JPH06298566A - 導電性セラミックス焼結体及びその用途 - Google Patents
導電性セラミックス焼結体及びその用途Info
- Publication number
- JPH06298566A JPH06298566A JP5088882A JP8888293A JPH06298566A JP H06298566 A JPH06298566 A JP H06298566A JP 5088882 A JP5088882 A JP 5088882A JP 8888293 A JP8888293 A JP 8888293A JP H06298566 A JPH06298566 A JP H06298566A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- boat
- sintered body
- earth metal
- electrically conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 窒化硼素、窒化アルミニウム及び二硼化チタ
ンを主成分とする導電性セラミックス焼結体の耐酸化性
を向上させ、もってボートの使用寿命を向上させる。 【構成】 窒化アルミニウムと二硼化チタンの合計量50
〜85重量％で窒化硼素15〜50重量％である主成分100 重
量部あたり、アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物及
びアルカリ土類金属硼酸塩から選ばれた一種又は二種以
上の副成分0.3 〜10重量部の割合で含有されてなること
を特徴とする導電性セラミックス焼結体、及びこの導電
性セラミックス焼結体で構成されてなる金属蒸発用容
器。
ンを主成分とする導電性セラミックス焼結体の耐酸化性
を向上させ、もってボートの使用寿命を向上させる。 【構成】 窒化アルミニウムと二硼化チタンの合計量50
〜85重量％で窒化硼素15〜50重量％である主成分100 重
量部あたり、アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物及
びアルカリ土類金属硼酸塩から選ばれた一種又は二種以
上の副成分0.3 〜10重量部の割合で含有されてなること
を特徴とする導電性セラミックス焼結体、及びこの導電
性セラミックス焼結体で構成されてなる金属蒸発用容
器。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、耐酸化性に優れた導電
性セラミックス焼結体、及びその導電性セラミックス焼
結体で構成されてなる長寿命の金属蒸発用容器に関す
る。
性セラミックス焼結体、及びその導電性セラミックス焼
結体で構成されてなる長寿命の金属蒸発用容器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属蒸発用容器としては、各種複
合セラミックス材料が使用されており、中でもＡｌ蒸着
用容器（以下、ボートという）としては、窒化硼素、窒
化アルミニウム、二硼化チタンを主成分としてなるもの
が知られている。例えば、 （１）チタニウムもしくはジルコニウムの硼化物、窒化
物、炭化物又は珪化物が40〜60重量％、残部が主として
窒化アルミニウムと窒化硼素からなり、その残部におけ
る窒化アルミニウムの割合が60重量％以上の耐火材料で
構成されてなる抵抗加熱るつぼ（特公昭49-44091号公
報）。 （２）10重量％までの窒化硼素、窒化アルミニウム及び
二硼化チタンを主成分とし、焼結助剤として、アルカリ
土類金属、希土類元素の酸化物、周期律表第４〜８属の
金属、硼化物又は炭化物、カリウム水素化物又はカーボ
ンブラックを添加して焼結された焼結体（特開平3-2088
65号公報）。
合セラミックス材料が使用されており、中でもＡｌ蒸着
用容器（以下、ボートという）としては、窒化硼素、窒
化アルミニウム、二硼化チタンを主成分としてなるもの
が知られている。例えば、 （１）チタニウムもしくはジルコニウムの硼化物、窒化
物、炭化物又は珪化物が40〜60重量％、残部が主として
窒化アルミニウムと窒化硼素からなり、その残部におけ
る窒化アルミニウムの割合が60重量％以上の耐火材料で
構成されてなる抵抗加熱るつぼ（特公昭49-44091号公
報）。 （２）10重量％までの窒化硼素、窒化アルミニウム及び
二硼化チタンを主成分とし、焼結助剤として、アルカリ
土類金属、希土類元素の酸化物、周期律表第４〜８属の
金属、硼化物又は炭化物、カリウム水素化物又はカーボ
ンブラックを添加して焼結された焼結体（特開平3-2088
65号公報）。
【０００３】ボートは、通常、以下のように使用される
が、（１）の抵抗加熱るつぼでは耐酸化性が十分でない
のでボートの寿命が短かった。すなわち、ボート中央部
