JP2010507494A - 付着防止層を有するマイクロメカニカル素子 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、各独立請求項の上位概念に記載された構成を有するマイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子の製造方法に関する。
それに対し、各独立請求項に記載の本発明のマイクロメカニカル素子および本発明のマイクロメカニカル素子の製造方法は、付着防止層の被着および生成の次の処理に使用可能な温度収支が格段に向上されるという利点を有する。このことによって後続の処理‐とりわけ素子のパッケージを形成する処理‐を、より簡単かつ低コストで、より高い品質で実施できるという利点も得られる。付着防止層が約800℃を上回る温度に対して耐性を有するかないしは安定的であること、有利には約1000℃を上回る温度に対して耐性を有するかないしは安定的であること、特に有利には約1200℃を上回る温度に対して耐性を有するかないしは安定的であることにより、とりわけ、該付着防止層の堆積ないしは形成の次にエピタクシー工程を実施することができる。このことにより、コスト削減に繋がるいわゆるゼロレベルパッケージング(すなわち、基板ウェハ自体に実施される工程によるパッケージング処理)を実施することができ、たとえば、キャップ材料としてシリコンを使用して実施されシリコンエピタクシー中に約1000℃〜約1100℃の温度を必要とする薄膜キャップ工程を実施することができる。炭化シリコンを付着防止層の構成成分ないしは主成分として使用することにより、有利には、付着防止層を比較的簡単に、導入されている技術によって、ひいては比較的低コストで製造することができる。
図1に、本発明の第1の実施形態によるマイクロメカニカル素子10の断面が概略的に示されており、図3に、本発明の第2の実施形態によるマイクロメカニカル素子10の断面が概略的に示されている。
Claims (9)
- 基板(11)と機能エレメント(12)とを有するマイクロメカニカル素子(10)であって、
前記機能エレメント(12)は、表面付着力を低減するために少なくとも局所的に付着防止層(20)が設けられた機能表面(13)を有するマイクロメカニカル素子(10)において、
前記付着防止層(20)は、800℃を超える温度に対して安定的であることを特徴とする、マイクロメカニカル素子。 - 前記付着防止層(20)は炭化シリコンを含む、請求項1または請求項1の上位概念に記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記付着防止層(20)の層厚さは約1nm〜約1μmの間にされており、有利には約2nm〜約200nmの間にされており、特に有利には約5nm〜約50nmの間にされている、請求項1または2記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記機能エレメント(12)のカバー(30)を有し、
前記カバー(30)には、後で封止されるパーフォレーション孔(33)が設けられており、
前記付着防止層(20)は、前記パーフォレーション孔(33)に対向する前記機能表面(13)の領域(22)にも設けられている、請求項1から3までのいずれか1項記載のマイクロメカニカル素子。 - 前記機能エレメント(12)のカバー(30)は、前記基板(11)に結合された素子キャップ(39)として設けられている、請求項1から4までのいずれか1項記載のマイクロメカニカル素子。
- 前記素子キャップ(39)はパイレックスキャップとして前記基板(11)にアノード接合されて設けられるか、またはパイレックス中間層(38)を有する素子キャップとして前記基板(11)にアノード接合されて設けられる、請求項5記載のマイクロメカニカル素子。
- 請求項4記載のマイクロメカニカル素子(10)の製造方法において、
第1の工程において、前記機能エレメント(12)と前記カバー(30)と前記パーフォレーション孔(33)のパターニング形成を行い、
第2の工程において、前記付着防止層(20)を前記機能表面(13)の少なくとも一部に形成し、
第3の工程において、前記パーフォレーション孔(33)を閉鎖することを特徴とする製造方法。 - 前記付着防止層(20)は炭化シリコンを含み、
前記第2の工程中に、炭素を過剰に前記付着防止層(20)中に導入する、請求項7記載の製造方法。 - 請求項5または6記載のマイクロメカニカル素子(10)の製造方法において、
第1の工程において、前記機能エレメント(12)と前記カバー(30)と前記パーフォレーション孔(33)のパターニング形成を行い、
第2の工程において、前記付着防止層(20)を前記機能表面(13)の少なくとも一部に形成し、
第3の工程において、前記素子キャップ(39)を前記基板(11)に結合し、とりわけアノードボンディングすることを特徴とする製造方法。
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