JP2007335739A - Ld素子の搭載方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ヒートシンク上の所定の位置にLD素子を設置する作業を、作業効率よく、かつ、高精度で行うことができる方法であって、LD素子の高さ方向の位置をも正確に制御することができる方法を提供する。
【解決手段】ヒートシンク上にLD素子を搭載する方法であって、LD素子を搭載するヒートシンクの表面をxy平面とし、xy平面に垂直な方向をz方向とした場合に、LD素子のz方向の位置を決める下部ガイド、および、LD素子のxy平面上の位置を決める側部ガイドを、ヒートシンク上に形成する工程、ヒートシンク上のLD素子を搭載する箇所にはんだ層を形成する工程、および、下部ガイドおよび側部ガイドに沿わせてLD素子をヒートシンク上に搭載し、はんだ付けする工程、を有するヒートシンク上へのLD素子の搭載方法。
【選択図】図3
【解決手段】ヒートシンク上にLD素子を搭載する方法であって、LD素子を搭載するヒートシンクの表面をxy平面とし、xy平面に垂直な方向をz方向とした場合に、LD素子のz方向の位置を決める下部ガイド、および、LD素子のxy平面上の位置を決める側部ガイドを、ヒートシンク上に形成する工程、ヒートシンク上のLD素子を搭載する箇所にはんだ層を形成する工程、および、下部ガイドおよび側部ガイドに沿わせてLD素子をヒートシンク上に搭載し、はんだ付けする工程、を有するヒートシンク上へのLD素子の搭載方法。
【選択図】図3
Description
本発明は、LD素子の搭載方法に関する。詳細には、ヒートシンク上の所定の位置にLD素子を位置合わせして搭載する方法に関する。
光通信や光ストレージシステムの発光源として用いられるレーザーダイオード素子(以下、「LD素子」と省略する。)の実装では、動作時における素子の信頼性確保のために、高い放熱性が要求される。このような要求に応えるために、例えば、高い熱伝導率を有するチッ化アルミニウムセラミックス基板上に、薄膜メタライズパターンを形成したAlNヒートシンクがある。LD素子は、このヒートシンク上にはんだを介して搭載され、放熱性が確保される。
図1にLD素子10をヒートシンク20上に搭載した際の位置関係を示した。LD素子10は、その端部に位置する発光点12において最も多く発熱する。よって、この位置近傍をヒートシンク20に触れさせて放熱させる必要がある。図1(a)に示したように、LD素子10の端部がヒートシンク20から大きくはみ出している場合は、LD素子10の発光点12近傍をヒートシンク20により冷却することができない。また、図1(b)に示したように、LD素子の端部がヒートシンクの内側に入ってしまっている場合は、発光点12から放出されたレーザー光がヒートシンク20により散乱してしまう。このため、理想的には、LD素子10の端部とヒートシンク20の端部とを一致させて設置するのが望ましいのであるが、現実的には、図1(c)に示したように、LD素子10の端部がヒートシンク20からわずかに(10μm程度)外側にはみ出したようにして設置されている。
ヒートシンク上にLD素子を設置するのは、上記のように高精度な位置合わせが必要である。従来は、LD素子をヒートシンク上に設置する場合の位置合わせは、例えば、ヒートシンクの外形を基準としたり、または、ヒートシンク上に位置合わせパターンをあらかじめ形成しこれを基準としたりする等の画像認識により行われていた。
特開平4−57346号公報
しかし、従来行われている画像認識による位置合わせ作業は、作業効率が悪いものであった。また、例えば、DVD用およびCD用の複数のLD素子を一つのヒートシンク上に設置する場合は、それぞれの設置に対して、画像処理による位置合わせをする必要があり、作業効率の悪さが顕著となっていた。
また、ヒートシンク上にはんだ層が形成されており、LD素子はこのはんだ層を介してヒートシンクに搭載される。このはんだ層は、溶解する前の膜厚は制御することができるが、溶解した後はその膜厚を制御することは困難である。そのため厳密にいうと、LD素子の高さ方向の位置を正確に制御することができないのが実情であった。
そこで、本発明は、ヒートシンク上の所定の位置にLD素子を設置する作業を、作業効率よく、かつ、高精度で行うことができる方法であって、LD素子の高さ方向の位置をも正確に制御することができる方法を提供することを課題とする。
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