に形成された溝部にＡｌを入れ、チャンバーを真空に引
き、ボートを通電加熱してＡｌを蒸着する。蒸着終了後
は、通電を止め、真空を解除しチャンバーを解放する
が、この場合、Ａｌの蒸着総時間を短縮するためにチャ
ンバーの解放を早めると、ボートは比較的高温（500 〜
600 ℃）で大気と接触することになる。そのため、ボー
トの主成分のうち、二硼化チタンは酸化されて蒸着特性
が不安定になり、Ａｌを蒸着することができなくなるか
又はクラックの発生によりボートの寿命が短くなる。
が、（１）の抵抗加熱るつぼでは耐酸化性が十分でない
のでボートの寿命が短かった。すなわち、ボート中央部
に形成された溝部にＡｌを入れ、チャンバーを真空に引
き、ボートを通電加熱してＡｌを蒸着する。蒸着終了後
は、通電を止め、真空を解除しチャンバーを解放する
が、この場合、Ａｌの蒸着総時間を短縮するためにチャ
ンバーの解放を早めると、ボートは比較的高温（500 〜
600 ℃）で大気と接触することになる。そのため、ボー
トの主成分のうち、二硼化チタンは酸化されて蒸着特性
が不安定になり、Ａｌを蒸着することができなくなるか
又はクラックの発生によりボートの寿命が短くなる。
【０００４】一方、（２）の焼結体で構成されたボート
は、窒化硼素の含有量が最大10重量％であるため、通電
・冷却の繰り返し使用時に受ける熱衝撃に耐えることが
できず、これまた使用寿命が短かいものであった。
は、窒化硼素の含有量が最大10重量％であるため、通電
・冷却の繰り返し使用時に受ける熱衝撃に耐えることが
できず、これまた使用寿命が短かいものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、窒化硼素、
窒化アルミニウム及び二硼化チタンを主成分とする導電
性セラミックス焼結体の耐酸化性を向上させ、もってボ
ートの使用寿命を向上させることを目的とする。
窒化アルミニウム及び二硼化チタンを主成分とする導電
性セラミックス焼結体の耐酸化性を向上させ、もってボ
ートの使用寿命を向上させることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、窒
化アルミニウムと二硼化チタンの合計量50〜85重量％で
窒化硼素15〜50重量％である主成分100 重量部あたり、
アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物及びアルカリ土
類金属硼酸塩から選ばれた一種又は二種以上の副成分が
0.3 〜10重量部の割合で含有されてなることを特徴とす
る導電性セラミックス焼結体、この導電性セラミックス
焼結体において、温度500 ℃における酸化速度が 3×10
-3重量％／Hr以下であることを特徴とする導電性セラミ
ックス焼結体、及びこれらの導電性セラミックス焼結体
で構成されてなる金属蒸発用容器である。
化アルミニウムと二硼化チタンの合計量50〜85重量％で
窒化硼素15〜50重量％である主成分100 重量部あたり、
アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物及びアルカリ土
類金属硼酸塩から選ばれた一種又は二種以上の副成分が
0.3 〜10重量部の割合で含有されてなることを特徴とす
る導電性セラミックス焼結体、この導電性セラミックス
焼結体において、温度500 ℃における酸化速度が 3×10
-3重量％／Hr以下であることを特徴とする導電性セラミ
ックス焼結体、及びこれらの導電性セラミックス焼結体
で構成されてなる金属蒸発用容器である。
【０００７】以下、さらに詳しく本発明について説明す
ると、Ａｌ蒸着終了後の冷却時に、ボートが数百℃の大
気に解放されると二硼化チタンが次式によって酸化を受
け、ボート表面は風化したように体積膨張して微細なク
ラックが発生する。 ２ＴｉＢ2 ＋５Ｏ2 →２ＴｉＯ2 ＋２Ｂ2 Ｏ2
ると、Ａｌ蒸着終了後の冷却時に、ボートが数百℃の大
気に解放されると二硼化チタンが次式によって酸化を受
け、ボート表面は風化したように体積膨張して微細なク
ラックが発生する。 ２ＴｉＢ2 ＋５Ｏ2 →２ＴｉＯ2 ＋２Ｂ2 Ｏ2
【０００８】本発明者らは、二硼化チタンの酸化挙動に
ついてさらに詳しく検討したところ、その酸化速度は、
400 ℃、 600℃の温度付近では遅く、500 ℃付近で最大
になることを見いだした。そして、導電性セラミックス
焼結体は、通常、その主成分である窒化硼素、窒化アル
ミニウム及び二硼化チタンの混合原料粉末を予備成形し
た後、黒鉛治具を用いてホットプレス焼結して製造され
るが、この場合、予備成形体と黒鉛治具又はカーボン雰
囲気との反応によってＡｌ4 Ｃ3 が生成し、それがボー
トの耐酸化性を劣化させることを併せ見いだした。
ついてさらに詳しく検討したところ、その酸化速度は、
