JP2007506864A - 金属蒸発用容器及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

顕著に向上した有効寿命及び耐食性を有する金属蒸発用の耐火性容器であって、耐火性ホウ化物、窒化ホウ素、及び酸化物、窒化物、炭化物又はこれらの混合物の１種から選択される希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％から実質的になる耐火性容器。
【選択図】 なし

Description

本発明は、金属の真空蒸着用の改良容器に関する。

真空蒸着は、金属、ガラス及びプラスチックからなる各種の基体上にアルミニウム、銅、亜鉛及びスズのような金属を被覆するための常法である。金属は、通例、当技術分野で一般に「ボート」又は蒸着ボートといわれる金属製又はセラミック製の容器内で抵抗加熱することで気化される。ボートは減圧室内で電源に接続され、ボートに接触して配置された金属装入物を気化させるのに十分な制御動作温度に加熱される。

真空蒸着法では、蒸着ボート内の金属融液を非常に高い温度（多くの場合には、鋳造作業で通例見られる温度より高い、１２００℃以上までの温度）に加熱する。これは、金属融液（即ち、アルミニウム融液）がはるかに攻撃的で腐食性の酸として作用し、蒸着ボートの寿命を縮めることを意味する。

蒸着条件のほかには、ボートの寿命を左右する要因はボート表面の湿潤性である。ボートの表面が溶融金属に対して実質的に濡れなければ、蒸発表面積が小さくなるので、単位量のアルミニウムを蒸発させるために一層高いボート温度が必要となろう。高い作業温度は結果として高い腐食速度をもたらし、それによってボートの有効寿命を短くする。

ボート表面の湿潤性のほかには、長い有効ボート寿命にとって重要な別の要因は、ボートのキャビティ内のスラグ堆積物の湿潤性である。数時間の蒸着作業後には、ボート内の金属パッドルの周縁にスラグが堆積し始まる。スラグは溶融金属と耐火性ボートとの反応の生成物である。スラグは、通例は蒸着金属に対して濡れを示さずに金属パッドルの広がりを阻止し、したがって作業温度を上昇させ、ボートの有効寿命をさらに短くする。ボート及び／又はスラグ表面の濡れを改善することは、蒸着ボートの平均寿命を延ばすための重要な要因であると考えられる。

長い有効ボート寿命にとって重要なさらに別の性質／要因も存在する。それはボートの熱劣化抵抗性である。ボートの使用温度が限界値（例えば、１６００℃）を超えると、ボートは熱分解を起こし、溶融金属がボート中に浸透することでボートの有効寿命を短くする。このような現象は、線材がボート表面上に均一に供給されないため、ボート内に局部的なホットスポットが発生する場合に典型的である。

先行技術での蒸着ボートの平均寿命は約１０時間であり、蒸着条件に応じて約６０００００〜約１００００００フィートの蒸着基体を与える。各種の耐火性ボート組成物を用いて蒸着ボートの有効寿命を延ばすことには絶えず関心が集まっている。米国特許第４５２８１２０号には、窒化ホウ素（「ＢＮ」）１０〜６０ｗｔ％、窒化アルミニウム及び窒化ケイ素の１種以上０〜６０ｗｔ％、並びにチタン、ジルコニウム、アルミニウム及びクロムのホウ化物とケイ素、チタン及びクロムの炭化物とからなる群の１種３０〜７０ｗｔ％を含んでなるボートが開示されている。特開平０６−２９８５６６号には、アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物又はアルカリ土類金属ホウ化物０．３〜１０ｗｔ％と、ＢＮ１５〜５０ｗｔ％と、１：１．５〜１：４の比で存在する残部の窒化アルミニウム及び二ホウ化チタンとを含んでなる組成物が開示されている。

米国特許第５６０４１６４号（Ｍｏｎｔｇｏｍｅｒｙ）には、「二ホウ化チタン及び窒化ホウ素からなるセラミック複合組成物にモリブデンのような元素態金属及びＹ_２Ｏ_３のような酸化物添加剤を添加すれば、ボートの性質（特にその湿潤性）の実質的な向上及びアルミニウムによるボートキャビティの腐食速度の低下をもたらすことがわかった」と開示されている。Ｍｏｎｔｇｏｍｅｒｙは、二ホウ化チタンと、窒化ホウ素と、Ｍｏ、Ｗ、Ｔａ及びＮｂから選択される金属３ｗｔ％以上と、ＣａＯ及びＹ_２Ｏ_３から選択される酸化物０．７ｗｔ％以上とから実質的になる耐火性ボートを開示している。