第1の本発明は、ヒートシンク(20)上にLD素子(10)を搭載する方法であって、LD素子(10)を搭載するヒートシンク(20)の表面をxy平面とし、xy平面に垂直な方向をz方向とした場合に、LD素子のz方向の位置を決める下部ガイド(40)、および、LD素子のxy平面上の位置を決める側部ガイド(30)を、ヒートシンク(20)上に形成する工程、ヒートシンク(20)上のLD素子(10)を搭載する箇所にはんだ層(50)を形成する工程、および、下部ガイド(40)および側部ガイド(30)に沿わせてLD素子(10)をヒートシンク(20)上に搭載し、はんだ付けする工程、を有するヒートシンク上へのLD素子の搭載方法である。
第1の本発明において、下部ガイド(40)および側部ガイド(30)は、フォトリソグラフィー法により作製された金属製のガイドであることが好ましい。
第1の本発明において、下部ガイド(40)および側部ガイド(30)は、セラミックス製のガイドであることが好ましい。
第2の本発明は、第1の本発明の方法により、LD素子(10)をヒートシンク(20)上に搭載する、電子部品の製造方法である。
第3の本発明は、メタライズ層およびはんだ層が形成されたヒートシンク(20)を有し、メタライズ層上に形成された下部ガイド(40)、および、メタライズ層または下部ガイド上に立設された側部ガイド(30)を有し、下部ガイドおよび側部ガイドに沿うように収納され、はんだ層(50)を介してヒートシンクにはんだ付けされたLD素子(10)を有する、電子部品である。
本発明のLD素子の搭載方法によると、ヒートシンク上の所定の位置に下部ガイドおよび側部ガイドを形成しておくことによって、ヒートシンク上にLD素子を設置する作業を、作業効率よく、かつ、高精度で行うことができる。また、特に、下部ガイドを形成することによって、LD素子の高さ方向(z方向)の位置をも正確に制御することができる。
LD素子のxy平面上の位置を正確に定めて、LD素子の端部がヒートシンクからわずかにはみ出した位置に設置することによって、LD素子の発光点近傍を冷却することができ、そして、レーザーがヒートシンクの表面に反射する事態を防ぐことができる。また、LD素子のz方向の位置を正確に制御することによって、レーザー光の照射位置を正確に制御することができる。
以下本発明を図面に示す実施形態に基づき説明する。
<LD素子の搭載方法>
本発明のLD素子の搭載方法は、ヒートシンク上に、下部ガイドおよび側部ガイドを形成する工程、はんだ層を形成する工程、下部ガイドおよび側部ガイドにそってLD素子をヒートシンク上に搭載し、はんだ付けする工程を有している。
<LD素子の搭載方法>
本発明のLD素子の搭載方法は、ヒートシンク上に、下部ガイドおよび側部ガイドを形成する工程、はんだ層を形成する工程、下部ガイドおよび側部ガイドにそってLD素子をヒートシンク上に搭載し、はんだ付けする工程を有している。
図2(a)は、本発明のLD素子の搭載方法に基づいて、ヒートシンク20上に下部ガイド40、側部ガイド30およびはんだ層50を形成した形態の平面図である。図2(b)は、該形態を図2(a)における紙面下方向から見た正面図である。該正面図においては、側部ガイド30c、30dは省略してある。また、図3(a)は、図2に示した形態のヒートシンクにLD素子10を搭載した形態を示した平面図である。図3(b)は、該形態を図3(a)における紙面下方向から見た正面図である。
本発明においては、LD素子10とヒートシンク20との位置関係を、ヒートシンク20の表面をxy平面とし、該xy平面に垂直な方向をz方向として表現している。図面に基づいて説明すると、図3(a)に示したように、「x方向」とは、ヒートシンク20の表面に平行な方向であって、LD素子10の発光点12を有する面に平行な方向である。「y方向」とはx方向に垂直な方向である。また、図3(b)に示したように、「z方向」とは、xy平面に垂直な方向である。
<下部ガイド40および側部ガイド30を形成する工程>
本発明のLD素子10の搭載方法においては、ヒートシンク20上に下部ガイド40を形成することによって、LD素子10のz方向の位置を決めることができる。従来技術で述べたように、従来は、はんだ層の上にLD素子を搭載しただけであったので、はんだ付け時におけるはんだ金属の流れ具合によってLD素子のz方向の位置が変動するため、その位置を厳密に制御することができなかった。このため、レーザーの照射位置を厳密に制御できないという問題があった。本発明においては、LD素子10を搭載する位置に対応するようにして、ヒートシンク20上に下部ガイド40を形成している。はんだ層はこの下部ガイド40に高さよりもわずかに高くなるように形成され、はんだ付け時にはんだ金属は溶融して流動するがその流動の範囲は下部ガイド40によって規制されるため、高さの変動も著しく小さくなり、LD素子10のz方向の位置を厳密に制御することができる。