400 ℃、 600℃の温度付近では遅く、500 ℃付近で最大
になることを見いだした。そして、導電性セラミックス
焼結体は、通常、その主成分である窒化硼素、窒化アル
ミニウム及び二硼化チタンの混合原料粉末を予備成形し
た後、黒鉛治具を用いてホットプレス焼結して製造され
るが、この場合、予備成形体と黒鉛治具又はカーボン雰
囲気との反応によってＡｌ4 Ｃ3 が生成し、それがボー
トの耐酸化性を劣化させることを併せ見いだした。
【０００９】すなわち、本発明者らは、ボートに内在し
たＡｌ4 Ｃ3 は、大気中の水分と反応してＡｌ（ＯＨ)3
とＣＨ4 に変化する際に体積膨張による微細なクラック
を発生させ、そのクラック表面に露出したＴｉＢ2 が大
気中の酸素と反応し酸化が進行するというメカニズムを
導いた。そして、この酸化反応を阻止するには、上記主
成分の割合を調整し特定量のアルカリ土類金属酸化物、
希土類酸化物及びアルカリ土類金属硼酸塩から選ばれた
一種又は二種以上の副成分を添加して焼結すればよいこ
とを見いだしたものである。
たＡｌ4 Ｃ3 は、大気中の水分と反応してＡｌ（ＯＨ)3
とＣＨ4 に変化する際に体積膨張による微細なクラック
を発生させ、そのクラック表面に露出したＴｉＢ2 が大
気中の酸素と反応し酸化が進行するというメカニズムを
導いた。そして、この酸化反応を阻止するには、上記主
成分の割合を調整し特定量のアルカリ土類金属酸化物、
希土類酸化物及びアルカリ土類金属硼酸塩から選ばれた
一種又は二種以上の副成分を添加して焼結すればよいこ
とを見いだしたものである。
【００１０】本発明の導電性セラミックス焼結体は、主
成分100 重量部あたり副成分0.3 〜10重量部の割合で構
成され、その主成分は、窒化アルミニウムと二硼化チタ
ンの合計量50〜85重量％と窒化硼素15〜50重量％で構成
されている。主成分の窒化硼素の割合が15重量％未満で
は耐熱衝撃性が不足し、一方、50重量％をこえると溶融
金属に対する耐食性が低下する。好ましい主成分の窒化
硼素の割合は、15〜30重量％である。主成分中の窒化ア
ルミニウム：二硼化チタンの重量比は、 1：1.5 〜 1：
4 であることが好ましい。
成分100 重量部あたり副成分0.3 〜10重量部の割合で構
成され、その主成分は、窒化アルミニウムと二硼化チタ
ンの合計量50〜85重量％と窒化硼素15〜50重量％で構成
されている。主成分の窒化硼素の割合が15重量％未満で
は耐熱衝撃性が不足し、一方、50重量％をこえると溶融
金属に対する耐食性が低下する。好ましい主成分の窒化
硼素の割合は、15〜30重量％である。主成分中の窒化ア
ルミニウム：二硼化チタンの重量比は、 1：1.5 〜 1：
4 であることが好ましい。
【００１１】本発明の導電性セラミックス焼結体は、主
成分100 重量部あたり、アルカリ土類金属酸化物、希土
類酸化物及びアルカリ土類金属硼酸塩から選ばれた一種
又は二種以上の副成分を0.3 〜10重量部好ましくは0.5
〜5 重量部含んでなるものである。副成分が0.3 重量部
未満では耐酸化性を十分に向上させることができず、一
方、10重量部をこえると耐熱衝撃性が不足する。副成分
は、ボート内の抵抗のバラツキを低減させるという驚く
べき効果もある。
成分100 重量部あたり、アルカリ土類金属酸化物、希土
類酸化物及びアルカリ土類金属硼酸塩から選ばれた一種
又は二種以上の副成分を0.3 〜10重量部好ましくは0.5
〜5 重量部含んでなるものである。副成分が0.3 重量部
未満では耐酸化性を十分に向上させることができず、一
方、10重量部をこえると耐熱衝撃性が不足する。副成分
は、ボート内の抵抗のバラツキを低減させるという驚く
べき効果もある。
【００１２】本発明で使用される好適な副成分を例示す
ると、アルカリ土類金属酸化物としては、例えばＣａ
Ｏ、ＭｇＯ、ＳｒＯ等、希土類酸化物としては、例えば
ＳｃＯ、Ｙ2 Ｏ3 、ＬａＯ、ＣｅＯ2 、ＡｃＯ、ＴｈＯ
2 、Ｐｒ6 Ｏ11、Ｎｄ2 Ｏ11等、アルカリ土類金属硼酸
塩としては、例えばＣａＯ・ Ｂ2 Ｏ3 、ＭｇＯ・ Ｂ2 Ｏ
3 、ＳｒＯ・ Ｂ2 Ｏ3 等であり、また、それらのいずれ
か一種以上の組合せとしては、例えばＣａＯ・Ｙ2 Ｏ
3 、２ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3 、ＭｇＯ・Ｂ2 Ｏ3 、Ａｌ2
Ｏ3 ・Ｂ2 Ｏ3 、２ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 、２
ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3・ＣｅＯ2 、２ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3