蒸着ボートの有効寿命を延ばすことのニーズが今なお存在している。出願人らは、意外にも、向上した熱劣化抵抗性、湿潤性及び耐食性を含む向上した性質を有する耐火性ボート組成物が長い有効寿命を与えることを見出した。一実施形態では、耐火性ボート用の意外な改良組成物は、３ｗｔ％以上の金属元素Ｍｏ、Ｔａ、Ｗ及び／又はＮｂを組成物にドープする必要なしに、ａ）ボート表面の腐食の減少、ｂ）高度の熱劣化抵抗性、ｃ）ボート表面の湿潤性の増加、及びｄ）スラグの湿潤性の増加のような性質を示す。
米国特許第４５２８１２０号明細書 特開平０６−２９８５６６号公報 米国特許第５６０４１６４号明細書

金属蒸発用の耐火性容器であって、耐火性ホウ化物、窒化ホウ素、及び酸化物、炭化物、窒化物又はこれらの混合物の１種から選択される希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％から実質的になる耐火性容器。本発明の一実施形態では、希土類金属化合物は酸化イットリウムから実質的になる。

本発明はまた、金属蒸発用耐火性容器の製造方法であって、ａ）耐火性ホウ化物、窒化ホウ素、及び酸化物、窒化物、炭化物又はこれらの混合物の１種から選択される希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％から実質的になる組成の均質粉末混合物を調製し、ｂ）粉末混合物の理論密度の５０％以上の密度を有する圧粉体を形成し、ｃ）理論密度の約８５％以上の高密度化ビレットを形成するのに十分高い温度及び圧力下で圧粉体を加熱し、ｄ）ビレットを冷却して回収する段階を含んでなる方法に関する。

本明細書中で使用する「から実質的になる」という表現は、考察中の耐火性組成物の基本特性及び新規特性に実質的な影響を及ぼさない物質の含有を許す。

本発明の耐火性ボートの組成
本発明の一実施形態では、耐火性組成物は、耐火性ホウ化物、窒化ホウ素、及び酸化物、窒化物、炭化物又はこれらの混合物の１種から選択される希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％から実質的になる。

希土類金属の例には、特に限定されないが、イットリウム、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユウロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム及びルテチウムがある。希土類金属酸化物の例には、特に限定されないが、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化ネオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化イッテルビウム及び酸化ルテチウムがある。

本発明の一実施形態では、耐火性組成物は、耐火性ホウ化物約３５〜６５ｗｔ％、窒化ホウ素約４５〜６５ｗｔ％、及び希土類金属酸化物を含む希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％から実質的になる。一例では、希土類金属酸化物を含む希土類金属化合物の量は組成物の約０．１０〜７ｗｔ％の範囲内にある。

耐火性ホウ化物の例には、特に限定されないが、ＴａやＺｒのような高融点硬質金属及びＴｉのような遷移金属のホウ化物、例えば二ホウ化チタン、二ホウ化ジルコニウム及びこれらの混合物がある。

本発明の第二の実施形態では、本組成物はさらに、約１５ミクロン以下の平均粒度を有する窒化アルミニウム又は窒化ケイ素粉末約１０ｗｔ％未満を含む。一例では、窒化アルミニウム又は窒化ケイ素の量は５％未満である。さらに別の例では、それは３％未満である。

本発明の第三の実施形態では、本組成物はさらに、酸化カルシウム又は酸化アルミニウム、及び／又はこれらの酸化物と希土類酸化物との化合物を１０ｗｔ％未満の総酸化物濃度で含む。

本発明の第四の実施形態では、本組成物はさらに、元素Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ及びこれらの混合物の炭化物及び窒化物からなる群から選択される元素又は化合物０．２〜５ｗｔ％を含む。