本発明のLD素子10の搭載方法においては、ヒートシンク20上に下部ガイド40を形成することによって、LD素子10のz方向の位置を決めることができる。従来技術で述べたように、従来は、はんだ層の上にLD素子を搭載しただけであったので、はんだ付け時におけるはんだ金属の流れ具合によってLD素子のz方向の位置が変動するため、その位置を厳密に制御することができなかった。このため、レーザーの照射位置を厳密に制御できないという問題があった。本発明においては、LD素子10を搭載する位置に対応するようにして、ヒートシンク20上に下部ガイド40を形成している。はんだ層はこの下部ガイド40に高さよりもわずかに高くなるように形成され、はんだ付け時にはんだ金属は溶融して流動するがその流動の範囲は下部ガイド40によって規制されるため、高さの変動も著しく小さくなり、LD素子10のz方向の位置を厳密に制御することができる。
下部ガイド40は、LD素子10をヒートシンク20上に平行に設置することができるものであれば、特に限定されない。このような観点から、少なくとも三点によりLD素子10を支える、三つのガイドであればよい。また、LD素子10を安定して支える観点からは、LD素子10を四隅から支える四つのガイドであることがさらに好ましい。また、下部ガイド40の形状は、互いに均一の厚みを有するものであれば特に限定されないが、後に説明する側部ガイド30と一体に形成し易い点から、矩形であることが好ましい。図2(a)および図2(b)に示した形態では、LD素子10の四隅を支えるように、四つの同一の矩形の下部ガイド40a〜40dが形成されている。なお、図2(a)には表れていないが、側部ガイド30a〜30dの下部にも、下部ガイド40a〜40dがそれぞれ形成されている。下部ガイド40のz方向の厚さは、1〜2μmで、はんだ層50よりも低い構造であることが好ましい。
また、本発明のLD素子10の搭載方法においては、ヒートシンク20上に側部ガイド30を形成することによって、LD素子10のxy平面における位置を決めることができる。従来技術で述べたように、LD素子の発光点12近傍を冷却することが必要であり、かつ、レーザー光がヒートシンク20に反射するのを防ぐことが必要であることから、発光点12があるLD素子の端部がヒートシンクからわずかに(10μm程度)外側にはみ出したようにして、LD素子10をヒートシンク20上に設置する必要がある。このように、特にy方向の位置は非常に厳密な制御が必要とされる。本発明においては、このようなx方向およびy方向の制御を側部ガイド30を形成することにより実現したものである。これにより、従来の画像処理により位置合わせを行っていた方法に比べて、作業性を大きく向上させることができた。
側部ガイド30は、ヒートシンク20のxy平面上におけるLD素子10の位置を固定できるものであれば、特に限定されない。上記したように、発光点12があるLD素子の端部がヒートシンク20からわずかに外側にはみ出したようにして設置するには、LD素子のx方向における両側面およびy方向における背面の少なくとも三箇所に側部ガイド30を設ける必要がある。また、LD素子をxy平面上において正確に固定する観点からは、LD素子を四隅から固定する四つの側部ガイド30を設けることがさらに好ましい。
また、側部ガイド30の形状は、LD素子10を側面方向から平面で支える壁状であることが好ましい。図2(a)および(b)に示した形態においては、下部ガイド40aおよび40bのそれぞれの上に壁状の側部ガイド30a、30bが、互いに平行に、かつ、LD素子10の幅に対応した所定の幅を保ちながら立設されている。また、下部ガイド40cおよび40dのそれぞれの上に平面視L字形状の壁状の側部ガイド30c、30dが、LD素子10の幅および奥行きに対応した所定の幅を保ちながら立設されている。側部ガイド30のz方向の高さは、はんだ層のz方向の厚さよりも高いことが必要であり、3〜5μmであることが好ましい。
下部ガイド40および側部ガイド30の材料としては、金属、あるいは、セラミックスを挙げることができる。金属としては、はんだ層に使用するはんだに溶解しない、あるいは、溶解度が小さい金属を使用することができる。例えば、Au−Snはんだを使用する場合は、ガイドの金属として、白金、ニッケル、チタン、クロム、タンタル等を使用することができる。また、セラミックスとしては、特に限定されず種々のセラミックスを使用することができ、ヒートシンク20と同様のチッ化アルミニウムやアルミナにより形成することもできる。金属製の下部ガイド40および側部ガイド30は、フォトリソグラフィー法により形成することができる。