・Ｐｒ6 Ｏ11、２ＣａＯ・ ３Ｂ2 Ｏ3 ・ Ｎｄ 2 Ｏ11等を
あげることができる。これらの内で特に好ましいもの
は、二種以上の組合せであり、例えば２ＣａＯ・ ３Ｂ2
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯ・ Ｂ2 Ｏ3 ・Ｙ 2 Ｏ3 、２Ｃａ
Ｏ・ ３Ｂ2 Ｏ3 ・ＣｅＯ2 等である。
ると、アルカリ土類金属酸化物としては、例えばＣａ
Ｏ、ＭｇＯ、ＳｒＯ等、希土類酸化物としては、例えば
ＳｃＯ、Ｙ2 Ｏ3 、ＬａＯ、ＣｅＯ2 、ＡｃＯ、ＴｈＯ
2 、Ｐｒ6 Ｏ11、Ｎｄ2 Ｏ11等、アルカリ土類金属硼酸
塩としては、例えばＣａＯ・ Ｂ2 Ｏ3 、ＭｇＯ・ Ｂ2 Ｏ
3 、ＳｒＯ・ Ｂ2 Ｏ3 等であり、また、それらのいずれ
か一種以上の組合せとしては、例えばＣａＯ・Ｙ2 Ｏ
3 、２ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3 、ＭｇＯ・Ｂ2 Ｏ3 、Ａｌ2
Ｏ3 ・Ｂ2 Ｏ3 、２ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 、２
ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3・ＣｅＯ2 、２ＣａＯ・３Ｂ2 Ｏ3
・Ｐｒ6 Ｏ11、２ＣａＯ・ ３Ｂ2 Ｏ3 ・ Ｎｄ 2 Ｏ11等を
あげることができる。これらの内で特に好ましいもの
は、二種以上の組合せであり、例えば２ＣａＯ・ ３Ｂ2
Ｏ3 ・Ｙ2 Ｏ3 、ＣａＯ・ Ｂ2 Ｏ3 ・Ｙ 2 Ｏ3 、２Ｃａ
Ｏ・ ３Ｂ2 Ｏ3 ・ＣｅＯ2 等である。
【００１３】本発明の導電性セラミックス焼結体の耐酸
化性を、大気中、温度500 ℃で60時間加熱した際の重量
増加率を時間で除した酸化速度（重量％／60Hr）として
定義した場合、それが 3×10-3重量％／Hr以下特に 2×
10-3重量％／Hr以下であることが望ましい。酸化速度が
3×10-3重量％／Hrをこえると、ボートの蒸着特性が不
安定となってＡｌ蒸着ができなくなるか又はクラックが
発生してボートが長寿命でなくなる。
化性を、大気中、温度500 ℃で60時間加熱した際の重量
増加率を時間で除した酸化速度（重量％／60Hr）として
定義した場合、それが 3×10-3重量％／Hr以下特に 2×
10-3重量％／Hr以下であることが望ましい。酸化速度が
3×10-3重量％／Hrをこえると、ボートの蒸着特性が不
安定となってＡｌ蒸着ができなくなるか又はクラックが
発生してボートが長寿命でなくなる。
【００１４】また、本発明の導電性セラミックス焼結体
の曲げ強度は、取扱中の折損防止の観点から1500kg/cm2
以上特に1800kg/cm2以上であることが望ましい。また、
気孔率については、ボート使用時の必要強度を確保する
ために、 6％以下特に 4％以下であることが望ましい。
の曲げ強度は、取扱中の折損防止の観点から1500kg/cm2
以上特に1800kg/cm2以上であることが望ましい。また、
気孔率については、ボート使用時の必要強度を確保する
ために、 6％以下特に 4％以下であることが望ましい。
【００１５】本発明の導電性セラミックス焼結体の製造
例を説明する。窒化硼素粉末、窒化アルミニウム粉末及
び二硼化チタン粉末からなる主成分と、アルカリ土類金
属酸化物、希土類酸化物及びアルカリ土類金属硼酸塩か
ら選ばれた一種又は二種以上からなる副成分とを上記し
た導電性セラミックス焼結体の組成割合で混合する。混
合粉末の粒径は、20μｍ以下特に10μｍ以下であること
が好ましい。
例を説明する。窒化硼素粉末、窒化アルミニウム粉末及
び二硼化チタン粉末からなる主成分と、アルカリ土類金
属酸化物、希土類酸化物及びアルカリ土類金属硼酸塩か
ら選ばれた一種又は二種以上からなる副成分とを上記し
た導電性セラミックス焼結体の組成割合で混合する。混
合粉末の粒径は、20μｍ以下特に10μｍ以下であること
が好ましい。
【００１６】混合粉末は、ホットプレス法による焼結が
望ましいが、必要に応じて、常圧焼結法、HIP 成形法を
も採用することができる。ホットプレス法の条件は、窒
素、アルゴン、ヘリウム、真空等の非酸化性雰囲気下、
温度1750〜2050℃、圧力50〜350 kg/cm2が好ましい。温
度が1750℃未満であるか又は圧力が50kg/cm2未満では焼
結体密度は向上せず、ボート使用時の締め付けに耐える
強度が得られない。一方、温度が2050℃をこえるか又は
圧力が350 kg/cm2をこえると、ホットプレスに使用され
る黒鉛補材の寿命が短くなる。
望ましいが、必要に応じて、常圧焼結法、HIP 成形法を
も採用することができる。ホットプレス法の条件は、窒
素、アルゴン、ヘリウム、真空等の非酸化性雰囲気下、