本発明の第五の実施形態では、希土類金属酸化物の代わりに、又は希土類金属酸化物に加えて、希土類金属窒化物（例えば、窒化イットリウム）が出発組成物中に含まれる。かかる窒化物は、ホットプレス操作中に部分的又は完全に酸化物に転化されて希土類金属酸化物を含む耐火性ボートを与える。

本発明の第六の実施形態では、希土類金属酸化物の代わりに、又は出発組成物中の希土類金属酸化物に加えて、希土類金属炭化物（例えば、炭化ランタン）が出発組成物中に含まれ、ホットプレス操作中に部分的又は完全に希土類金属酸化物又は酸化物化合物に転化される。

本発明のさらに別の実施形態では、窒化ホウ素粉末成分は（当技術分野で公知のＢＥＴ法で測定して）約２〜４０ｍ^２／ｇの比表面積及び９６重量％以上の純度を有する。９６％の純度とは、分析で見出されるホウ素及び窒素の総量が９６重量％以上であることを意味する。付着性酸化ホウ素及びオキシ窒化ホウ素の形態の酸素が３．８重量％以下の量で存在し得ると共に、全部で約０．１ｗｔ％以下の炭素及び０．５ｗｔ％以下の金属不純物が組成物中に存在し得る。

一実施形態での二ホウ化チタン粉末成分は、望ましくない金属夾雑物を実質的に含まない。即ち、かかる粉末は発光分光分析で確認して本質的に純粋である。存在する場合、（元素態金属としての）金属不純物は通常はホウ化物粉末１００００００部当たり５０００部（ｐｐｍ）未満、即ちＴｉＢ_２の全重量を基準にして０．５重量％未満である。かかる金属不純物には、特に限定されないが、アルミニウム、バリウム、カルシウム、クロム、コバルト、銅、鉄、カリウム、リチウム、マグネシウム、マンガン、ナトリウム、ニッケル、ケイ素、バナジウム、タングステン及び亜鉛がある。ホウ化物粉末製品中でのかかる金属不純物（存在する場合）の出所は、通常は該製品を製造するために使用した反応体又は装置である。元素チタン及びホウ素の酸化物、炭化物及び窒化物からなる群から選択される１重量％以下の不純物も存在し得る。

本発明の一実施形態では、希土類金属化合物は酸化イットリウム又は酸化ランタンである。この例では、出願人らは意外にも、主として酸化イットリウム（Ｙ_２Ｏ_３）からなるイットリウム化合物は耐火性ボート及びその中に生成するスラグの湿潤性を向上させ、実質的に向上した有効寿命を有する蒸着ボートを与えることを見出した。

希土類金属酸化物が酸化イットリウムである一実施形態では、イットリア又は酸化イットリウム成分は９５％以上の純度及び約１５ミクロン以下の平均粒度を有する。

さらに別の実施形態では、ＣａＯ、ＭｇＯ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２、及びこれらの酸化物や希土類酸化物の化合物を含む任意の酸化物を、約０．１０〜１０ｗｔ％の総量レベルで、希土類金属酸化物（例えば、Ｙ_２Ｏ_３）と共に使用できる。希土類酸化物の化合物の例には、ＹＡＧ（Ａｌ_５Ｙ_３Ｏ_１２）、ＹＡＰ（ＡｌＹＯ_３）及びＹＡＭ（Ａｌ_２Ｙ_４Ｏ_７）がある。

一実施形態では、任意の金属酸化物の総量は約０．７５〜５ｗｔ％である。別の実施形態では、その量は約１〜３ｗｔ％である。

蒸着ボートの製造方法
一実施形態では、ＢＮ、ＴｉＢ_２、希土類金属酸化物粉末並びに任意のＡｌＮ及び／又はＣａＯ、Ａｌ_２Ｏ_３及びＴｉＯ_２の粉末混合物を調製するため、例えば高剪断ブレンディング、ボールミリング、アトリッターミリング、ジェットミリングなどの混合手段を用いて均質混合物を得る。混合は、湿潤又は乾燥条件下、例えば、空気中又はアルゴンや窒素のような不活性ガス中或いは水中又はアセトンやメタノールやイソプロパノールのような有機溶媒中で実施できる。次いで、乾式プレス成形、常温静水圧圧縮（ＣＩＰ）成形、射出成形などの成形手段により、混合物粉末を成形して圧粉体を得る。

続いて、大気圧焼結、真空焼結、ガス圧焼結、ホットプレス焼結又は熱間静水圧圧縮（ＨＩＰ）成形のような焼結手段を用いて、真空又は不活性ガス雰囲気（例えば、窒素やアルゴン）又は還元性ガス雰囲気（例えば、水素）のような非酸化雰囲気中で圧粉体を８５％以上の理論密度に焼結する。非酸化雰囲気は、非酸化物セラミック粉末の酸化を防止するためのものである。ＨＩＰ成形は、通例、圧粉体を金属又はガラスカプセル中に密封し、次いでカプセルを熱間等方圧力下に保つ段階を含む。一例では、高密度化温度は約１３００〜２１００℃の範囲内にあり、加圧力は約５〜３００ＭＰａの範囲内にある。

焼結プロセスからは、材料の理論密度（ＴＤ）の約８５〜９５％以上の密度を有する高密度化ビレットが得られる。密度は、プロセスで使用する圧力、温度及び滞留時間に依存する。蒸発ボートは、任意所望の方向で高密度化ビレットから機械加工される。

以下、本発明を例証するために実施例を示すが、これらは本発明の技術的範囲を限定するものではない。

例１〜５
例１〜５では、下記の分析結果を有する粉末を出発原料として使用すると共に、希土類金属酸化物としてＹ_２Ｏ_３を使用する。例５はＭｏｎｔｇｏｍｅｒｙの参考文献のグレードＭｏ−２１Ｐからなり、したがって「Ｍｏｎｔｇｏｍｅｒｙ」試料という。

各例では、上記成分からなる粉末混合物を高剪断ブレンダー内で乾燥状態で均質化する。次いで、粉末混合物を常温圧縮成形することで、２インチの直径及び２〜５インチの高さを有する円柱状の圧粉体を形成する。圧粉体をホットプレス内に導入し、アルゴンガスパージを行ってから還元雰囲気中において１４５０〜２０００℃で高密度化する。

およそ１００ｍｍ×２０ｍｍ×６ｍｍの蒸発ボートをブロックから切り出し、およそ６０ｍｍ×１５ｍｍ×２ｍｍの寸法を有するくぼみ又はキャビティを設ける。ブロック中での位置にかかわらず、例１〜５の組成物から製造した蒸発ボートは理論密度（ＴＤ）の８４〜９０％の密度及び４００〜１２００μΩ・ｃｍの抵抗率を有する。

蒸発ボート１〜５の試験：例１〜５で製造した蒸発ボートを、アルミニウムの真空蒸着のための下記条件下で試験する。減圧室内で直接に電流を流してボートを加熱する。アルミニウム線供給装置によってキャビティの一端付近にアルミニウムを連続的に供給し、ボートの他端にホットスポットを誘発する。ホットスポットの最高温度は約１７１５〜１７８１℃の範囲内にある。

試験の進行に伴い、例５のボート（「Ｍｏｎｔｇｏｍｅｒｙ」のボート）にはアルミニウムが完全に浸透し、ボートの中心に沿って亀裂を生じることが注目される。例１〜４では、アルミニウムの浸透は顕著に少ない。３０分後、Ｍｏｎｔｇｏｍｅｒｙのボートは亀裂が目に見える程度まで熱劣化したのに対し、（金属ドーピングなしの）本発明のボートはなお使用可能であることが認められる。

例６〜１０
約９５〜９９％の純度を有する酸化ランタン粉末を代わりに使用する点を除き、例１〜５を繰り返す。実験の結果は例１〜５で得られた結果と同様であるが、本発明の例でのアルミニウム浸透は先行技術であるＭｏｎｔｇｏｍｅｒｙの例に比べて極めてわずか又は顕著に少ない。

例１１〜１９
これらの例では、表２に示す組成物からなるビレットを形成し、次いで電気抵抗率を測定すると共に湿潤性試験を行う。表２中のすべての成分はｗｔ％で表されている。