図2に示した形態の下部ガイド40および側部ガイド30の形成方法の一例を以下に説明する。まず、下部ガイド40に対応するレジストパターンを形成し、金属を蒸着することによって下部ガイド40を形成する。そして、側部ガイド30に対応するレジストパターンを形成し、金属を蒸着することによって側部ガイド30を形成する。そして、レジストを除去することによって、下部ガイド40と側部ガイド30とが一体となったL字状のガイドが形成される。
同様にセラミックス製のガイドを形成する場合は、下部ガイド40に対応するレジストパターンを形成し、金属あるいはセラミックスターゲットを用いてスパッタリング法にて基板上にセラミックスを堆積させる。この際、金属ターゲットを用いる場合は、アルゴンやヘリウムガスと一緒に窒素あるいは酸素を雰囲気中に混入させスパッタリングを行ったり、あるいは、窒素ガス雰囲気中でスパッタリングを行ったりすることで、堆積物が窒化物セラミックスあるいは酸化物セラミックスとなる。
セラミックスターゲットを用いる場合でも同様に、窒素ガスあるいは酸素ガスを用いても良く、セラミックス種によってはアルゴンやヘリウムなどの不活性ガスを用いても良い。なお、セラミックスをターゲットとして用いる場合は、RF電源を用いることで堆積速度が速くなるためより好ましい。
例えば、窒化アルミニウムの下部ガイド40を形成する場合は、アルミニウムをターゲットとし、窒素ガスをキャリアガスとして、RF電源を用いてスパッタリングを行うことで基板上に窒化アルミニウムセラミックス膜が形成される。その後、レジストパターンをアセトンや苛性ソーダ等で除去する。
セラミックス製の側部ガイド30の形成については、同様にして行うことができる。上記のように下部ガイド40作製用のレジストパターンを除去した後、側部ガイド30形成用のレジストパターンを形成し、セラミックス膜をスパッタリング法により堆積させる。そして、同様にしてレジストパターンを除去する。
これらの成膜温度はフォトリソグラフィー法で形成したレジストパターンが損傷しない程度の温度が好ましいため、100℃以下の成膜温度が好ましい。
また、素子の電極部分で極性の異なる電極が近くに配置されている場合、溶融したはんだが電極間でブリッジする恐れがあるため、下部ガイド40および側部ガイド30ははんだの濡れ性が悪い材料が好ましく、具体的には窒化アルミニウムやタンタル、チタン、タングステンなどが好ましい。このうち、タンタルやチタン、タングステンの膜は黒色系の色を呈しており、電極の金と反射率が大きく異なるため、最初の粗位置合わせを行う際の目印となり易く、より好ましい。
<はんだ層を形成する工程>
LD素子10をヒートシンク20上に搭載させるためのはんだとしては、Au−Sn、Pb−Sn、Au−Ge、Ag−Snといった各種の共晶はんだや、Snはんだ、Inはんだ、あるいは共晶はんだにInやBi、Cuなどを添加したはんだ等を用いることができる。はんだ層のz方向の厚みは、3〜5μmであることが好ましい。はんだ層は、抵抗加熱あるいはEB加熱など、既知の加熱方式を有する真空蒸着装置により、はんだ合金の元素成分を単層あるいは複数層積み重ねる、あるいは複数の蒸着源から同時に合金層を蒸着することによって形成することができる。図2に示した実施形態においては、下部ガイド40aおよび40bの間、40cおよび40dの間に、はんだ層が帯状に形成されている。はんだ層の形成箇所は、LD素子10を固定できるのであれば特に限定されない。
LD素子10をヒートシンク20上に搭載させるためのはんだとしては、Au−Sn、Pb−Sn、Au−Ge、Ag−Snといった各種の共晶はんだや、Snはんだ、Inはんだ、あるいは共晶はんだにInやBi、Cuなどを添加したはんだ等を用いることができる。はんだ層のz方向の厚みは、3〜5μmであることが好ましい。はんだ層は、抵抗加熱あるいはEB加熱など、既知の加熱方式を有する真空蒸着装置により、はんだ合金の元素成分を単層あるいは複数層積み重ねる、あるいは複数の蒸着源から同時に合金層を蒸着することによって形成することができる。図2に示した実施形態においては、下部ガイド40aおよび40bの間、40cおよび40dの間に、はんだ層が帯状に形成されている。はんだ層の形成箇所は、LD素子10を固定できるのであれば特に限定されない。
<下部ガイド40および側部ガイド30に沿わせてLD素子10をヒートシンク40上に搭載し、はんだ付けする工程>