温度1750〜2050℃、圧力50〜350 kg/cm2が好ましい。温
度が1750℃未満であるか又は圧力が50kg/cm2未満では焼
結体密度は向上せず、ボート使用時の締め付けに耐える
強度が得られない。一方、温度が2050℃をこえるか又は
圧力が350 kg/cm2をこえると、ホットプレスに使用され
る黒鉛補材の寿命が短くなる。
【００１７】
【実施例】以下、実施例と比較例をあげてさらに具体的
に本発明を説明する。
に本発明を説明する。
【００１８】実施例１〜１０ 比較例１〜７ 主成分である窒化硼素（BN）、窒化アルミニウム（AlN
）、二硼化チタン（TiB2）の各原料粉末（粒径は全て1
0μm ）と表１に示す副成分とを表１の配合割合で混合
し、それを温度2000℃、圧力250 kg/cm2でホットプレス
焼結した。得られた焼結体の金属蒸発容器としての特性
を以下のように評価した。それらの結果を表２に示す。
）、二硼化チタン（TiB2）の各原料粉末（粒径は全て1
0μm ）と表１に示す副成分とを表１の配合割合で混合
し、それを温度2000℃、圧力250 kg/cm2でホットプレス
焼結した。得られた焼結体の金属蒸発容器としての特性
を以下のように評価した。それらの結果を表２に示す。
【００１９】（１）気孔率：焼結体の実測密度と理論密
度から算出した。 （２）曲げ強さ：JIS R 1601に準拠して曲げ試片を切り
出して測定した。 （３）ボートの使用寿命：得られた焼結体からボート
（幅6 ×厚み4 ×長さ110mm ）を加工し、Ａｌを加工溝
（幅4 ×深さ2 ×長さ40mm）に60mg投入し、真空中、ボ
ート温度1500℃にて通電加熱した。Ａｌ蒸着が１回終了
する毎にボート温度500 ℃にて真空解除し室温まで冷却
した。この蒸着試験を繰り返し行い、ボートにクラック
が発生するか又はＡｌが蒸着できなくなった時点におけ
るボートの繰り返し使用回数を測定した。 （４）ボートの耐酸化性：ボート重量（Ｗ0 ）と、それ
を大気中、温度500 ℃×60時間で加熱した後のボート重
量（Ｗ1 ）から、次式により算出した。 酸化速度＝〔（Ｗ1 −Ｗ0 ）／Ｗ0 〕×（100 / 60）
（重量％／Ｈｒ）
度から算出した。 （２）曲げ強さ：JIS R 1601に準拠して曲げ試片を切り
出して測定した。 （３）ボートの使用寿命：得られた焼結体からボート
（幅6 ×厚み4 ×長さ110mm ）を加工し、Ａｌを加工溝
（幅4 ×深さ2 ×長さ40mm）に60mg投入し、真空中、ボ
ート温度1500℃にて通電加熱した。Ａｌ蒸着が１回終了
する毎にボート温度500 ℃にて真空解除し室温まで冷却
した。この蒸着試験を繰り返し行い、ボートにクラック
が発生するか又はＡｌが蒸着できなくなった時点におけ
るボートの繰り返し使用回数を測定した。 （４）ボートの耐酸化性：ボート重量（Ｗ0 ）と、それ
を大気中、温度500 ℃×60時間で加熱した後のボート重
量（Ｗ1 ）から、次式により算出した。 酸化速度＝〔（Ｗ1 −Ｗ0 ）／Ｗ0 〕×（100 / 60）
（重量％／Ｈｒ）
【００２０】
【表１】
【００２１】
【表２】
【００２２】
【発明の効果】本発明の導電性セラミックス焼結体は、
所望の導電性、耐熱衝撃性、溶融金属に対する耐食性を
有していると共に、耐酸化性に優れている。本発明の導
電性セラミックスで構成された金属蒸発用容器は、耐酸
化性が大であるのでＡｌ蒸着総時間の短縮に対応でき、
しかも長寿命である。
所望の導電性、耐熱衝撃性、溶融金属に対する耐食性を
有していると共に、耐酸化性に優れている。本発明の導
電性セラミックスで構成された金属蒸発用容器は、耐酸
化性が大であるのでＡｌ蒸着総時間の短縮に対応でき、
しかも長寿命である。
Claims (3)
- 【請求項１】 窒化アルミニウムと二硼化チタンの合計
量50〜85重量％で窒化硼素15〜50重量％である主成分10
0 重量部あたり、アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化
物及びアルカリ土類金属硼酸塩から選ばれた一種又は二
種以上の副成分が0.3 〜10重量部の割合で含有されてな
ることを特徴とする導電性セラミックス焼結体。 - 【請求項２】 温度500 ℃における酸化速度が 3×10-3
重量％／Hr以下であることを特徴とする請求項１記載の
導電性セラミックス焼結体。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の導電性セラミック
ス焼結体で構成されてなることを特徴とする金属蒸発用
容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5088882A JPH06298566A (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 導電性セラミックス焼結体及びその用途 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5088882A JPH06298566A (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 導電性セラミックス焼結体及びその用途 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06298566A true JPH06298566A (ja) | 1994-10-25 |
Family
ID=13955370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5088882A Pending JPH06298566A (ja) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | 導電性セラミックス焼結体及びその用途 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06298566A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005049881A1 (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-02 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法 |
| WO2005031027A3 (en) * | 2003-09-24 | 2005-08-18 | Gen Electric | Container for evaporation of emtal and method for manufacture thereof |
| WO2005113465A1 (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-01 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | セラミックス、その製造方法及びそれを用いた金属蒸発用容器 |
| JPWO2005056496A1 (ja) * | 2003-12-11 | 2007-12-06 | 電気化学工業株式会社 | セラミックス焼結体、セラミックス焼結体の製造方法、金属蒸着用発熱体 |
| CN109970452A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-05 | 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司 | 一种陶瓷蒸发舟用复合材料的无压烧结制备方法 |
-
1993
- 1993-04-15 JP JP5088882A patent/JPH06298566A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005031027A3 (en) * | 2003-09-24 | 2005-08-18 | Gen Electric | Container for evaporation of emtal and method for manufacture thereof |
| JP2007506864A (ja) * | 2003-09-24 | 2007-03-22 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 金属蒸発用容器及びその製造方法 |
| US7319079B2 (en) | 2003-09-24 | 2008-01-15 | Rusinko Jr David Michael | Container for evaporation of metal and method to manufacture thereof |
| WO2005049881A1 (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-02 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法 |
| JPWO2005056496A1 (ja) * | 2003-12-11 | 2007-12-06 | 電気化学工業株式会社 | セラミックス焼結体、セラミックス焼結体の製造方法、金属蒸着用発熱体 |
| US7632768B2 (en) * | 2003-12-11 | 2009-12-15 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Ceramics sintered and exothermic body for metal vapor deposition |
| JP4728811B2 (ja) * | 2003-12-11 | 2011-07-20 | 電気化学工業株式会社 | セラミックス焼結体、セラミックス焼結体の製造方法、金属蒸着用発熱体 |
| WO2005113465A1 (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-01 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | セラミックス、その製造方法及びそれを用いた金属蒸発用容器 |
| CN109970452A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-05 | 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司 | 一种陶瓷蒸发舟用复合材料的无压烧结制备方法 |
| CN109970452B (zh) * | 2019-04-30 | 2021-07-09 | 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司 | 一种陶瓷蒸发舟用复合材料的无压烧结制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5470806A (en) | Making of sintered silicon carbide bodies | |
| Watari et al. | Densification and thermal conductivity of AIN doped with Y2O3, CaO, and Li2O | |
| JP5836522B2 (ja) | 窒化ケイ素基板の製造方法 | |
| CN111196728A (zh) | 一种高强度、高韧性、高热导率氮化硅陶瓷材料及其制备方法 | |
| JP2007197226A (ja) | 高い信頼性を持つ高熱伝導窒化ケイ素セラミックス及びその製造方法 | |
| US4952535A (en) | Aluminum nitride bodies and method | |
| JPH06298566A (ja) | 導電性セラミックス焼結体及びその用途 | |
| CN111196730B (zh) | 一种高热导率氮化硅陶瓷材料及其制备方法 | |
| US7319079B2 (en) | Container for evaporation of metal and method to manufacture thereof | |
| JPH0225866B2 (ja) | ||
| US3287478A (en) | Method of sintering aluminum nitride refractories | |
| Graziani et al. | Effects of some iron-group metals on densification and characteristics of TiB2 | |
| JP2002220282A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体とその製造方法 | |
| JP2000351679A (ja) | 炭化ケイ素質多孔体の製造方法および炭化ケイ素質多孔体 | |
| JP2511011B2 (ja) | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 | |
| US4030891A (en) | Sintered cermet containing ground monocrystals | |
| JP2897837B2 (ja) | サーミスタ素子の製造方法 | |
| JP4883499B2 (ja) | 窒化ホウ素焼成体及びその製造方法 | |
| JPS60131862A (ja) | 高強度炭化けい素基焼結体 | |
| JP2614891B2 (ja) | 耐摩耗性の大なる窒化硼素常圧焼結体の製造方法 | |
| JPH07165462A (ja) | アルミナ−βサイアロン−ＹＡＧ複合材 | |
| JPH07187805A (ja) | セラミックスグリーン体及びその製造方法 | |
| JP2004277206A (ja) | 導電性セラミックスの製造方法 | |
| Zdaniewski et al. | Joining of alumina ceramic by inducing localized reducing conditions | |
| JPH10291858A (ja) | ウイスカー強化導電性複合セラミックス及びその製造方法 |