ビレットを形成するためには、上記成分の粉末混合物を高剪断ブレンダー内で乾燥状態で均質化する。次いで、ブレンドした粉末を常温圧縮成形することで、２インチの直径及び４〜６インチの高さを有する円柱状の圧粉体を形成する。圧粉体をホットプレス内に導入し、アルゴンガスパージを行ってから還元雰囲気中において１４５０〜２１００℃で高密度化してビレットを形成する。例１５に関しては、ＺｒＯ_２粉末を確実に０．７μｍ未満にするため、ＺｒＯ_２を含む予備ブレンド粉末に湿式ホールミル摩砕を施して乾燥した後に他の成分との均質化を行う。

湿潤性試験では、溶融アルミニウムに対するビレット試料の湿潤性を測定するため、研磨試料の表面上に既知質量のアルミニウムインゴットを配置する。次いで、０．００１ミリバール未満の真空度の下で試料及びアルミニウムを急速に加熱すると、アルミニウムは溶融拡散して蒸発する。蒸発後、アルミニウムが拡散した面積は目に見えるので、ディジタル画像分析を用いて測定できる。湿潤性の値は、アルミニウムの拡散面積をアルミニウムインゴットの質量で割ることにより、ｍｍ^２／グラム単位で求められる。

ビレットの湿潤性、密度及び抵抗率を測定するための試験の結果を表３に示す。

例２０〜２２
これらの例では、蒸着ボートを形成し、蒸着フィルムの形成に際して試験する。本発明の組成物からなるボートを、市場で商業的に入手できる金属ボート（即ち、ＧＥ Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃｓ社（クリーブランド、米国オハイオ州）から入手できる「Ｃｌａｓｓｉｃ」ボート）と比較する。例２０では、「二成分型ボート」、即ち主成分としてＴｉＢ_２及びＢＮを含む組成物として知られるＣｌａｓｓｉｃボート組成物を使用する。例２１は、ＧＥ Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃｓ社から「ＡＣ−６０００」として商業的に入手できる「三成分型ボート」組成物を表す。三成分型組成物は、通例、主成分としてＴｉＢ_２、ＢＮ及びＡｌＮを含む組成物として定義される。例２２は本発明の実施例である。すべての成分はｗｔ％で表されている。

「Ｔｈｅ Ｅｆｆｅｃｔｓ ｏｆ Ｂｏａｔ ａｎｄ Ｗｉｒｅ Ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｏｎ Ｂｏａｔ Ｌｉｆｅ ａｎｄ Ｃｏａｔｉｎｇ Ｑｕａｌｉｔｙ ｉｎ Ｖａｃｕｕｍ Ｍｅｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ ａｎ ＯＰＰ Ｗｅｂ」と題するＥ．Ｊｏｓｅｐｈｓｏｎ ｅｔ ａｌ．の論文（１９９５ ＳＶＣ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ）では、二成分型ボート（ＢＮ／ＴｉＢ_２−例２０のようなタイプのボート）の有効ボート寿命を三成分型ボート（ＢＮ／ＡｌＮ／ＴｉＢ_２−例２１のようなタイプのボート）の寿命と比較した。著者は、「結果」の章で、「ボート寿命に関する２つの伝統的な尺度を用いたところ、二相型ボートは長い寿命を示した。ボート組成物は、ロール数については９０％の信頼度で統計的に有意であり、蒸着直線フィートについては７５％の信頼度で統計的に有意であった。」と述べている。さらに、「ボートの目視検査によれば、二相型ボートは少ない堆積物及び良好な耐食性を示した。」とも述べている。

腐食試験及び湿潤性試験の結果は、例２１及び２２が例２０のＣｌａｓｓｉｃボートに比べて顕著に向上した性質を示すことを表している。しかし、例２２は例２１のボートより顕著に優れた性能を有し、湿潤性及び耐食性の両方について向上を示している。当技術分野では、湿潤性と耐食性との間にトレードオフが存在することが知られている。通例、三成分型ボートは湿潤性が高い。しかし、二成分型ボートは耐食性が高い。本発明の例２２は、意外にも向上しかつバランスの取れた性質を示し、湿潤性が高いばかりでなく耐食性も高いボートを与える。

