research Center Incorporated | Capillary-channel probes for liquid pickup, transportation and dispense using stressy metal |
US8080221B2 (en) | 2002-08-05 | 2011-12-20 | Palo Alto Research Center Incorporated | Capillary-channel probes for liquid pickup, transportation and dispense using stressy metal |
US8071168B2 (en) * | 2002-08-26 | 2011-12-06 | Nanoink, Inc. | Micrometric direct-write methods for patterning conductive material and applications to flat panel display repair |
FR2862239B1 (fr) * | 2003-11-14 | 2007-11-23 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de reception d'un echantillon de fluide, et ses applications |
FR2865806B1 (fr) * | 2004-01-30 | 2007-02-02 | Commissariat Energie Atomique | Laboratoire sur puce comprenant un reseau micro-fluidique et un nez d'electronebulisation coplanaires |
EP1748846B1 (en) * | 2004-04-30 | 2015-04-01 | Bioforce Nanosciences, Inc. | Method and apparatus for depositing material onto a surface |
WO2007008507A2 (en) * | 2005-07-06 | 2007-01-18 | Mirkin Chad A | Phase separation in patterned structures |
KR20090049578A (ko) | 2006-06-28 | 2009-05-18 | 노쓰웨스턴유니버시티 | 에칭 및 홀 어레이 |
KR100790903B1 (ko) * | 2007-01-23 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 전기전하집중과 액기둥 잘림을 이용한 액적 토출 장치 및그 방법 |
US8293337B2 (en) * | 2008-06-23 | 2012-10-23 | Cornell University | Multiplexed electrospray deposition method |
US9925547B2 (en) * | 2014-08-26 | 2018-03-27 | Tsi, Incorporated | Electrospray with soft X-ray neutralizer |
FR3032357B1 (fr) * | 2015-02-10 | 2017-03-10 | Dev Techniques Plastiques Holding D T P Holding | Inoculateur de fluide |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4115750A (en) * | 1973-10-10 | 1978-09-19 | Amp Incorporated | Bimetal actuator |
CH679555A5 (ja) * | 1989-04-11 | 1992-03-13 | Westonbridge Int Ltd | |
DE59600820D1 (de) * | 1995-02-01 | 1998-12-24 | Rossendorf Forschzent | Elektrisch steuerbare Mikro-Pipette |
DE29724735U1 (de) * | 1996-12-11 | 2003-11-13 | Gesim Ges Fuer Silizium Mikros | Mikroejektionspumpe |
DE19802367C1 (de) * | 1997-02-19 | 1999-09-23 | Hahn Schickard Ges | Mikrodosiervorrichtungsarray und Verfahren zum Betreiben desselben |
US6101946A (en) * | 1997-11-21 | 2000-08-15 | Telechem International Inc. | Microarray printing device including printing pins with flat tips and exterior channel and method of manufacture |
DE19847421A1 (de) * | 1998-10-14 | 2000-04-20 | Easy Lab Gmbh | Pipettier- oder Dosierverfahren und -vorrichtung |
GB9824202D0 (en) * | 1998-11-04 | 1998-12-30 | Moore David F | Liquid transfer system |
GB9916406D0 (en) * | 1999-07-13 | 1999-09-15 | Biorobotics Ltd | Liquid transfer pin |
DE19933838A1 (de) * | 1999-07-20 | 2001-02-01 | Max Planck Gesellschaft | Nadel und Verfahren zum Transfer von Liquiden sowie Verfahren zum Herstellen der Nadel |
US20020003177A1 (en) * | 2000-03-17 | 2002-01-10 | O'connor Stephen D. | Electrostatic systems and methods for dispensing liquids |
US6530755B2 (en) * | 2000-04-07 | 2003-03-11 | Tecan Trading Ag | Micropump |
NL1015523C1 (nl) * | 2000-06-26 | 2001-12-28 | Tmp Total Micro Products B V | Inrichting voor het manipuleren van kleine hoeveelheden vloeistof, en werkwijze voor de vervaardiging daarvan. |
-
2002
- 2002-05-16 FR FR0206016A patent/FR2839662B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-05-15 AU AU2003251044A patent/AU2003251044A1/en not_active Abandoned
- 2003-05-15 DK DK03752817T patent/DK1509324T3/da active