下部ガイド40および側部ガイド30が形成されたヒートシンク20上に、LD素子10をこれらのガイドに沿わせて搭載する。そして、はんだの融点以上に加熱することによって、LD素子10をヒートシンク20上に固定する。
下部ガイド40および側部ガイド30が形成されたヒートシンク20上に、LD素子10をこれらのガイドに沿わせて搭載する。そして、はんだの融点以上に加熱することによって、LD素子10をヒートシンク20上に固定する。
図3に、図2の形態のヒートシンク20上にLD素子10を搭載した状態の平面図((a))および正面図((b))を示した。上記したように、側部ガイド30a〜dは、LD素子10の幅および奥行きに合わせて形成されている。よって、LD素子10をこれらのガイドに沿わせて搭載することによって、LD素子10の発光点12の端部がヒートシンク20からわずかにはみ出した状態となるように、LD素子10をヒートシンク20上に設置することができる。
また、下部ガイド40a〜40dは、互いに同一の所定の厚みを有するので、LD素子10のz方向の位置を下部ガイド40a〜40dの厚さにより調整することができる。
以上、現時点において、もっとも、実践的であり、かつ、好ましいと思われる実施形態に関連して本発明を説明したが、本発明は、本願明細書中に開示された実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うLD素子の搭載方法、電子部品の製造方法および電子部品もまた本発明の技術的範囲に包含されるものとして理解されなければならない。
10 LD素子
12 発光点
20 ヒートシンク
30(30a、30b、30c、30d) 側部ガイド
40(40a、40b、40c、40d) 下部ガイド
50 はんだ層
12 発光点
20 ヒートシンク
30(30a、30b、30c、30d) 側部ガイド
40(40a、40b、40c、40d) 下部ガイド
50 はんだ層
Claims (5)
- ヒートシンク上にLD素子を搭載する方法であって、前記LD素子を搭載する前記ヒートシンクの表面をxy平面とし、該xy平面に垂直な方向をz方向とした場合に、
前記LD素子のz方向の位置を決める下部ガイド、および、前記LD素子のxy平面上の位置を決める側部ガイドを、前記ヒートシンク上に形成する工程、
前記ヒートシンク上の前記LD素子を搭載する箇所にはんだ層を形成する工程、
ならびに、前記下部ガイドおよび前記側部ガイドに沿わせて前記LD素子を前記ヒートシンク上に搭載し、はんだ付けする工程、
を有するヒートシンク上へのLD素子の搭載方法。 - 前記下部ガイドおよび前記側部ガイドが、フォトリソグラフィー法により作製された金属製のガイドである、請求項1に記載のヒートシンク上へのLD素子の搭載方法。
- 前記下部ガイドおよび前記側部ガイドが、セラミックス製のガイドである、請求項1に記載のヒートシンク上へのLD素子の搭載方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の方法により、LD素子をヒートシンク上に搭載する、電子部品の製造方法。
- メタライズ層およびはんだ層が形成されたヒートシンクを有し、該メタライズ層上に形成された下部ガイド、および、該メタライズ層または該下部ガイド上に立設された側部ガイドを有し、該下部ガイドおよび該側部ガイドに沿うように収納され、該はんだ層を介してヒートシンクにはんだ付けされたLD素子を有する、電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006167617A JP2007335739A (ja) | 2006-06-16 | 2006-06-16 | Ld素子の搭載方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015173218A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ光源 |
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2006
- 2006-06-16 JP JP2006167617A patent/JP2007335739A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015173218A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ光源 |
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