以上、好ましい実施形態に関して本発明を説明してきたが、当業者であれば、本発明の技術的範囲から逸脱することなしに様々な変更及び同等物による構成要素の置換を行い得ることが理解されよう。本発明は、この発明を実施するための最良の形態として開示された特定の実施形態に限定されるべきでなく、特許請求の範囲に含まれるすべての実施形態を包含するものである。

本明細書中では、特記しない限り、すべての単位はメートル法で表され、すべての量及び百分率は重量基準である。また、本明細書中に引用したすべての文献の開示内容は援用によって本明細書の内容の一部をなす。

Claims (15)

1. 金属蒸発用の耐火性容器であって、
   窒化ホウ素約４５〜６５ｗｔ％、
   耐火性ホウ化物約３５〜６５ｗｔ％、並びに
   酸化物、炭化物、窒化物及びこれらの混合物の１種から選択される希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％
   から実質的になる耐火性容器。
2. 希土類金属化合物が、酸化イットリウム、酸化ランタン及びこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１記載の耐火性容器。
3. 希土類金属化合物が、９５％以上の純度及び約１５ミクロン以下の平均粒度を有する酸化イットリウムである、請求項１又は請求項２記載の耐火性容器。
4. さらに、約１５ミクロン以下の平均粒度を有する窒化アルミニウム又は窒化ケイ素１０ｗｔ％以下を含む、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の耐火性容器。
5. さらに、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム及び二酸化チタンの１種以上を含む、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の耐火性容器。
6. さらに、ＹＡＧ（Ａｌ_５Ｙ_３Ｏ_１２）、ＹＡＰ（ＡｌＹＯ_３）、ＹＡＭ（Ａｌ_２Ｙ_４Ｏ_７）及びこれらの組合せの１種から選択される、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の耐火性容器。
7. さらに、元素Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ及びこれらの混合物の炭化物及び窒化物からなる群から選択される元素又は化合物０．２〜５ｗｔ％を含む、請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の耐火性容器。
8. 金属蒸発用耐火性ボートの有効寿命を向上させる方法であって、窒化ホウ素４５〜６５ｗｔ％及び耐火性ホウ化物３５〜６５ｗｔ％から実質的になる組成物に、酸化物、窒化物又は炭化物或いはこれらの混合物である希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％をドープすることを含んでなる方法。
9. さらに、元素Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ及びこれらの混合物の炭化物及び窒化物からなる群から選択される元素又は化合物０．２〜５ｗｔ％を前記組成物にドープする段階を含む、請求項８記載の方法。
10. 金属蒸発用耐火性ボートの製造方法であって、
    窒化ホウ素４５〜６５ｗｔ％、耐火性ホウ化物約３５〜６５ｗｔ％、及び酸化物、炭化物又は窒化物或いはこれらの混合物である希土類金属化合物約０．１０〜１０ｗｔ％から実質的になる均質粉末混合物を用いて成形品を形成し、前記成形品から耐火性ボートを形成する
    段階を含んでなる方法。
11. 希土類金属化合物が、９５％以上の純度及び約１５ミクロン以下の平均粒度を有する酸化イットリウムである、請求項１０記載の方法。
12. 前記成形品がさらに、約１５ミクロン以下の平均粒度を有する窒化アルミニウム又は窒化ケイ素１０ｗｔ％以下を含む、請求項１０又は請求項１１記載の方法。
13. 前記成形品がさらに、酸化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム及び二酸化チタンの１種以上を含む、請求項１０乃至請求項１２のいずれか１項記載の方法。
14. 前記成形品がさらに、ＹＡＧ（Ａｌ_５Ｙ_３Ｏ_１２）、ＹＡＰ（ＡｌＹＯ_３）、ＹＡＭ（Ａｌ_２Ｙ_４Ｏ_７）及びこれらの組合せの１種から選択される、請求項１０乃至請求項１３のいずれか１項記載の方法。
15. 前記成形品がさらに、元素Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ及びこれらの混合物の炭化物及び窒化物からなる群から選択される元素又は化合物０．２〜５ｗｔ％を含む、請求項１０乃至請求項１４のいずれか１項記載の方法。