- 2003-05-15 AT AT03752817T patent/ATE333940T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-05-15 US US10/514,583 patent/US8079832B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-15 JP JP2004504625A patent/JP4243586B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-15 WO PCT/FR2003/001481 patent/WO2003097238A1/fr active IP Right Grant
- 2003-05-15 DE DE60307095T patent/DE60307095T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-05-15 CA CA2485749A patent/CA2485749C/fr not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-15 EP EP03752817A patent/EP1509324B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
2011
- 2011-11-14 US US13/295,441 patent/US8617406B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008110436A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Aoi Electronics Co Ltd | ナノピンセットおよびその製造方法 |
JP4712671B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2011-06-29 | アオイ電子株式会社 | ナノピンセットおよびその製造方法 |
JP2013078758A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-05-02 | Sharp Corp | エレクトロウェッティングおよび誘電泳動を利用した、液体制御用アクティブマトリクス装置および駆動方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4243586B2 (ja) | 2009-03-25 |
DK1509324T3 (da) | 2006-11-27 |
FR2839662A1 (fr) | 2003-11-21 |
EP1509324B1 (fr) | 2006-07-26 |
CA2485749C (fr) | 2011-04-12 |
EP1509324A1 (fr) | 2005-03-02 |
ATE333940T1 (de) | 2006-08-15 |
US20060096078A1 (en) | 2006-05-11 |
DE60307095D1 (de) | 2006-09-07 |
CA2485749A1 (fr) | 2003-11-27 |
AU2003251044A1 (en) | 2003-12-02 |
FR2839662B1 (fr) | 2005-12-02 |
US20120111129A1 (en) | 2012-05-10 |
US8617406B2 (en) | 2013-12-31 |
WO2003097238A1 (fr) | 2003-11-27 |
DE60307095T2 (de) | 2007-02-22 |
US8079832B2 (en) | 2011-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8617406B2 (en) | Device for the actively-controlled and localized deposition of at least one biological solution | |
US7247895B2 (en) | Electrostatic nanolithography probe actuation device and method | |
US7686967B2 (en) | Temperature controlled microfabricated two-pin liquid sample dispensing system | |
US9611529B2 (en) | Microfluidic surface processing device and method | |
US9745949B2 (en) | Multilayer microfluidic probe head with immersion channels and fabrication thereof | |
US20060027524A1 (en) | Microfabricated two-pin liquid sample dispensing system | |
JP2007535681A (ja) | 物質を表面上に堆積させるための方法と装置 | |
Moldovan et al. | Design and fabrication of a novel microfluidic nanoprobe | |
US8501117B1 (en) | Apparatuses, systems, and methods utilizing capillary action | |
US20110274839A1 (en) | Cantilevers for deposition | |
AU2008329813A1 (en) | Cantilever with pivoting actuation | |
EP2561341A1 (en) | Functionalizing biosensors using a multiplexed dip pen array | |
Saya et al. | Collective fabrication of an in-plane silicon nanotip for parallel femtoliter droplet deposition | |
EP1412087A1 (en) | Microfabricated two-pin liquid sample dispensing system | |
JP2008090066A (ja) | 微小物体のハンドリング装置およびそのハンドリング方法、ならびに輸送装置およびその輸送方法 | |
Leichle et al. | A microcantilever-based picoliter droplet dispenser with integrated force sensors and electroassisted deposition means | |
Malahat et al. | Electrospray from hot embossed polymer microfluidic chips formed using laser machined and electroformed tools |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060331 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090105 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |